晶粒的挑揀設備的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型隸屬一種晶粒的挑揀設備。
【背景技術】
[0002]隨著發(fā)光二極管的發(fā)展，晶圓切割成多個晶粒(dieor chip，又稱為芯片）后，須依其質(zhì)量、性能、產(chǎn)品特性予以分級分類，以將等級互異的晶粒應用于不同的領域，特別是在發(fā)光二極管(Light Emitted Diode, LED)的產(chǎn)業(yè)中，二極管的發(fā)光亮度、波長、色溫、操作電壓等會因制程條件的些許差異，即使在同一片LED生產(chǎn)晶圓上，各個晶粒之間多少都會存在著些微差異。而隨著發(fā)光二極管的分類要求漸趨于精細，目前已經(jīng)發(fā)展出150類的分類細目，為求效率，一般會使用機械手臂進行分類。
[0003]因此，晶粒的挑揀分類速度便直接影響到生產(chǎn)的速度，習知技術的晶粒的挑揀設備，利用單一挑揀臂結(jié)構(gòu)于一取晶平臺上進行晶粒的分類擷取，并透過90度或180度旋轉(zhuǎn)而轉(zhuǎn)放于一置晶平臺上，為了準確地進行晶粒的拿取與置放，必須透過一攝像結(jié)構(gòu)進行挑揀臂上的一吸嘴的定位，從而可以對位后的吸嘴位置為中心點，進行取晶平臺以及置晶平臺的位移參考，讓該挑揀臂進行精準的晶粒取放，為配合挑揀裝置于該取晶平臺與該置晶平臺之間達到較佳的取放效果，該取晶平臺與該置晶平臺可以順逆向旋轉(zhuǎn)并搭配水平方向軸向位移的方式來移動，使位于晶粒承載部的欲挑揀晶粒位移至一挑揀定位點，致使該吸嘴僅須透過挑揀臂的旋轉(zhuǎn)，便可移動至該挑揀定位點上方，此時，晶粒剝離部針頂該欲挑揀的晶粒使其脫離晶粒承載部，致使吸嘴吸取該欲挑揀的晶粒;同理，該晶粒存放部亦可借由水平位移或旋轉(zhuǎn)，致使該欲挑揀晶粒移至晶粒存放部上的對應位置而存放。因LED晶圓尺寸由2吋、4吋、6吋逐步增大至8吋，取晶平臺及置晶平臺也須隨著加大，且二者為水平放置，故挑揀臂亦須隨之加長，如此便會造成挑揀臂慣量增加使得控制難度增高，使得速度降低、精度變差。因此，該晶粒的挑揀機構(gòu)著實有改進的必要。
[0004]有鑒于此，本實用新型設計人乃針對前述現(xiàn)有挑揀機構(gòu)上所面臨的問題深入探討，并借由多年從事相關產(chǎn)業(yè)的研發(fā)與制造經(jīng)驗，且積極尋求解決的方道，經(jīng)過長期努力的研究與開發(fā)，終于成功的開發(fā)出一種晶粒的挑揀設備，來克服現(xiàn)有挑揀機構(gòu)的缺點，期使挑揀機構(gòu)，更符合制造者及使用者的需求。
【實用新型內(nèi)容】
[0005]本實用新型的主要目的在于提供一種晶粒的挑揀設備，其可縮短晶粒挑揀的距離，使晶粒挑揀的速度及準確度大大提升，節(jié)省晶粒挑揀的時間。
[0006]為達上述目的，本實用新型的解決方案是：
[0007]—種晶粒的挑揀設備其結(jié)構(gòu)，包含有:一晶粒承載結(jié)構(gòu)、一晶粒挑揀結(jié)構(gòu)及一晶粒存放結(jié)構(gòu)，該晶粒挑揀結(jié)構(gòu)設置于該晶粒承載結(jié)構(gòu)與晶粒存放結(jié)構(gòu)之間，該晶粒挑揀結(jié)構(gòu)包含有:一承載座及一影像觀察結(jié)構(gòu)，晶粒挑揀結(jié)構(gòu)上側(cè)設有影像觀察結(jié)構(gòu)，底側(cè)設有承載座，影像觀察結(jié)構(gòu)前端設有反射鏡，承載座底部設有一驅(qū)動馬達連接旋轉(zhuǎn)盤，旋轉(zhuǎn)盤上設有旋轉(zhuǎn)臂，該旋轉(zhuǎn)臂一端設有吸嘴；
[0008]該晶粒承載結(jié)構(gòu)一側(cè)邊設有橫移床臺，橫移床臺中段處設有床架及滑桿，滑桿末端設有伺服馬達，床架底側(cè)鎖設有升降床臺，升降床臺中段處設有床架及滑桿，滑桿末端設有伺服馬達，升降床臺前側(cè)設有晶粒承載部，升降床臺頂側(cè)另分離設有一晶粒剝離機，晶粒剝離機前側(cè)設有一頂針；
[0009]該晶粒存放結(jié)構(gòu)一側(cè)邊設有橫移床臺，橫移床臺中段處設有床架及滑桿，滑桿末端設有伺服馬達，床架底側(cè)鎖設有升降床臺，升降床臺中段處設有床架及滑桿，滑桿末端設有伺服馬達，升降床臺的移動平臺設有一晶粒存放盤。
[0010]上述該晶粒承載結(jié)構(gòu)與晶粒存放結(jié)構(gòu)呈面對面平行設置，可縮短晶粒挑揀的距離，使晶粒挑揀的速度及準確度大大提升，節(jié)省晶粒挑揀的時間。
[0011]進一步，該晶粒承載部上設有藍膜可黏固多個切割后的晶粒。
[0012]進一步，該晶粒剝離機上設有頂針可使黏固于晶粒承載部的晶粒容易脫離晶粒承載部。
[0013]進一步，該影像觀察結(jié)構(gòu)可借由反射鏡的反射來觀察待挑揀晶粒與挑揀后晶粒的狀態(tài)。
[0014]進一步，該影像觀察結(jié)構(gòu)借由觀察來控制橫移床臺的伺服馬達驅(qū)動滑桿，讓升降床臺于橫移床臺上左右橫移、及升降床臺的伺服馬達驅(qū)動滑桿，讓晶粒承載部于升降床臺上上升下降，晶粒存放盤95于升降床臺90上上升下降。
[0015]進一步，該驅(qū)動馬達驅(qū)動旋轉(zhuǎn)盤±180度旋轉(zhuǎn)定位，讓旋轉(zhuǎn)臂上的吸嘴可揀取黏固于該晶粒承載部上的一晶粒，另一旋轉(zhuǎn)臂的吸嘴可將該晶粒位移至該晶粒存放盤，使挑揀后的晶?？绅す逃谠摼Я４娣疟P而定位存放。
[0016]進一步，該轉(zhuǎn)盤可設置多個旋轉(zhuǎn)臂及吸嘴以節(jié)省晶粒挑揀時間。借此，上述晶粒承載結(jié)構(gòu)與晶粒存放結(jié)構(gòu)呈面對面平行設置，可縮短晶粒挑揀的距離，使晶粒挑揀的速度及準確度大大提升，節(jié)省晶粒挑揀的時間。晶粒挑揀結(jié)構(gòu)上一旋轉(zhuǎn)臂吸嘴吸取晶粒后，驅(qū)動馬達驅(qū)動旋轉(zhuǎn)盤±180度旋轉(zhuǎn)定位，可揀取黏固于該晶粒承載部上的一晶粒，另一旋轉(zhuǎn)臂吸嘴可將該晶粒位移至該晶粒存放盤，俾使挑揀后的晶?？绅す逃谠摼Я４娣疟P而定位存放。為使貴審查委員能進一步了解本實用新型的詳細構(gòu)造、特征及其他目的，以下乃舉本實用新型的較佳實施例，并配合圖式詳細說明如后，同時讓熟悉該項技術領域者能夠具體實施。
【附圖說明】
[0017]圖I為本實用新型較佳實施例的立體示意圖，供說明主要元件及其相對關系；
[0018]圖2為本實用新型較佳實施例的前視組合示意圖；
[0019]圖3為本實用新型較佳實施例的俯視組合示意圖；
[0020]圖4為本實用新型較佳實施例的局部平面剖視示意圖；
[0021 ]圖5為本實用新型較佳實施例的挑選晶粒的動作流程示意圖；
[0022]圖6為本實用新型較佳實施例的挑選晶粒的動作流程示意圖；
[0023]圖7為本實用新型較佳實施例的挑選晶粒的動作流程示意圖；
[0024]圖8為本實用新型較佳實施例的挑選晶粒的動作流程示意圖；
[0025]圖9為本實用新型較佳實施例的挑選晶粒的動作流程示意圖；
[0026]圖10為本實用新型較佳實施例的挑選晶粒的動作流程示意圖。
[0027]【符號說明】
[0028]5晶粒10晶粒挑揀結(jié)構(gòu)
[0029]20承載座21驅(qū)動馬達
[0030]22旋轉(zhuǎn)盤23旋轉(zhuǎn)臂
[0031 ]24吸嘴30影像觀察結(jié)構(gòu)
[0032]31反射鏡40晶粒承載結(jié)構(gòu)
[0033]50橫移床臺51床架
[0034]52滑桿53伺服馬達
[0035]60升降床臺61床架
[0036]62滑桿63伺服馬達
[0037]64晶粒承載部65晶粒剝離機
[0038]66頂針70晶粒存放結(jié)構(gòu)
[0039]80橫移床臺81床架
[0040]82滑桿82伺服馬達[0041 ]90升降床臺9