一種電子束鈦膜支撐裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種電子束鈦膜支撐裝置，包括鈦膜和支撐板，所述鈦膜上依次排列多組支撐板，所述多組支撐板之間為真空室，所述支撐板每組間隔距離為5㎜?10㎜，所述支撐板板寬為0.5㎜?1.0㎜，所述支撐板板高為5㎜?8㎜。本新型可以采用大面積的電子束輸出窗，使用較薄的鈦膜，使鈦膜在支撐結(jié)構(gòu)下局部變形比較小，也比較均勻。
【專利說明】
一種電子束鈦膜支撐裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型屬于電子設(shè)備領(lǐng)域，尤其是涉及一種電子束鈦膜支撐裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有技術(shù)是鈦膜沒有本文所述的支撐結(jié)構(gòu)，所以由鈦膜密封的電子束輸出窗口較小，為了承受較大的真空壓力，鈦膜也需要厚一些，鈦膜厚了，電子束在其中損失能量增大，產(chǎn)生的熱量增多，冷卻困難，同時(shí)也損失了較多的電子束能量。本發(fā)明的支撐結(jié)構(gòu)，采用垂直于鈦膜方向較大的尺寸，使其具有較大的承壓能力，同時(shí)由于遮擋電子束的方向面積比較小，可以采用較薄的鈦膜，綜合起來，電子束的能量損失小，該支撐結(jié)構(gòu)采用耐高溫且良導(dǎo)熱材料，可以將其或鈦膜產(chǎn)生的熱量通過邊緣的冷卻水管帶走。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的在于提供一種電子束鈦膜支撐裝置。
[0004]本實(shí)用新型的目的可以通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):
[0005]—種電子束鈦膜支撐裝置，包括鈦膜和支撐板，所述鈦膜上依次排列多組支撐板，所述多組支撐板之間為真空室，所述支撐板每組間隔距離為5皿1_10皿1，所述支撐板板寬為
0.5mm-l.0mm，所述支撐板板高為，所述鈦膜厚度為5μηι-20μηι。
[0006]所述支撐板材質(zhì)為耐高溫高導(dǎo)熱材料。
[0007]所述鈦膜和真空室之間通過金屬密封圈密封。
[0008]所述支撐結(jié)構(gòu)外圍有布置有水冷管，將該支撐板產(chǎn)生的熱量帶走。
[0009]該結(jié)構(gòu)可以根據(jù)需要放大，即可以達(dá)到寬度200mm以上，長(zhǎng)度數(shù)米，可以使用一各或兩個(gè)及以上的電子槍并行輸出電子束。
[0010]本實(shí)用新型的有益效果:可以采用大面積的電子束輸出窗，使用較薄的鈦膜，使鈦膜在支撐結(jié)構(gòu)下局部變形比較小，也比較均勻。
【附圖說明】
[0011]圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
[0012]圖中標(biāo)記，1-鈦膜，2-真空室，3-支撐板，4-密封圈。
【具體實(shí)施方式】
[0013]下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述。
[0014]如圖1所示，本實(shí)用新型的目的在于提供一種電子束鈦膜支撐裝置，包括鈦膜I和支撐板3，所述鈦膜I上依次排列多組支撐板3，所述多組支撐板3之間為真空室2，所述支撐板3每組間隔距離為5mm-10mm，所述支撐板3板寬為0.5mm-l.0mrn，所述支撐板3板高為5mm-8mm，所述鈦膜I厚度為5μηι-20μηι，所述支撐板3材質(zhì)為耐高溫高導(dǎo)熱材料，所述鈦膜I和真空室2之間通過金屬密封圈4密封，所述支撐結(jié)構(gòu)外圍有布置有水冷管，將該支撐板產(chǎn)生的熱量帶走。
[0015]以上內(nèi)容僅僅是對(duì)本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)所作的舉例和說明，所屬本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員對(duì)所描述的具體實(shí)施例做各種各樣的修改或補(bǔ)充或采用類似的方式替代，只要不偏離實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)或者超越本權(quán)利要求書所定義的范圍，均應(yīng)屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種電子束鈦膜支撐裝置，包括鈦膜(I)和支撐板(3)，其特征在于，所述鈦膜(I)上依次排列多組支撐板(3)，所述多組支撐板(3)之間為真空室(2)，所述支撐板(3)每組間隔距離為5mm-10mm，所述支撐板(3)板寬為0.5mm-l.0rnm，所述支撐板(3)板高為5皿1_8皿1，所述鈦膜(I)厚度為5μπι-20μπι。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種電子束鈦膜支撐裝置，其特征在于，所述支撐板(3)材質(zhì)為高導(dǎo)熱材料。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種電子束鈦膜支撐裝置，其特征在于，所述鈦膜(I)和真空室(2)之間通過密封圈(4)密封。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種電子束鈦膜支撐裝置，其特征在于，所述支撐結(jié)構(gòu)外圍有布置有水冷管，將該支撐板產(chǎn)生的熱量帶走。
【文檔編號(hào)】H01J29/02GK205582879SQ201620292581
【公開日】2016年9月14日
【申請(qǐng)日】2016年4月7日
【發(fā)明人】徐斌, 蔡莉, 趙躍春, 姚江濤
【申請(qǐng)人】安徽戈瑞電子科技股份有限公司