深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)的太陽能電池片的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)的太陽能電池片，所述深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)的太陽能電池片具有深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)，所述深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)包括硼摻雜層、磷摻雜層和磷吸雜層，其中，所述磷摻雜層設(shè)置在所述硼摻雜層的上表面，所述磷吸雜層設(shè)置在所述磷摻雜層的上表面。本實用新型能夠解決表層擴散結(jié)均勻性、結(jié)深不理想的問題，還能夠解決表層少子壽命低的問題。
【專利說明】
深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)的太陽能電池片
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及光伏材料技術(shù)領(lǐng)域，尤其與一種深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)的太陽能電池片有關(guān)。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有技術(shù)的太陽能電池片，其表層擴散結(jié)結(jié)構(gòu)存在均勻性、結(jié)深不理想的問題，導致燒結(jié)效果穩(wěn)定性較差，不利于太陽能電池片整體電性能的提升；另一方面還存在少子壽命偏低的問題，導致少子壽命偏低的主要因素是表層的復合太高，而降低表層復合是提高少子壽命，提升太陽能電池片效率的有效辦法。
[0003]表層擴散結(jié)是太陽能電池片吸收光能發(fā)電的核心部分，沒有表層擴散結(jié)的存在，太陽能電池片就不能將光能轉(zhuǎn)換為電能。
[0004]傳統(tǒng)的表層擴散結(jié)是一層，均勻性分布較差，一般不均勻性7%左右，結(jié)深較淺，一般結(jié)深3微米左右。這樣的表層結(jié)構(gòu)導致燒結(jié)效果不理想，不利于太陽能電池片電性能的改塞口 ο
[0005]如圖1所示，現(xiàn)有技術(shù)的表層擴散結(jié)結(jié)構(gòu)，包括硼摻雜層11和在硼摻雜層11上表面上設(shè)置的磷摻雜層10，這樣的表層擴散結(jié)結(jié)構(gòu)導致太陽能電池片少子壽命較低，不利于太陽能電池片轉(zhuǎn)換效率的提升。
[0006]因此，需要開發(fā)一種具有新的表層擴散結(jié)結(jié)構(gòu)的太陽能電池片。
[0007]在所述【背景技術(shù)】部分公開的上述信息僅用于加強對本實用新型的背景的理解，因此它可以包括不構(gòu)成對本領(lǐng)域普通技術(shù)人員已知的現(xiàn)有技術(shù)的信息。
【實用新型內(nèi)容】
[0008]本實用新型的一個主要目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的至少一種缺陷，提供一種深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)的太陽能電池片，一方面解決表層擴散結(jié)均勻性、結(jié)深不理想的問題;另一方面解決表層少子壽命低的問題。
[0009]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型的技術(shù)方案如下:
[0010]—種深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)的太陽能電池片，所述深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)的太陽能電池片具有深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)，所述深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)包括硼摻雜層、磷摻雜層和磷吸雜層，其中，所述磷摻雜層設(shè)置在所述硼摻雜層的上表面，所述磷吸雜層設(shè)置在所述磷摻雜層的上表面。
[0011]本實用新型的深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)的太陽能電池片，優(yōu)選的，所述深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)的結(jié)深大于等于5微米。
[0012]本實用新型的深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)的太陽能電池片，優(yōu)選的，所述深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)的結(jié)深為5微米。
[0013]本實用新型的深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)的太陽能電池片，優(yōu)選的，所述深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)的一般均勻性為4%-5%。
[0014]本實用新型的深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)的太陽能電池片，優(yōu)選的，所述硼摻雜層的厚度大于所述磷摻雜層的厚度，所述磷摻雜層的厚度大于所述磷吸雜層的厚度。
[0015]本實用新型的深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)的太陽能電池片，優(yōu)選的，所述硼摻雜層、所屬磷摻雜層和所述磷吸雜層三者之間的厚度比例為4:2:1。
[0016]本實用新型的有益效果在于，本實用新型提供一種新型的太陽能電池片表層擴散結(jié)結(jié)構(gòu)，本實用新型通過選擇一種新的工藝技術(shù)，制備一種均勻的深擴散結(jié)及低表層復合結(jié)構(gòu)的太陽能電池片。均勻的深擴散結(jié)結(jié)構(gòu)可有效改善燒結(jié)效果，降低表層接觸電阻;低表面復合結(jié)構(gòu)可有效提升電池片少子壽命，提升太陽能電池片轉(zhuǎn)換效率。
【附圖說明】
[0017]通過結(jié)合附圖考慮以下對本實用新型的優(yōu)選實施例的詳細說明，本實用新型的各種目標、特征和優(yōu)點將變得更加顯而易見。附圖僅為本實用新型的示范性圖解，并非一定是按比例繪制。在附圖中，同樣的附圖標記始終表示相同或類似的部件。
[0018]圖1為現(xiàn)有技術(shù)的表層擴散結(jié)的截面示意圖。
[0019]圖2為本實用新型實施例的深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)的太陽能電池片的示意圖。
[0020]其中，附圖標記說明如下:
[0021 ] 20磷吸雜層
[0022]21磷摻雜層
[0023]22硼摻雜層
[0024]現(xiàn)有技術(shù)
[0025]10磷摻雜層
[0026]11硼摻雜層
【具體實施方式】
[0027]現(xiàn)在將參考附圖更全面地描述示例實施方式。然而，示例實施方式能夠以多種形式實施，且不應被理解為限于在此闡述的實施方式;相反，提供這些實施方式使得本實用新型將全面和完整，并將示例實施方式的構(gòu)思全面地傳達給本領(lǐng)域的技術(shù)人員。圖中相同的附圖標記表示相同或類似的結(jié)構(gòu)，因而將省略它們的詳細描述。
[0028]在說明本實用新型或本實用新型優(yōu)選實施例的元件時，詞“一”、“一個”、“該”以及“所述”意欲指的是存在著一個或更多個元件。術(shù)語“包括”、“包含”和“具有”等意欲是開放性的且指的是除了所列出的元件之外還可存在其它元件。
[0029]本實用新型主要涉及使用新的工藝技術(shù)實現(xiàn)新的太陽能電池片表層擴散結(jié)機構(gòu)。
[0030]本實用新型是提出一種新型的太陽能電池片表層擴散結(jié)結(jié)構(gòu)，是一種可有效改善燒結(jié)效果，降低表層接觸電阻;可有效提升電池片少子壽命，提升電池片轉(zhuǎn)換效率的表層擴散結(jié)結(jié)構(gòu)。通過調(diào)整工藝內(nèi)容，在太陽能電池片表面形成均勻的深擴散結(jié)構(gòu)及低表面復合機構(gòu)，改善燒結(jié)效果，提升少子壽命，最終實現(xiàn)太陽能電池片轉(zhuǎn)換效率的提升。
[0031]通過新工藝實現(xiàn)的新型的表層擴散結(jié)結(jié)構(gòu)，本實用新型實施例的深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)的太陽能電池片的低表層復合結(jié)構(gòu)，一般均勻性可以達到4%_5%，結(jié)深可以做到5微米左右，也即大于等于5微米，這樣的表層結(jié)構(gòu)有利于燒結(jié)效果的改善，可以降低燒結(jié)后的串聯(lián)電阻，提升太陽能電池片的轉(zhuǎn)換效率。
[0032]下面參考附圖和優(yōu)選實施例對技術(shù)方案作詳細說明。
[0033]如圖2所示，本實用新型實施例的深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)的太陽能電池片，具有深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)，也即其表層擴散結(jié)結(jié)構(gòu)，所述深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)包括硼摻雜層22、磷摻雜層21和磷吸雜層20，其中，磷摻雜層21設(shè)置在硼摻雜層22的上表面，而磷吸雜層20設(shè)置在磷摻雜層21的上表面。
[0034]部分優(yōu)選實施例中，硼摻雜層22的厚度大于磷摻雜層21的厚度，磷摻雜層21的厚度大于磷吸雜層20的厚度，進而，硼摻雜層20、磷摻雜層21和磷吸雜層22三者之間的厚度比例可為4:2:1，但本實用新型實施例的深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)的太陽能電池片。
[0035]本實用新型實施例的深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)的太陽能電池片，通過新工藝實現(xiàn)的新型的表層擴散結(jié)結(jié)構(gòu)，一般均勻性可以達到4%-5%，結(jié)深可以做到5微米左右，這樣的表層結(jié)構(gòu)有利于燒結(jié)效果的改善，可以降低燒結(jié)后的串聯(lián)電阻，提升太陽能電池片的轉(zhuǎn)換效率。
[0036]傳統(tǒng)的表層擴散結(jié)結(jié)構(gòu)沒有磷吸雜層22的存在，這樣導致電池片少子壽命較低，不利于太陽能電池片轉(zhuǎn)換效率的提升。通過新工藝實現(xiàn)的本實用新型的表層擴散結(jié)結(jié)構(gòu)，有一層磷吸雜結(jié)構(gòu)層，這樣可有效提升電池片的少子壽命，進而提升太陽能電池片的轉(zhuǎn)換效率。
[0037]本實用新型實施例的深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)的太陽能電池片，可有效降低表層接觸電阻并改善電性能參數(shù);另一方面可有效提升表層少子壽命，較大的表層少子壽命，可有效提升電池片轉(zhuǎn)換效率。通過新工藝實現(xiàn)的新型的表層擴散結(jié)結(jié)構(gòu)可提升太陽能電池片轉(zhuǎn)換效率0.1%以上。
[0038]應理解，以上描述的多個示例可沿多個方向(如傾斜、顛倒、水平、垂直，等等)并且以多個構(gòu)造被利用，而不背離本實用新型的原理。附圖中示出的實施例僅作為本實用新型的原理的有效應用的示例而被示出和描述，本實用新型并不限于這些實施例的任何具體的細節(jié)。
[0039]當然，一旦仔細考慮代表性實施例的以上描述，本領(lǐng)域技術(shù)人員就將容易理解，可對這些具體的實施例做出多種改型、添加、替代、刪除以及其他變化，并且這些變化在本實用新型的原理的范圍內(nèi)。因此，前面的詳細描述應被清楚地理解為是僅以說明和示例的方式來給出的，本實用新型的精神和范圍僅由所附權(quán)利要求書及其等同物限定。
【主權(quán)項】
1.一種深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)的太陽能電池片，其特征在于，所述深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)的太陽能電池片具有深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)，所述深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)包括硼摻雜層、磷摻雜層和磷吸雜層，其中，所述磷摻雜層設(shè)置在所述硼摻雜層的上表面，所述磷吸雜層設(shè)置在所述磷摻雜層的上表面。2.如權(quán)利要求1所述的深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)的太陽能電池片，其中所述深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)的結(jié)深大于等于5微米。3.如權(quán)利要求2所述的深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)的太陽能電池片，其中所述深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)的結(jié)深為5微米。4.如權(quán)利要求2所述的深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)的太陽能電池片，其中所述深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)的一般均勻性為4%-5%。5.如權(quán)利要求2所述的深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)的太陽能電池片，其中所述硼摻雜層的厚度大于所述磷摻雜層的厚度，所述磷摻雜層的厚度大于所述磷吸雜層的厚度。6.如權(quán)利要求5所述的深擴散結(jié)低表層復合結(jié)構(gòu)的太陽能電池片，其中所述硼摻雜層、所屬磷摻雜層和所述磷吸雜層三者之間的厚度比例為4:2:1。
【文檔編號】H01L31/0304GK205666240SQ201620542548
【公開日】2016年10月26日
【申請日】2016年6月3日
【發(fā)明人】武慧亮, 張林風, 鄔堯, 武志強
【申請人】包頭市山晟新能源有限責任公司