專利名稱：一種太陽(yáng)能擴(kuò)散爐廢氣截流液化裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種用于太陽(yáng)能擴(kuò)散爐廢氣截流液化裝置。
背景技術(shù)：
擴(kuò)散爐是集成電路生產(chǎn)線前工序的重要工藝設(shè)備之一，它的主要用途是對(duì)半導(dǎo)體進(jìn)行摻雜，即在高溫條件下將摻雜材料擴(kuò)散入硅片，從而改變和控制半導(dǎo)體內(nèi)雜質(zhì)的類型、 濃度和分布，以便建立起不同的電特性區(qū)域。擴(kuò)散爐在工作過程中，經(jīng)高溫?cái)U(kuò)散產(chǎn)生的尾氣直接進(jìn)入排氣管道，會(huì)產(chǎn)生較多的廢氣排放，不僅影響廠區(qū)空氣質(zhì)量，還會(huì)造成一定的大氣污染。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種使太陽(yáng)能擴(kuò)散爐中廢氣得以截流并液化的裝置。為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是提供了一種太陽(yáng)能擴(kuò)散爐廢氣截流液化裝置，其特征在于包括固定在擴(kuò)散爐上的瓶體，導(dǎo)氣管的一端連接擴(kuò)散爐的尾部，另一端連接瓶體，在瓶體內(nèi)設(shè)有石英小管，在瓶體的頂部開有排氣口。進(jìn)一步，所述瓶體設(shè)于固定瓶體平臺(tái)上，固定瓶體平臺(tái)通過固定螺絲固定在所述擴(kuò)散爐上。所述石英小管在所述瓶體內(nèi)不規(guī)則堆放，且堆滿瓶體。本實(shí)用新型提供的用于用于太陽(yáng)能擴(kuò)散爐廢氣截流液化裝置，擴(kuò)散工藝產(chǎn)生的高溫廢氣通過導(dǎo)氣管導(dǎo)入廢氣截流的集氣瓶，通過集氣瓶中的大量石英小管的緩沖，廢氣在集氣瓶中的冷卻時(shí)間得到較大幅度的延長(zhǎng)，可以使排入集氣瓶的廢氣得到充分的冷卻液化，進(jìn)一步減少?gòu)U氣的排放。

圖1為本實(shí)用新型提供的一種太陽(yáng)能擴(kuò)散爐廢氣截流液化裝置的俯視圖；圖2為本實(shí)用新型提供的一種太陽(yáng)能擴(kuò)散爐廢氣截流液化裝置的側(cè)視圖。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型更明顯易懂，茲以一優(yōu)選實(shí)施例，并配合附圖作詳細(xì)說(shuō)明如下。如圖1及圖2所示，為本實(shí)用新型提供的一種太陽(yáng)能擴(kuò)散爐廢氣截流液化裝置，包括瓶體1，瓶體1設(shè)于固定瓶體平臺(tái)6上，固定瓶體平臺(tái)6通過固定螺絲4固定在所述擴(kuò)散爐上，導(dǎo)氣管5的一端連接擴(kuò)散爐的尾部，另一端連接瓶體1，在瓶體1內(nèi)設(shè)有石英小管2， 石英小管2在瓶體1內(nèi)不規(guī)則堆放，且堆滿瓶體1，瓶體1的頂部開有排氣口 3。本實(shí)用新型的工作過程如下太陽(yáng)能晶硅電池在擴(kuò)散工藝產(chǎn)生的高溫廢氣從擴(kuò)散爐尾部的導(dǎo)氣管5導(dǎo)入廢氣截流的瓶體1，通過瓶體1中的大量石英小管2的緩沖截流，廢氣在瓶體1中的冷卻時(shí)間得到較大幅度的延長(zhǎng)，可以使排入瓶體1的廢氣得到充分的冷卻液化，從而使對(duì)外排氣管道內(nèi)的廢氣排放實(shí)現(xiàn)進(jìn)一步減少。
權(quán)利要求1.一種太陽(yáng)能擴(kuò)散爐廢氣截流液化裝置，其特征在于包括固定在擴(kuò)散爐上的瓶體 (1)，導(dǎo)氣管(5)的一端連接擴(kuò)散爐的尾部，另一端連接瓶體(1)，在瓶體(1)內(nèi)設(shè)有石英小管(2)，在瓶體(1)的頂部開有排氣口(3)。
2.如權(quán)利要求1所述的一種太陽(yáng)能擴(kuò)散爐廢氣截流液化裝置，其特征在于所述瓶體 (1)設(shè)于固定瓶體平臺(tái)(6)上，固定瓶體平臺(tái)(6)通過固定螺絲(4)固定在所述擴(kuò)散爐上。
3.如權(quán)利要求1所述的一種太陽(yáng)能擴(kuò)散爐廢氣截流液化裝置，其特征在于所述石英小管(2 )在所述瓶體(1)內(nèi)不規(guī)則堆放，且堆滿瓶體(1)。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種太陽(yáng)能擴(kuò)散爐廢氣截流液化裝置，其特征在于包括固定在擴(kuò)散爐上的瓶體，導(dǎo)氣管的一端連接擴(kuò)散爐的尾部，另一端連接瓶體，在瓶體內(nèi)設(shè)有石英小管，在瓶體的頂部開有排氣口。本實(shí)用新型提供的用于用于太陽(yáng)能擴(kuò)散爐廢氣截流液化裝置，擴(kuò)散工藝產(chǎn)生的高溫廢氣通過導(dǎo)氣管導(dǎo)入廢氣截流的集氣瓶，通過集氣瓶中的大量石英小管的緩沖，廢氣在集氣瓶中的冷卻時(shí)間得到較大幅度的延長(zhǎng)，可以使排入集氣瓶的廢氣得到充分的冷卻液化，進(jìn)一步減少?gòu)U氣的排放。
文檔編號(hào)B01D5/00GK202096777SQ20112013808
公開日2012年1月4日 申請(qǐng)日期2011年5月4日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月4日
發(fā)明者嚴(yán)漢元 申請(qǐng)人:百力達(dá)太陽(yáng)能股份有限公司