專利名稱：：層疊型壓電元件及使用它的噴射裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及安裝在汽車引擎的燃料噴射裝置等中的層疊型壓電元件，以及使用它的噴射裝置。
背景技術(shù)：
：圖28為表示以前的層疊型壓電元件的立體圖。圖29為表示該層疊型壓電元件中的層疊體的側(cè)面與外部電極之間的接合部分的放大剖面圖。如圖28及圖29所示，該層疊型壓電元件具有層疊體110以及形成在互相相對(duì)的一對(duì)側(cè)面上的外部電極104構(gòu)成。層疊體110由構(gòu)成其的壓電體層101與金屬層102交互層疊而成，但金屬層102并非形成在壓電體層101的整個(gè)主面上，而是形成所謂的部分電極構(gòu)造。也即，該層疊體110中，例如在壓電體層IOI的主面上設(shè)有不形成內(nèi)部電極102的非形成部位。該非形成部位被設(shè)為與一對(duì)外部電極104交互相鄰。通過這樣，內(nèi)部電極102每隔一層在層疊體110的不同側(cè)面露出來，與形成在層疊體110的相對(duì)的側(cè)面中的一對(duì)外部電極104分別每隔一層相連接。層疊體110的層疊方向中的兩端側(cè)層疊有非活性層109。一般來說，外部電極104通過將含有銀等導(dǎo)電材料的導(dǎo)電性料漿涂布在層疊體103的側(cè)面并進(jìn)行焙燒而形成(例如特開2000-332312號(hào)公報(bào)、特開2000-31558號(hào)公報(bào)、特開2005-174974號(hào)公報(bào))。在將該層疊型壓電元件用作壓電調(diào)節(jié)器的情況下，還使用焊錫在外部電極104上固定了引線106，通過該引線106在一對(duì)外部電極104之間加載給定的電位，驅(qū)動(dòng)層疊型壓電元件。特別是近年來，要求小型的層疊型壓電元件在大壓力下確保大變位量，因此加載更高的電場(chǎng)，對(duì)其進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)驅(qū)動(dòng)。專利文獻(xiàn)1日本特開2000-332312號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2日本特開2000-31558號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3日本特開2005-174974號(hào)公報(bào)但是，以前的層疊型壓電調(diào)節(jié)器中，存在以下問題在高電場(chǎng)、高壓力下被長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)驅(qū)動(dòng)的情況下，由于層疊體的伸縮，層疊體的側(cè)面與外部電極的接合部中產(chǎn)生應(yīng)力，導(dǎo)致外部電極的一部分從層疊體的側(cè)面剝離，不再給一部分壓電體提供電壓，驅(qū)動(dòng)時(shí)變位特性發(fā)生變化。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于，提供一種即使在高電場(chǎng)、高壓力下被長(zhǎng)期連續(xù)驅(qū)動(dòng)的情況下，其外部電極也不會(huì)從層疊體側(cè)面剝離，耐久性優(yōu)秀的層疊型壓電元件以及噴射裝置。本發(fā)明的層疊型壓電元件及使用它的噴射裝置，采用以下構(gòu)成。(1)一種層疊型壓電元件，具有層疊體與覆蓋部件，該層疊體包括多個(gè)壓電體層與多個(gè)金屬層，由所述壓電體層與所述金屬層交互層疊而構(gòu)成，所述覆蓋部件覆蓋所述層疊體的側(cè)面的至少一部分，所述多個(gè)金屬層中的至少一個(gè)金屬層，是比在層疊方向上與該金屬層相鄰的兩側(cè)金屬層空隙多的多孔質(zhì)金屬層，所述覆蓋部件的一部分，進(jìn)入到在層疊方向上與該多孔質(zhì)金屬層相鄰的2個(gè)壓電體層之間。(2)根據(jù)上述(1)中記載的層疊型壓電元件，所述覆蓋部件是覆蓋所述層疊體的側(cè)面的被覆樹脂。(3)根據(jù)上述(1)中記載的層疊型壓電元件，所述覆蓋部件是與所述多個(gè)金屬層交互連接的一對(duì)外部電極。(4)根據(jù)上述(1)中記載的層疊型壓電元件，所述覆蓋部件是覆蓋所述層疊體的側(cè)面的被覆樹脂，以及與所述多個(gè)金屬層交互連接的一對(duì)外部電極。(5)根據(jù)上述(3)或(4)中記載的層疊型壓電元件，所述外部電極含有導(dǎo)電性材料與玻璃材料，進(jìn)入到所述兩個(gè)壓電體層之間的外部電極的一部分中的所述玻璃材料的含有量，比該一部分以外的外部電極中的所述玻璃材料的含有量多。(6)根據(jù)上述(3)(5)中任一項(xiàng)記載的層疊型壓電元件，所述外部電極由在垂直于所述層疊體的側(cè)面的方向上層疊的多個(gè)層構(gòu)成，這些多個(gè)層中與所述層疊體的側(cè)面相鄰的層中的所述玻璃材料的含有量，比其他層中的所述玻璃材料的含有量多。(7)根據(jù)上述(3)(6)中任一項(xiàng)記載的層疊型壓電元件，所述外部電極的周邊部中，越到周邊側(cè)其厚度逐漸變薄，且形成有與所述層疊體的側(cè)面分離的分離部。(8)根據(jù)上述(7)中記載的層疊型壓電元件，所述分離部與所述層疊體的側(cè)面之間存在空隙。(9)根據(jù)上述(7)或(8)中記載的層疊型壓電元件，所述分離部與所述層疊體的側(cè)面之間的至少一部分中隔有絕緣性樹脂。(10)根據(jù)上述(9)中記載的層疊型壓電元件，所述絕緣性樹脂，隔在所述分離部與所述層疊體的側(cè)面之間的周邊側(cè)中。(11)根據(jù)上述(9)中記載的層疊型壓電元件，所述絕緣性樹脂，填充在所述分離部與所述層疊體的側(cè)面之間。(12)根據(jù)上述(9)(11)中任一項(xiàng)記載的層疊型壓電元件，所述絕緣性樹脂是硅樹脂。(13)根據(jù)上述(7)(12)中任一項(xiàng)記載的層疊型壓電元件，所述外部電極由在垂直于所述層疊體的側(cè)面的方向上層疊的多個(gè)層構(gòu)成，且外側(cè)層的熱膨脹系數(shù)比內(nèi)側(cè)層的熱膨脹系數(shù)大。(14)根據(jù)上述(13)中記載的層疊型壓電元件，所述多個(gè)層中與所述層疊體的側(cè)面相鄰的層，比其他層更向周邊側(cè)突出。(15)根據(jù)上述(13)或(14)中記載的層疊型壓電元件，所述分離部?jī)H僅由與所述層疊體的側(cè)面相鄰的層構(gòu)成。(16)根據(jù)上述(7)(15)中任一項(xiàng)記載的層疊型壓電元件，所述分離部投影到所述層疊體的側(cè)面上的長(zhǎng)度為10um以上。(17)根據(jù)上述(7)(16)中任一項(xiàng)記載的層疊型壓電元件，將所述外部電極與所述層疊體的側(cè)面相接觸的部分和所述分離部之間的邊界，與所述分離部的尖端連接起來的直線，與所述層疊體的側(cè)面所形成的角度為l度以上45度以下。(18)根據(jù)上述(7)(17)中任一項(xiàng)記載的層疊型壓電元件，所述分離部的尖端與所述層疊體的側(cè)面之間的距離，為1^m以上50"m以下。(19)根據(jù)上述(1)(18)中任一項(xiàng)記載的層疊型壓電元件，所述多孔質(zhì)金屬層，由在層疊方向上與該多孔質(zhì)金屬層相鄰的兩個(gè)壓電體層之間散布的多個(gè)部分金屬層構(gòu)成，這些部分金屬層彼此分離配置。(20)根據(jù)上述(19)中記載的層疊型壓電元件，在層疊方向上與所述多孔質(zhì)金屬層相鄰的兩側(cè)的金屬層是同極的。(21)根據(jù)上述(19)或(20)中記載的層疊型壓電元件，所述覆蓋部件的一部分進(jìn)入到相鄰的所述部分金屬層間。(22)根據(jù)上述(21)中記載的層疊型壓電元件，進(jìn)入到所述部分金屬層間的所述覆蓋部件的一部分，覆蓋了所述部分金屬層的表面。(23)根據(jù)上述(1)(22)中任一項(xiàng)記載的層疊型壓電元件，在層疊方向上與所述多孔質(zhì)金屬層相鄰的兩側(cè)的金屬層，是與在層疊方向上和該兩側(cè)的金屬層相鄰的金屬層相比，空隙較少的高密度金屬層。(24)根據(jù)上述(23)中記載的層疊型壓電元件，所述高密度金屬層的厚度，比在層疊方向上與這些高密度金屬層相鄰的金屬層的厚度大。(25)根據(jù)上述(1)(24)中任一項(xiàng)記載的層疊型壓電元件，所述層疊體具有多個(gè)所述多孔質(zhì)金屬層。(26)根據(jù)上述(25)中記載的層疊型壓電元件，所述覆蓋部件的一部分，分別進(jìn)入到設(shè)有所述多孔質(zhì)金屬層的各個(gè)壓電體層之間。(27)根據(jù)上述(25)中記載的層疊型壓電元件，所述多個(gè)多孔質(zhì)金屬層規(guī)則地設(shè)置在所述層疊體的層疊方向上，所述覆蓋部件的一部分，分別進(jìn)入到設(shè)有所述多孔質(zhì)金屬層的各個(gè)壓電體層之間。(28)根據(jù)上述(1)(27)中任一項(xiàng)記載的層疊型壓電元件，進(jìn)入到所述壓電體層間的所述覆蓋部件的一部分，其層疊方向的厚度t與進(jìn)入到所述壓電體層間的深度D之間，滿足D>0.1t的關(guān)系。(29)—種噴射裝置，具有設(shè)置了噴出孔的容器，與上述(1)(28)中任一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，通過所述層疊型壓電元件的驅(qū)動(dòng)，使得所述容器內(nèi)填充的液體從所述噴射孔噴出。(30)—種燃料噴射系統(tǒng)，具有存儲(chǔ)高壓燃料的公共管道；上述(29)中所述的噴射裝置，噴射該公共管道中所存儲(chǔ)的燃料；向所述公共管道提供高壓燃料的壓力泵；以及向所述噴射裝置提供驅(qū)動(dòng)信號(hào)的噴射控制單元。發(fā)明效果本發(fā)明的層疊型壓電元件，多個(gè)金屬層中的至少一個(gè)金屬層，是比在層疊方向上與該金屬層相鄰的兩側(cè)的金屬層空隙多的多孔質(zhì)金屬層，因此在元件的制造過程中，覆蓋部件的一部分能夠進(jìn)入到多孔質(zhì)金屬層的空隙中。通過像這樣讓覆蓋部件的一部分進(jìn)入到在層疊方向上與多孔質(zhì)金屬層相鄰的兩個(gè)壓電體層間，能夠提高覆蓋部件與層疊體的側(cè)面的接合強(qiáng)度。也即，由于覆蓋部件的一部分進(jìn)入到相鄰的兩個(gè)壓電體層間的一部分區(qū)域中，形成從層疊體的側(cè)面向?qū)盈B體中打入了樁子的構(gòu)造(錨固效果)。通過這樣，將覆蓋部件與層疊體牢固地接合起來，即使在高電場(chǎng)高壓力下長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)驅(qū)動(dòng)的情況下，也能夠防止覆蓋部件從層疊體的側(cè)面剝離。另外，驅(qū)動(dòng)時(shí)伸縮變形的層疊體與覆蓋部件之間所產(chǎn)生的應(yīng)力，被基于壓力的壓電體變形與基于空隙的應(yīng)力緩和效果所緩和，因此進(jìn)一步提高了覆蓋部件與層疊體的接合可靠性。進(jìn)而，覆蓋部件的一部分進(jìn)入到與設(shè)置有存在很多空隙的多孔質(zhì)金屬層的壓電體層間相同的壓電體層間，因此處于基于多孔質(zhì)金屬層的空隙的應(yīng)力緩和效果很容易作用到覆蓋部件的一部分上的狀態(tài)。其結(jié)果，覆蓋部件的一部分被有效地作用應(yīng)力緩和效果，驅(qū)動(dòng)時(shí)的應(yīng)力變得很難作用到覆蓋部件的一部分上，進(jìn)一步提高了進(jìn)入到壓電體層間的覆蓋部件的一部分與壓電體層之間的接合可靠性。通過這樣能夠得到持久性高的長(zhǎng)壽的層疊型壓電元件。在覆蓋部件是覆蓋層疊體的側(cè)面的被覆樹脂時(shí)，被覆樹脂與層疊體的側(cè)面被牢固地接合。通過這樣，即使在高溫、高濕、高電場(chǎng)、高壓力下被長(zhǎng)期連續(xù)驅(qū)動(dòng)的情況下，也能夠防止被覆樹脂從層疊體的側(cè)面剝離。其結(jié)果，能夠防止環(huán)境中的水蒸氣從剝離部分進(jìn)入，在元件表面產(chǎn)生銀遷移，金屬層間導(dǎo)通，層疊體的功能下降。在覆蓋部件是多個(gè)金屬層交互連接的一對(duì)外部電極時(shí)，能夠防止一部分金屬層與外部電極的連接中斷，因此能夠防止元件的變位特性降低。在覆蓋部件是覆蓋層疊體的側(cè)面的被覆樹脂，以及多個(gè)金屬層交互連接的一對(duì)外部電極時(shí)，能夠得到上述各個(gè)效果，同時(shí)，由于外部電極被牢固地接合在層疊體的側(cè)面上的被覆樹脂所覆蓋，因此進(jìn)一步提高了外部電極的接合強(qiáng)度。在外部電極含有導(dǎo)電性材料與玻璃材料，進(jìn)入到兩個(gè)壓電體層之間的外部電極的一部分中的玻璃材料的含有量，比該一部分以外的外部電極中的玻璃材料的含有量多的情況下，具有以下效果。即，在玻璃成分較多的部位中，與該玻璃成分相比，金屬成分更容易在壓電體層中擴(kuò)散固溶，因此提高了進(jìn)入到壓電體層間的外部電極的一部分區(qū)域和與其接觸的壓電體層之間的接合強(qiáng)度。結(jié)果由于該外部電極的一部分中的錨固效果增高，因此能夠進(jìn)一步提高外部電極的接合強(qiáng)度。外部電極由在垂直于層疊體的側(cè)面的方向上層疊的多個(gè)層構(gòu)成，這些多個(gè)層中與層疊體的側(cè)面相鄰的層中的玻璃材料的含有量，比其他層中的玻璃材料的含有量多時(shí)，由于玻璃成分容易進(jìn)入相鄰的壓電體層間，因此能夠進(jìn)一步提高外部電極與層疊體的側(cè)面的接合強(qiáng)度。另外，構(gòu)成外部電極的多個(gè)層中，外側(cè)的層中含有的玻璃成分，比位于層疊體的側(cè)面?zhèn)鹊膶又泻械牟ＡС煞稚?，由此能夠提高外部電極中通過焊接而接合的引線的接合強(qiáng)度。原因是一般來說焊錫對(duì)玻璃成分的浸潤(rùn)性較低。在外部電極的周邊部中，越到周邊側(cè)其厚度逐漸變薄，且形成有與層疊體的側(cè)面分離的分離部時(shí)，該分離部能夠吸收外部電極與層疊體的接合邊界部分中所產(chǎn)生的應(yīng)力，因此能夠抑制與外部電極相接合的層疊體中產(chǎn)生龜裂。在分離部與層疊體的側(cè)面之間存在空隙時(shí)，分離部能夠自由變形，因此能夠顯著降低外部電極與壓電體的接合邊界部中產(chǎn)生的應(yīng)力。在分離部與層疊體的側(cè)面之間的至少一部分中隔有絕緣性樹脂時(shí)，能夠防止外部電極的周邊部與內(nèi)部電極之間產(chǎn)生邊緣面放電，因此能夠防止絕緣性降低，確保高可靠性。另外，在絕緣性樹脂，隔在分離部與層疊體的側(cè)面之間的周邊側(cè)中，或者絕緣性樹脂，填充在分離部與層疊體的側(cè)面之間時(shí)，能夠防止外部電極的周邊部與內(nèi)部電極之間產(chǎn)生邊緣面放電。進(jìn)而，在絕緣性樹脂是硅樹脂時(shí)，能夠防止邊緣面放電，同時(shí)防止壓電體的變位，因此能夠得到不受壓電體的變位的影響的高可靠性。在外部電極由在垂直于層疊體的側(cè)面的方向上層疊的多個(gè)層構(gòu)成，且外側(cè)層的熱膨脹系數(shù)比內(nèi)側(cè)層的熱膨脹系數(shù)大時(shí)，或多個(gè)層中與層疊體的側(cè)面相鄰的層，比其他層更向周邊側(cè)突出時(shí)，能夠容易且有效地形成與層疊體的側(cè)面不接觸的分離部，有效地吸收外部電極與壓電體的接合邊界面中產(chǎn)生的應(yīng)力。另外，分離部?jī)H僅由與層疊體的側(cè)面相鄰的層構(gòu)成時(shí)，能夠更加有效地降低外部電極與壓電體的接合邊界部中產(chǎn)生的應(yīng)力。在分離部投影到層疊體的側(cè)面上的長(zhǎng)度為10iim以上時(shí)，將外部電極與層疊體的側(cè)面相接觸的部分和分離部之間的邊界，與分離部的尖端連接起來的直線，與層疊體的側(cè)面所形成的角度為1度以上45度以下時(shí)，或分離部的尖端與層疊體的側(cè)面之間的距離，為1ym以上50ixm以下時(shí)，能夠最有效地降低外部電極與壓電體的接合邊界部中產(chǎn)生的應(yīng)力。在多孔質(zhì)金屬層，由在層疊方向上與該多孔質(zhì)金屬層相鄰的兩個(gè)壓電體層之間散布的多個(gè)部分金屬層構(gòu)成，這些部分金屬層彼此分離配置時(shí)，覆蓋部件容易進(jìn)入到散布的部分金屬層間，能夠提高錨固效果，因此能夠進(jìn)一步提高覆蓋部件與層疊體的側(cè)面之間的接合強(qiáng)度。在層疊方向上與多孔質(zhì)金屬層相鄰的兩側(cè)的金屬層是同極的時(shí)，驅(qū)動(dòng)壓電元件時(shí)，與多孔質(zhì)金屬層相鄰的2個(gè)壓電體層不會(huì)變位。通過這樣，防止了應(yīng)力集中在多孔質(zhì)金屬層中，能夠提供持久性優(yōu)秀的層疊型壓電元件。另外，本方案中的該多孔質(zhì)金屬層，由處于彼此分離狀態(tài)的散布的多個(gè)部分金屬層構(gòu)成，因此不會(huì)作為內(nèi)部電極起作用。在覆蓋部件的一部分進(jìn)入到相鄰的部分金屬層間時(shí)，得到了更高的錨固效果，因此能夠顯著提高覆蓋部件與層疊體的側(cè)面的接合強(qiáng)度。另外，在進(jìn)入到部分金屬層間的覆蓋部件的一部分，覆蓋了部分金屬層的表面時(shí)，由于部分金屬層的表面與覆蓋部件的一部分之間的接觸面積增加，因此能夠進(jìn)一步提高外部電極的接合強(qiáng)度。在層疊方向上與多孔質(zhì)金屬層相鄰的兩側(cè)的金屬層，是與在層疊方向上和該兩側(cè)的金屬層相鄰的金屬層相比，空隙較少的高密度金屬層時(shí)，由于該高密度金屬層的端部與覆蓋部件之間的接觸面積增大，因此提高了其接合強(qiáng)度。特別是在覆蓋部件是外部電極時(shí)，由于高密度金屬層的端部與覆蓋部件之間很容易發(fā)生導(dǎo)電性材料的擴(kuò)散。這樣，通過基于該擴(kuò)散的接合(擴(kuò)散接合)能夠提高外部電極的接合強(qiáng)度。也即，設(shè)有多孔質(zhì)金屬層的壓電體層間，覆蓋部件的一部分進(jìn)入而得到錨固效果，與該多孔質(zhì)金屬層相鄰的兩側(cè)的金屬層與外部電極之間，實(shí)現(xiàn)了基于擴(kuò)散接合的接合強(qiáng)度的提高。如果為了提高外部電極與層疊體的側(cè)面之間的接合強(qiáng)度而過度地配置多孔質(zhì)金屬層，則有時(shí)元件的強(qiáng)度會(huì)降低，但通過如上將基于多孔質(zhì)金屬層的錨固效果與基于高密度金屬層的擴(kuò)散接合效果組合起來，就能夠在提高外部電極的接合強(qiáng)度的同時(shí)，抑制元件整體的強(qiáng)度降低。進(jìn)而，在高密度金屬層的厚度，比在層疊方向上與這些高密度金屬層相鄰的金屬層的厚度大時(shí)，能夠進(jìn)一步提高上述接合面積的增大效果與擴(kuò)散接合的促進(jìn)效果，因此能夠提高覆蓋部件，特別是外部電極的接合強(qiáng)度。在層疊體具有多個(gè)多孔質(zhì)金屬層時(shí)，這些多孔質(zhì)金屬層能夠緩和元件的變位時(shí)所產(chǎn)生的應(yīng)力，因此元件的持久性進(jìn)一步提高。另外，在覆蓋部件的一部分，分別進(jìn)入到設(shè)有多孔質(zhì)金屬層的各個(gè)壓電體層之間時(shí)，覆蓋部件的接合強(qiáng)度進(jìn)一步提高。在多個(gè)多孔質(zhì)金屬層規(guī)則地設(shè)置在層疊體的層疊方向上，覆蓋部件的一部分，分別進(jìn)入到設(shè)有多孔質(zhì)金屬層的各個(gè)壓電體層之間時(shí)，由于覆蓋部件對(duì)層疊體的側(cè)面的接合強(qiáng)度在層疊方向的整個(gè)區(qū)域中大致均勻地提高，因此元件的持久性最佳。在進(jìn)入到壓電體層間的覆蓋部件的一部分，其層疊方向的厚度t與進(jìn)入到壓電體層間的深度D之間，滿足DX).lt的關(guān)系時(shí)，基于進(jìn)入到壓電體層間的覆蓋部件的一部分的錨固效果提高。也即，深度D越大，插入部與壓電體層之間的接觸面積越大，因此相應(yīng)地錨固效果提高。本發(fā)明的噴射裝置，在設(shè)置了噴出孔的存放容易內(nèi)部存放有上述層疊型壓電元件，因此在高電場(chǎng)、高壓力下連續(xù)使用，也能夠發(fā)揮出優(yōu)秀的持久性。圖1為表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的層疊型壓電元件的立體圖。圖2為圖1中的A—A線剖面圖(在垂直于金屬層的方向上切斷而得到的剖面圖)。圖3為第1實(shí)施方式中的外部電極與層疊體的側(cè)面之間的接合部分的放大剖面圖。圖4為表示第2實(shí)施方式的層疊型壓電元件的剖面圖(在垂直于金屬層的方向上切斷而得到的剖面圖)。圖5為第2實(shí)施方式中的外部電極與層疊體的側(cè)面之間的接合部分的放大剖面圖。圖6為放大了第2實(shí)施方式的層疊型壓電元件中的金屬層及其附近的放大剖面圖。圖7為放大了第2實(shí)施方式中的多孔質(zhì)金屬層及其附近的放大剖面圖。圖8為表示第3實(shí)施方式的層疊型壓電元件的剖面圖(在垂直于金屬層的方向上切斷而得到的剖面圖)。圖9為表示第4實(shí)施方式的層疊型壓電元件的剖面圖(在垂直于金屬層的方向上切斷而得到的剖面圖)。圖10為第4實(shí)施方式中的外部電極與層疊體的側(cè)面之間的接合部分的放大剖面圖。圖11為表示第5實(shí)施方式的層疊型壓電元件的放大剖面圖。圖12為表示本發(fā)明的另一實(shí)施方式的層疊型壓電元件的剖面圖。圖13為表示第6實(shí)施方式的層疊型壓電元件中，覆蓋被覆樹脂(覆蓋部件)之前的狀態(tài)的立體圖。圖14為表示覆蓋了被覆樹脂的第6實(shí)施方式的相關(guān)層疊型壓電元件的立體圖。圖15為圖14中的A—A線剖面圖。圖16為第6實(shí)施方式中的層疊型壓電元件中被覆樹脂與層疊體的側(cè)面之間的接合部分的放大剖面圖。圖17為第6實(shí)施方式的層疊型壓電元件中，在金屬層與壓電體層之間的界面處切斷了時(shí)的剖面圖。圖18為表示第7實(shí)施方式的層疊型壓電元件的剖面圖。圖19為第7實(shí)施方式中的被覆樹脂21與層疊體10的側(cè)面之間的接合部分的放大剖面圖。圖20為第7實(shí)施方式的層疊型壓電元件中，在金屬層與壓電體層之間的界面處切斷了時(shí)的剖面圖。圖21為放大了第7實(shí)施方式的層疊型壓電元件中的金屬層及其附近的放大剖面圖。圖22為表示第7實(shí)施方式的壓電體層上的部分金屬層的排列狀態(tài)的立體圖。圖23為表示第8實(shí)施方式的層疊型壓電元件的立體圖。圖24為表示圖23中的壓電體層與外部電極之間的接合狀態(tài)之一例的放大剖面圖。圖25為表示圖23中的壓電體層與外部電極之間的接合狀態(tài)之另一例的放大剖面圖。圖26為表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的噴射裝置的剖面圖。圖27為表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的燃料噴射系統(tǒng)的概要圖。圖28為表示以前的層疊型壓電元件的立體圖。圖29為表示以前的層疊型壓電元件中的層疊體的側(cè)面與外部電極之間的接合部分的放大剖面圖。圖30為以前的層疊型壓電元件中的在包括金屬層(內(nèi)部電極層)的平面進(jìn)行了切斷時(shí)的剖面圖。圖中1…壓電體，2…金屬層，2a…金屬層，2a，…多孔質(zhì)金屬層，2b…金屬層，2c…部分金屬層，2d…空隙，2e…高密度金屬層，4…外部電極，4a…插入部，4b、4c、4d、4e…構(gòu)成外部電極的多個(gè)層，6…引線，9…非活性層，10…層疊體，31…存放容器，33…噴射孔，35…閥，37…燃料通道，39…氣缸，41…活塞，43…壓電調(diào)節(jié)器。具體實(shí)施例方式<層疊型壓電元件>(第1實(shí)施方式)下面對(duì)照附圖對(duì)本發(fā)明的一實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。圖1為表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的相關(guān)層疊型壓電元件的立體圖。圖2為圖1中的A—A線剖面圖。圖3為本實(shí)施方式的外部電極4與層疊體10的側(cè)面之間的接合部分的放大剖面圖。如圖1及圖2所示，本實(shí)施方式的相關(guān)層疊型壓電元件，具有交互層疊了多個(gè)壓電體層1與多個(gè)金屬層2的層疊體10，在該層疊體10的相對(duì)的側(cè)面中，接合有每隔一層與金屬層2的端部電導(dǎo)通的一對(duì)外部電極(覆蓋部件)4、4'。外部電極4，4'中，通過焊錫等分別固定有引線6。這些引線6能夠與外部的電壓供給部(未圖示)相連接。通過這樣，能夠?qū)Ω鱾€(gè)金屬層2，分別提供為了讓壓電體層l因逆壓電效應(yīng)而變位所必要的給定電壓。壓電體層1之間所設(shè)置的金屬層2由銀一鈀等金屬材料形成。如果通過引線6給各個(gè)壓電體層1加載給定的電壓，壓電體層1中便產(chǎn)生基于逆壓電效應(yīng)的變位。另外，在層疊體10的層疊方向的兩端部，分別設(shè)置有多個(gè)壓電體層所構(gòu)成的非活性層9，該非活性層9的一方端部側(cè)沒有設(shè)置金屬層2，因此即使加載電壓也不會(huì)發(fā)生變位。如圖2及圖3所示，本實(shí)施方式的層疊型壓電元件的特征在于，在相鄰的兩個(gè)壓電體層1間的一部分區(qū)域中，形成有使外部電極4(或外部電極4，)的一部分進(jìn)入的插入部4a。具體的說，插入部4a形成在相鄰的兩個(gè)壓電體層1間的區(qū)域，且是金屬層2a的側(cè)端部E與層疊體10的側(cè)面S之間的區(qū)域中。該區(qū)域不但形成在圖3所示的外部電極4側(cè)，還形成在外部電極4'側(cè)。作為外部電極4的一部分的插入部4a，與層疊體10的側(cè)面S相接合的外部電極4的本體連接。通過像這樣事先使得插入部4a侵入到壓電體層1間的一部分區(qū)域中，形成從層疊體10的側(cè)面S向?qū)盈B體10中打入了樁子的構(gòu)造，通過所謂的錨固的效果，大幅提高了外部電極4與層疊體10之間的接合強(qiáng)度。通過這樣，即使在高電場(chǎng)、高壓力下對(duì)層疊型壓電元件進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間驅(qū)動(dòng)的情況下，也能夠防止外部電極4從層疊體10的側(cè)面S剝離，因此能夠防止因一部分金屬層2與外部電極4之間斷路，而不再給一部分壓電體層1提供電壓這種故障，防止驅(qū)動(dòng)中變位特性降低。另外，因?qū)盈B體驅(qū)動(dòng)時(shí)伸縮變形而產(chǎn)生的層疊體與覆蓋部件之間的界面中的應(yīng)力，經(jīng)使得外部電極4(或外部電極4')的一部分進(jìn)入的插入部4a，傳播給壓電體層l。對(duì)應(yīng)于該被傳播的應(yīng)力，與插入部相接的壓電體的結(jié)晶構(gòu)造發(fā)生變化，應(yīng)力被吸收。特別是，在插入部由主要成分是金屬的外部電極的一部分構(gòu)成時(shí)，能夠得到金屬自身變形而緩和應(yīng)力的效果，同時(shí)，由于插入部4a對(duì)與其相接觸的壓電體的壓力較大，因此很容易產(chǎn)生壓電體的結(jié)晶構(gòu)造變化。進(jìn)而，壓電體層l與空隙相接觸的部分中，沒有被加載電壓，起到了根據(jù)應(yīng)力壓電體能夠變形的空間的功能。因此，能夠產(chǎn)生新的緩和功能，即因結(jié)晶構(gòu)造變化而新產(chǎn)生的壓電體內(nèi)的應(yīng)力，能夠被與空隙相接的部分所緩和。進(jìn)而，通過使插入部4a的尖端分叉侵入到多孔質(zhì)金屬層的部分金屬層間，能夠提高分散應(yīng)力的效果，從而能夠進(jìn)一步提高應(yīng)力緩和效果。通過這樣，能夠得到一種覆蓋部件與層疊體之間的接合的可靠性進(jìn)一步被提高，且持久性較高的長(zhǎng)壽的層疊型壓電元件。插入部4a進(jìn)入到金屬層2a的側(cè)端部E與層疊體10的側(cè)面S之間的區(qū)域的深度D，相對(duì)于插入部4a的厚度t，最好滿足D〉0.U的關(guān)系。特別是，從提高接合強(qiáng)度這一點(diǎn)出發(fā)，深度D最好為lum以上，更加優(yōu)選5um以上。在深度D為l"m以上的情況下，能夠得到足夠的錨固效果，得到外部電極4與層疊體10的側(cè)面S之間的足夠的接合強(qiáng)度。另外，本實(shí)施方式中，外部電極4的一部分作為插入部4a'進(jìn)入'到壓電體層l，l之間，并不意味著外部電極4的一部分以層疊體10的側(cè)面的表面粗糙度的程度的凹凸進(jìn)入，而是意味著外部電極4的一部分進(jìn)入到壓電體層1，1間的空隙中。進(jìn)而，優(yōu)選插入部4a在層疊體10的層疊方向設(shè)有多個(gè)，更加優(yōu)選插入部4a在層疊體10的層疊方向規(guī)則地設(shè)置。通過像這樣在層疊方向規(guī)則地設(shè)置外部電極4的一部分進(jìn)入的插入部4a，能夠使得外部電極4在層疊體10的層疊方向的整個(gè)區(qū)域中大致均勻且牢固地接合。多個(gè)插入部4a,優(yōu)選以層疊體10中的金屬層2的整個(gè)層數(shù)的1/2以下的層數(shù)為單位，更加優(yōu)選以整個(gè)層數(shù)的1/8以下的層數(shù)為單位，進(jìn)一步優(yōu)選以整個(gè)層數(shù)的1/15以下的層數(shù)為單位分別設(shè)置。假如插入部4a的設(shè)置周期是以超過金屬層2的總層數(shù)的1/2的層數(shù)為單位的，則由于插入部4a的數(shù)目較少，而有可能導(dǎo)致外部電極4的接合強(qiáng)度在層疊方向的整個(gè)區(qū)域中變得不均勻。這里，插入部4a'規(guī)則地設(shè)置'這一概念，當(dāng)然包括多個(gè)插入部4a的設(shè)置間隔都相同的情況，此外還包括以能夠在層疊體10的側(cè)面S中，在層疊方向的整個(gè)區(qū)域中大致均勻且牢固地接合外部電極4的這種程度，使得各個(gè)插入部4a的設(shè)置間隔近似的情況。具體的說，插入部4a的設(shè)置間隔，相對(duì)于各個(gè)插入部4a的設(shè)置間隔的平均值最好在土20%的范圍內(nèi)，優(yōu)選在±5%的范圍內(nèi)，更加優(yōu)選各個(gè)設(shè)置間隔均一致。作為規(guī)則地設(shè)置插入部4a的方法，可以列舉出例如以給定的層數(shù)(例如每20層等)為單位設(shè)置插入部4a的方法。且這種情況下，在金屬層2的總層數(shù)除以上述給定的層數(shù)除不盡的情況下，在層疊體10的兩端附近插入部4a的設(shè)置可以不按照上述以每給定層數(shù)為單位的規(guī)則。另外，希望插入部4a在形成有正極側(cè)外部電極4與負(fù)極側(cè)外部電極4的層疊體10的側(cè)面中，正極側(cè)與負(fù)極側(cè)交互配置。通過這樣，正極側(cè)的外部電極4與負(fù)極側(cè)的外部電極4的一部分均等地進(jìn)入到壓電體層1之間，能夠使得兩側(cè)的外部電極4與層疊體IO牢固、平衡性良好地接合。特別是，如果只重視性能方面，則最好在所有的壓電體層1之間設(shè)置插入部。這種情況下，由于能夠使得外部電極4在層疊方向的整個(gè)區(qū)域中相對(duì)層疊體10的側(cè)面更加牢固地接合，因此即使在以高電場(chǎng)連續(xù)高速驅(qū)動(dòng)的情況下，外部電極4也不會(huì)從層疊體10的側(cè)面剝離，能夠更加可靠地防止驅(qū)動(dòng)中的變位量下降。另外，通過不是在所有的壓電體層之間，而是如上所述規(guī)則地設(shè)置插入部4a，能夠平衡地兼顧性能方面與制造成本方面。另外，本實(shí)施方式的層疊型壓電元件中，形成有插入部4a的壓電體層1之間所設(shè)置的金屬層2a，其主成份最好是從元素周期表的第811族金屬中選出的至少一種。通過如上設(shè)置金屬層2a的主成份，能夠同時(shí)對(duì)壓電體層1與金屬層2進(jìn)行煅燒，牢固地接合壓電體層1與金屬層2a的接合界面。另外，即使在壓電元件變位而給金屬層2a施加了壓力的情況下，由于金屬層2a自身由伸縮容易的上述金屬構(gòu)成，因此應(yīng)力不會(huì)集中在一點(diǎn)，從而能夠提供一種持久性優(yōu)異的層疊型壓電元件。特別是構(gòu)成金屬層2a的金屬成分，優(yōu)選是由從元素周期表第810族金屬Ni、Pt、Pd、Rh、Ir、Ru及Os中選出的至少一種以上，與從元素周期表第11族金屬Cu、Ag、及Au中選出的至少一種以上所構(gòu)成的合金。這是近年來合金粉末合成技術(shù)中量產(chǎn)性優(yōu)秀的金屬組成。另外，構(gòu)成金屬層2a的金屬成分也可以是周期表第11族金屬單體。進(jìn)而，優(yōu)選金屬層2其主成份是周期表第11族金屬，形成有插入部4a的壓電元件1之間所配置的金屬層2a，與該金屬層2a以外的其他金屬層2b相比，周期表第ll族金屬的比率R被設(shè)定的較高。通過像這樣設(shè)置楊氏模量較低的銅、銀、金等周期表第11族金屬的比率R，能夠相對(duì)降低金屬層2a的楊氏模量。通過這樣，金屬層2a能夠有效地吸收因驅(qū)動(dòng)時(shí)層疊體10的伸縮而產(chǎn)生的變形，降低與層疊體10的側(cè)面牢固地接合的外部電極4中，發(fā)生因?qū)盈B體10的伸縮而產(chǎn)生的應(yīng)力。因此，即使在高電場(chǎng)、高壓力下長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)驅(qū)動(dòng)，也能夠防止外部電極4的一部分從層疊體IO的側(cè)面S剝離，外部電極4斷線。另外，通過讓金屬層2與外部電極4的主成份相同，在將成為外部電極4的導(dǎo)電性料漿涂覆到層疊體10的側(cè)面并進(jìn)行過焙燒時(shí)，外部電極4與金屬層2a的接合部中相同的主成份互相擴(kuò)散，通過所謂的擴(kuò)散接合將外部電極4與金屬層2a牢固地接合起來。在像這樣外部電極4與金屬層2a擴(kuò)散接合的情況下，形成外部電極4與金屬層2a相溶的相溶區(qū)域。這種情況下，前述'金屬層2a的側(cè)端部E'，表示相溶區(qū)域與僅僅是金屬層2a的區(qū)域之間的邊界部分。壓電體層1例如通過以鈦酸鋯酸鉛Pb(Zr、Ti)03(以下簡(jiǎn)稱作PZT)，或以鈦酸鋇BaTi03為主成份的壓電陶瓷材料等形成。該壓電陶瓷優(yōu)選表示其壓電特性的壓電形變常數(shù)d33較高者。另外，壓電體層1的厚度，也即金屬層2間的距離最好為40250ym。通過這樣，即使為了給層疊型壓電元件作用電壓得到較大的變位量，而增加層疊數(shù)，也能夠?qū)崿F(xiàn)層疊型壓電元件調(diào)節(jié)器的小型化、低高度化，同時(shí)防止壓電體層1的絕緣破壞。(第2實(shí)施方式)圖4為表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式的相關(guān)層疊型壓電元件的剖面圖。圖5為第2實(shí)施方式中的外部電極4與層疊體10的側(cè)面S之間的接合部分的放大剖面圖。如圖4及圖5所示，第2實(shí)施方式的相關(guān)層疊型壓電元件中，多個(gè)金屬層2中的幾個(gè)金屬層2a'，與和該金屬層2a'相鄰的兩側(cè)的金屬層2b相比，空隙2d較多。為了比較空隙2d的多少，例如可以測(cè)定各個(gè)金屬層的空隙率。本實(shí)施方式中，金屬層2a'與和該金屬層2a'相鄰的兩側(cè)的金屬層2b相比，空隙率較高。以下有時(shí)將金屬層2a'稱作"多孔質(zhì)金屬層2a'"。圖6為放大了第2實(shí)施方式中的多孔質(zhì)金屬層2a'及其附近的放大剖面圖。如圖6所示，該層疊型壓電元件中，多孔質(zhì)金屬層2a'由散布在壓電體層1之間的多個(gè)部分金屬層2c(呈島狀分布的多個(gè)部分金屬層)與空隙2d構(gòu)成。另外，設(shè)有該多孔質(zhì)金屬層2a'的壓電體層l之間，形成有使得外部電極4的一部分進(jìn)入的插入部4a。多孔質(zhì)金屬層2a，具有比相鄰兩側(cè)的金屬層2b多的空隙2d，由此，外部電極4的成分能夠較深地侵入到空隙2d多的金屬層2a'中，從而能夠更加有效地提高外部電極4與層疊體IO的接合強(qiáng)度。也即，在將成為外部電極4的導(dǎo)電料漿涂敷在層疊體10的側(cè)面S并進(jìn)行過焙燒時(shí)，在該導(dǎo)電型料漿軟化的溫度以上，導(dǎo)電型料漿通過毛細(xì)管現(xiàn)象侵入到島狀分布的金屬層2c中。結(jié)果能夠形成外部電極4有效地侵入到了金屬層2a中的層疊型壓電元件。通過這樣，外部電極4能夠牢固地接合在層疊體10的側(cè)面，即使在高電場(chǎng)、高發(fā)生力下被高速、長(zhǎng)時(shí)間驅(qū)動(dòng)的情況下，也能夠防止產(chǎn)生外部電極4的一部分從層疊體10的側(cè)面剝離的這種問題。另外，本實(shí)施方式中，萬一驅(qū)動(dòng)電路中流通異常的大電流，發(fā)生了外部電極4從層疊體20的側(cè)面S剝離的狀況的情況下，也具有以下優(yōu)點(diǎn)。也即，在外部電極4通過錨固效果進(jìn)入到了細(xì)密的金屬層中的情況下，外部電極4的一部分被從層疊體10的側(cè)面S剝離時(shí)，與外部電極4緊密接合的細(xì)密的金屬層有可能也會(huì)同時(shí)從層疊體10的內(nèi)部被剝離。因此，被剝離時(shí)的應(yīng)力有時(shí)會(huì)導(dǎo)致壓電體層1中產(chǎn)生裂縫。另外，本實(shí)施方式中，使得外部電極4的一部分侵入到空隙2d較多的金屬層2a'中，即使萬一產(chǎn)生了上述的驅(qū)動(dòng)電路的異常從而流通了大電流的情況下，在外部電極4的一部分進(jìn)入的金屬層2a'的部分中，也只是外部電極4的樁子被拔出，外部電極4的一部分從層疊體10的側(cè)面剝離，因此不會(huì)給層疊型壓電元件整體帶來影響。這里，為了讓外部電極4的一部分有效地進(jìn)入到壓電體層1之間，該金屬層2a，的空隙率最好為1095%，更加優(yōu)選為4090%。在空隙率為10%以上的情況下，由于外部電極4的一部分能夠有效地進(jìn)入，因此外部電極4與層疊體10的側(cè)面S的接合能夠得到足夠的強(qiáng)度。另外，在空隙率為95%以下的情況下，能夠防止金屬層2a'與設(shè)置在其兩側(cè)的壓電體層1之間的接合強(qiáng)度減弱，從而不會(huì)發(fā)生煅燒時(shí)的剝離等故障。另外，散布在金屬層2a中的部分金屬層2c的大小(垂直于層疊方向的方向上的寬度)，最好為l100ym。在部分金屬層2c的大小為lum以上的情況下，由于該多孔質(zhì)金屬層2a'的厚度不會(huì)過于薄，因此外部電極4的一部分能夠有效地侵入到該金屬層2a中。另外，在部分金屬層2c的大小為100ym以下的情況下，層疊體IO的伸縮所產(chǎn)生的應(yīng)力能夠被該多孔質(zhì)金屬層2a，分散并吸收，抑制了應(yīng)力集中于部分金屬層2c，能夠防止壓電體層1中產(chǎn)生龜裂。也即，通過將散布在多孔質(zhì)金屬層2a'中的部分金屬層2c的大小設(shè)為1100nm，能夠讓外部電極的一部分進(jìn)入到多孔質(zhì)金屬層2a，中，且多孔質(zhì)金屬層2a'能夠分散并吸收因?qū)盈B體10的伸縮而產(chǎn)生的應(yīng)力。更加優(yōu)選散布在多孔質(zhì)金屬層2a，中的部分金屬層2c的大小為350um。另夕卜，多孔質(zhì)金屬層2a'的形狀可以為大致球形，也可以是其他形狀。另外，在多孔質(zhì)金屬層2a'中散布有多個(gè)部分金屬層2c的情況下，也可以不電導(dǎo)通，不起到電極的功能。這種情況下，該金屬層2a'可以相對(duì)于壓電體層l部分形成(所謂的部分電極構(gòu)造)，也可以形成在壓電體層1的整個(gè)面上。在比較金屬層2a'與金屬層2b之間的空隙的多少時(shí)，例如使用掃描型電子顯微鏡(SEM)、金屬顯微鏡、光學(xué)顯微鏡等，觀察金屬層2a'的剖面以及金屬層2b的剖面(平行于層疊方向的剖面或垂直于層疊方向的剖面)得到剖面圖像，并評(píng)價(jià)該剖面圖像。該剖面圖像中，在金屬層2a'與金屬層2b的空隙的多少能夠明顯辨認(rèn)到差時(shí)，可以通過肉眼觀察來比較。另外，在通過肉眼觀察無法判斷金屬層2a'與金屬層2b的空隙的多少時(shí)，可以通過以下的方法來分別測(cè)定并比較空隙率。金屬層的空隙率，表示在層疊體10的剖面(垂直或平行于層疊方向的剖面)中，空隙面積相對(duì)于金屬層整體的面積所占據(jù)的比率(％)。測(cè)定空隙率的方法大體上可以分為以下兩種。第1方法是對(duì)通過平行于層疊方向的面切開層疊體10時(shí)的剖面進(jìn)行觀察的方法，第2方法是對(duì)通過垂直于層疊方向的面切開層疊體10時(shí)的剖面進(jìn)行觀察的方法。通過第1方法測(cè)定空隙率時(shí)，例如可以如下來進(jìn)行，首先，通過使用公知的研磨裝置對(duì)層疊體10進(jìn)行研磨處理，使得平行于層疊方向的剖面露出來。具體的說，例如使用KemetJapan(股份公司)生產(chǎn)的桌面研磨機(jī)KEMET-V-300作為研磨裝置，通過金剛石研磨膏進(jìn)行研磨。例如用掃描型電子顯微鏡(SEM)、金屬顯微鏡、光學(xué)顯微鏡等，對(duì)通過該研磨處理而露出的剖面進(jìn)行觀察得到剖面圖像，并對(duì)該剖面圖像進(jìn)行圖像處理，通過這樣能夠測(cè)定金屬層2a'的空隙率與金屬層2b的空隙率。如果舉出具體例子，則對(duì)于通過光學(xué)顯微鏡所拍攝的金屬層2a'或金屬層2b的圖像，將空隙部分涂成黑色，將空隙以外的部分涂成白色，求出黑色部分的比率，即(黑色部分的面積)/(黑色部分的面積+白色部分的面積)，并通過百分比來表示，由此能夠計(jì)算出空隙率。例如，在剖面圖像為彩色的情況下，變換成灰度級(jí)(grayscale)，分成黑色部分與白色部分。此時(shí)，在需要設(shè)定用來對(duì)黑色部分與白色部分進(jìn)行2灰度化的邊界閾值時(shí)，可以通過圖像處理軟件或肉眼觀察來設(shè)定邊界的閾值，并進(jìn)行2值化。另外，通過第2方法測(cè)定空隙率時(shí)，例如可以如下來進(jìn)行。首先，通過使用公知的研磨裝置對(duì)層疊體10的層疊方向進(jìn)行研磨，直到希望測(cè)定空隙率的金屬層2a'或金屬層2b的剖面(垂直于層疊方向的剖面)露出來。具體的說，例如使用KemetJapan(股份公司)生產(chǎn)的桌面研磨機(jī)KEMET-V-300作為研磨裝置，通過金剛石研磨膏進(jìn)行研磨。例如用掃描型電子顯微鏡(SEM)、金屬顯微鏡、光學(xué)顯微鏡等，對(duì)通過該研磨處理而露出的剖面進(jìn)行觀察得到剖面圖像，并對(duì)該剖面圖像進(jìn)行圖像處理，通過這樣能夠測(cè)定金屬層2a'的空隙率與金屬層2b的空隙率。具體而言，則對(duì)于通過光學(xué)顯微鏡所拍攝的金屬層2a'或金屬層2b的圖像，將空隙部分涂成黑色，將空隙以外的部分涂成白色，求出黑色部分的比率，即(黑色部分的面積)/(黑色部分的面積+白色部分的面積)，并通過百分比來表示，由此能夠計(jì)算出空隙率。例如，在剖面圖像為彩色的情況下，變換成灰度級(jí)，分成黑色部分與白色部分。此時(shí)，在需要設(shè)定用來對(duì)黑色部分與白色部分進(jìn)行2灰度化的邊界閾值時(shí)，可以通過圖像處理軟件或肉眼觀察來設(shè)定邊界的閾值，并進(jìn)行2值化。另外，在觀察金屬層2a'或金屬層2b的剖面時(shí)，優(yōu)選研磨到其厚度的約1/2的位置處，對(duì)通過這樣所露出來的剖面進(jìn)行觀察。但在金屬層2a，的厚度或金屬層2b的厚度較薄，且厚度的偏差較大的情況下，有時(shí)會(huì)無法通過研磨處理使得金屬層2a'的剖面整體或金屬層2b的剖面整體露出來。這種情況下，可以在研磨處理到金屬層2a，或金屬層2b的一部分露出來時(shí)，觀察該露出部分并得到剖面圖像之后，進(jìn)一步推進(jìn)研磨，對(duì)除了已觀察過的部分之外的其他部分進(jìn)行觀察，多次重復(fù)以上操作。只要能夠?qū)⑦@樣多次操作所得到的觀察圖像合起來，對(duì)金屬層2a，或金屬層2b的剖面整體進(jìn)行觀察即可。第2實(shí)施方式中，如圖7所示，進(jìn)入到多個(gè)部分金屬層2c間的外部電極4的一部分即插入部4a，最好覆蓋部分金屬層2c的表面。通過像這樣覆蓋部分金屬層2c的表面，插入部4a與部分金屬層2c的接觸面積增加，因此外部電極4與層疊體10的側(cè)面S之間的接合強(qiáng)度進(jìn)一步提高。(第3實(shí)施方式)圖8是表示本發(fā)明的第3實(shí)施方式的相關(guān)層疊型壓電元件的剖面圖。如圖8所示，該元件中的層疊體10的側(cè)面S中，形成有一對(duì)外部電極4，4'，兩個(gè)壓電體層l間的一部分區(qū)域中，形成有使一方的外部電極4的一部分進(jìn)入的插入部4a，在與此相同的壓電體層1間的另一部分區(qū)域中，形成有使另一方的外部電極4'的一部分進(jìn)入的插入部4a'。通過這樣，能夠防止兩方的外部電極從層疊體的側(cè)面剝離，因此能夠進(jìn)一步提高元件的持久性。并且，與使一方的外部電極的一部分進(jìn)入的壓電體層間與使另一方的外部電極的一部分進(jìn)入的壓電體層間不同的情況相比，在同一個(gè)壓電體層間形成兩個(gè)插入部時(shí)，能夠降低插入部的形成所必需的制造成本，因此能夠低價(jià)地制造持久性優(yōu)秀的元件。(第4實(shí)施方式)圖9為表示本發(fā)明的第4實(shí)施方式的相關(guān)層疊型壓電元件的剖面圖。圖10為本實(shí)施方式中的外部電極4與層疊體10的側(cè)面S之間的接合部分的放大剖面圖。如圖9及圖IO所示，本實(shí)施方式的元件中，多孔質(zhì)金屬層2a'的層疊方向兩側(cè)的金屬層2e，2e，比在層疊方向上與這些金屬層2e相鄰的金屬層(多孔質(zhì)金屬層2a'及金屬層2b)的空隙少。以下有時(shí)將金屬層2e稱作高密度金屬層2e。為了在高密度金屬層2e、多孔質(zhì)金屬層2a，及金屬層2b之間，比較空隙的多少，例如可以測(cè)定空隙率。空隙率的測(cè)定方法與上述相同。本實(shí)施方式中，高密度金屬層2e，2e，比在層疊方向上與這些金屬層2e，2e相鄰的金屬層2a'，2b的空隙率低。通過像這樣將高密度金屬層2e形成得比其他金屬層2a，，2b的空隙率低，由于該高密度金屬層的端部與外部電極之間的接合面積增加，因此在其間很容易發(fā)生導(dǎo)電性材料的擴(kuò)散。這樣，通過基于該擴(kuò)散的接合(擴(kuò)散接合)能夠提高外部電極的接合強(qiáng)度。也即，設(shè)有多孔質(zhì)金屬層的壓電體層間，形成有插入部而得到錨固效果，與該多孔質(zhì)金屬層相鄰的兩側(cè)的金屬層與外部電極之間，實(shí)現(xiàn)了基于擴(kuò)散接合的接合強(qiáng)度的提高。如果為了提高外部電極與層疊體的側(cè)面之間的接合強(qiáng)度而過度地配置多孔質(zhì)金屬層，則有時(shí)元件的強(qiáng)度會(huì)降低，但通過如上將基于多孔質(zhì)金屬層的錨固效果與基于高密度金屬層的擴(kuò)散接合效果組合起來，就能夠在提高外部電極的接合強(qiáng)度的同時(shí)，抑制元件整體的強(qiáng)度降低。具體而言，金屬層2e的空隙率可以為金屬層2b的空隙率的95%以下，優(yōu)選90%以下。另外，本實(shí)施方式中的高密度金屬層2e，2e，形成為與在層疊方向上與這些金屬層2e相鄰的金屬層2a'，2b相比，厚度較大。這樣，由于金屬層2e比其他的金屬層2a，，2b的厚度大，因此該高密度金屬層2e的端部與外部電極之間，導(dǎo)電性材料的擴(kuò)散很容易發(fā)生，通過基于該擴(kuò)散的接合(擴(kuò)散接合)，能夠提高外部電極的接合強(qiáng)度。具體而言，金屬層2e的厚度最好為金屬層2b的厚度的105%以上，優(yōu)選為110%以上。(第5實(shí)施方式)圖11是表示本發(fā)明的第5實(shí)施方式的層疊型壓電元件的剖面圖。如圖11所示，本實(shí)施方式中的外部電極4，由在垂直于層疊體10的側(cè)面S的方向上層疊的多個(gè)層4b、4c、4d、4e構(gòu)成。該實(shí)施方式中，外部電極4含有導(dǎo)電性材料與玻璃材料，在插入部4a中的玻璃材料的含有量比插入部以外的其他部位(外部電極4的本體)多時(shí)，具有以下效果。也即，在玻璃成分較多的部位中，由于該玻璃成分，金屬成分更容易在壓電體層中擴(kuò)散固溶，因此提高了插入部和與其接觸的壓電體層之間的接合強(qiáng)度。結(jié)果由于插入部4a中的錨固效果增高，因此能夠進(jìn)一步提高外部電極4對(duì)層疊體10的接合強(qiáng)度。另外，多個(gè)層4b—4e中位于層疊體10的側(cè)面S的層4b，與其他層4c一4e相比，玻璃材料的含有量較高。通過這樣，由于玻璃成分容易進(jìn)入相鄰的壓電體層間，因此能夠進(jìn)一步提高外部電極4與層疊體10的側(cè)面S的接合強(qiáng)度。另外，構(gòu)成外部電極4的多個(gè)層4b—4e中，外側(cè)的層4e中含有的玻璃成分，比位于層疊體10的側(cè)面S側(cè)的層4b中含有的玻璃成分少，由此能夠提高外部電極4中通過焊接而接合的引線6的接合強(qiáng)度。原因是一般來說焊錫對(duì)玻璃成分的浸潤(rùn)性較低。另外，上述各實(shí)施方式中，列舉出了金屬層2a(或金屬層2a')的層疊方向上相鄰的兩側(cè)的金屬層2b，2b(或金屬層2e，2e)為同極的情況為例進(jìn)行了說明。在像這樣兩側(cè)的金屬層2b，2b(或金屬層2e，2e)為同極時(shí)，具有以下優(yōu)點(diǎn)。也即，在金屬層2a'由多個(gè)部分金屬層2c和空隙2d構(gòu)成，部分電極層2c以彼此絕緣的狀態(tài)孤立地散布的情況下，金屬層2a'沒有起到電極的功能。這種情況下，與金屬層2a'相鄰的壓電體層1被同極的金屬層2b，2b(或金屬層2e，2e)所夾持，因此即使給外部電極4加載電壓，該壓電體層1也不會(huì)變位。通過這樣，能夠防止對(duì)多個(gè)部分金屬層2c散布而構(gòu)成的金屬層2a'的應(yīng)力集中。其結(jié)果，即使在高電場(chǎng)、高發(fā)生力下高速長(zhǎng)時(shí)間驅(qū)動(dòng)的情況下，也能夠可靠地防止外部電極4的一部分從層疊體10的側(cè)面剝離這種問題。另外，在金屬層2a(或金屬層2a')的層疊方向上相鄰的兩側(cè)的金屬層2b，2b(或金屬層2e，2e)為異極時(shí)(例如圖12)，具有以下優(yōu)點(diǎn)。也即，在金屬層2a'沒有作為電極起作用的情況下，被兩側(cè)的金屬層2b，2b(或金屬層2e，2e)所夾持的壓電體層1的變位量，比被其他的金屬層2b，2b所夾持的壓電體層1的變位小。在各個(gè)壓電體層1的厚度相同的情況下，被兩側(cè)的金屬層2b，2b(或金屬層2e，2e)所夾持的壓電體層1的變位量，變成被其他的金屬層2b，2b所夾持的壓電體層的變位量的1/2。因此能夠降低作用在外部電極4與金屬層2之間的界面上的應(yīng)力。其結(jié)果，即使在高電場(chǎng)、高發(fā)生力下高速長(zhǎng)時(shí)間驅(qū)動(dòng)的情況下，也能夠可靠地防止外部電極4的一部分從層疊體10的側(cè)面剝離這種問題的發(fā)生。(制造方法)接下來對(duì)本發(fā)明的層疊型壓電元件的制造方法進(jìn)行說明。本發(fā)明的層疊型壓電元件，首先將PZT等構(gòu)成的鈣鈦礦型(perovskite)氧化物的壓電陶瓷的燒制粉末，與丙稀類、丁縮醛類等有機(jī)高分子所構(gòu)成的粘合劑，以及DBP(酞酸二丁脂)、DOP(酞酸二辛酯)等可塑劑混合起來，制作料漿，用該料槳通過公知的刮刀(doctorblade)法或砑光輥(calenderroll)法等料帶成型法，制造成為壓電體層1的陶瓷印刷電路基板。接下來，在銀一鈀等構(gòu)成的金屬層2的金屬粉末中，添加混合粘合劑、可塑劑等，根據(jù)需要還可以添加混合上述壓電陶瓷的燒制粉末等，制作成為金屬層2的導(dǎo)電性料漿，通過絲網(wǎng)印刷等將其以140nm的厚度印刷到上述各個(gè)印刷電路基板的上面。另外，通過控制厚度還能夠制作任意厚度的金屬層2。接下來，將上面印刷有導(dǎo)電性料漿的印刷電路基板多張層疊起來，以給定的溫度對(duì)該層疊體進(jìn)行了脫粘合劑處理后，在9001200'C下進(jìn)行煅燒，由此制作出層疊煅燒體。此時(shí)，形成金屬層2的導(dǎo)電性料槳中，通過使其事先含有在干燥時(shí)接合固定有丙稀顆粒，并在煅燒時(shí)揮發(fā)的有機(jī)物，能夠形成具有任意的空隙率的金屬層2。也即，通過控制添加給導(dǎo)電性料漿的丙稀顆粒的量，能夠控制該金屬層2的空隙率。也即，在丙稀顆粒較少的情況下，空隙率減少，反之，在丙稀顆粒較多的情況下，空隙率提高。也即，在形成希望使外部電極4的一部分侵入的金屬層2的情況下，可以提高添加到上述導(dǎo)電性料漿中的丙稀顆粒的量，反之，在形成不希望使得外部電極4侵入的金屬層2的情況下，可以減少丙稀顆粒的量，或不添加丙稀顆粒。為了降低空隙率，可以減少導(dǎo)電性料漿中的粘合劑的量。另外，此時(shí)，通過在成為非活性層9的印刷電路基板中，添加銀一鈀等構(gòu)成金屬層2的金屬粉末，或在層疊形成非活性層9的印刷電路基板時(shí)，將銀一鈀等構(gòu)成金屬層2的金屬粉末與無機(jī)化合物以及粘合劑與可塑劑等構(gòu)成的料漿，印刷到印刷電路基板上，由此能夠使得非活性層9與其他部分的燒結(jié)時(shí)的收縮動(dòng)作乃至收縮率一致，由此能夠形成細(xì)密的層疊體10。另外，層疊體10并不僅限于通過上述制法所制造的，只要能夠制造多個(gè)壓電體層1與多個(gè)金屬層2交互層疊而構(gòu)成的層疊體10，則不管通過什么樣的制法來形成均可。接下來，使用公知的平面研削盤等，將所得到的層疊煅燒體研削成給定的形狀。之后，將在以銀為主成分的導(dǎo)電劑粉末與玻璃粉末中，添加粘合劑、可塑劑、以及溶劑而制造的銀玻璃導(dǎo)電性料漿，通過絲網(wǎng)印刷等印刷到形成外部電極4的層疊體10側(cè)面中。之后，以給定的溫度進(jìn)行干燥、焙燒，由此能夠形成外部電極4。這里，從提高與壓電體層1之間的接合強(qiáng)度，且有效地侵入到金屬層2中的觀點(diǎn)出發(fā)，上述玻璃成分優(yōu)選含有氧化鉛或氧化硅中的至少一種的軟化點(diǎn)為80(TC以下的玻璃。另外，除了前述以外，玻璃成分也可以使用石英玻璃、鈉鈣玻璃、鉛堿硅酸玻璃、鋁硼硅酸鹽玻璃、鋁矽酸鹽玻璃、硼酸鹽玻璃、磷酸鹽玻璃、鉛玻璃等。例如，作為硼硅酸鹽玻璃，可以使用含有4070%質(zhì)量比的Si02、230%質(zhì)量比的B203、020%質(zhì)量比的A1203、總量為010%質(zhì)量比的MgO、CaO、SrO、BaO之類的堿土類金屬氧化物、以及010%質(zhì)量比的堿金屬氧化物者。另外，上述硼硅酸鹽玻璃，還可以含有530%質(zhì)量比的ZnO。ZnO具有降低硼硅酸鹽玻璃的作業(yè)溫度的效果。另外，作為磷酸鹽玻璃，可以使用含有4080%質(zhì)量比的^05、030%質(zhì)量比的A1203、030°/。質(zhì)量比的8203、030。/。質(zhì)量比的ZnO、030%質(zhì)量比的堿土類金屬氧化物、以及010%質(zhì)量比的堿金屬氧化物的玻璃。另外，作為鉛玻璃，可以使用含有3080%質(zhì)量比的PbO、070%質(zhì)量比的Si02、020%質(zhì)量比的A1203、030。/。質(zhì)量比的ZnO、030%質(zhì)量比的堿土類金屬氧化物、以及010%質(zhì)量比的堿金屬氧化物的玻璃。另外，構(gòu)成外部電極的導(dǎo)電劑，從具有耐氧化性，楊氏模量低且低價(jià)的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選以銀為主成份。另外，從提高耐電子遷移性這一點(diǎn)出發(fā)，可以添加微量的鉑或鈀。另外，上述銀玻璃導(dǎo)電性料漿的焙燒溫度，從使得外部電極4的一部分進(jìn)入到金屬層2中，且提高外部電極4與層疊體10側(cè)面的接合強(qiáng)度的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為該銀玻璃導(dǎo)電性料漿中含有的玻璃的軟化點(diǎn)以上的溫度500800°C。另外，希望該銀玻璃料漿中的玻璃的軟化點(diǎn)為500800°C。另外，在外部電極4的外面，可以形成埋置有金屬的網(wǎng)格或網(wǎng)格狀的金屬板的導(dǎo)電性粘合劑所構(gòu)成的導(dǎo)電性輔助部件。這種情況下，通過在外部電極4的外面設(shè)置導(dǎo)電性輔助部件，即使在調(diào)節(jié)器被加載大電流，被高速驅(qū)動(dòng)的情況下，由于大電流能夠在導(dǎo)電性輔助部件中流動(dòng)，降低外部電極4中流動(dòng)的電流，因此能夠防止外部電極4產(chǎn)生局部發(fā)熱并斷線，從而能夠大幅提高持久性。進(jìn)而，由于在導(dǎo)電性粘合劑中埋置有金屬網(wǎng)格或網(wǎng)格狀的金屬板，因此能夠防止上述導(dǎo)電性粘合劑中產(chǎn)生龜裂。金屬網(wǎng)格是編入有金屬線的，網(wǎng)格狀的金屬板是指在金屬板中形成孔并設(shè)置成網(wǎng)格狀。進(jìn)而，構(gòu)成上述導(dǎo)電性輔助部件的導(dǎo)電性粘合劑優(yōu)選是分散有銀粉末的聚亞胺樹脂。即，通過使得相對(duì)電阻低的銀粉末分散在耐熱性高的聚亞胺樹脂中，能夠形成一種即使在高溫下使用，電阻值也較低且維持了高接合強(qiáng)度的導(dǎo)電性輔助部件。更加優(yōu)選，上述導(dǎo)電性粒子是薄片狀或針狀等非球形的粒子。這是由于，通過將導(dǎo)電性粒子的形狀設(shè)為薄片狀或針狀等非球形的粒子，能夠使得該導(dǎo)電性粒子間的絡(luò)合牢固，進(jìn)一步提高該導(dǎo)電性粘合劑的剪斷強(qiáng)度。之后，在含有外部電極4的層疊體10的側(cè)面，使用浸漬等方法涂覆硅料膏等構(gòu)成的被覆樹脂，同時(shí)通過焊錫等在外部電極4上連接引線6，通過這樣完成本發(fā)明的層疊型壓電元件。另外，本發(fā)明的層疊型壓電元件并不僅限于此，在不脫離本發(fā)明的要點(diǎn)的范圍內(nèi)，可以進(jìn)行各種變更。另外，上述實(shí)施方式中，對(duì)在層疊體10相對(duì)的側(cè)面中形成有外部電極4的例子進(jìn)行了說明，但本發(fā)明中，例如也可以在相鄰的側(cè)面中形成一對(duì)外部電極4。(第6實(shí)施方式)以往的層疊型壓電調(diào)節(jié)器那樣，僅僅在層疊體的側(cè)面覆蓋被覆樹脂的情況下，被覆樹脂與層疊體側(cè)面以及金屬層之間的接合不一定充分。因此在高電場(chǎng)下連續(xù)驅(qū)動(dòng)的情況下，由于層疊體的伸縮，層疊體側(cè)面與被覆樹脂的接合部中產(chǎn)生應(yīng)力，有可能會(huì)發(fā)生被覆樹脂從層疊體側(cè)面以及金屬層端部剝離，環(huán)境中的水蒸氣進(jìn)入到該剝離部中。這種情況下，由于被加載了高電場(chǎng)，因此有可能會(huì)產(chǎn)生元件表面發(fā)生銀遷移，金屬層間導(dǎo)通，層疊體的功能降低等問題。如圖30所示，通過蝕刻去除金屬層102形成后退部分，如果只在后退部分中填充高分子有機(jī)絕緣材料122，由于被蝕刻過的金屬層面很平滑，高分子有機(jī)絕緣材料122與被覆樹脂121的接合強(qiáng)度不充分等原因，而無法防止在高電場(chǎng)下被連續(xù)驅(qū)動(dòng)的情況下的被覆樹脂的剝離(例如特開平-369277號(hào)公報(bào))。圖13為表示本發(fā)明的第6實(shí)施方式的層疊型壓電元件中，覆蓋被覆樹脂(覆蓋部件)之前的狀態(tài)的立體圖。圖14為表示覆蓋了被覆樹脂的第6實(shí)施方式的相關(guān)層疊型壓電元件的立體圖。圖15為圖14中的A—A線剖面圖。圖16為本實(shí)施方式中的被覆樹脂與層疊體的側(cè)面之間的接合部分的放大剖面圖。圖17為本實(shí)施方式的層疊型壓電元件中，在金屬層與壓電體層之間的界面處切斷了時(shí)的剖面圖。如圖1315所示，本實(shí)施方式的相關(guān)層疊型壓電元件，具有多個(gè)壓電體層1與多個(gè)金屬層2交互層疊而成的層疊體10，該層疊體10的相對(duì)的側(cè)面中，接合有每隔一層與金屬層2的端部電導(dǎo)通的一對(duì)外部電極4。各個(gè)外部電極4中，通過焊錫等連接固定有引線6。該引線6能夠與外部的電壓供給部(未圖示)相連接。該層疊型壓電元件中，如圖14、15所示，覆蓋有將層疊體10的側(cè)面及外部電極4覆蓋起來的被覆樹脂21。如圖16、17所示，本實(shí)施方式的層疊型壓電元件的特征在于，被覆樹脂21的一部分(內(nèi)設(shè)樹脂21a)，進(jìn)入到了相鄰的兩個(gè)壓電體層1間的一部分區(qū)域中。具體地說，作為被覆樹脂21的一部分的內(nèi)設(shè)21a，進(jìn)入到相鄰的兩個(gè)壓電體層1間的區(qū)域中、金屬層2a的側(cè)端部E與層疊體10的側(cè)面S之間的區(qū)域T中。進(jìn)入到區(qū)域T中的內(nèi)設(shè)樹脂21a，與接合在層疊體10的側(cè)面S上的被覆樹脂21的本體21b—體化。這里，"一體化"并不僅僅是指內(nèi)設(shè)樹脂21a與被覆樹脂本體21b相接，還指內(nèi)設(shè)樹脂21a與被覆樹脂本體21b相連的狀態(tài)(相結(jié)合的狀態(tài))。通過像這樣使得被覆樹脂21的一部分即內(nèi)設(shè)樹脂21a侵入到壓電體層1間的區(qū)域T中，且設(shè)為內(nèi)設(shè)樹脂21a與被覆樹脂本體21b—體化的狀態(tài)，形成從層疊體10的側(cè)面S向?qū)盈B體10中打入了樁子的構(gòu)造，通過所謂的錨固的效果，大幅提高了被覆樹脂21與層疊體IO之間的接合強(qiáng)度。通過這樣，即使在高電場(chǎng)、高壓力下對(duì)層疊型壓電元件進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間驅(qū)動(dòng)的情況下，也能夠防止被覆樹脂21從層疊體10的側(cè)面S剝離。另外，因?qū)盈B體驅(qū)動(dòng)時(shí)伸縮變形而產(chǎn)生的層疊體與覆蓋部件之間的界面中的應(yīng)力，經(jīng)進(jìn)入到了區(qū)域T中的內(nèi)設(shè)樹脂21a，傳播給壓電體層l。對(duì)應(yīng)于該被傳播的應(yīng)力，與進(jìn)入到了區(qū)域T中的內(nèi)設(shè)樹脂21相接的壓電體的結(jié)晶構(gòu)造發(fā)生變化，應(yīng)力被吸收。特別是，由于內(nèi)設(shè)樹脂21a的主成份是樹脂，因此不僅僅樹脂自身變形從而緩和應(yīng)力，由于還能夠覆蓋與內(nèi)設(shè)樹脂21a相接的壓電體，因此能夠吸收壓電體的結(jié)晶構(gòu)造變化所引起的體積變化，抑制新應(yīng)力的發(fā)生。進(jìn)而，壓電體層l與空隙相接的部分中，壓電體根據(jù)周圍的環(huán)境氣體的氧氣濃度及濕度而被氧化還原，在層疊型壓電元件的長(zhǎng)時(shí)間使用中，壓電特性有可能會(huì)變化，通過內(nèi)設(shè)樹脂21能夠抑制使用環(huán)境的影響。通過這樣，壓電體的應(yīng)力緩和功能的持久性高，覆蓋部件與層疊體之間的接合的可靠性被進(jìn)一步提高，從而得到了長(zhǎng)壽的層疊型壓電元件。被覆樹脂21的一部分即區(qū)域T內(nèi)的內(nèi)設(shè)樹脂21b進(jìn)入到金屬層2a的側(cè)端部E與層疊體10的側(cè)面S之間的區(qū)域T的深度D，從提高接合強(qiáng)度這一點(diǎn)出發(fā)，深度D最好為lum以上，更加優(yōu)選5ym以上。在深度D為lym以上的情況下，能夠得到足夠的錨固效果，得到被覆樹脂21與層疊體10的側(cè)面S之間的足夠的接合強(qiáng)度。進(jìn)而，優(yōu)選被覆樹脂21的一部分所進(jìn)入的壓電體層1間的區(qū)域T存在多個(gè)，這些區(qū)域T在壓電體層1的層疊方向規(guī)則地設(shè)置。通過像這樣在層疊方向規(guī)則地設(shè)置內(nèi)設(shè)樹脂21a進(jìn)入的區(qū)域T，能夠使得被覆樹脂21在層疊體10的層疊方向的整個(gè)區(qū)域中大致均勻且牢固地接合。多個(gè)區(qū)域T，優(yōu)選以層疊體10中的金屬層2的整個(gè)層數(shù)的1/2以下的層數(shù)為單位，更加優(yōu)選以整個(gè)層數(shù)的1/8以下的層數(shù)為單位，進(jìn)一步優(yōu)選以整個(gè)層數(shù)的1/15以下的層數(shù)為單位分別設(shè)置。假如區(qū)域T的設(shè)置周期是以超過金屬層2的總層數(shù)的1/2的層數(shù)為單位的，則由于區(qū)域T的數(shù)目較少，而有可能導(dǎo)致被覆樹脂21的接合強(qiáng)度在層疊方向的整個(gè)區(qū)域中變得不均勻。另外，區(qū)域T優(yōu)選在層疊體10的層疊方向上大致規(guī)則地設(shè)置，但層疊方向的兩端部附近可以排除層疊體10的中央附近的規(guī)則性。這里，區(qū)域T'規(guī)則地設(shè)置'這一概念，當(dāng)然包括多個(gè)區(qū)域T的設(shè)置間隔都相同的情況，此外還包括以能夠在層疊體10的側(cè)面中，在層疊方向的整個(gè)區(qū)域中大致均勻且牢固地接合被覆樹脂21的這種程度，使得各個(gè)區(qū)域T的設(shè)置間隔近似的情況。具體的說，區(qū)域T的設(shè)置間隔，相對(duì)于各個(gè)區(qū)域T的設(shè)置間隔的平均值最好在±20%的范圍內(nèi)，優(yōu)選在±15%的范圍內(nèi)，更加優(yōu)選各個(gè)設(shè)置間隔均一致。另外，金屬層2a所進(jìn)入的兩個(gè)區(qū)域T間，存在金屬層2a以外的其他金屬層2b，該金屬層最好存在有多個(gè)，更加優(yōu)選成為正極的金屬層2b與成為負(fù)極的金屬層2b的層數(shù)相同。通過這樣，位于正極側(cè)的被覆樹脂21與位于負(fù)極側(cè)的被覆樹脂21均等地進(jìn)入到金屬層2a中，從而能夠?qū)⑽挥谡龢O側(cè)的被覆樹脂21與位于負(fù)極側(cè)的被覆樹脂21牢固且平衡性良好地接合在層疊體10上。另外，本實(shí)施方式的層疊型壓電元件中，被覆樹脂21的一部分即內(nèi)設(shè)樹脂21a所進(jìn)入的壓電體層1之間所存在的金屬層2a，其主成份最好是從元素周期表的第811族金屬中選出的至少一種。通過如上設(shè)置金屬層2a的主成份，能夠同時(shí)對(duì)壓電體層1與金屬層2進(jìn)行煅燒，牢固地接合壓電體層1與金屬層2a的接合界面。另外，即使在壓電元件變位而給金屬層2a施加了壓力的情況下，由于金屬層2a自身由伸縮容易的上述金屬構(gòu)成，因此應(yīng)力不會(huì)集中在一點(diǎn)，從而能夠提供一種持久性優(yōu)異的層疊型壓電元件。特別是構(gòu)成金屬層2a的金屬成分，優(yōu)選是由從元素周期表第810族金屬Ni、Pt、Pd、Rh、Ir、Ru及Os中選出的至少一種以上，與從元素周期表第ll族金屬Cu、Ag、及Au中選出的至少一種以上所構(gòu)成的合金。這是近年來合金粉末合成技術(shù)中量產(chǎn)性優(yōu)秀的金屬組成。另外，構(gòu)成金屬層2a的金屬成分也可以是周期表第ll族金屬單體。進(jìn)而，優(yōu)選金屬層2其主成份是周期表第11族金屬，內(nèi)設(shè)樹脂21a所進(jìn)入的壓電元件1之間所存在的金屬層2a，與該金屬層2a以外的其他金屬層2b相比，周期表第11族金屬的比率R被設(shè)定的較高。通過這樣能夠同時(shí)煅燒壓電體層1與金屬層2a、2b、另外，在楊氏模量較低的銅、銀、金等周期表第11族金屬的比率這一點(diǎn)上，使得金屬層2a比金屬層2b的高，由此能夠相對(duì)降低與內(nèi)設(shè)樹脂21a所進(jìn)入的區(qū)域T相鄰的金屬層2a的楊氏模量。通過這樣，金屬層2a能夠有效地吸收因驅(qū)動(dòng)時(shí)層疊體10的伸縮而產(chǎn)生的變形，降低與層疊體10的側(cè)面牢固地接合的被覆樹脂21中，發(fā)生因?qū)盈B體10的伸縮而產(chǎn)生的應(yīng)力。因此，即使在高電場(chǎng)、高壓力下長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)驅(qū)動(dòng)，也能夠防止被覆樹脂21的一部分從層疊體10的側(cè)面S剝離這種故障的發(fā)生。被覆樹脂21優(yōu)選從硅樹脂、環(huán)氧樹脂、聚酰亞胺樹脂、氟類樹脂、聚氨酯樹脂、聚酰胺酰亞胺樹脂、丙烯樹脂、尼龍樹脂、以及聚脂樹脂所構(gòu)成的群中選出的至少一種。內(nèi)設(shè)樹脂21a也優(yōu)選含有從上述樹脂中選出的至少一種。壓電體層1例如通過以鈦酸鋯酸鉛Pb(Zr、Ti)03(以下簡(jiǎn)稱作PZT)，或以鈦酸鋇BaTi03為主成份的壓電陶瓷材料等形成。該壓電陶瓷優(yōu)選表示其壓電特性的壓電形變常數(shù)cb較高者。另外，壓電體層1的厚度，也即金屬層2間的距離最好為40250"m。通過這樣，即使為了給層疊型壓電元件作用電壓得到較大的變位量，而增加層疊數(shù)，也能夠?qū)崿F(xiàn)層疊型壓電元件調(diào)節(jié)器的小型化、低高度化，同時(shí)防止壓電體層1的絕緣破壞。(第7實(shí)施方式)圖18為表示本發(fā)明的第7實(shí)施方式的相關(guān)層疊型壓電元件的剖面圖。圖19為第7實(shí)施方式中的被覆樹脂21與層疊體10的側(cè)面之間的接合部分的放大剖面圖。如圖18及圖19所示，第7實(shí)施方式的相關(guān)層疊型壓電元件的特征在于，多個(gè)金屬層2中的幾個(gè)金屬層2a'，與和該金屬層2a'相鄰的兩側(cè)的金屬層2b相比，空隙2d的比率(空隙率)較高，是該空隙2d的一部分中有被覆樹脂21的一部分(內(nèi)設(shè)樹脂21a)進(jìn)入的多孔質(zhì)金屬層2a'。這樣，一部分多孔質(zhì)金屬層2a'由部分金屬層2c與空隙2d構(gòu)成，該多孔質(zhì)金屬層2a'具有比相鄰兩側(cè)的金屬層2b多的空隙2d，使得被覆樹脂21的成分能夠深入到空隙2d較多的多孔質(zhì)金屬層2a'中，更加有效地提高被覆樹脂2I與層疊體10的接合強(qiáng)度。另外，本實(shí)施方式中"空隙"是指壓電體層1間的區(qū)域中，不存在構(gòu)成金屬層的金屬的部分。因此，即使在內(nèi)設(shè)樹脂21a進(jìn)入到了該空隙中情況下，為了表述方便，也將該部分稱作空隙。這里，為了讓被覆樹脂21的一部分有效地進(jìn)入到壓電體層1之間，該多孔質(zhì)金屬層2a，的空隙率最好為1095%，更加優(yōu)選為4090%。在空隙率為10%以上的情況下，由于被覆樹脂21的一部分能夠有效地進(jìn)入，因此被覆樹脂21與層疊體10的側(cè)面S的接合能夠得到足夠的強(qiáng)度。通過這樣，能夠防止驅(qū)動(dòng)時(shí)被覆樹脂21從層疊體10的側(cè)面剝離。另外，在空隙率為90%以下的情況下，能夠防止金屬層2a'與設(shè)置在其兩側(cè)的壓電體層l之間的接合強(qiáng)度減弱，從而不會(huì)發(fā)生煅燒時(shí)的剝離等故障。另外，空隙率是通過百分比來表示的，在平行于多孔質(zhì)金屬層2a'的層疊方向的剖面中觀察時(shí)，相對(duì)于觀察區(qū)域中的多孔質(zhì)金屬層2a'整體的面積，空隙(void)的占據(jù)比率。另外，關(guān)于金屬層2a及金屬層2b的空隙率也與上述相同。圖20為第7實(shí)施方式的層疊型壓電元件中，在金屬層與壓電體層之間的界面處切斷了時(shí)的剖面圖。圖21為放大了第7實(shí)施方式的層疊型壓電元件中的金屬層及其附近的放大剖面圖。圖22為表示第7實(shí)施方式的壓電體層上的部分金屬層的排列狀態(tài)的立體圖。如圖2022所示，第7實(shí)施方式的相關(guān)層疊型壓電元件中，金屬層2a'最好由散布的多個(gè)部分金屬層2c(呈島狀分布的多個(gè)部分金屬層)構(gòu)成。另外，該散布的多個(gè)部分金屬層2c間的一部分中，被覆樹脂21的一部分進(jìn)入。這樣，在將被覆樹脂21涂敷在層疊體10的側(cè)面上時(shí)，被覆樹脂21通過毛細(xì)管現(xiàn)象侵入到島狀分布的金屬層2c中。結(jié)果能夠形成被覆樹脂21有效地侵入到了多孔質(zhì)金屬層2a，中的層疊型壓電元件。通過這樣，被覆樹脂21能夠牢固地接合在層疊體10的側(cè)面，即使在高電場(chǎng)、高發(fā)生力下被高速、長(zhǎng)時(shí)間驅(qū)動(dòng)的情況下，也能夠防止產(chǎn)生被覆樹脂21從層疊體10的側(cè)面剝離的這種問題。這里，處于散布有上述多個(gè)部分金屬層2c的狀態(tài)的多孔質(zhì)金屬層2a'的金屬填充率，最好為555%，更加優(yōu)選為1040%。這是由于，在金屬填充率為5%以上的情況下，能夠防止該金屬層2a，與和其相鄰的壓電體層l的接合強(qiáng)度減弱。另外，在金屬填充率為55%以下的情況下，該金屬層2a'很容易變?yōu)槎鄠€(gè)金屬散布的狀態(tài)，即所謂的島狀分布，在涂覆被覆樹脂21時(shí)容易產(chǎn)生毛細(xì)管現(xiàn)象。因此能夠使得被覆樹脂21的一部分有效地進(jìn)入到金屬層2a'中。也即，通過將該金屬填充率設(shè)為555%，能夠?qū)⒃摻饘賹?a與壓電體層1的接合強(qiáng)度維持的較高，且在涂覆被覆樹脂21使其與層疊體10的側(cè)面接合時(shí)，被覆樹脂21通過毛細(xì)管現(xiàn)象能夠有效地侵入到金屬層2a中，從而能夠提高層疊體10的側(cè)面與金屬層2a的接合強(qiáng)度。另外，金屬填充率是在平行于該金屬層2a'的層疊方向的剖面中觀察的情況下，金屬層2a'的任意剖面中金屬組成物所占比率，通過百分比來表示。另外，散布在金屬層2a'中的部分金屬層2c的大小，最好為1100um。在散布在金屬層2a'中的部分金屬層2c的大小為lum以上的情況下，能夠防止該多孔質(zhì)金屬層2a'的厚度變得過于薄，被覆樹脂21的一部分能夠有效地侵入到該金屬層2a中。另外，在部分金屬層2c的大小為100"m以下的情況下，層疊體10的伸縮所產(chǎn)生的應(yīng)力能夠被該金屬層2a，分散并吸收，抑制了應(yīng)力集中于該金屬組成物。通過這樣，能夠防止壓電體層1中產(chǎn)生龜裂等問題的發(fā)生。也即，通過將散布在金屬層2a中的部分金屬層2c的大小設(shè)為1100um，能夠讓被覆樹脂21的一部分進(jìn)入到金屬層2a中，且金屬層2a能夠分散并吸收因?qū)盈B體10的伸縮而產(chǎn)生的應(yīng)力。更加優(yōu)選散布在金屬層2a'中的部分金屬層2c的大小為350Pm。另外，金屬層2a'的形狀可以為大致球形，也可以是其他形狀。另外，在被覆樹脂21的一部分即內(nèi)設(shè)樹脂21a所侵入的金屬層2a'中散布有多個(gè)部分金屬層2c的情況下，也可以不電導(dǎo)通，不起到電極的功能。這種情況下，該金屬層2a'可以相對(duì)于壓電體層1部分形成(所謂的部分電極構(gòu)造)，也可以形成在壓電體層1的整個(gè)面上。另外，本發(fā)明并不僅限于上述實(shí)施方式那樣的內(nèi)設(shè)樹脂是被覆樹脂的一部分的情況，內(nèi)設(shè)樹脂還可以由與被覆樹脂不同的成分構(gòu)成。但如果從內(nèi)設(shè)樹脂與被覆樹脂的接合強(qiáng)度的觀點(diǎn)出發(fā)來判斷，則內(nèi)設(shè)樹脂最好是與被覆樹脂相同的成分，更加優(yōu)選是被覆樹脂的一部分。(制造方法)接下來對(duì)本發(fā)明的層疊型壓電元件的制造方法進(jìn)行說明。本發(fā)明的層疊型壓電元件，首先將PbZlO3-PbTi03等構(gòu)成的鈣鈦礦型氧化物的壓電陶瓷的燒制粉末，與丙稀類、丁縮醛類等有機(jī)高分子所構(gòu)成的粘合劑，以及DBP(酞酸二丁脂)、DOP(酞酸二辛酯)等可塑劑混合起來，制作料漿，用該料漿通過公知的刮刀(doctorblade)法或砑光輥(calenderroll)法等料帶成型法，制造成為壓電體層1的陶瓷印刷電路基板。接下來，在銀一鈀等構(gòu)成的金屬層2的金屬粉末中，添加混合粘合劑、可塑劑等，根據(jù)需要還可以添加混合上述壓電陶瓷的輔助性燒制的粉末等，制作成為金屬層2的導(dǎo)電性料漿，通過絲網(wǎng)印刷等將其以140um的厚度印刷到上述各個(gè)印刷電路基板的上面。接下來，將上面印刷有導(dǎo)電性料漿的印刷電路基板多張層疊起來，以給定的溫度對(duì)該層疊體進(jìn)行了脫粘合劑處理后，在9001200。C下進(jìn)行煅燒，由此制作出層疊煅燒體。此時(shí)，形成金屬層2的導(dǎo)電性料漿中，通過使其事先含有在干燥時(shí)接合固定有丙稀顆粒，并在煅燒時(shí)揮發(fā)的有機(jī)物，能夠形成具有任意的空隙率的金屬層2。也即，通過控制添加給導(dǎo)電性料漿的丙稀顆粒的量，能夠控制該金屬層2的空隙率。也即，在丙稀顆粒較少的情況下，空隙率減少，反之，在丙稀顆粒較多的情況下，空隙率提高。也即，在形成希望使被覆樹脂21的一部分侵入的多孔質(zhì)金屬層2a'的情況下，可以提高添加到上述導(dǎo)電性料漿中的丙稀顆粒的量，反之，在形成不希望使得被覆樹脂21侵入的金屬層2的情況下，可以減少丙稀顆粒的量，或不添加丙稀顆粒。另外，此時(shí)，通過在成為非活性層9的印刷電路基板中，添加銀一鈀等構(gòu)成金屬層2的金屬粉末，或在層疊形成非活性層9的印刷電路基板時(shí)，將銀—鈀等構(gòu)成金屬層2的金屬粉末與無機(jī)化合物以及粘合劑、可塑劑等構(gòu)成的料漿，印刷到印刷電路基板上，由此能夠使得非活性層9與其他部分的燒結(jié)時(shí)的收縮動(dòng)作乃至收縮率一致，從而能夠形成細(xì)密的層疊體10。另外，層疊體10并不僅限于通過上述制法所制造的，只要能夠制造多個(gè)壓電體層1與多個(gè)金屬層2交互層疊而構(gòu)成的層疊體10，則不管通過什么樣的制法來形成均可。接下來，通過與上述相同的方法形成外部電極4。這里，作為玻璃成分、構(gòu)成外部電極的導(dǎo)電劑，能夠采用與上述相同的例示。銀玻璃導(dǎo)電性料漿的焙燒溫度優(yōu)選與上述相同的溫度范圍。進(jìn)而，可以在外部電極4的外面，形成與上述相同的埋置有金屬網(wǎng)格或網(wǎng)格狀金屬板的導(dǎo)電性粘合劑所構(gòu)成的導(dǎo)電性輔助部件。之后，通過焊錫等將引線6接合到外部電極4上，使用浸漬等方法將硅料膏等構(gòu)成的被覆樹脂涂覆在含有外部電極4的層疊體10的側(cè)面，通過這樣完成本發(fā)明的層疊型壓電元件。這里，為了讓被覆樹脂21利用毛細(xì)管現(xiàn)象有效地進(jìn)入到相鄰的壓電體層1間的一部分區(qū)域，最好如上所述，讓金屬層由散布的多個(gè)部分金屬層構(gòu)成，進(jìn)而可以在進(jìn)行過浸漬等后進(jìn)行真空吸引。更為理想的是，通過降低被覆樹脂21的浸漬前的粘度，能夠使得毛細(xì)管現(xiàn)象容易發(fā)生，被覆樹脂21能夠進(jìn)入到上述區(qū)域中。通過這樣的制造方法，能夠得到覆蓋層疊體的側(cè)面的被覆樹脂21的一部分進(jìn)入到區(qū)域T中成為內(nèi)設(shè)樹脂21a，且該內(nèi)設(shè)樹脂21a與被覆樹脂本體21b—體化的狀態(tài)。另外，本發(fā)明的層疊型壓電元件并不僅限于此，在不脫離本發(fā)明的要點(diǎn)的范圍內(nèi)，可以進(jìn)行各種變更。另外，上述實(shí)施方式中，對(duì)在層疊體IO相對(duì)的側(cè)面中形成有外部電極4的例子進(jìn)行了說明，但本發(fā)明中，例如也可以在相鄰的側(cè)面中形成一對(duì)外部電極4。(第8實(shí)施方式)圖23為表示第8實(shí)施方式的相關(guān)層疊型壓電元件的立體圖。圖24為表示圖23中的壓電體層與外部電極之間的接合狀態(tài)的放大剖面圖。如圖23所示，本實(shí)施方式的層疊型壓電元件，具有交互層疊了多個(gè)壓電體層1與多個(gè)內(nèi)部電極12的層疊體10，在該層疊體10的層疊方向的兩端側(cè)，層疊有由壓電體所形成的非活性層9。層疊體10的相對(duì)的側(cè)面中，設(shè)有一對(duì)外部電極15(—方的外部電極未圖示)。另外，各個(gè)內(nèi)部電極不是形成在壓電體層l的整個(gè)主面上的，而是形成所謂的部分電極構(gòu)造。該部分電極構(gòu)造的多個(gè)內(nèi)部電極12，按照每隔一層從層疊體10的相對(duì)的側(cè)面分別露出來的方式配置。通過這樣，內(nèi)部電極12每隔一層與一對(duì)外部電極15電連接。一對(duì)外部電極15也可以形成在相鄰的側(cè)面上。外部電極15的材質(zhì)，可以使用電阻低且容易處理的銀或以銀為主成分的合金。另外，如圖24所示，本實(shí)施方式的層疊型壓電元件中，外部電極15的周邊部15a越到周邊側(cè)其厚度越薄，且形成有與層疊體10的側(cè)面分離(不接觸)的分離部16。這樣的層疊型壓電元件，能夠避免因外部電極15與層疊體10的熱膨脹差或變位差，而在外部電極15與層疊體10的接合邊界部分中產(chǎn)生應(yīng)力集中，從而能夠顯著降低與外部電極15相接合的層疊體IO自身產(chǎn)生龜裂的可能性，提高層疊型壓電元件的持久性。為了讓外部電極15的周邊部15a形成為越到周邊側(cè)其厚度越薄，可以適度調(diào)整對(duì)外部電極15進(jìn)行絲網(wǎng)印刷時(shí)的粘度，將外部電極15的周邊部15a在層疊體10上薄且寬地形成。另外，作為其他方法，還可以在按照使得外部電極15的周邊部15a的厚度一定的方式進(jìn)行過印刷后，實(shí)施切削等加工，使得周邊部15a的厚度漸次變薄。如果像這樣讓外部電極15的周邊部15a形成為越到周邊側(cè)其厚度越薄，便會(huì)在該傾斜的外部電極15中產(chǎn)生基于煅燒收縮或熱膨脹差的內(nèi)部變形，外部電極15的周邊部15a自然地從層疊體10的側(cè)面剝離，由此形成外部電極15與層疊體10的側(cè)面之間的分離部16。另外，作為其他的方法，為了積極地形成外部電極15與層疊體10的側(cè)面之間的分離部16，可以預(yù)先在希望成為分離部16的層疊體10上，印刷與外部電極15的反應(yīng)性低的鉬等分離型材。作為再一種方法，可以如后所述將外部電極15多層重疊，利用其熱膨脹差，由此形成分離部16。與此相對(duì)，在外部電極15的周邊部15a的厚度一定，沒有形成與層疊體10的側(cè)面之間的分離部16的情況下，會(huì)產(chǎn)生如下的故障。也即，在層疊體10中燒制外部電極15時(shí)相互的熱膨脹差所引起的殘留應(yīng)力，集中作用到接合邊界部中，由于外部電極15與層疊體10的變位差，導(dǎo)致外部電極15與層疊體10的接合邊界部分中產(chǎn)生了極大的應(yīng)力。由此，與外部電極15相接合的層疊體會(huì)產(chǎn)生從該邊界部分開始的龜裂，有時(shí)會(huì)漸漸發(fā)展成橫斷層疊體10的龜裂。另外，本發(fā)明的層疊型壓電元件中，可以在分離部16與層疊體10的側(cè)面之間設(shè)置空隙。通過存在有空隙，能夠顯著降低外部電極15與層疊體10的接合邊界部分中產(chǎn)生的應(yīng)力。這里，為了在分離部16與層疊體10的側(cè)面之間設(shè)置空隙，如果如前所述，形成為外部電極15的周邊部15a越向著周邊側(cè)其厚度越薄便可，即，使外部電極15的周邊部15a越向著周邊側(cè)其厚度越薄，便會(huì)在該傾斜的外部電極15中產(chǎn)生基于煅燒收縮或熱膨脹差等的內(nèi)部變形，從而能夠得到外部電極15的周邊部15a自然地從層疊體10的側(cè)面剝離的這種空隙。當(dāng)然，如后所述將外部電極15多層層疊，利用熱膨脹差，能夠更加可靠地形成空隙。另外，如圖25所示，分離部16與層疊體10的側(cè)面之間的至少一部分中，可以隔有絕緣性樹脂17。通過這樣，即使在給層疊型壓電元件加載了高電壓時(shí)，也能夠確保良好的絕緣性。特別是，絕緣性樹脂n最好隔在分離部16與層疊體10的側(cè)面之間的周邊側(cè)(外部電極15的周邊側(cè))。通過這樣，即使在給層疊型壓電元件加載了200V以上的高電壓時(shí)，也能夠確保良好的絕緣性。進(jìn)而，還優(yōu)選絕緣性樹脂17還填充到設(shè)置在分離部16與層疊體10的側(cè)面之間的空隙中。通過這樣，能夠確保極高的絕緣性，不會(huì)發(fā)生邊緣面放電，能夠防止絕緣降低，確保高可靠性。另外，絕緣性樹脂17的材質(zhì)還可以采用硅樹脂。硅樹脂對(duì)層疊體IO的接合牢固，且富耐熱性，經(jīng)年變化也較少，彈性率低，因此對(duì)層疊型壓電元件的變位的追蹤性高。因此，能夠確保高絕緣性，防止邊緣面放電，同時(shí)不會(huì)妨礙層疊體10的變位，從而能夠得到高可靠性。另外，硅樹脂中有脫醋酸型與脫氧型等通過變更固化反應(yīng)而得到的各種類型，但最好使用不會(huì)發(fā)生固化時(shí)的氣體副產(chǎn)品的脫醇樹脂。另外，由于用于200V以上的高電場(chǎng)的時(shí)候較多，所以最好使用不含硅氧垸的高分子型硅樹脂。進(jìn)而，在分離部16與層疊體10的側(cè)面之間或周邊側(cè)，特別是分離部16與層疊體的側(cè)面之間所設(shè)置的空隙部分中，填充硅樹脂的方法，可以使用真空裝置等進(jìn)行泡沫消除以及真空含浸，簡(jiǎn)單而可靠地填充。外部電極15可以由多種電極材料層疊而成。通過這樣，外部電極15中有可能發(fā)生內(nèi)部變形，使得外部電極15的周邊部15a自然地從層疊體IO的側(cè)面剝離。此時(shí)的多層的電極材料，如果采用彼此有細(xì)微的不同的組成，則內(nèi)部變形容易發(fā)生，但即使是相同的組成，通過變更其焙燒溫度，也能夠產(chǎn)生內(nèi)部變形。另外，優(yōu)選多個(gè)電極材料中，外層側(cè)的熱膨脹系數(shù)比內(nèi)層側(cè)的大。通過這樣，能夠在內(nèi)層側(cè)的外部電極15中產(chǎn)生應(yīng)力，越到周邊側(cè)其厚度越薄的外部電極15的周邊部15a被剝離，形成與層疊體10的側(cè)面不接觸的分離部16。相反，在內(nèi)層側(cè)的熱膨脹系數(shù)比外層側(cè)大的情況下，即使發(fā)生內(nèi)部應(yīng)力，也會(huì)有使得周邊部15a很難剝離的壓縮應(yīng)力發(fā)生作用，很難形成與層疊體10的側(cè)面不接觸的分離部16，從而不理想。另外，優(yōu)選使得最內(nèi)層的電極材料比其他電極材料更向周邊側(cè)突出。2層以上的多個(gè)電極材料所構(gòu)成的外部電極15中產(chǎn)生的內(nèi)部應(yīng)力，在層疊邊界部分中變得最大，但如果此時(shí)事先使得最內(nèi)層的電極材料比其他電極材料更向周邊側(cè)突出，突出的最內(nèi)層的電極材料的周邊部15a便被剝離，能夠形成與層疊體的側(cè)面不接觸的分離部16，非常理想。另外，在外層側(cè)的電極材料比其他電極材料更向周邊側(cè)突出的情況下，雖然發(fā)生內(nèi)部應(yīng)力，但由于形成為外層側(cè)的電極材料將其他電極材料覆蓋起來，由此周邊部15a變得很難被剝離，很難形成與層疊體10的側(cè)面不接觸的分離部16，從而不理想。特別是，分離部16可以僅僅是最內(nèi)層的電極材料151。通過這樣，能夠利用最內(nèi)層的電極材料151的向周邊側(cè)突出的部分被剝離這一點(diǎn)，良好地形成與層疊體10的側(cè)面不接觸的分離部16。進(jìn)而，優(yōu)選讓分離部16投影到層疊體10的側(cè)面上時(shí)的長(zhǎng)度L為10ym以上。通過這樣，能夠避免在外部電極15與層疊體10的接合邊界部中產(chǎn)生的應(yīng)力集中，與外部電極15相接合的層疊體10自身不會(huì)產(chǎn)生龜裂，從而能夠提高層疊型壓電元件的持久性。如果分離部16投影到層疊體10的側(cè)面上時(shí)的長(zhǎng)度L不滿10um，外部電極15與層疊體10的接合邊界部中產(chǎn)生的應(yīng)力集中就會(huì)增大，與外部電極15相接合的層疊體10自身很容易產(chǎn)生龜裂，從而不理想。另外，在分離部16投影到層疊體10的側(cè)面上時(shí)的長(zhǎng)度L為500Um以上而變得過大時(shí)，外部電極15本身強(qiáng)度降低，使得外部電極15容易剝離，也不理想。另外，將外部電極15與層疊體10的側(cè)面相接觸的部分和分離部16之間的邊界，與分離部16的尖端連接起來的直線，與上述層疊體的側(cè)面所形成的角度e，優(yōu)選為l度以上45度以下。通過這樣，外部電極15的周邊部15a越到周邊側(cè)其厚度越薄，能夠避免外部電極15與層疊體10的接合邊界部中產(chǎn)生的應(yīng)力集中，同時(shí)在傾斜的外部電極15中會(huì)發(fā)生煅燒收縮或熱膨脹差所引起的內(nèi)部變形，從而能夠得到外部電極15的周邊部15a自然地從層疊體10的側(cè)面剝離的這種空隙。在角度9不滿1度的情況下，得到外部電極15的周邊部15a越到周邊側(cè)其厚度越薄的這種厚度有可能會(huì)變得困難。另外，在該角度e超過了45度的情況下，外部電極15與層疊體10的接合邊界部很容易被牢固地接合起來，外部電極15與層疊體10的接合邊界部中有可能會(huì)發(fā)生高應(yīng)力集中。進(jìn)而，分離部16的尖端與層疊體10的側(cè)面之間的距離H優(yōu)選為lum以上50"m以下。如果像這樣適當(dāng)?shù)乇３志嚯xH，則不但能夠?qū)⑼獠侩姌O15與層疊體10的接合邊界部中產(chǎn)生的應(yīng)力最大程度地降低，還能夠在分離部16與層疊體10的側(cè)面之間填充絕緣性樹脂17，從而能夠確保極高的絕緣性。在距離H處于上述范圍內(nèi)時(shí)，還不會(huì)發(fā)生邊緣面放電，能夠確保高可靠性。如果距離H不滿1ym，則很難充分地填充絕緣性樹脂17，從而不理想。另外，如果距離H超過了50um，則外部電極15本身的強(qiáng)度降低，樹脂填充時(shí)外部電極15變得容易剝離，因此不理想。優(yōu)選外部電極15層疊有多個(gè)電極材料151，152，…，多個(gè)電極材料中，外層側(cè)的熱膨脹系數(shù)比內(nèi)層側(cè)的熱膨脹系數(shù)大，另外最內(nèi)層的電極材料151比其他電極材料152，…更向周邊側(cè)突出。通過這樣，能夠良好地形成與層疊體10的側(cè)面不接觸的分離部16，吸收外部電極15與層疊體10的接合邊界部中產(chǎn)生的應(yīng)力。另外，還可以讓分離部16僅僅是最內(nèi)層的電極材料151,分離部16投影到層疊體10的側(cè)面上時(shí)的長(zhǎng)度L為10Pm以上，將外部電極15與層疊體10的側(cè)面相接觸的部分和分離部16之間的邊界，與分離部16的尖端連接起來的直線，與層疊體10的側(cè)面所形成的角度9，為1度以上45度以下，分離部16的尖端與層疊體10的側(cè)面之間的距離H為1um以上50ym以下。通過這樣，能夠最大程度地降低外部電極15與層疊體10的接合邊界部中產(chǎn)生的應(yīng)力。接下來，對(duì)本發(fā)明的層疊型壓電元件的制法進(jìn)行說明。首先將PbZr03-PbTi03等構(gòu)成的鈣鈦礦型氧化物的壓電陶瓷的輔助性燒制的粉末，與丙稀類、丁縮醛類等有機(jī)高分子所構(gòu)成的粘合劑，以及DBP(酞酸二丁脂)、DOP(酞酸二辛酯)等可塑劑混合起來，制作料漿，用該料漿通過公知的刮刀法或砑光輥法等料帶成型法，制造成為壓電體11的陶瓷印刷電路基板。接下來，在銀一鈀等構(gòu)成的內(nèi)部電極12的金屬粉末中，添加混合粘合劑、可塑劑等，制作導(dǎo)電性料槳，通過絲網(wǎng)印刷等將其以140ym的厚度印刷到上述各個(gè)印刷電路基板的上面。通過變更粘合劑以及可塑劑與金屬粉末的比、變更絲網(wǎng)的網(wǎng)格度數(shù)、變更形成絲網(wǎng)的圖案的抗蝕劑厚度，能夠變更內(nèi)部電極12的厚度以及內(nèi)部電極中的空隙等。接下來，將印刷有導(dǎo)電性料漿的印刷電路基板多張層疊起來，進(jìn)行了脫粘合劑處理后，在900120(TC下進(jìn)行煅燒，由此制作出層疊體10。此時(shí)，通過在成為非活性層9的部分的印刷電路基板中，添加銀一鈀等構(gòu)成內(nèi)部電極12的金屬粉末，或在層疊形成非活性層9的部分的印刷電路基板時(shí)，將銀一鈀等構(gòu)成金屬層2的金屬粉末與無機(jī)化合物以及粘合劑、可塑劑等構(gòu)成的料漿，印刷到印刷電路基板上，由此能夠使得非活性層9與其他部分的燒結(jié)時(shí)的收縮動(dòng)作乃至收縮率一致，從而能夠形成細(xì)密的層疊體IO。另外，層疊體10并不僅限于通過上述制法所制造的，只要能夠制造多個(gè)壓電體層1與多個(gè)內(nèi)部電極12交互層疊而構(gòu)成的層疊體10，則也可以通過其他制法來形成。接下來，按照能夠與在層疊型壓電元件的側(cè)面露出端部的內(nèi)部電極12導(dǎo)通的方式，形成外部電極15。該外部電極15，能夠在玻璃粉末中添加粘合劑而制作出銀剝離導(dǎo)電性料漿，并對(duì)其進(jìn)行印刷焙燒而得到。這里，必須印刷為使得外部電極15的周邊部15a越到周邊側(cè)其厚度越薄，為此可以適度調(diào)整絲網(wǎng)印刷外部電極15時(shí)的粘度，使得外部電極15的周邊部15a在層疊體IO上形成的薄且寬。這里舉出一個(gè)具體例子，在平均粒徑為2um的薄片狀的銀粉末，與剩余部分以平均粒徑2um的硅為主成分且軟化點(diǎn)為64(TC的非結(jié)晶的玻璃粉末的混合物中，添加約為銀粉末與玻璃粉末的合計(jì)質(zhì)量的8%的粘合劑，充分混合而得到銀玻璃導(dǎo)電性料漿，添加溶劑，并進(jìn)行調(diào)整使得粘度為200d.Pa，s左右之后，絲網(wǎng)印刷到層疊體10上的給定位置上。之后，對(duì)銀玻璃導(dǎo)電性料漿進(jìn)行焙燒。為了有效地形成頸部，使得銀玻璃導(dǎo)電性料漿中的銀與內(nèi)部電極12擴(kuò)散接合，且外部電極15中有效地留有空隙，該焙燒溫度最好為500800°C。如果像這樣讓外部電極15的周邊部15a形成為越到周邊側(cè)其厚度越薄，便會(huì)在該傾斜的外部電極15中產(chǎn)生基于煅燒收縮或熱膨脹差的內(nèi)部變形，外部電極15的周邊部15a自然地從層疊體10的側(cè)面剝離，由此形成外部電極15與層疊體10的側(cè)面之間的分離部16。接下來，將形成有外部電極15的層疊體10浸漬到硅樹脂溶液中，同時(shí)對(duì)硅樹脂溶液進(jìn)行真空脫氣，通過這樣，在層疊體10的溝內(nèi)部填充硅樹脂，之后從硅樹脂溶液中撈出層疊體10，在層疊體10的側(cè)面中涂敷硅樹脂。這樣，在分離部16與層疊體10的側(cè)面間所設(shè)置的空隙中也能夠填充硅樹脂。之后，使得硅樹脂硬化，由此完成本發(fā)明的層疊型壓電元件。本發(fā)明的層疊型壓電元件并不僅限于此，在不脫離本發(fā)明的要點(diǎn)的范圍內(nèi)，可以進(jìn)行各種變更。另外，上述實(shí)施方式中，對(duì)在層疊體10相對(duì)的側(cè)面中形成有外部電極15的例子進(jìn)行了說明，但本發(fā)明中，例如也可以在相鄰的側(cè)面中形成一對(duì)外部電極15。另外，本發(fā)明中，外部電極的接合可靠性最高的，是外部電極的一部分與被覆樹脂的一部分均從層疊體的側(cè)面進(jìn)入到壓電體層間的內(nèi)部，且外部電極的周邊部越到周邊側(cè)其厚度越薄，同時(shí)具有與層疊體的側(cè)面分離(不接觸)的分離部的形態(tài)。通過這樣，能夠?qū)⑸鲜龈鱾€(gè)效果相乘組合起來，得到非常優(yōu)秀的外部電極的接合可靠性。<噴射裝置>圖26為表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的噴射裝置的概要剖面圖。如圖26所示，本實(shí)施方式的相關(guān)噴射裝置，在一端具有噴射孔33的存放容器31的內(nèi)部，存放有上述實(shí)施方式所代表的本發(fā)明的層疊型壓電元件。存放容器31內(nèi)，設(shè)有能夠開閉噴射孔33的針閥(needlevalve)35。噴射孔33中，燃料通道37被設(shè)為能夠?qū)?yīng)于針閥35的動(dòng)作而連通。該燃料通道37與外部的燃料供給源相連接，常時(shí)以一定的高壓向燃料通道37提供燃料。因此，如果針閥35打開噴射孔33，提供給燃料通道37的燃料便以一定的高壓噴出到未圖示的內(nèi)燃機(jī)的燃料室內(nèi)。另外，針閥35的上端部設(shè)有內(nèi)徑增大，能夠在形成在存放容器31中的氣缸39中滑動(dòng)的活塞41。存放容器31內(nèi)，存放有具備上述層疊型壓電元件的壓電調(diào)節(jié)器43。這樣的噴射裝置中，如果壓電調(diào)節(jié)器43被加載電壓而伸長(zhǎng)，活塞41便被推壓，針閥35塞住噴射孔33，停止燃料的供給。另外，如果停止電壓的加載，壓電調(diào)節(jié)器43便收縮，彈簧45壓回活塞41，噴射孔33與燃料通道37連通，進(jìn)行燃料的噴射。另外，本發(fā)明的噴射裝置包括具有噴出孔的容器，以及上述層疊型壓電元件，通過層疊型壓電元件的驅(qū)動(dòng)使得容器內(nèi)所填充的液體從噴射孔噴出。也即，元件不一定要位于容器內(nèi)部，可以通過層疊型壓電元件的驅(qū)動(dòng)，給容器的內(nèi)部加載壓力。另外，本發(fā)明中，液體除了燃料、墨水等之外，還包括各種液體流體(導(dǎo)電性料漿等)。另外，本發(fā)明關(guān)于層疊型壓電元件以及噴射裝置，但并不僅限于上述實(shí)施例，例如還可以應(yīng)用于汽車引擎的燃料噴射裝置、噴墨器等的液體噴射裝置、光學(xué)裝置等的精密定位裝置、安裝在振動(dòng)防止裝置等中的驅(qū)動(dòng)元件(壓電調(diào)節(jié)器)、以及安裝在燃燒壓力傳感器、爆震傳感器(knocksensor)、加速度傳感器、荷重傳感器、超聲波傳感器、感壓傳感器、偏航率(yawrate)傳感器等中的傳感器元件，以及安裝在壓電陀螺儀、壓電開關(guān)、壓電變壓器、壓電斷路器等中的電路元件等。另外，除此之外只要是使用壓電特性的元件，就能夠應(yīng)用本發(fā)明。<燃料噴射系統(tǒng)>圖27為表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的相關(guān)燃料噴射系統(tǒng)的概要圖。如圖27所示，本實(shí)施方式的相關(guān)燃料噴射系統(tǒng)51具有存儲(chǔ)高壓燃料的公共管道(commonmil)52、噴射該公共管道52中所存儲(chǔ)的燃料的多個(gè)上述噴射裝置53、向公共管道52提供高壓燃料的壓力泵54、以及向噴射裝置53提供驅(qū)動(dòng)信號(hào)的噴射控制單元55。噴射控制單元55—邊通過傳感器等對(duì)引擎的燃燒室內(nèi)的狀況進(jìn)行感知，一邊控制燃料噴射的量與時(shí)序。壓力泵54的作用是從燃料儲(chǔ)室56將燃料加壓到10002000氣壓左右，理想的是15001700氣壓左右，并輸入到公共管道52中。公共管道54中存儲(chǔ)從壓力泵54送來的燃料，并適當(dāng)輸送給噴射裝置53。噴射裝置53如上所述，從噴射孔33將少量的燃料以霧狀噴射到燃燒室內(nèi)。實(shí)施例1如下制作本發(fā)明的層疊型壓電元件所構(gòu)成的層疊型壓電調(diào)節(jié)器。首先，制作混合有以平均粒徑為0.4ym的以鈦酸鋯酸鉛PZT為主成份的壓電陶瓷的輔助性燒制的粉末、粘合劑、以及可塑劑的料漿，通過刮刀法制造成為厚150um的壓電體層1的陶瓷印刷電路基板。在該陶瓷印刷電路基板的單面，通過絲網(wǎng)印刷法形成在銀一鈀合金中添加有粘合劑的導(dǎo)電性料漿，將印刷有該導(dǎo)電性料漿的薄片層疊300張，在980I10(TC下進(jìn)行煅燒得到層疊煅燒體。接下來，通過平面研削盤將所得到的層疊煅燒體研削成給定的形狀，得到層疊體10。接下來，將在平均粒徑為2ym的銀粉末，與剩余部分以平均粒徑2wm的硅為主成分且軟化點(diǎn)為65(TC的玻璃粉末的混合物中，添加粘合劑而制造的銀玻璃導(dǎo)電性料漿，通過絲網(wǎng)印刷以約30um的厚度形成到層疊體10側(cè)面的外部電極4形成面上，在700。C下進(jìn)行30分鐘的焙燒，由此形成外部電極4。這里，試料編號(hào)1中，在壓電體層1間形成有使得外部電極4的一部分進(jìn)入的插入部4a，在試料編號(hào)2中，沒有形成插入部。試料編號(hào)1中，形成有插入部4a的壓電體層1間的金屬層2a，如下來形成。也即，使用在銀一鈀合金中，添加相對(duì)于銀一鈀合金100%體積為200%體積的平均粒徑為0.5um的丙烯顆粒，進(jìn)而加入粘合劑調(diào)制而成的導(dǎo)電性料漿，在陶瓷印刷電路基板的單面上印刷厚4ixm的該導(dǎo)電性料漿。另外，沒有形成插入部的壓電體層1間的金屬層2b中，印刷厚m的在沒有添加丙烯顆粒的銀一鈀合金中加入了粘合劑的導(dǎo)電性料漿。另外，試料1中，將印刷有用來形成金屬層2a的導(dǎo)電性料漿(添加了丙烯顆粒)的薄片，與印刷有用來形成其他金屬層2b的導(dǎo)電性料漿(沒有添加丙烯顆粒)的薄片，以1層對(duì)20層的比率層疊起來。添加有丙烯顆粒的導(dǎo)電性料漿所形成的金屬層2a的側(cè)端部與層疊體10的側(cè)面之間的區(qū)域中，形成有外部電極4的一部分平均以20um的深度侵入的插入部4a。金屬層2a的空隙率A平均為80%，其他金屬層2b的空隙率B平均為20M。另外，金屬層2a為金屬組成物(部分金屬層)散布而成的島狀分布。之后，在外部電極4中連接引線，經(jīng)由引線對(duì)正極與負(fù)極的外部電極4加載15分鐘的3kV/mm的直流電場(chǎng)，進(jìn)行極化處理，制造出使用了圖l所示的層疊型壓電元件的壓電調(diào)節(jié)器。給所得到的層疊型壓電調(diào)節(jié)器加載160V的直流電壓，在層疊方向得到40ym的變位量。進(jìn)而，在室溫下以150Hz的頻率對(duì)該層疊型壓電調(diào)節(jié)器加載0+160V的交流電壓，進(jìn)行連續(xù)驅(qū)動(dòng)到1X10"欠的實(shí)驗(yàn)。所得到的結(jié)果如表1所示。[表1]<table>tableseeoriginaldocumentpage45</column></row><table>如表1所示，本發(fā)明的層疊型壓電調(diào)節(jié)器(試料編號(hào)l)中，得到了與連續(xù)驅(qū)動(dòng)之前相同的變位量40um，另外，外部電極4中沒有發(fā)現(xiàn)異常。另外，本發(fā)明的權(quán)利要求外的試料編號(hào)2，由于外部電極的一部分沒有進(jìn)入到金屬層中，因此1X10"欠驅(qū)動(dòng)后，變位量降低到30um。這是由于，試料編號(hào)2沒有形成插入部(外部電極的一部分沒有進(jìn)入到金屬層中)，因此外部電極與層疊體側(cè)面的接合強(qiáng)度弱，外部電極的一部分從層疊體側(cè)面剝離，一部分的內(nèi)部電極與外部電極間產(chǎn)生了斷線。結(jié)果，由于不再給一部分壓電體提供電壓，因此變位量降低。實(shí)施例2制造除了插入部4a的進(jìn)入深度D、形成有插入部4a的壓電體層間的金屬層2a的空隙率A、其他金屬層2b的空隙率B、金屬層2a的構(gòu)造、金屬層2a的配置狀態(tài)、以及構(gòu)成金屬層的Ag的含有率如表1進(jìn)行了變化以外，均與實(shí)施例l相同的層疊型壓電元件。另外，所有的試料中，將初始的變位量都設(shè)為一定(40um)，因此在金屬層2a沒有起到電極功能(不導(dǎo)通)的試料中，考慮到金屬層2a的層數(shù)，通過增加導(dǎo)通的金屬層2b的層疊，來調(diào)整變位特性。評(píng)價(jià)結(jié)果如表2所示。[表2]<table>tableseeoriginaldocumentpage46</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage47</column></row><table>※1多孔質(zhì)金屬層①由以彼此絕緣的狀態(tài)散布的多個(gè)部分金屬層構(gòu)成的多孔質(zhì)金屬層，不作為電極起作用?！?多孔質(zhì)金屬層②雖然是多孔質(zhì)金屬層，但同時(shí)是空隙較多的獨(dú)立氣孔，因此作為電極起作用?！?以其他金屬層20層對(duì)金屬層2a—層的比率進(jìn)行層疊。※4以其他金屬層10層對(duì)金屬層2a—層的比率層疊而成的部分，與以其他金屬層30層對(duì)金屬層2a—層的比率層疊而成的部分彼此交互混合在一起?！?比率Rl=(金屬層2a中含有的Ag的含有率)/(金屬層2b中含有的Ag的含有率)根據(jù)表2，作為本發(fā)明的層疊型壓電調(diào)節(jié)器的試料編號(hào)l、3、4、5、6、7，即使在1X10"欠連續(xù)驅(qū)動(dòng)后，也得到了與連續(xù)驅(qū)動(dòng)前相同的變位量，是一種具備高可靠性的壓電調(diào)節(jié)器。實(shí)施例3制造除了金屬層2a的層疊方向兩側(cè)的金屬層2e的空隙率E、金屬層2e與其他金屬層的厚度、金屬層2a的層疊方向兩側(cè)的金屬層2e的極性(正極或負(fù)極)等進(jìn)行了變化以外，均與實(shí)施例l相同的層疊型壓電元件。另外，所有的試料中，將初始的變位量都設(shè)為一定(40um)，因此因金屬層2e的極性不同而引起的變位特性的差，能夠通過增減金屬層2b的層數(shù)來調(diào)整。另外進(jìn)行除了通過將驅(qū)動(dòng)電壓提高了40V作為0200V的交流電壓，來加速實(shí)驗(yàn)以外，均與實(shí)施例l相同的連續(xù)驅(qū)動(dòng)實(shí)驗(yàn)，所得到的結(jié)果如表3所示。[表3]<table>tableseeoriginaldocumentpage48</column></row><table>※1多孔質(zhì)金屬層①由以彼此絕緣的狀態(tài)散布的多個(gè)部分金屬層構(gòu)成的多孔質(zhì)金屬層，不作為電極起作用。※2以其他金屬層20層對(duì)金屬層2a—層的比率進(jìn)行層疊?！?比率111=(金屬層2a中含有的Ag的含有率)/(金屬層2b中含有的Ag的含有率)根據(jù)表3，作為本發(fā)明的層疊型壓電調(diào)節(jié)器的試料編號(hào)1、8、9，得到了驅(qū)動(dòng)后的變位量的改善效果，是一種具備高可靠性的壓電調(diào)節(jié)器。實(shí)施例4制造如圖ll所示，4個(gè)層4b、4c、4d、4e所構(gòu)成的外部電極4形成在層疊體的側(cè)面，如表4所示，除了對(duì)外部電極中的玻璃材料的含有量等進(jìn)行了各種變更之外，其他均與實(shí)施例1相同的層疊型壓電元件。另外，所有的試料中，將初始的變位量都設(shè)為一定(40um)，因此在金屬層2a不作為電極起作用(不導(dǎo)通)的試料中，考慮金屬層2a的層數(shù)，通過增加導(dǎo)通的金屬層2b的層疊來調(diào)整變位特性。另外進(jìn)行除了通過將驅(qū)動(dòng)電壓提高了40V作為0200V的交流電壓，來加速實(shí)驗(yàn)以外，均與實(shí)施例1相同的連續(xù)驅(qū)動(dòng)實(shí)驗(yàn)，所得到的結(jié)果如表4所示。[表4]<table>tableseeoriginaldocumentpage50</column></row><table>體6導(dǎo)電性材料+玻璃有插入部》外部電極本體S側(cè)》外艦ij80多孔質(zhì)金屬層①※1〇不規(guī)則※440pm34^m7導(dǎo)電性材料+玻璃有插入部>外部電極本體S側(cè)>外側(cè)80多孔質(zhì)金屬層①※1不規(guī)則※436tim8導(dǎo)電性材料+玻璃有插入部>外部電極本體s側(cè)》外側(cè)80多孔質(zhì)金屬層①※1規(guī)則※30.840um37um9導(dǎo)電性材料+玻璃有插入部》外部電極本體s側(cè)》外側(cè)80多孔質(zhì)金屬層①※1〇規(guī)則※31D=0.2T40tim38tim※1多孔質(zhì)金屬層①由以彼此絕緣的狀態(tài)散布的多個(gè)部分金屬層構(gòu)成的多孔質(zhì)金屬層，不作為電極起作用。※2多孔質(zhì)金屬層②雖然是多孔質(zhì)金屬層，但同時(shí)是空隙較多的獨(dú)立氣孔，因此作為電極起作用?！?以其他金屬層20層對(duì)金屬層2a—層的比率進(jìn)行層疊。※4以其他金屬層10層對(duì)金屬層2a—層的比率層疊而成的部分，與以其他金屬層30層對(duì)金屬層2a—層的比率層疊而成的部分彼此交互混合在一起?！?比率1<2=(金屬層2a中含有的Ag的含有率)/(金屬層2a的層疊發(fā)現(xiàn)兩側(cè)的金屬層中含有的Ag的含有率)※6S側(cè)是指構(gòu)成外部電極的多個(gè)層中的位于層疊體的側(cè)面一側(cè)的層外側(cè)是指構(gòu)成外部電極的多個(gè)層中位于最外側(cè)的層。根據(jù)表4，作為本發(fā)明的層疊型壓電調(diào)節(jié)器的試料編號(hào)310，得到了驅(qū)動(dòng)后的變位量的改善效果，是一種具備高可靠性的壓電調(diào)節(jié)器。實(shí)施例5首先，制作混合有以平均粒徑為0.4um的以鈦酸鋯酸鉛PZT為主成份的壓電陶瓷的燒制粉末、粘合劑、以及可塑劑的料漿，通過刮刀法制造成為厚150um的壓電體層1的陶瓷印刷電路基板。在該陶瓷印刷電路基板的單面，通過絲網(wǎng)印刷法形成在銀一鈀合金中添加有粘合劑的導(dǎo)電性料漿，將印刷有該導(dǎo)電性料漿的薄片層疊300張，在980110(TC下進(jìn)行煅燒得到層疊煅燒體。此時(shí)，在形成使得被覆樹脂21侵入的多孔質(zhì)金屬層2a的部分中，通過在銀一鈀合金中，添加相對(duì)于銀一鈀合金100%體積為200%體積的平均粒徑為0.5Pm的丙烯顆粒，進(jìn)而加入粘合劑調(diào)制而成的導(dǎo)電性料漿，印刷到厚4um。另外，在形成不讓被覆樹脂21侵入的其他金屬層2b的部分中，印刷厚4um的在沒有添加丙烯顆粒的銀一鈀合金中加入了粘合劑的導(dǎo)電性料漿。不讓被覆樹脂21侵入的金屬層2b與讓被覆樹脂21侵入的多孔質(zhì)金屬層2a，的比率，設(shè)為20:1。也即，將印刷了金屬層2b用導(dǎo)電性料漿的印刷電路基板層疊20層之后，層疊1層印刷了多孔質(zhì)金屬層2a'用導(dǎo)電性料漿的印刷電路基板，按照該順序規(guī)則地層疊各個(gè)印刷電路基板。接下來，通過平面研削盤將所得到的層疊煅燒體研削成給定的形狀，得到層疊體IO。接下來，將在平均粒徑為2ym的銀粉末，與剩余部分以平均粒徑m的硅為主成分且軟化點(diǎn)為65(TC的玻璃粉末的混合物中，添加粘合劑而制造的銀玻璃導(dǎo)電性料漿，通過絲網(wǎng)印刷以約30ym的厚度形成到層疊體10側(cè)面的外部電極4形成面上，在70(TC下進(jìn)行30分鐘的焙燒，由此形成外部電極4。之后，在外部電極4中連接了引線后，對(duì)元件外周的硅樹脂進(jìn)行基于浸漬的真空除泡，形成了被覆樹脂21.此時(shí)，添加有丙烯顆粒的導(dǎo)電性料漿所形成的多孔質(zhì)金屬層2a，的側(cè)端部與所述層疊體10的側(cè)面之間的區(qū)域中，被覆樹脂21的一部分(內(nèi)設(shè)樹脂21a)平均以10um的深度侵入。進(jìn)而，多孔質(zhì)金屬層2a'的空隙率平均為80%，其他金屬層2b的空隙率平均為10%。另外，多孔質(zhì)金屬層2a'為金屬組成物構(gòu)成的部分金屬層散布而成的島狀分布。之后，經(jīng)由引線對(duì)正極與負(fù)極的外部電極4加載15分鐘的3kV/mm的直流電場(chǎng)，進(jìn)行極化處理，制造出使用了圖13所示的層疊型壓電元件的壓電調(diào)節(jié)器(試料編號(hào)10)。另一方面，制造除了不使用印刷有金屬層2a用導(dǎo)電性料漿的印刷電路基板，而只層疊有都是印刷有金屬層2b用導(dǎo)電性料漿的印刷電路基板的層疊體之外，都與上述相同的壓電調(diào)節(jié)器(試料編號(hào)11)。該調(diào)節(jié)器中，被覆樹脂沒有進(jìn)入到壓電體層間的一部分區(qū)域中。給上述所得到的各層疊型壓電調(diào)節(jié)器加載160V的直流電壓，得到絕電阻30MQ。進(jìn)而，在溫度85。C，濕度85。/。RH下，以100Hz的頻率對(duì)該層疊型壓電調(diào)節(jié)器加載0+160V的交流電壓，進(jìn)行連續(xù)驅(qū)動(dòng)到1X10"欠的實(shí)驗(yàn)。所得到的結(jié)果如表5所示。[表5]試料編號(hào)被覆樹脂的狀態(tài)初始的絕緣電阻1X109次驅(qū)動(dòng)后<table>tableseeoriginaldocumentpage54</column></row><table>如表5所示，本發(fā)明的層疊型壓電調(diào)節(jié)器(試料編號(hào)IO)中，得到了與連續(xù)的驅(qū)動(dòng)前相同的絕緣電阻30MQ，另外，被覆樹脂中沒有發(fā)現(xiàn)異常。另外，本發(fā)明的權(quán)利要求之外的試料編號(hào)11的被覆樹脂的一部分(內(nèi)設(shè)樹脂)沒有進(jìn)入到金屬層中的層疊型壓電調(diào)節(jié)器中，初始的絕緣電阻與本發(fā)明的層疊型壓電調(diào)節(jié)器相同，但1X10"欠驅(qū)動(dòng)后，硅樹脂的一部分存在燒損痕跡，且絕緣電阻降低到1MQ以下。認(rèn)為是試料編號(hào)11的層疊型壓電調(diào)節(jié)器中，被覆樹脂的一部分(內(nèi)設(shè)樹脂)沒有迸入到金屬層中，因此被覆樹脂與層疊體的側(cè)面的接合強(qiáng)度弱，結(jié)果，被覆樹脂的一部分從層疊體側(cè)面剝離，環(huán)境中的水分進(jìn)入到剝離后的部分中，該水分使得絕緣電阻降低。實(shí)施例6接下來，制造除了對(duì)被覆樹脂21的一部分(內(nèi)設(shè)樹脂)所進(jìn)入的金屬層2a的狀態(tài)進(jìn)行了變更之外，都與實(shí)施例5相同的層疊型壓電調(diào)節(jié)器。另外，被覆樹脂21的一部分(內(nèi)設(shè)樹脂)所進(jìn)入的金屬層2a不導(dǎo)通的試料編號(hào)的層疊型壓電元件中，考慮到該不導(dǎo)通的金屬層2a的層數(shù)，而增加了導(dǎo)通的沒有被被覆樹脂21侵入的金屬層2b的層疊。表6中示出了評(píng)價(jià)結(jié)果。另外，表6中的"空隙率A"，表示被覆樹脂的一部分進(jìn)入的金屬層的空隙率。表6中的"空隙率B"，表示在層疊方向上與被覆樹脂的一部分進(jìn)入的金屬層相鄰的兩側(cè)的金屬層的空隙率。表6中的"金屬層的狀態(tài)"，表示被覆樹脂的一部分所進(jìn)入的金屬層是否由多個(gè)散布的部分金屬層構(gòu)成，"〇"的試料表示由部分金屬層構(gòu)成，"一"的試料表示不存在部分金屬層。表6中的"金屬層的配置狀態(tài)"，是指被覆樹脂的一部分所進(jìn)入金屬層是否在層疊方向上被規(guī)則地設(shè)置，"一"的試料表示該金屬層被隨機(jī)設(shè)置。表6中的"11族金屬的比率"，表示構(gòu)成被覆樹脂的一部分所進(jìn)入的金屬層的周期表第11族金屬，與構(gòu)成與該金屬層相鄰的兩側(cè)的金屬層的周期表第11族金屬的比率(被覆樹脂的一部分進(jìn)入的金屬層/兩側(cè)的金屬層)。[表6]<table>tableseeoriginaldocumentpage55</column></row><table>根據(jù)表6，作為本發(fā)明的層疊型壓電調(diào)節(jié)器的試料編號(hào)IO、12、13、14、15、16，即使在被連續(xù)驅(qū)動(dòng)了1X10"欠的情況下，也得到了與連續(xù)的驅(qū)動(dòng)前相同的絕緣電阻，是一種具備高可靠性的壓電調(diào)節(jié)器。實(shí)施例7首先，制作混合有以平均粒徑為0.4um的以鈦酸鋯酸鉛PZT為主成份的壓電陶瓷的輔助性燒制的粉末、粘合劑、以及可塑劑的料漿，通過刮刀法制造成為厚150um的壓電體層1的陶瓷印刷電路基板。將銀一鈀合金(銀95%質(zhì)量比一鈀5%質(zhì)量比)中添加有粘合劑的導(dǎo)電性料漿，通過絲網(wǎng)印刷法印刷在該陶瓷印刷電路基板的單面而形成的薄片層疊300張進(jìn)行煅燒。煅燒在保持為80(TC后，以1000。C進(jìn)行煅燒，研磨成一邊為8mm，長(zhǎng)100mm的形狀。接下來，制作在平均粒徑為2um的銀粉末，與剩余部分以平均粒徑m的硅為主成分且軟化點(diǎn)為64(TC的非結(jié)晶玻璃粉末的混合物中，添加粘合劑，并對(duì)銀粉末與玻璃粉末的混合量、粘度進(jìn)行了各種各樣的變更的銀玻璃導(dǎo)電性料漿，絲網(wǎng)印刷后進(jìn)行焙燒。進(jìn)而再次準(zhǔn)備銀玻璃導(dǎo)電性料漿，對(duì)已經(jīng)制造完畢的內(nèi)層側(cè)電極，細(xì)微變更了位置后，再次絲網(wǎng)印刷銀玻璃導(dǎo)電性料漿后，作為外設(shè)電極進(jìn)行焙燒，重復(fù)以上操作，制造多個(gè)電極材料構(gòu)成的外部電極15。之后，在外部電極15中連接引線，經(jīng)由引線對(duì)正極與負(fù)極的外部電極15加載15分鐘的3kV/mm的直流電場(chǎng)，進(jìn)行極化處理，制造出使用了層疊型壓電元件的壓電調(diào)節(jié)器。給所得到的層疊型壓電調(diào)節(jié)器加載170V的直流電壓，所有的壓電調(diào)節(jié)器中，在層疊方向得到變位量。進(jìn)而，在室溫下以150Hz的頻率對(duì)該層疊型壓電調(diào)節(jié)器加載0+170V的交流電壓，進(jìn)行連續(xù)驅(qū)動(dòng)到1X10"欠的實(shí)驗(yàn)。所得到的結(jié)果如表7所示。另外，表7中的長(zhǎng)度L是指將分離部投影到層疊體的側(cè)面時(shí)的長(zhǎng)度，角度e表示將外部電極與層疊體的側(cè)面相接觸的部分和分離部之間的邊界，與分離部的尖端連接起來的直線，與層疊體的側(cè)面所形成的角度，距離H表示分離部的尖端與層疊體的側(cè)面之間的距離。[表7]<table>tableseeoriginaldocumentpage57</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage58</column></row><table>根據(jù)該表7，如作為比較例的試料編號(hào)23所示，在外部電極15的周邊部15a的厚度一定，沒有形成與層疊體的側(cè)面之間的分離部16的情況下，外部電極15與層疊體10的接合邊界部中產(chǎn)生大應(yīng)力。由此，與外部電極15相接合的層疊體10，其邊界部中產(chǎn)生龜裂，漸漸發(fā)展成橫斷層疊體10的龜裂，電絕緣性惡化到lX10"Qcm以下。與此相對(duì)，本發(fā)明的實(shí)施例的試料編號(hào)1722，即使被連續(xù)驅(qū)動(dòng)了l乂109次后，元件變位量也沒有變化，具有作為壓電調(diào)節(jié)器所必須的實(shí)效變位量，電絕緣性也良好地保持在lXl(^Qcm以上，能夠制造出具備優(yōu)秀的持久性的壓電調(diào)節(jié)器。特別是試料No.1922，即使被連續(xù)驅(qū)動(dòng)了1X10"欠后，元件變位量也高達(dá)60um以上，是一種可靠性優(yōu)秀的層疊型壓電元件。權(quán)利要求1.一種層疊型壓電元件，具有層疊體與覆蓋部件，該層疊體包括多個(gè)壓電體層與多個(gè)金屬層，由所述壓電體層與所述金屬層交互層疊而構(gòu)成，所述覆蓋部件覆蓋所述層疊體的側(cè)面的至少一部分，所述多個(gè)金屬層中的至少一個(gè)金屬層，是比在層疊方向上與該金屬層相鄰的兩側(cè)金屬層空隙多的多孔質(zhì)金屬層，所述覆蓋部件的一部分，進(jìn)入到在層疊方向上與該多孔質(zhì)金屬層相鄰的2個(gè)壓電體層之間。2.根據(jù)權(quán)利要求l所述的層疊型壓電元件，其特征在于所述覆蓋部件是覆蓋所述層疊體的側(cè)面的被覆樹脂。3.根據(jù)權(quán)利要求l所述的層疊型壓電元件，其特征在于所述覆蓋部件是與所述多個(gè)金屬層交互連接的一對(duì)外部電極。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的層疊型壓電元件，其特征在于所述覆蓋部件是覆蓋所述層疊體的側(cè)面的被覆樹脂，以及與所述多個(gè)金屬層交互連接的一對(duì)外部電極。5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的層疊型壓電元件，其特征在于所述外部電極含有導(dǎo)電性材料與玻璃材料，進(jìn)入到所述兩個(gè)壓電體層之間的外部電極的一部分中的所述玻璃材料的含有量，比該一部分以外的外部電極中的所述玻璃材料的含有量多。6.-根據(jù)權(quán)利要求35中任一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，其特征在于所述外部電極由在垂直于所述層疊體的側(cè)面的方向上層疊的多個(gè)層構(gòu)成，這些多個(gè)層中與所述層疊體的側(cè)面相鄰的層中的所述玻璃材料的含有量，比其他層中的所述玻璃材料的含有量多。7.根據(jù)權(quán)利要求36中任一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，其特征在于所述外部電極的周邊部中，越到周邊側(cè)其厚度逐漸變薄，且形成有與所述層疊體的側(cè)面分離的分離部。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的層疊型壓電元件，其特征在于所述分離部與所述層疊體的側(cè)面之間存在空隙。9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的層疊型壓電元件，其特征在于所述分離部與所述層疊體的側(cè)面之間的至少一部分中隔有絕緣性樹脂。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的層疊型壓電元件，其特征在于所述絕緣性樹脂，隔在所述分離部與所述層疊體的側(cè)面之間的周邊側(cè)中。11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的層疊型壓電元件，其特征在于所述絕緣性樹脂，填充在所述分離部與所述層疊體的側(cè)面之間。12.根據(jù)權(quán)利要求911中任一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，其特征在于所述絕緣性樹脂是硅樹脂。13.根據(jù)權(quán)利要求712中任一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，其特征在于所述外部電極由在垂直于所述層疊體的側(cè)面的方向上層疊的多個(gè)層構(gòu)成，且外側(cè)層的熱膨脹系數(shù)比內(nèi)側(cè)層的熱膨脹系數(shù)大。14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的層疊型壓電元件，其特征在于所述多個(gè)層中與所述層疊體的側(cè)面相鄰的層，比其他層更向周邊側(cè)突出。15.根據(jù)權(quán)利要求13或14所述的層疊型壓電元件，其特征在于-所述分離部?jī)H僅由與所述層疊體的側(cè)面相鄰的層構(gòu)成。16.根據(jù)權(quán)利要求715中任一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，其特征在于所述分離部投影到所述層疊體的側(cè)面上的長(zhǎng)度為10um以上。17.根據(jù)權(quán)利要求716中任一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，其特征在于將所述外部電極與所述層疊體的側(cè)面相接觸的部分和所述分離部之間的邊界，與所述分離部的尖端連接起來的直線，與所述層疊體的側(cè)面所形成的角度為l度以上45度以下。18.根據(jù)權(quán)利要求717中任一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，其特征在于所述分離部的尖端與所述層疊體的側(cè)面之間的距離，為1ym以上50ym以下。19.根據(jù)權(quán)利要求118中任一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，其特征在于所述多孔質(zhì)金屬層，由在層疊方向上與該多孔質(zhì)金屬層相鄰的兩個(gè)壓電體層之間散布的多個(gè)部分金屬層構(gòu)成，這些部分金屬層彼此分離配置。20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的層疊型壓電元件，其特征在于-在層疊方向上與所述多孔質(zhì)金屬層相鄰的兩側(cè)的金屬層是同極的。21.根據(jù)權(quán)利要求19或20所述的層疊型壓電元件，其特征在于所述覆蓋部件的一部分進(jìn)入到相鄰的所述部分金屬層間。22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的層疊型壓電元件，其特征在于進(jìn)入到所述部分金屬層間的所述覆蓋部件的一部分，覆蓋了所述部分金屬層的表面。23.根據(jù)權(quán)利要求122中任一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，其特征在于在層疊方向上與所述多孔質(zhì)金屬層相鄰的兩側(cè)的金屬層，是與在層疊方向上和該兩側(cè)的金屬層相鄰的金屬層相比，空隙較少的高密度金屬層。24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的層疊型壓電元件，其特征在于-所述高密度金屬層的厚度，比在層疊方向上與這些高密度金屬層相鄰的金屬層的厚度大。25.根據(jù)權(quán)利要求124中任一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，其特征在于所述層疊體具有多個(gè)所述多孔質(zhì)金屬層。26.根據(jù)權(quán)利要求25所述的層疊型壓電元件，其特征在于所述覆蓋部件的一部分，分別進(jìn)入到設(shè)有所述多孔質(zhì)金屬層的各個(gè)壓電體層之間。27.根據(jù)權(quán)利要求25所述的層疊型壓電元件，其特征在于所述多個(gè)多孔質(zhì)金屬層規(guī)則地設(shè)置在所述層疊體的層疊方向上，所述覆蓋部件的一部分，分別進(jìn)入到設(shè)有所述多孔質(zhì)金屬層的各個(gè)壓電體層之間。28.根據(jù)權(quán)利要求127中任一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，其特征在于進(jìn)入到所述壓電體層間的所述覆蓋部件的一部分，其層疊方向的厚度t與進(jìn)入到所述壓電體層間的深度D之間，滿足D>0.1t的關(guān)系。29.—種噴射裝置，具有設(shè)置了噴出孔的容器，與權(quán)利要求128中任一項(xiàng)所述的層疊型壓電元件，通過所述層疊型壓電元件的驅(qū)動(dòng)，使得所述容器內(nèi)填充的液體從所述噴射孔噴出。30.—種燃料噴射系統(tǒng)，具有存儲(chǔ)高壓燃料的公共管道；權(quán)利要求29中所述的噴射裝置，噴射該公共管道中所存儲(chǔ)的燃料；向所述公共管道提供高壓燃料的壓力泵；以及向所述噴射裝置提供驅(qū)動(dòng)信號(hào)的噴射控制單元。全文摘要提供一種即使在高電場(chǎng)、高壓力下長(zhǎng)期連續(xù)驅(qū)動(dòng)的情況下，外部電極也不會(huì)從層疊體表面剝離，持久性優(yōu)秀的層疊型壓電元件及其制造方法與噴射裝置。該層疊型壓電元件包括具有多個(gè)壓電體層(1)與多個(gè)金屬層(2)，由壓電體層(1)與金屬層(2)交互層疊而成的層疊體(10)，以及覆蓋層疊體(10)的側(cè)面的一部分的外部電極(覆蓋部件)(4)，多個(gè)金屬層(2)中的至少1個(gè)金屬層(2a)，是與在層疊方向上與該金屬層(2a)相鄰的兩側(cè)的金屬層(2b)相比空隙較多的多孔質(zhì)金屬層(2a)，外部電極(4)的一部分，進(jìn)入到在層疊方向上與該多孔質(zhì)金屬層(2a)相鄰的兩個(gè)的壓電體層(1，1)之間。文檔編號(hào)H02N2/00GK101283459SQ200680035960公開日2008年10月8日申請(qǐng)日期2006年10月26日優(yōu)先權(quán)日2005年10月28日發(fā)明者中村成信,加藤剛,小野進(jìn),長(zhǎng)崎浩一申請(qǐng)人:京瓷株式會(huì)社