專利名稱：驅(qū)動(dòng)裝置及光學(xué)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種驅(qū)動(dòng)被驅(qū)動(dòng)部件的驅(qū)動(dòng)裝置及具備該驅(qū)動(dòng)裝置的光 學(xué)裝置。
背景技術(shù)：
作為過(guò)去的驅(qū)動(dòng)裝置及光學(xué)裝置，已知具有將驅(qū)動(dòng)軸安裝在壓電元
件的致動(dòng)器(壓電致動(dòng)器)的裝置。例如，在專利文獻(xiàn)1 4公開了一種 裝置，該裝置通過(guò)驅(qū)動(dòng)信號(hào)使壓電元件伸縮，根據(jù)壓電元件的伸縮動(dòng)作 使驅(qū)動(dòng)軸進(jìn)行往返運(yùn)動(dòng)，使與驅(qū)動(dòng)軸摩擦卡合的被驅(qū)動(dòng)部件移動(dòng)。
專利文獻(xiàn)1所記載的驅(qū)動(dòng)裝置在驅(qū)動(dòng)開始、驅(qū)動(dòng)停止及驅(qū)動(dòng)方向反 轉(zhuǎn)時(shí)控制施加到壓電元件的施加時(shí)間而控制被驅(qū)動(dòng)部件的移動(dòng)速度。專 利文獻(xiàn)2所記載的驅(qū)動(dòng)裝置預(yù)先將驅(qū)動(dòng)波形存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器，根據(jù)被驅(qū)動(dòng) 部件的目標(biāo)驅(qū)動(dòng)方向及目標(biāo)驅(qū)動(dòng)速度，選擇被存儲(chǔ)的驅(qū)動(dòng)波形并控制驅(qū) 動(dòng)速度。專利文獻(xiàn)3所記載的驅(qū)動(dòng)裝置在被驅(qū)動(dòng)部件的移動(dòng)速度小于預(yù) 定值時(shí)，將壓電致動(dòng)器的共振頻率設(shè)定為驅(qū)動(dòng)頻率而驅(qū)動(dòng)壓電致動(dòng)器。 專利文獻(xiàn)4所記載的驅(qū)動(dòng)裝置在被驅(qū)動(dòng)部件位于預(yù)定位置時(shí)利用壓接減 輕板簧而減輕被驅(qū)動(dòng)部件對(duì)驅(qū)動(dòng)軸的接觸壓力。
專利文獻(xiàn)l:日本專利公開平9-191676號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)2:日本專利公開平11-155292號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)3:日本專利公開2006-115631號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)4:日本專利公開平11-318091號(hào)公報(bào)
在此，對(duì)于驅(qū)動(dòng)裝置，隨著使用期間或使用頻度而壓電致動(dòng)器的驅(qū) 動(dòng)特性變化。例如，有時(shí)根據(jù)使用期間或使用頻度而移動(dòng)對(duì)象的被驅(qū)動(dòng) 部件的移動(dòng)開始變慢。因此，對(duì)于專利文獻(xiàn)K 2記載的驅(qū)動(dòng)裝置，在被 驅(qū)動(dòng)部件移動(dòng)開始的時(shí)刻不能進(jìn)行作為目標(biāo)的驅(qū)動(dòng)控制，存在工作不便 的憂慮。而且，對(duì)于專利文獻(xiàn)3記載的驅(qū)動(dòng)裝置，由于以致動(dòng)器的共振頻率驅(qū)動(dòng)，因此，存在移動(dòng)開始推力降低且工作不便的憂慮。而且，對(duì) 于專利文獻(xiàn)4記載的驅(qū)動(dòng)裝置，需要重新設(shè)置壓接減輕手段，所以存在 結(jié)構(gòu)復(fù)雜化的憂慮。
發(fā)明內(nèi)容
由此，本發(fā)明是為了解決這種技術(shù)課題而提出的，其目的在于提供 一種能夠以簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)回避壓電致動(dòng)器的動(dòng)作不便的驅(qū)動(dòng)裝置及光學(xué)裝 置。
艮P，本發(fā)明所涉及的驅(qū)動(dòng)裝置具有在壓電元件安裝驅(qū)動(dòng)軸的致動(dòng) 器，通過(guò)驅(qū)動(dòng)信號(hào)使壓電元件伸縮，根據(jù)壓電元件的伸縮動(dòng)作使驅(qū)動(dòng)軸 進(jìn)行往返運(yùn)動(dòng)，而使與驅(qū)動(dòng)軸摩擦卡合的被驅(qū)動(dòng)部件移動(dòng)，其中，驅(qū)動(dòng) 裝置具備驅(qū)動(dòng)信號(hào)控制手段，其在從壓電元件的伸縮動(dòng)作開始到預(yù)定時(shí) 間為止的期間，將與在期間后的被驅(qū)動(dòng)部件移動(dòng)時(shí)輸出的第l驅(qū)動(dòng)信號(hào)相
比而在被驅(qū)動(dòng)部件所施加的推力大且被驅(qū)動(dòng)部件的移動(dòng)速度慢的第2驅(qū)動(dòng) 信號(hào)，輸出到壓電元件。
本發(fā)明所涉及的驅(qū)動(dòng)裝置，將在從致動(dòng)器的動(dòng)作開始起到預(yù)定時(shí)間為 止的期間輸出的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，設(shè)為與在預(yù)定的期間后輸出的第l驅(qū)動(dòng)信號(hào)相 比而在被驅(qū)動(dòng)部件所施加的推力大且被驅(qū)動(dòng)部件的移動(dòng)速度慢的信號(hào)。 因此，在剛開始后的期間，可以將大于移動(dòng)時(shí)的推力施加在被驅(qū)動(dòng)部 件，所以，可以從動(dòng)作剛幵始后順利地移動(dòng)被驅(qū)動(dòng)部件。于是，不必重 新設(shè)置壓接減輕手段，能夠通過(guò)驅(qū)動(dòng)信號(hào)的控制以簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)回避動(dòng)作 不便。
在此，驅(qū)動(dòng)信號(hào)控制手段優(yōu)選利用脈沖信號(hào)作為驅(qū)動(dòng)信號(hào)，將在上 述期間輸出的脈沖信號(hào)的脈沖間隔設(shè)為與在上述期間后的被驅(qū)動(dòng)部件移 動(dòng)時(shí)輸出的脈沖信號(hào)的脈沖間隔不同的脈沖間隔。通過(guò)這樣構(gòu)成，可以 控制脈沖信號(hào)的脈沖間隔，來(lái)控制施加在被驅(qū)動(dòng)部件的推力及被驅(qū)動(dòng)部 件的移動(dòng)速度。
而且，在控制脈沖信號(hào)的脈沖間隔時(shí)，驅(qū)動(dòng)信號(hào)控制手段使在上述 期間輸出的脈沖信號(hào)的脈沖間隔大于在上述期間后的被驅(qū)動(dòng)部件移動(dòng)時(shí) 輸出的脈沖信號(hào)的脈沖間隔。通過(guò)這樣構(gòu)成，控制脈沖信號(hào)的脈沖間隔，使在預(yù)定期間施加于壓電元件的電壓的施加時(shí)間比上述期間后的移 動(dòng)時(shí)長(zhǎng)。于是，可以將預(yù)定期間的驅(qū)動(dòng)信號(hào)設(shè)為與在期間后輸出的驅(qū)動(dòng) 信號(hào)相比而被驅(qū)動(dòng)部件所施加的推力大且被驅(qū)動(dòng)部件的移動(dòng)速度慢的信 號(hào)。
而且，驅(qū)動(dòng)信號(hào)控制手段適合將驅(qū)動(dòng)信號(hào)的驅(qū)動(dòng)頻率設(shè)為小于致動(dòng) 器的共振頻率。通過(guò)這樣構(gòu)成，可以回避在以共振頻率以上的頻率驅(qū)動(dòng) 時(shí)所發(fā)生的推力下降。
另外，驅(qū)動(dòng)信號(hào)控制手段適合將連續(xù)的脈沖信號(hào)分別輸出到壓電元 件的兩端而使壓電元件伸縮，不變更由輸出到一端的脈沖信號(hào)的下降沿 和輸出到另一端的脈沖信號(hào)的上升沿所規(guī)定的時(shí)滯及各脈沖信號(hào)的寬度， 而變更一方或雙方的脈沖信號(hào)的脈沖間隔。通過(guò)這樣構(gòu)成，可以更加簡(jiǎn) 單地回避動(dòng)作不便。
而且，本發(fā)明所涉及的光學(xué)裝置具備上述的驅(qū)動(dòng)裝置而構(gòu)成。根據(jù) 該光學(xué)裝置，具備上述的驅(qū)動(dòng)裝置，所以可以使光學(xué)部件效率良好地取 得驅(qū)動(dòng)特性。
根據(jù)本發(fā)明，能夠以簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)回避壓電致動(dòng)器的動(dòng)作不便。
圖1是表示采用本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的驅(qū)動(dòng)裝置的攝像裝置的 攝像光學(xué)系統(tǒng)的簡(jiǎn)要圖。
圖2是表示本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的驅(qū)動(dòng)裝置的剖面圖。 圖3是圖2的III-III的被驅(qū)動(dòng)部件的剖面圖。
圖4是表示圖2的驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)電路的圖。
圖5是輸入到圖2的驅(qū)動(dòng)裝置的壓電元件的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的波形圖。
圖6是表示圖2的驅(qū)動(dòng)裝置的致動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)特性的圖。
圖7是表示圖6的驅(qū)動(dòng)裝置的致動(dòng)器的靜止時(shí)推力的測(cè)量例的圖。
圖8是表示圖2的驅(qū)動(dòng)裝置的致動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)頻率和阻抗的關(guān)系的簡(jiǎn)要圖。
圖9是表示圖2的驅(qū)動(dòng)裝置的動(dòng)作的流程圖。
圖10是輸入到圖2的驅(qū)動(dòng)裝置的壓電元件的移動(dòng)開始時(shí)的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的波形圖。.圖11是輸入到圖2的驅(qū)動(dòng)裝置的壓電元件的移動(dòng)時(shí)的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的波形圖。圖中1-壓電元件，2-驅(qū)動(dòng)軸，3-被驅(qū)動(dòng)部件，10-致動(dòng)器，81-控 制部(驅(qū)動(dòng)信號(hào)控制手段)。
具體實(shí)施方式
以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。另外，在各圖中對(duì) 同一或相應(yīng)部分附上同一符號(hào)，省略重復(fù)的說(shuō)明。本實(shí)施方式所涉及的驅(qū)動(dòng)裝置，例如適合用于具有彎曲光學(xué)系統(tǒng)的 攝像裝置。圖l是表示適用本實(shí)施方式所涉及的驅(qū)動(dòng)裝置的攝像裝置(光 學(xué)裝置)的攝像光學(xué)系統(tǒng)的簡(jiǎn)要圖。例如，如圖1所示，攝像裝置具備固 定透鏡105、棱鏡104、移動(dòng)透鏡90、 102、固定透鏡101及攝像元件82。 而且，本實(shí)施方式所涉及的驅(qū)動(dòng)裝置具有使移動(dòng)透鏡90、 102沿著光軸0 移動(dòng)的功能。在以下，考慮理解說(shuō)明的容易性，對(duì)使移動(dòng)透鏡90移動(dòng)的 驅(qū)動(dòng)裝置進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。圖2是本實(shí)施方式所涉及的驅(qū)動(dòng)裝置的剖面圖。如圖2所示，本實(shí)施 方式所涉及的驅(qū)動(dòng)裝置是具有在壓電元件1安裝有驅(qū)動(dòng)軸2的致動(dòng)器10， 根據(jù)壓電元件1的伸縮使驅(qū)動(dòng)軸2進(jìn)行往返移動(dòng)，使與驅(qū)動(dòng)軸2摩擦卡合的 被驅(qū)動(dòng)部件3沿著驅(qū)動(dòng)軸2移動(dòng)的裝置。該驅(qū)動(dòng)裝置例如為了移動(dòng)透鏡或 攝像元件等光學(xué)部件，所以適當(dāng)?shù)厥褂迷跀z像裝置等光學(xué)裝置。壓電元件l是通過(guò)驅(qū)動(dòng)信號(hào)的輸入可以伸縮的電機(jī)械轉(zhuǎn)換元件，可以 朝預(yù)定的方向伸長(zhǎng)及收縮。該壓電元件l連接在控制部(驅(qū)動(dòng)信號(hào)控制手 段也稱驅(qū)動(dòng)信號(hào)控制機(jī)構(gòu))81，通過(guò)由該控制部81輸入電信號(hào)而進(jìn)行 伸縮。例如，在壓電元件l設(shè)置2個(gè)輸入端子lla、 llb。通過(guò)重復(fù)增減施 加在該輸入端子lla、 llb的電壓，壓電元件l重復(fù)進(jìn)行伸長(zhǎng)及收縮。另 外，作為電機(jī)械轉(zhuǎn)換元件，只要是通過(guò)驅(qū)動(dòng)信號(hào)的輸入而伸縮的，使用 由導(dǎo)電性高分子構(gòu)成的材料或形狀記憶合金等、壓電元件l以外的元件也 可。驅(qū)動(dòng)軸2按照其長(zhǎng)度方向朝向壓電元件1的伸縮方向的方式被安裝在6壓電元件l。例如，驅(qū)動(dòng)軸2的一端抵接在壓電元件1并用粘接劑21粘接。該驅(qū)動(dòng)軸2是長(zhǎng)尺狀部件，例如使用圓柱狀部件。驅(qū)動(dòng)軸2通過(guò)從固定框4 向內(nèi)側(cè)延伸的分隔部4a、分隔部4c支承以沿著長(zhǎng)度方向可移動(dòng)。分隔部 4b、分隔部4c是用于分隔被驅(qū)動(dòng)部件3的移動(dòng)區(qū)域的部件，也具有作為驅(qū) 動(dòng)軸2的支承部件的功能。固定框4具有作為用于收容且組裝壓電元件1、 驅(qū)動(dòng)軸2及被驅(qū)動(dòng)部件3等的框體的功能。驅(qū)動(dòng)軸2的材質(zhì)適于輕且高剛性的材質(zhì)。另外，驅(qū)動(dòng)軸2的形狀不限于圓柱形，也可以為方柱狀。在分隔部4b、分隔部4c分別形成有貫通驅(qū)動(dòng)軸2的貫通孔4a。分隔部 4b支承驅(qū)動(dòng)軸2的壓電元件l安裝部分的附近部位，即驅(qū)動(dòng)軸2的基端部 位。分隔部4c支承驅(qū)動(dòng)軸2的前端部位。驅(qū)動(dòng)軸2通過(guò)安裝在壓電元件1， 根據(jù)壓電元件l的伸長(zhǎng)及收縮的重復(fù)動(dòng)作而沿著該長(zhǎng)度方向進(jìn)行往返移 動(dòng)。'另外，在圖2表示由分隔部4b、 4c在其前端側(cè)和基端側(cè)的2個(gè)部位支 承驅(qū)動(dòng)軸2的情況，但也有在其前端側(cè)或基端側(cè)的一方支承驅(qū)動(dòng)軸2的情 況。例如，通過(guò)將分隔部4b的貫通孔4a形成為大于驅(qū)動(dòng)軸2的外徑，從而 僅在前端部位由分分隔4c支承驅(qū)動(dòng)軸2。另外，通過(guò)將分隔部4c的貫通孔 4a形成為大于驅(qū)動(dòng)軸2的外徑，僅在基端部位由分隔部4b支承驅(qū)動(dòng)軸2。而且，在圖2示出支承驅(qū)動(dòng)軸2的分隔部4b、 4c與固定框4成為一體的 情況，但這些分隔部4b、 4c也可以將與固定框4分體的分隔部安裝設(shè)置在 固定框4。即使在分體的情況，也可以得到與成為一體的情況同樣的功 能、效果。.被驅(qū)動(dòng)部件3可以移動(dòng)地安裝在驅(qū)動(dòng)軸2。該被驅(qū)動(dòng)部件3相對(duì)驅(qū)動(dòng)軸 2摩擦卡合而被安裝，可以沿著驅(qū)動(dòng)軸2的長(zhǎng)度方向移動(dòng)。例如，被驅(qū)動(dòng) 部件3通過(guò)板簧7壓接在驅(qū)動(dòng)軸2，以預(yù)定的摩擦系數(shù)卡合，通過(guò)用一定的 按壓力按壓在驅(qū)動(dòng)軸2而被安裝以在其移動(dòng)時(shí)產(chǎn)生一定的摩擦力。通過(guò)驅(qū) 動(dòng)軸2移動(dòng)以超過(guò)該摩擦力，被驅(qū)動(dòng)部件3因慣性而維持該位置，驅(qū)動(dòng)軸2 對(duì)于該被驅(qū)動(dòng)部件3相對(duì)地移動(dòng)。壓電元件1通過(guò)支承部件5安裝在固定框4。支承部件5相對(duì)于該伸縮 方向從側(cè)方支承安裝壓電元件l，被配置在壓電元件1和固定框4之間。此時(shí)，優(yōu)選由支承部件5從與該伸縮方向垂直的方向支承壓電元件1。該支承部件5具有作為從側(cè)方支承安裝壓電元件1的安裝部件的功能。這樣，由支承部件5相對(duì)壓電元件1伸縮方向從側(cè)方側(cè)支承致動(dòng)器 10，致動(dòng)器10的兩端成為可以朝壓電元件1的伸縮方向移動(dòng)的自由端。因 此，成為即使致動(dòng)器10進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，由壓電元件l的伸縮引起的振動(dòng)也難以 傳遞到固定框4側(cè)的結(jié)構(gòu)。從而，將致動(dòng)器10的驅(qū)動(dòng)信號(hào)與致動(dòng)器10本身的共振頻率建立關(guān)聯(lián)地設(shè)定是有效的。支承部件5由具有預(yù)定以上的彈性特性的彈性體形成，例如，由硅樹 脂形成。支承部件5形成插通壓電元件l的插通孔5a而構(gòu)成，以在該插通 孔5a插通有壓電元件l的狀態(tài)組裝在固定框4。支承部件5在固定框4上的 固定通過(guò)基于粘接劑22的粘接進(jìn)行。而且，支承部件5和壓電元件1之間 的固定也通過(guò)基于粘接劑的粘接進(jìn)行。通過(guò)由彈性體構(gòu)成該支承部件5， 能夠在該伸縮方向可移動(dòng)地支承壓電元件l。在圖2中，在壓電元件l的兩 側(cè)圖示有2個(gè)支承部件5，該支承部件5、 5是通過(guò)取得環(huán)狀支承部件5的剖 面而被圖示為2個(gè)。.另外，支承部件5在固定框4上的固定(固著)及在壓電元件l上的固 定，也可以在固定框4和壓電元件1之間壓入支承部件5并通過(guò)支承部件5 的按壓進(jìn)行。例如，支承部件5由彈性體構(gòu)成，并且，形成為大于固定框 4和壓電元件1的間隔，在這之間壓入設(shè)置。由此，支承部件5與固定框4 及壓電元件l緊貼配置。此時(shí)，通過(guò)支承部件5從與伸縮方向垂直的方向 的兩側(cè)按壓壓電元件l。由此支承壓電元件l。而且，在此對(duì)由硅樹脂形成支承部件5的情況進(jìn)行了說(shuō)明，但也可以 由彈簧部件構(gòu)成支承部件5。例如，在固定框4和壓電元件1之間配置彈簧 部件，也可以通過(guò)該彈簧部件相對(duì)固定框4支承壓電元件1。在被驅(qū)動(dòng)部件3經(jīng)由透鏡框91安裝有移動(dòng)透鏡(光學(xué)部件)90。移動(dòng) 透鏡90構(gòu)成攝像機(jī)的攝影光學(xué)系統(tǒng)，成為驅(qū)動(dòng)裝置的移動(dòng)對(duì)象物。該移 動(dòng)透鏡90與被驅(qū)動(dòng)部件3設(shè)置為一體，設(shè)置成與被驅(qū)動(dòng)部件3—起移動(dòng)。 在移動(dòng)透鏡90的光軸0上配置未圖示的固定透鏡等，構(gòu)成攝像機(jī)的攝影光 學(xué)系統(tǒng)。而且，在光軸0上配置有攝像元件82。攝像元件82是將由攝影光 學(xué)系統(tǒng)成像的圖像變換成電信號(hào)的攝像手段，例如，由CCD構(gòu)成。攝像元件82與控制部81連接，將圖像信號(hào)輸出到控制部81。在壓電元件l的端部安裝有錘部件6。錘部件6是用于將壓電元件l的 伸縮力傳達(dá)到驅(qū)動(dòng)軸2側(cè)的部件，被安裝在與壓電元件1的安裝了驅(qū)動(dòng)軸2的端部相反側(cè)的端部。該錘部件6是構(gòu)成致動(dòng)器10的一部分的部件。作為錘部件6使用比驅(qū) 動(dòng)軸2重的錘部件。錘部件6的材質(zhì)使用楊氏模量小于壓電元件1及驅(qū)動(dòng)軸2的材料。作為 錘部件6的楊氏模量?jī)?yōu)選lGPa以下，更優(yōu)選300MPa以下。另外，作為固定 錘部件6和壓電元件1的粘接劑優(yōu)選使用彈性粘接劑。而且，錘部件6以相對(duì)固定框4未被支承固定的狀態(tài)設(shè)置。即，錘部 件6安裝在壓電元件1的自由端，以相對(duì)固定框4未被直接支承或固定，或 者以介由粘接劑或樹脂材相對(duì)固定框4限制移動(dòng)地未被支承或固定的狀態(tài) 設(shè)置。在驅(qū)動(dòng)裝置設(shè)有檢測(cè)被驅(qū)動(dòng)部件3的移動(dòng)位置的檢測(cè)器83。作為檢測(cè) 器83例如使用光學(xué)式檢測(cè)器，使用光反射器、光斬波器等。具體地，作 為檢測(cè)器83使用具備反射器83a、檢測(cè)部83b的檢測(cè)器時(shí)，在與被驅(qū)動(dòng)部 件3—體形成的透鏡框91安裝反射器83a，從檢測(cè)部83b朝反射器83a側(cè)射 出檢測(cè)光，通過(guò)在反射器83a側(cè)反射過(guò)來(lái)的反射光由檢測(cè)部83b檢測(cè)，來(lái) 檢測(cè)被驅(qū)動(dòng)部件3及移動(dòng)透鏡90的移動(dòng)位置。檢測(cè)器83連接在控制部81。檢測(cè)器83的輸出信號(hào)輸入到控制部81。 控制部81進(jìn)行驅(qū)動(dòng)裝置整體的控制，例如由CPU、 ROM、 RAM、輸入信號(hào)電 路、輸出信號(hào)電路等構(gòu)成。而且，控制部81具備用于使壓電元件1工作的 驅(qū)動(dòng)電路，向壓電元件l輸出用于驅(qū)動(dòng)的電信號(hào)。圖3是在圖2的III-III的被驅(qū)動(dòng)部件3的摩擦卡合部分的剖面圖。如 圖3所示，被驅(qū)動(dòng)部件3通過(guò)由板簧7按壓驅(qū)動(dòng)軸2而安裝在驅(qū)動(dòng)軸 2。例如，在被驅(qū)動(dòng)部件3形成用于定位驅(qū)動(dòng)軸2的V字形溝3a。在該 溝3a配置剖面V字形的滑動(dòng)板3b，驅(qū)動(dòng)軸2介由該滑動(dòng)板3b按壓在被 驅(qū)動(dòng)部件3。而且，在板簧7和被驅(qū)動(dòng)部件3之間配置剖面V字形滑動(dòng)板3c，板 簧7介由該滑動(dòng)板3c按壓被驅(qū)動(dòng)部件3。因此，滑動(dòng)板3b、 3c相互朝向凹部側(cè)而配置，夾著驅(qū)動(dòng)軸2設(shè)置。通過(guò)在V字形溝3a內(nèi)收容驅(qū)動(dòng)軸2，可以使被驅(qū)動(dòng)部件3穩(wěn)定地安裝在驅(qū)動(dòng)軸2。作為板簧7，例如使用剖面L字形板簧材。通過(guò)將板簧7的一邊掛 在被驅(qū)動(dòng)部件3，將其他一邊配置在溝3a的相對(duì)位置，而可以通過(guò)其他 一邊將收容在溝3a的驅(qū)動(dòng)軸2夾入與被驅(qū)動(dòng)部件3之間。這樣，就被驅(qū)動(dòng)部件3而言，由板簧7用一定的力將被驅(qū)動(dòng)部件3 按壓安裝在驅(qū)動(dòng)軸2側(cè)，相對(duì)驅(qū)動(dòng)軸2被摩擦卡合。g卩，被驅(qū)動(dòng)部件3 安裝成相對(duì)驅(qū)動(dòng)軸2用一定的按壓力按壓被驅(qū)動(dòng)部件3且在其移動(dòng)時(shí)產(chǎn) 生一定的摩擦力。而且，通過(guò)由剖面V字形滑動(dòng)板3b、 3c夾持驅(qū)動(dòng)軸2，被驅(qū)動(dòng)部件 3在多個(gè)部位線接觸于驅(qū)動(dòng)軸2，可以對(duì)驅(qū)動(dòng)軸2穩(wěn)定地摩擦卡合。而 且，通過(guò)多個(gè)部位的線接觸狀態(tài)使被驅(qū)動(dòng)部件3卡合于驅(qū)動(dòng)軸2，因 此，實(shí)質(zhì)上成為與被驅(qū)動(dòng)部件3以面接觸狀態(tài)卡合于驅(qū)動(dòng)軸2的同樣的 卡合狀態(tài)，可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的摩擦卡合。接著，對(duì)控制部81進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明?？刂撇?1具備使壓電元件1工 作的驅(qū)動(dòng)電路。圖4是使壓電元件1工作的驅(qū)動(dòng)電路85的電路圖。該驅(qū) 動(dòng)電路85具有作為壓電元件1的驅(qū)動(dòng)電路的功能，向壓電元件1輸出驅(qū) 動(dòng)用的電信號(hào)。驅(qū)動(dòng)電路85從控制部81的控制信號(hào)生成部(未圖示) 輸入控制信號(hào)，對(duì)該控制信號(hào)進(jìn)行電壓放大或電流放大而輸出壓電元件 1的驅(qū)動(dòng)用電信號(hào)。驅(qū)動(dòng)電路85例如由邏輯電路U1 U3構(gòu)成輸入段， 在輸出段使用具備場(chǎng)效應(yīng)型的晶體管(FET) Ql、 Q2的電路。晶體管 Ql、 Q2構(gòu)成為作為輸出信號(hào)可以輸出Hi輸出(高電位輸出)、Lo輸出 (低電位輸出)及0FF輸出(0FF輸出、0PEN輸出)。另外，圖4所示 的驅(qū)動(dòng)電路是用于使壓電元件1工作的電路的一例，也可以利用這個(gè)以 外的電路使壓電元件l工作。在圖5表示從驅(qū)動(dòng)電路85輸出的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的一例。圖5 (A)是在被驅(qū) 動(dòng)部件3朝接近壓電元件1的方向(在圖2中為右方向)移動(dòng)時(shí)輸入到壓電 元件l的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，圖5 (B)是在被驅(qū)動(dòng)部件3從壓電元件1離開的方向 (在圖2中為左方向)移動(dòng)時(shí)輸入到壓電元件l的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。這些圖5 (A) 、 (B)的驅(qū)動(dòng)信號(hào)是脈沖信號(hào)，是致動(dòng)器10驅(qū)動(dòng)時(shí)的信號(hào)。10在圖5 (A) 、 (B)的驅(qū)動(dòng)信號(hào)中，A。uT的信號(hào)輸入到壓電元件l的一
方的輸入端子lla， B。uT的信號(hào)輸入到壓電元件l的另一方的輸入端子 llb。 A。uT及B。uT的2個(gè)脈沖信號(hào)波是相同的頻率(周期tO)。因此，脈沖信 號(hào)波A。ut、 B。uT被設(shè)定成例如一方的信號(hào)成為Hi輸出(高輸出)，在下降到 Lo輸出(低輸出)后另一方的信號(hào)成為Hi輸出。而且，如下設(shè)定在這 些信號(hào)中，在一方的信號(hào)成為L(zhǎng)o輸出時(shí)經(jīng)過(guò)一定的時(shí)滯WF后，另一方的 信號(hào)成為Hi輸出。
'這樣，通過(guò)使彼此的相位不同，成為彼此的信號(hào)的電位差在一方向 階段性地變化并在反方向急劇變化的信號(hào)、或者彼此的信號(hào)的電位差在 一方向急劇變化并在反方向階段性變化的信號(hào)。而且，A。UT和B。UT的電位差 成為壓電元件l的輸入電壓。通過(guò)這些脈沖信號(hào)的電位差而壓電元件l伸 長(zhǎng)或收縮。并且，通過(guò)每1脈沖的信號(hào)連續(xù)輸入到致動(dòng)器10而進(jìn)行連續(xù)驅(qū) 動(dòng)(驅(qū)動(dòng)狀態(tài))。
圖5的驅(qū)動(dòng)信號(hào)是矩形波，但實(shí)際上輸入到壓電元件l的波形通過(guò)壓 電元件l的電容器成分成為三角波狀。因此，若驅(qū)動(dòng)信號(hào)的高、低之占空 比不是50%，則可以通過(guò)矩形的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的輸入使壓電元件l的伸長(zhǎng)速度 和收縮速度不同，且可以移動(dòng)被驅(qū)動(dòng)部件3。另外，輸入到致動(dòng)器10的信 號(hào)不限于圖5所示的信號(hào)，也可以不是脈沖信號(hào)而是鋸齒波狀信號(hào)或三角 波狀信號(hào)等。
而且，控制部81具有控制驅(qū)動(dòng)電路85且將圖5 (A) 、 (B)的驅(qū)動(dòng)信 號(hào)的脈沖間隔(周期tO)根據(jù)從驅(qū)動(dòng)開始起的經(jīng)過(guò)時(shí)間進(jìn)行變更的功 能。例如，具有使在從驅(qū)動(dòng)開始到經(jīng)過(guò)預(yù)定時(shí)間的期間和在該期間后輸 出的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的脈沖間隔不同的功能。具體地，控制部81具有在被驅(qū)動(dòng) 部件3的移動(dòng)中輸出的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的脈沖間隔例如設(shè)為周期t6的情況下，在 從驅(qū)動(dòng)開始到預(yù)定時(shí)間為止的期間以大于周期t6的周期t5的脈沖間隔進(jìn) 行驅(qū)動(dòng)的功能。從驅(qū)動(dòng)開始到預(yù)定時(shí)間為止的期間例如由從驅(qū)動(dòng)開始輸 入的規(guī)定脈沖數(shù)規(guī)定。而且，控制部81具有例如不變更驅(qū)動(dòng)信號(hào)的1脈沖 的寬度tl、 t2及時(shí)滯Wp而僅變更脈沖間隔的功能。這樣，通過(guò)具有變更 圖5 (A) 、 (B)的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的脈沖間隔的功能，控制部81可以控制由驅(qū) 動(dòng)信號(hào)的脈沖上升沿所規(guī)定的對(duì)壓電元件1的電壓施加間隔。而且，控制部81具有基于壓電元件1的驅(qū)動(dòng)特性控制電壓施加間隔的 功能。在以下，對(duì)壓電元件l的驅(qū)動(dòng)特性進(jìn)行說(shuō)明。例如，如圖6所示， 壓電元件1具有依存于輸入的電壓施加間隔T，被驅(qū)動(dòng)部件3的移動(dòng)時(shí)速度
V及靜止時(shí)推力F不同的驅(qū)動(dòng)特性。移動(dòng)時(shí)速度V是在從驅(qū)動(dòng)開始到經(jīng)過(guò)預(yù) 定時(shí)間的期間以后，被驅(qū)動(dòng)部件3移動(dòng)時(shí)的速度。靜止時(shí)推力F是在被驅(qū) 動(dòng)部件3靜止的狀態(tài)下致動(dòng)器10驅(qū)動(dòng)時(shí)，向與驅(qū)動(dòng)軸2的驅(qū)動(dòng)方向相反的 方向施加的反作用的力。例如，如圖7所示，將被驅(qū)動(dòng)部件94安裝在壓電 元件l，在所安裝的被驅(qū)動(dòng)部件94系上線，介由滑輪95在線上吊掛重錘 96，可以通過(guò)驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器10而測(cè)量該靜止時(shí)推力F。
如圖6所示，靜止時(shí)推力F在電壓施加間隔從最大值(圖示左)漸漸 縮小時(shí)會(huì)在預(yù)定的電壓施加間隔T發(fā)生，存在著到達(dá)電壓施加間隔T1為止 的范圍會(huì)增加的傾向。而且，靜止時(shí)推力F具有在電壓施加間隔設(shè)為小于 Tl時(shí)會(huì)成比例減少的傾向。另外，移動(dòng)時(shí)速度(移動(dòng)速度)V具有伴隨電 壓施加間隔的減少成比例增加的傾向。
控制部81具有如下功能使從驅(qū)動(dòng)開始到預(yù)定時(shí)間為止的期間使用 的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的脈沖間隔大于在該期間經(jīng)過(guò)后利用的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的脈沖間 隔，將從驅(qū)動(dòng)開始到預(yù)定時(shí)間為止的期間利用的驅(qū)動(dòng)信號(hào)設(shè)為與該期間 經(jīng)過(guò)后利用的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的脈沖間隔相比靜止時(shí)推力F大且移動(dòng)時(shí)速度V慢
的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。由于具有這種功能，因此，即使根據(jù)使用期間或使用頻度， 移動(dòng)對(duì)象的被驅(qū)動(dòng)部件3的移動(dòng)開始(動(dòng)含《L)變慢的情況下，不必控 制驅(qū)動(dòng)信號(hào)的電壓大小而通過(guò)脈沖間隔的控制，來(lái)回避從驅(qū)動(dòng)開始到預(yù) 定時(shí)間為止的期間、即在移動(dòng)開始時(shí)靜止時(shí)推力F增大而工作不便。
而且，控制部81具有在控制驅(qū)動(dòng)信號(hào)的脈沖間隔時(shí)驅(qū)動(dòng)信號(hào)的頻率f 設(shè)定為小于致動(dòng)器10的機(jī)械或電共振頻率fr的功能。如圖8所示，若致動(dòng) 器10的共振頻率fr為330kHz，則驅(qū)動(dòng)信號(hào)的頻率f采用小于330kHz的值。 由此，可以回避在以共振頻率fr以上的頻率驅(qū)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的靜止時(shí)推力F的 下降。
接著，對(duì)本實(shí)施方式所涉及的驅(qū)動(dòng)裝置的工作進(jìn)行說(shuō)明。 在圖2中，驅(qū)動(dòng)信號(hào)輸入到壓電元件l，通過(guò)該驅(qū)動(dòng)信號(hào)的輸入而壓 電元件l重復(fù)伸長(zhǎng)及收縮。根據(jù)該伸長(zhǎng)及收縮而驅(qū)動(dòng)軸2進(jìn)行往返運(yùn)動(dòng)。此時(shí)，通過(guò)使壓電元件l的伸長(zhǎng)速度和收縮速度不同，驅(qū)動(dòng)軸2朝一定方 向移動(dòng)的速度和朝其反方向移動(dòng)的速度不同。由此，可以朝期望的方向
移動(dòng)被驅(qū)動(dòng)部件3及移動(dòng)透鏡90。另外，通過(guò)控制驅(qū)動(dòng)軸2的每單位時(shí)間
的往返運(yùn)動(dòng)次數(shù)，可以控制移動(dòng)時(shí)速度v。
在此，對(duì)本實(shí)施方式所涉及的驅(qū)動(dòng)裝置的工作進(jìn)行詳細(xì)的說(shuō)明。圖9 是表示本實(shí)施方式所涉及的驅(qū)動(dòng)裝置的動(dòng)作的流程圖。例如在控制部81 驅(qū)動(dòng)被驅(qū)動(dòng)部件3時(shí)開始圖9所示的控制處理。
若開始圖9的控制處理，則控制部81啟動(dòng)驅(qū)動(dòng)電路85 (S10)。此 后，控制驅(qū)動(dòng)電路85，例如將圖IO (A)所示的驅(qū)動(dòng)信號(hào)輸入到壓電元件
I (S12)。圖IO (A)是驅(qū)動(dòng)信號(hào)，A翻的脈沖寬度為tl， B,的脈沖寬 度為t2， A,和B,的時(shí)滯為WF。圖IO (B)表示由圖IO (A)的驅(qū)動(dòng)信號(hào) 的波形的上升沿規(guī)定的元件電流。如圖IO (A)所示，電壓施加間隔為 Tl，例如，如圖6所示，是與后述的電壓施加間隔T2的情況相比靜止時(shí)推 力F大且移動(dòng)時(shí)速度V小的信號(hào)。
控制部81將輸出的脈沖數(shù)計(jì)數(shù)，判斷計(jì)數(shù)值是否超過(guò)例如預(yù)先設(shè)定 的第l規(guī)定脈沖數(shù)(S14)。在計(jì)數(shù)值未超過(guò)第l規(guī)定脈沖數(shù)時(shí)，再次執(zhí)行 S12的處理。這樣，直到輸出規(guī)定的脈沖數(shù)為止重復(fù)進(jìn)行S12的處理。由 此，在從驅(qū)動(dòng)開始到經(jīng)過(guò)預(yù)定的時(shí)間后的期間輸入圖IO (A)的驅(qū)動(dòng)信 號(hào)。
另外，在S14的處理中，在計(jì)數(shù)值超過(guò)第l規(guī)定脈沖數(shù)時(shí)，例如將圖
II (A)所示的驅(qū)動(dòng)信號(hào)輸入到壓電元件l (S16)。圖ll (A)是驅(qū)動(dòng)信 號(hào)，如同圖IO (A) ， A隨的脈沖寬度為tl， B,的脈沖寬度為t2， A,和 B,的時(shí)滯為tcw。圖ll (B)表示由圖ll (A)的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的波形的上升 沿規(guī)定的元件電流。如圖ll (A)所示，電壓施加間隔為T2，例如，如圖 6所示，是與上述的電壓施加間隔T1相比靜止時(shí)推力F小且移動(dòng)時(shí)速度V大 的信號(hào)。
控制部81將輸出的脈沖數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)，判斷計(jì)數(shù)值例如是否超過(guò)預(yù)先 設(shè)定的第2規(guī)定脈沖數(shù)(S18)。在計(jì)數(shù)值未超過(guò)第2規(guī)定脈沖數(shù)時(shí)，再次 進(jìn)行S16的處理。這樣，重復(fù)進(jìn)行S16的處理直到輸出規(guī)定的脈沖數(shù)為 止。由此，在從開始驅(qū)動(dòng)到經(jīng)過(guò)預(yù)定的時(shí)間后的期間輸入圖ll (A)的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。
另外，在S18的處理中，在計(jì)數(shù)值超過(guò)第2規(guī)定脈沖數(shù)時(shí)，結(jié)束圖9所 示的控制處理。這樣，本實(shí)施方式所涉及的驅(qū)動(dòng)裝置增大驅(qū)動(dòng)開始時(shí)的 靜止時(shí)推力F，可以回避由經(jīng)年劣化等引起的動(dòng)作不便。
以上，根據(jù)本實(shí)施方式所涉及的驅(qū)動(dòng)裝置及光學(xué)裝置，將在從致動(dòng)
器10動(dòng)作開始到預(yù)定時(shí)間為止的期間輸出的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，設(shè)為與在預(yù)定的 期間后輸出的驅(qū)動(dòng)信號(hào)相比被驅(qū)動(dòng)部件3所施加的靜止時(shí)推力F大且被驅(qū) 動(dòng)部件3的移動(dòng)速度V慢的信號(hào)，因此，在驅(qū)動(dòng)開始之后的期間，可以將 比被驅(qū)動(dòng)部件3移動(dòng)時(shí)大的靜止時(shí)推力F施加在被驅(qū)動(dòng)部件3。因此，可以 從動(dòng)作開始之后順利地移動(dòng)被驅(qū)動(dòng)部件3。于是，不重新設(shè)置壓接減輕手 段而能夠通過(guò)驅(qū)動(dòng)信號(hào)的控制以簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)回避動(dòng)作不便。
而且，根據(jù)本實(shí)施方式所涉及的驅(qū)動(dòng)裝置及光學(xué)裝置，控制部81控 制脈沖信號(hào)的脈沖間隔，可以控制被驅(qū)動(dòng)部件3所施加的靜止時(shí)推力F及 被驅(qū)動(dòng)部件3的移動(dòng)時(shí)速度V。
而且，根據(jù)本實(shí)施方式所涉及的驅(qū)動(dòng)裝置及光學(xué)裝置，控制脈沖信 號(hào)的脈沖間隔，可以將在從動(dòng)作開始到預(yù)定時(shí)間為止的期間施加于壓電 元件1的電壓的施加時(shí)間T1設(shè)為比開始后移動(dòng)時(shí)的施加時(shí)間T2長(zhǎng)。于是， 可以將動(dòng)作開始到預(yù)定時(shí)間為止的期間的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，設(shè)為與在從動(dòng)作開 始到預(yù)定時(shí)間為止的期間經(jīng)過(guò)后輸出的驅(qū)動(dòng)信號(hào)相比而被驅(qū)動(dòng)部件3所施 加的靜止時(shí)推力F大且被驅(qū)動(dòng)部件3的移動(dòng)速度V慢的信號(hào)。
而且，根據(jù)本實(shí)施方式所涉及的驅(qū)動(dòng)裝置及光學(xué)裝置，控制部81可 以回避在以共振頻率fr以上的頻率驅(qū)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的靜止時(shí)推力F的下降。
另外，根據(jù)本實(shí)施方式所涉及的驅(qū)動(dòng)裝置及光學(xué)裝置，不變更脈沖 信號(hào)A,、 B,的脈沖寬度tl、 t2及A,和B,的時(shí)滯t。FF而僅將脈沖間隔從 t5變更到t6就可以回避動(dòng)作開始之后的動(dòng)作不便。于是，可以更加容易 地回避動(dòng)作不便。
另外，上述的實(shí)施方式表示本發(fā)明涉及的驅(qū)動(dòng)裝置及光學(xué)裝置的一 例。本發(fā)明所涉及的驅(qū)動(dòng)裝置及光學(xué)裝置不限于這些實(shí)施方式所涉及的 驅(qū)動(dòng)裝置及光學(xué)裝置，也可以在不變更記載于各權(quán)利要求的宗旨的范圍 對(duì)實(shí)施方式所涉及的驅(qū)動(dòng)裝置及光學(xué)裝置進(jìn)行變形，或者適用于其他的裝置。
例如，在上述的實(shí)施方式中，將移動(dòng)透鏡90作為變焦透鏡進(jìn)行了說(shuō) 明，但也可以是自動(dòng)對(duì)焦用透鏡等。而且，也可以適用于對(duì)移動(dòng)透鏡90 以外的攝像元件等光學(xué)部件或載物臺(tái)、探頭等進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置等。 另外，如手抖校正機(jī)構(gòu)，也可以用于在與光軸垂直的方向驅(qū)動(dòng)的致動(dòng)
器o
而且，在上述的實(shí)施方式中說(shuō)明了作為光學(xué)裝置適當(dāng)?shù)厥褂糜跀z像 裝置的例子，但也可以在噴墨式打印頭的驅(qū)動(dòng)、或者用于噴墨或點(diǎn)火裝 置等的壓電元件的控制中使用。
而且，在上述的實(shí)施方式中，對(duì)介由支承部件5將壓電元件1安裝在 固定框4、且將壓電元件l的端部設(shè)為自由端的情況進(jìn)行了說(shuō)明，但是也 可以將壓電元件1的端部直接安裝在固定框4。
而且，在上述的實(shí)施方式中說(shuō)明了不變更脈沖信號(hào)A,、 B,的脈沖 寬度tl、 t2及A,和B,的時(shí)滯tcw而變更脈沖間隔的例子，但也可以變更 脈沖寬度tl、 t2及時(shí)滯t,，并且變更脈沖間隔。
另外，在上述的實(shí)施方式中，作為攝像裝置及光學(xué)裝置的致動(dòng)器采 用了利用壓電元件的裝置，但是也可以使用高分子致動(dòng)器、形狀記憶合 金等其他驅(qū)動(dòng)部件。
1權(quán)利要求
1.一種驅(qū)動(dòng)裝置，具有在壓電元件安裝有驅(qū)動(dòng)軸的致動(dòng)器，通過(guò)驅(qū)動(dòng)信號(hào)使上述壓電元件伸縮，根據(jù)上述壓電元件的伸縮動(dòng)作使上述驅(qū)動(dòng)軸進(jìn)行往返運(yùn)動(dòng)，而使與上述驅(qū)動(dòng)軸摩擦卡合的被驅(qū)動(dòng)部件移動(dòng)，其中，上述驅(qū)動(dòng)裝置具備驅(qū)動(dòng)信號(hào)控制手段，其在從上述壓電元件的伸縮動(dòng)作開始到預(yù)定時(shí)間為止的期間，將與在上述期間后的上述被驅(qū)動(dòng)部件移動(dòng)時(shí)輸出的上述第1驅(qū)動(dòng)信號(hào)相比而在上述被驅(qū)動(dòng)部件所施加的推力大且上述被驅(qū)動(dòng)部件的移動(dòng)速度慢的第2驅(qū)動(dòng)信號(hào)，輸出到上述壓電元件。
2. 如權(quán)利要求l所述的驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，上述驅(qū)動(dòng)信號(hào)控制手段利用脈沖信號(hào)作為上述驅(qū)動(dòng)信號(hào)，將在上述期間輸出的脈沖信號(hào)的脈沖間隔設(shè)為與在上述期間后的被驅(qū)動(dòng)部件移動(dòng)時(shí)輸出的脈沖信號(hào)的脈沖間隔不同的脈沖間隔。
3. 如權(quán)利要求2所述的驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，上述驅(qū)動(dòng)信號(hào)控制手段使在上述期間輸出的脈沖信號(hào)的脈沖間隔大于在上述期間后的被驅(qū)動(dòng)部件移動(dòng)時(shí)輸出的脈沖信號(hào)的脈沖間隔。
4. 如權(quán)利要求l所述的驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，上述驅(qū)動(dòng)信號(hào)控制手段使驅(qū)動(dòng)信號(hào)的驅(qū)動(dòng)頻率小于上述致動(dòng)器的共振頻率。
5. 如權(quán)利要求2至4中的任一項(xiàng)所述的驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于，上述驅(qū)動(dòng)信號(hào)控制手段將連續(xù)的脈沖信號(hào)分別輸出到上述壓電元件的兩端而使上述壓電元件伸縮，不變更由輸出到一端的脈沖信號(hào)的下降沿和輸出到另一端的脈沖信號(hào)的上升沿所規(guī)定的時(shí)滯、及各脈沖信號(hào)的寬度，而變更一方或雙方的脈沖信號(hào)的脈沖間隔。
6. —種光學(xué)裝置，其特征在于，具備權(quán)利要求1至5中的任一項(xiàng)所述的驅(qū)動(dòng)裝置，并且，通過(guò)上述驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)光學(xué)部件。
全文摘要
本發(fā)明提供一種驅(qū)動(dòng)裝置及光學(xué)裝置，其能夠以簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)回避壓電致動(dòng)器的工作不便。本發(fā)明的驅(qū)動(dòng)裝置具有在壓電元件(1)安裝驅(qū)動(dòng)軸(2)的致動(dòng)器(10)，通過(guò)驅(qū)動(dòng)信號(hào)使壓電元件(1)伸縮，根據(jù)壓電元件(1)的伸縮動(dòng)作使驅(qū)動(dòng)軸(2)進(jìn)行往返運(yùn)動(dòng)，而使與驅(qū)動(dòng)軸(2)摩擦卡合的被驅(qū)動(dòng)部件(3)移動(dòng)，通過(guò)具備控制部(81)，從動(dòng)作開始之后可以順利地移動(dòng)被驅(qū)動(dòng)部件(3)，該控制部在從壓電元件(1)的伸縮動(dòng)作開始到預(yù)定時(shí)間為止的期間，將與在期間后的被驅(qū)動(dòng)部件(3)移動(dòng)時(shí)輸出的驅(qū)動(dòng)信號(hào)相比而在被驅(qū)動(dòng)裝置(3)所施加的靜止時(shí)推力(F)大且被驅(qū)動(dòng)部件(3)的移動(dòng)時(shí)速度(V)慢的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，輸出到壓電元件(1)。
文檔編號(hào)H02N2/02GK101656488SQ200910142539
公開日2010年2月24日 申請(qǐng)日期2009年6月29日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月19日
發(fā)明者吉田秀夫 申請(qǐng)人:富士能株式會(huì)社