列的層數(shù)至少為2層。
[0027]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明公開的磁浮平面電機，采用了多層線圈陣列和磁鋼陣列組合；由于磁鋼陣列的第三磁鋼采用了倒角設(shè)計，從而使相鄰的四個第三磁鋼的相交處無縫隙連接，從而提高了磁鋼陣列的占積率，減小了磁鋼陣列的背面磁泄露，提高了磁浮平面電機的磁密，甚而使電機推力常數(shù)增大。本發(fā)明所采用的多層線圈陣列的層數(shù)至少為2層，并且每一層都緊貼在一起，而非現(xiàn)有技術(shù)中單層結(jié)構(gòu)，采用多層線圈陣列的磁浮平面電機，其結(jié)構(gòu)簡單緊湊，整體剛度強，磁浮平面電機動子線圈結(jié)構(gòu)更加堅固，外形尺寸更接近設(shè)計值，減小電機因結(jié)構(gòu)尺寸與設(shè)計值不一致導(dǎo)致的推力波動、推力干擾，提高電機模態(tài)穩(wěn)定性及控制精度。
[0028]一種光刻裝置，包括:一照明單元，用于提供曝光光束；一掩模臺，用于支撐一掩模；一工作臺，用于支撐一基底并提供六自由度運動；一投影物鏡，用于將掩模上圖形按一定比例投射至基底；所述工作臺包括如上文所述的磁浮平面電機。
[0029]進一步地，所述掩模臺包括如上文所述的磁浮平面電機。
[0030]本發(fā)明所公開的光刻裝置，其中，基于本發(fā)明所公開的磁浮平面電機的工作臺設(shè)計，實現(xiàn)了運動部件的多自由度耦合運動和懸浮導(dǎo)向，在水平xy向?qū)崿F(xiàn)大行程高精度，其它方向?qū)崿F(xiàn)小行程高精度的定位臺系統(tǒng)。
【附圖說明】
[0031]圖1是現(xiàn)有技術(shù)中磁浮平面電機平面示意圖；
[0032]圖2是現(xiàn)有技術(shù)中磁浮平面電機的磁剛陣列結(jié)構(gòu)示意圖；
[0033]圖3是現(xiàn)有技術(shù)中磁浮平面電機的動子線圈結(jié)構(gòu)示意圖；
[0034]圖4是實施例一所提供的磁鋼陣列結(jié)構(gòu)示意圖；
[0035]圖5是實施例二所提供的磁鋼陣列結(jié)構(gòu)示意圖；
[0036]圖6是實施例四的多層線圈陣列的結(jié)構(gòu)拆解圖；
[0037]圖7是實施例五的多層線圈陣列的結(jié)構(gòu)拆解圖；
[0038]圖8是實施例六的多層線圈陣列的結(jié)構(gòu)拆解圖；
[0039]圖9是實施例七的多層線圈陣列的結(jié)構(gòu)拆解圖；
[0040]圖10是本發(fā)明所提供的多層線圈陣列的發(fā)力體接線圖；
[0041 ]圖11是每個線圈內(nèi)部接線方式示意圖；
[0042]圖12是本發(fā)明所提供的磁浮平面電機平面示意圖。
[0043]現(xiàn)有技術(shù)圖示:1-201-第一磁鋼、1-202-第二磁鋼、l_203a_ —號第三磁鋼、
1-203b-二號第三磁鋼、l-203c-三號第三磁鋼、l-203d-四號第三磁鋼。
[0044]本發(fā)明圖示:100-磁鋼陣列、200-多層線圈陣列、101-第一方向、102-第二方向、103-第三方向、2-201-第一磁鋼、2-202-第二磁鋼；2_203a- —號第三磁鋼、2_203b_ 二號第三磁鋼、2-203c-三號第三磁鋼、2-203d-四號第三磁鋼；
[0045]2-303a-第一線圈組、2_303b_第二線圈組、2_304a_第三線圈組、2_304b第四線圈組、2-301a-第五線圈組、2-301b-第六線圈組、2_302a_第七線圈組、2_302b_第八線圈組；
[0046]2-40Ia-第九線圈組、2_401b_第十線圈組、2-402-第i^一線圈組、2-403-第十二線圈組、2-405-第十三線圈組、2-406-第十四線圈組、2-404a-第十五線圈組、2-404b-第十六線圈組；
[0047]2-501a-第十七線圈組、2_501b_第十八線圈組、2_502a_第十九線圈組、
2-502b-第二十線圈組、2-503a-第二i^一線圈組、2_503b_第二十二線圈組。
【具體實施方式】
[0048]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作詳細描述:在以下的描述中，為了清楚展示本發(fā)明的結(jié)構(gòu)及工作方式，將借助諸多方向性詞語進行描述，但是應(yīng)當將“前” “后” “左” “右” “外” “內(nèi)” “向外” “向內(nèi)” “上” “下”等詞語理解為方便用語，而不應(yīng)當理解為限定性詞語。101、102、103分別為第一方向、第二方向、第三方向，它們互相垂直，用于描述磁鋼陣列和磁鋼單元的排布。X、1、z分別為第一軸、第二軸、第三軸，它們互相垂直，用于描述線圈陣列和線圈組的排布。
[0049]實施例一:
[0050]請參考圖4，一種磁鋼單元，包括方形第一磁鋼2-201和圍繞第一磁鋼的四個方形第二磁鋼2-202,所述第一磁鋼2-201是N磁鐵,磁化方向沿第三方向103方向正方向；所述第二磁鋼2-202是S磁鐵,磁化方向沿第三方向103方向負方向；所述第一磁鋼2-201四邊通過設(shè)置有倒角的長方體形狀的第三磁鋼無縫隙連接，第三磁鋼包括一號第三磁鋼2-203a、二號第三磁鋼2-203b、三號第三磁鋼-2_203c和四號第三磁鋼2_203d ;第一磁鋼2-201周圍的一號第三磁鋼2-203a、二號第三磁鋼2_203b、三號第三磁鋼_2_203c、四號第三磁鋼2-203d的磁化方向指向第一磁鋼2-201的方向。
[0051]實施例二:
[0052]請參考圖5，一種磁鋼單元，包括方形第二磁鋼2-202和圍繞第二磁鋼的四個方形第一磁鋼2-201,所述第一磁鋼2-201是N磁鐵,磁化方向沿第三方向103方向正方向；所述第二磁鋼2-202是S磁鐵，磁化方向沿第三方向103方向負方向；所述第二磁鋼2-202四邊通過設(shè)置有倒角的長方體形狀的第三磁鋼無縫隙連接，第三磁鋼包括一號第三磁鋼2-203a、二號第三磁鋼2-203b、三號第三磁鋼-2_203c和四號第三磁鋼2_203d ;第二磁鋼2-202周圍的一號第三磁鋼2-203a、二號第三磁鋼2_203b、三號第三磁鋼_2_203c、四號第三磁鋼2-203d的磁化方向遠離第二磁鋼2-202的方向。
[0053]通過第三磁鋼的倒角設(shè)計，使第一磁鋼2-201與第二磁鋼2-202相交處的第三磁鋼與第三磁鋼之間通過倒角無縫隙連接，相鄰的四個第三磁鋼的相交處通過其自身設(shè)置的倒角連接，故相交處不會產(chǎn)生縫隙，從而使相鄰的磁鋼單元之間沒有縫隙產(chǎn)生，提高了磁鋼占積率；減小背面磁泄露。
[0054]實施例三:
[0055]一種磁鋼陣列100，包括本發(fā)明所提供的任意一種磁鋼單元，磁鋼陣列100在第一方向101、第二方向102平面上分布，所述磁鋼單元沿第一方向101和第二方向102按照Halbach array陣列(即:海爾貝克陣列)模式進行周期性排布組成，所述海爾貝克陣列模式為第一磁鋼2-201與第二磁鋼2-202在平面內(nèi)交替分布，第一磁鋼2-201或第二磁鋼2-202四邊通過設(shè)置有倒角的長方體形狀的第三磁鋼無縫隙連接，使第一磁鋼2-201與第二磁鋼2-202相交處的第三磁鋼與第三磁鋼之間通過倒角無縫隙連接，相鄰的四個第三磁鋼的相交處通過其自身設(shè)置的倒角連接，故相交處不會產(chǎn)生縫隙，從而使相鄰的磁鋼單元之間沒有縫隙產(chǎn)生，提高了磁鋼占積率；減小背面磁泄露。
[0056]實施例四:
[0057]請參考圖6，一種多層線圈陣列，包括第一層線圈陣列及第二層線圈陣列，所述第一