專(zhuān)利名稱(chēng)：彈性波濾波裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及具備在壓電基板上形成至少3個(gè)IDT的縱耦合諧振器型的彈性波濾波 部的彈性波濾波裝置，更詳細(xì)地說(shuō)，涉及具有平衡-不平衡變換功能的縱耦合諧振器型的 彈性波濾波裝置。
背景技術(shù)：
一直以來(lái)，在移動(dòng)電話(huà)機(jī)的帶通濾波器等中，采用具有平衡-不平衡變換功能的 彈性表面波濾波裝置。另外近年來(lái)，取代利用了彈性表面波的彈性表面波濾波裝置，而關(guān)注 利用了彈性邊界波的彈性邊界波濾波裝置。在彈性表面波濾波裝置及彈性邊界波濾波裝置 等彈性波濾波裝置具有平衡_不平衡變換功能的情況下，可省略被稱(chēng)為平衡_不平衡轉(zhuǎn)換 器(balim)的平衡-不平衡變換功能元件。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)部件個(gè)數(shù)的降低以及移動(dòng)電話(huà) 機(jī)等的小型化。在下述專(zhuān)利文獻(xiàn)1中公開(kāi)了具有平衡_不平衡變換功能的彈性表面波濾波裝置。 如圖19所示，專(zhuān)利文獻(xiàn)1所述的彈性表面波濾波裝置1001在具有上方打開(kāi)的開(kāi)口 1002a 的封裝1002內(nèi)存放有彈性表面波濾波元件芯片1003。彈性表面波濾波元件芯片1003在 壓電基板1004上形成圖示的電極構(gòu)造，構(gòu)成具有平衡_不平衡變換功能的彈性表面波濾波
οS卩，3IDT型的縱耦合諧振器型的彈性表面波濾波部1008經(jīng)由彈性表面波諧振器 1006、1007與不平衡端子1005連接。這里，與不平衡端子1005連接的IDT是第一、第三 IDT1009、1011。并且，將第二 IDT1010配置為夾在第一、第三IDT 1009、1011之間。第二 IDT1010的一端與第一平衡端子1012連接，另一端與第二平衡端子1013連接。另一方面，與不平衡端子1005連接的IDTI009的另一端經(jīng)由接地布線圖案1014 連接在與接地電位連接的電極焊盤(pán)1015上。同樣，一端與不平衡端子1005連接的IDT1011 的另一端通過(guò)接地布線圖案1016連接在與接地電位連接的電極焊盤(pán)1017上。另一方面，在下述專(zhuān)利文獻(xiàn)2中，公開(kāi)了在不平衡端子和第一平衡端子之間連接 第一 3IDT型的縱耦合諧振器型彈性波濾波部，在不平衡端子和第二平衡端子之間連接第 二 3IDT型的縱耦合諧振器型彈性波濾波部，由此，實(shí)現(xiàn)平衡_不平衡變換功能的彈性波濾 波裝置。這里記載了可通過(guò)研究接地布線來(lái)實(shí)現(xiàn)頻帶外衰減量的改善。專(zhuān)利文獻(xiàn)1 日本特開(kāi)2003-124782號(hào)公報(bào)專(zhuān)利文獻(xiàn)2 日本專(zhuān)利第3918102號(hào)公報(bào)在專(zhuān)利文獻(xiàn)1所述的彈性表面波濾波裝置1001中，如上所述，采用一個(gè)縱耦合諧 振器型彈性波濾波部1008來(lái)實(shí)現(xiàn)平衡-不平衡變換功能。因此，不僅可以省略平衡_不平 衡轉(zhuǎn)換器，還能夠?qū)崿F(xiàn)用于實(shí)現(xiàn)平衡-不平衡變換功能的電極構(gòu)造的簡(jiǎn)略化。但是，在專(zhuān)利 文獻(xiàn)1所述的彈性表面波濾波裝置1001中，存在通帶外的衰減量不具有充分大小這樣的問(wèn)題。另一方面，在專(zhuān)利文獻(xiàn)2中示出通過(guò)研究接地布線來(lái)實(shí)現(xiàn)低損失化的構(gòu)造。但是，在專(zhuān)利文獻(xiàn)2中通過(guò)研究接地布線來(lái)改善頻帶外衰減量的構(gòu)造不過(guò)就是在專(zhuān)利文獻(xiàn)2所公 開(kāi)的具備特定電極構(gòu)造的濾波裝置中具有效果的構(gòu)造。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是，為了消除上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，而提供在不平衡端子與第一、第 二平衡端子之間連接具有與不平衡端子連接的IDT和與平衡端子連接的IDT的縱耦合諧 振器型彈性波濾波部的彈性波濾波裝置，提供能夠?qū)崿F(xiàn)頻帶外衰減量擴(kuò)大的彈性波濾波裝置。根據(jù)本發(fā)明，提供一種彈性波濾波裝置，其具備不平衡端子和第一、第二平衡端 子，并具有平衡-不平衡變換功能，其特征是具有壓電基板；縱耦合諧振器型彈性波濾波 部，其形成在上述壓電基板上，與上述不平衡端子與上述第一、第二平衡端子之間連接，并 具有至少3個(gè)IDT ；第一接地布線，其形成在上述壓電基板上，具有第一端部以及第二端部， 并且第一端部連接在上述至少3個(gè)IDT內(nèi)的與上述第一或第二平衡端子連接的IDT的接地 側(cè)端部；第二接地布線，其形成在上述壓電基板上，具有第一、第二端部，并且第一端部連接 在與上述不平衡端子連接的IDT的接地側(cè)端部；以及第一、第二接地用電極焊盤(pán)，其形成在 上述壓電基板上，并電連接上述第一、第二接地布線的各第二端部，上述第二接地布線在從 上述第一端部朝向第二端部的中途分成第一、第二分支布線部，第一、第二分支布線部被配 置成夾著設(shè)有上述至少3個(gè)IDT的區(qū)域。在本發(fā)明的彈性波濾波裝置的某特定局面下，第一、第二接地用電極焊盤(pán)由1個(gè) 電極焊盤(pán)構(gòu)成。在此情況下，能夠?qū)崿F(xiàn)壓電基板上的電極構(gòu)造的簡(jiǎn)略化，并且實(shí)現(xiàn)彈性波濾 波裝置的小型化。在本發(fā)明的彈性波濾波裝置的其它特定局面下，上述第一接地布線具有經(jīng)由絕緣 膜與上述第一分支布線部的一部分層疊的部分。在此情況下，因?yàn)榈谝环种Р季€部與第一 接地布線層疊，所以可減小在壓電基板上形成含有布線的電極構(gòu)造的面積，并能夠促進(jìn)小 型化。本發(fā)明的彈性波濾波裝置可以是彈性邊界波濾波裝置，也可以是彈性表面波濾波 裝置。在彈性邊界波濾波裝置的情況下，還具有層疊在上述壓電基板上的電介質(zhì)，在壓電基 板與電介質(zhì)之間形成上述至少3個(gè)IDT。(發(fā)明效果)根據(jù)本發(fā)明，在不平衡端子與第一、第二平衡端子之間連接著具有與不平衡端子 連接的IDT和與第一、第二平衡端子分別連接的平衡側(cè)的IDT的縱耦合諧振器型彈性波 濾波部的結(jié)構(gòu)中，與連接在不平衡端子上的IDT的接地側(cè)端部連接的第二接地布線具有第 一、第二分支布線部，第一、第二分支布線部被配置為夾著設(shè)有至少3個(gè)IDT的區(qū)域，所以能 夠改善第一、第二平衡端子間的差動(dòng)特性。因此，能夠擴(kuò)大通帶外的衰減量，能夠?qū)崿F(xiàn)彈性 波濾波裝置的低損失化。


圖1是示出本發(fā)明第一實(shí)施方式的彈性邊界波濾波裝置的示意俯視圖。圖2是示意地示出在第一實(shí)施方式的彈性邊界波濾波裝置中采用的1端口型彈性
4邊界波諧振器的電極構(gòu)造的俯視圖。圖3是示意地示出在第一實(shí)施方式的彈性邊界波濾波裝置中采用的5IDT型的縱 耦合諧振器型彈性邊界波濾波部的電極構(gòu)造的俯視圖。圖4是示出本發(fā)明第一實(shí)施方式的彈性邊界波濾波裝置的電路結(jié)構(gòu)的示意俯視 圖。圖5(a)以及(b)是用于說(shuō)明本發(fā)明第一實(shí)施方式的彈性邊界波濾波裝置立體構(gòu) 造的省略圖示的正面剖視圖以及放大其主要部分示出的部分切掉正面剖視圖。圖6是用于說(shuō)明為了比較而準(zhǔn)備的尚未已知的第一比較例的彈性邊界波濾波裝 置的示意俯視圖。圖7是用于說(shuō)明為了比較而準(zhǔn)備的尚未已知的第二比較例的彈性邊界波濾波裝 置的示意俯視圖。圖8是示出第一、第二比較例的彈性邊界波濾波裝置中的第一、第二平衡端子間 的差動(dòng)特性的圖。圖9是示出來(lái)自第一、第二比較例的彈性邊界波濾波裝置中的第一平衡端子的輸 出特性的圖。圖10是示出來(lái)自第一、第二比較例的彈性邊界波濾波裝置中的第二平衡端子的 輸出特性的圖。圖11是示出第一實(shí)施方式以及第二比較例的彈性邊界波濾波裝置的第一、第二 平衡端子間的差動(dòng)特性的圖。圖12是示出來(lái)自第一實(shí)施方式以及第二比較例的彈性邊界波濾波裝置中的第一 平衡端子的輸出特性的圖。圖13是示出來(lái)自第一實(shí)施方式以及第二比較例的彈性邊界波濾波裝置中的第二 平衡端子的輸出特性的圖。圖14(a)以及(b)是用于說(shuō)明第二實(shí)施方式的彈性邊界波濾波裝置的示意俯視圖 以及示出其主要部分的部分切掉剖視圖。圖15 (a)以及(b)是示出第二實(shí)施方式的彈性邊界波濾波裝置的變形例的彈性邊 界波濾波裝置的電極構(gòu)造的示意俯視圖以及示出其主要部分的部分切掉剖視圖。圖16是示出第二實(shí)施方式以及第二比較例的彈性邊界波濾波裝置中的第一、第 二平衡端子間的差動(dòng)特性的圖。圖17是示出來(lái)自第二實(shí)施方式以及第二比較例的彈性邊界波濾波裝置中的第一 平衡端子的輸出特性的圖。圖18是示出來(lái)自第二實(shí)施方式以及第二比較例的彈性邊界波濾波裝置中的第二 平衡端子的輸出特性的圖。圖19是用于說(shuō)明現(xiàn)有彈性表面波濾波裝置一例的俯視圖。符號(hào)說(shuō)明L···彈性邊界波濾波裝置2…壓電基板3…不平衡端子4…第一平衡端子
5…第二平衡端子6…接地端子
7 10…凸點(diǎn)
11"1端口型彈性邊界波諧振器
Ila-IDT
libIlc…反射器
12..縱耦合諧振器型彈性邊界波濾波部
13..不平衡側(cè)信號(hào)布線
14..第一平衡側(cè)信號(hào)布線
15..第二平衡側(cè)信號(hào)布線
16..1端口型彈性邊界波諧振器
17..第一接地布線
18..第二接地布線
18a 第一分支布線部
18b 第二分支布線部
18c 共用接地布線部分
21 --25…第一 第五IDT26、27…反射器31…電極32…電介質(zhì)33…吸音膜34、35…貫通導(dǎo)體10L···彈性邊界波濾波裝置102…絕緣層11L···彈性邊界波濾波裝置112…絕緣層110L···彈性邊界波濾波裝置1102…第一接地布線1103…第二接地布線1104…連接點(diǎn)1105…共用接地布線1201…彈性邊界波濾波裝置1202…第一接地布線1203…第二接地布線
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的具體實(shí)施方式
，由此使本發(fā)明更加清楚。圖1是示出本發(fā)明第一實(shí)施方式的彈性邊界波濾波裝置的示意俯視圖。在彈性邊 界波濾波裝置1中，在壓電基板2上形成圖1中示意示出的電極。在彈性邊界波濾波裝置
61中，在壓電基板2上形成不平衡端子3、第一、第二平衡端子4、5以及接地端子6。這些端子由電極焊盤(pán)形成，在各電極焊盤(pán)上如圓所示地接合凸點(diǎn)(bump)7 10。下面說(shuō)明該端子 以及凸點(diǎn)的具體構(gòu)造。5IDT型的縱耦合諧振器型彈性邊界波濾波部12經(jīng)由1端口型彈性邊界波諧振器 11與不平衡端子3連接。在圖1中，利用矩形塊來(lái)示出1端口型彈性邊界波諧振器11的位置，其電極構(gòu)造 如圖2所示。即，1端口型彈性邊界波諧振器11具有IDTlla和配置在IDTlla兩側(cè)的反射 器 IlbUlc0另一方面，在5IDT型的縱耦合諧振器型彈性邊界波濾波部12中，如矩形塊所示具 有配置在中央的第一 IDT21 ；配置在第一 IDT21的彈性邊界波傳播方向兩側(cè)的第二、第三 IDT22、23 ；配置在設(shè)有第一 第三IDT21 23的區(qū)域的邊界波傳播方向兩側(cè)的第四、第五 IDT24、25 ；以及配置在設(shè)有IDT21 25的區(qū)域的邊界波傳播方向兩側(cè)的反射器26、27。在 圖1中，這些電極分別用矩形塊來(lái)示出，不過(guò)其詳細(xì)內(nèi)容如圖3所示。在本實(shí)施方式的彈性邊界波濾波裝置1中，共用連接上述第一、第四以及第五 IDT21、24、25的各一端，并經(jīng)由1端口型彈性邊界波諧振器11與不平衡端子3連接。因此， 第一、第四以及第五IDT21、24、25是不平衡側(cè)的IDT。這里，將連接不平衡端子3和IDT21、 24以及25的共用連接點(diǎn)的、用虛線示出的布線圖案作為不平衡側(cè)信號(hào)布線13。另一方面，第二 IDT22的一端通過(guò)用虛線示出的平衡側(cè)信號(hào)布線14與第一平衡端 子4連接。同樣，第三IDT23的一端通過(guò)用虛線示出的第二平衡側(cè)信號(hào)布線15與第二平衡 端子5電連接。而且，1端口型彈性邊界波諧振器16與第一、第二平衡側(cè)信號(hào)布線14、15之 間連接。1端口型彈性邊界波諧振器16具有與1端口型彈性邊界波諧振器11同樣的電極 構(gòu)造。另一方面，與分別連接在第一、第二平衡端子4、5上的第二、第三IDT22、23的接地 電位連接的端部之間通過(guò)第一接地布線17共用連接、且與接地端子6連接。S卩，第一接地 布線17的第一端部與IDT22、23的接地側(cè)端部連接，第二端部與接地端子6連接。另一方面，在本實(shí)施方式中，共用連接不平衡側(cè)的IDT即IDT21、24、25的接地側(cè)端 部，并與第二接地布線18連接。本實(shí)施方式的特征為，該第二接地布線18具有第一、第二分支布線部18a、18b，第 一、第二分支布線部18a、18b被配置為夾著設(shè)有IDT21 25的區(qū)域，以使通過(guò)其兩側(cè)，且與 相同的接地端子6電連接。更具體地說(shuō)，第二接地布線18在第一端部側(cè)與IDT21、24、25連接，并從第一端部 側(cè)朝著相反側(cè)的第二端部，分支到第一分支布線部18a和第二分支布線部18b。為了明確定義第一、第二分支布線部18a、18b，將共用連接第一、第四以及第五 IDT21、24、25的接地側(cè)端部的接地布線部分設(shè)為共用接地布線部分18c。共用接地布線部 分18c包含第二接地布線18的上述第一端部，該共用接地布線部分18c是從與第四IDT24 的接地側(cè)端部連接的部分到達(dá)與第五IDT25的接地側(cè)端部連接的部分。因此，第一分支布 線部18a通過(guò)設(shè)置有反射器26的部分的外側(cè)，從共用接地布線部分18c的一端向接地端子 6延伸。另一方面，第二分支布線部18b通過(guò)設(shè)置有反射器27的部分的外側(cè)從共用接地布 線部分18c的另一端向接地端子6延伸。然后，第一、第二分支布線部18a、18b的端部即第二接地布線18的第二端部與接地端子6連接。在本實(shí)施方式中，如上所述地形成第二接地布線18，所以能夠?qū)崿F(xiàn)頻帶外衰減量 的擴(kuò)大。在壓電基板2上形成上述電極構(gòu)造，由此，在本實(shí)施方式中，形成圖4所示的濾波 電路。即，形成在不平衡端子3和第一、第二平衡端子4、5之間連接5IDT型的縱耦合諧振 器型彈性邊界波濾波部12的具有平衡_不平衡變換功能的彈性邊界波濾波裝置，該5IDT 型的縱耦合諧振器型彈性邊界波濾波部12具有與不平衡端子連接的IDT和與第一、第二平 衡端子分別連接的第一、第二平衡側(cè)IDT。此外，雖然1端口型彈性邊界波諧振器11并非必須設(shè)置，但通過(guò)設(shè)置該彈性邊界 波諧振器11，可增大通帶高頻側(cè)附近的衰減量。同樣，1端口型彈性邊界波諧振器16也并 非必須設(shè)置，但通過(guò)設(shè)置1端口型彈性邊界波諧振器16，可正大通帶低頻側(cè)附近的衰減量， 從而優(yōu)選。參照?qǐng)D5(a)以及(b)來(lái)說(shuō)明本實(shí)施方式的彈性邊界波濾波裝置1的立體構(gòu)造。圖5(a)以及(b)是概略示出彈性邊界波濾波裝置1的一部分的正面剖視圖以及 放大其主要部分示出的部分切掉正面剖視圖。在彈性邊界波濾波裝置1中，在壓電基板2 上形成圖5(a)所示的電極31。作為該電極31，形成圖1以及圖4所示的電極構(gòu)造。并且，在圖5(a)中概略地示出設(shè)有不平衡端子3以及接地端子6的部分。接地端 子6如圖所示由與電極31連接的接地用電極焊盤(pán)構(gòu)成。同樣，不平衡端子3也由與電極31 連接的電極焊盤(pán)形成。然后，在彈性邊界波濾波裝置1中，在壓電基板2上層疊電介質(zhì)32， 以覆蓋上述電極31。在壓電基板2和電介質(zhì)32的界面上形成有包含IDT21 25等的電 極。作為構(gòu)成上述壓電基板2的材料，可舉出LiTaO3及LiNbO3等壓電單結(jié)晶。另外，作為 電介質(zhì)32可舉出Si02、SiN等適當(dāng)?shù)碾娊橘|(zhì)材料。在本實(shí)施方式中，通過(guò)激勵(lì)在上述壓電基板2和電介質(zhì)32的界面上形成的 IDT21 25來(lái)傳播彈性邊界波。另一方面，為了覆蓋上述電介質(zhì)32，而層疊吸音膜33。吸音膜33由適當(dāng)?shù)暮铣蓸?shù) 脂、玻璃或絕緣性陶瓷構(gòu)成。另外，形成露出接地端子6以及不平衡端子3的貫通孔，以使上述吸音膜33以及 電介質(zhì)32貫通。在該貫通孔內(nèi)，填充貫通導(dǎo)體34、35。并且，在貫通導(dǎo)體34、35上分別形成 圖1所示的凸點(diǎn)10以及凸點(diǎn)7。關(guān)于形成上述凸點(diǎn)10、7的材料，可舉出焊錫、Au等適合的金屬。另外，關(guān)于在壓電基板2上形成的電極31及形成端子的電極焊盤(pán)以及上述接地布 線17、18、貫通導(dǎo)體34以及35等，由Al、Cu、Au、Pt、Ti、Ni、Cr或它們的合金等適合金屬構(gòu) 成。另外，可通過(guò)層疊有多個(gè)金屬膜的層疊金屬膜，來(lái)形成這些電極及布線等。此外，在圖1中，用虛線示出的不平衡側(cè)信號(hào)布線13、第一、第二平衡側(cè)信號(hào)布線 14、15等，實(shí)際上與第一、第二接地布線17、18同樣由具有某程度寬度的導(dǎo)體圖案形成。在 圖1中，為了簡(jiǎn)化圖示且明確特征，而用虛線簡(jiǎn)略地示出這些信號(hào)布線圖案13、14、15。接著，在第一實(shí)施方式的彈性邊界波濾波裝置1中，為了如上所述地形成第二接 地布線18可擴(kuò)大頻帶外衰減量的情況，通過(guò)與圖6以及圖7所示的尚未已知的比較例的彈 性邊界波濾波裝置1101以及1201對(duì)比來(lái)變得更加明確。
另外，在1端口型彈性邊界波諧振器11中，電極指的對(duì)數(shù)為55，電極指交叉寬度為 100 μ m，占空比為0. 6。在1端口型彈性邊界波諧振器16中，電極指的 對(duì)數(shù)為20，電極指交叉寬度為 50 μ m,占空比為0. 6。另外，作為濾波部及諧振器的電極材料，采用了從壓電基板2上朝向上方依次層 疊了 Ti/Pt/Au/Pt/Ti/NiCr的層疊金屬膜。膜厚依次為10/10/150/10/10/17 (單位都是
nm) ο另外，關(guān)于吸音膜33形成了 7 μ m的聚酰亞胺膜。此外，接地端子6等的電極焊盤(pán)部分采用了在厚度40nm的Ti基層上層疊1600nm 的AlCu而成的層疊金屬膜。另外，由SiO2構(gòu)成的電介質(zhì)32的厚度為6 μ m。此外，接地布線17、18及信號(hào)布線等采用了從壓電基板2側(cè)向上層依次層疊Ti/ AlCu/Ti/Pt的層疊金屬膜。膜厚依據(jù)上述順序?yàn)?0/1000/50/100 (單位都是nm)。在信號(hào) 布線上還層疊厚度40nm的Ti和1600nm的AlCu來(lái)降低電阻。圖6是示出第一比較例的彈性邊界波濾波裝置1101的電極構(gòu)造的示意俯視圖。第一比較例的彈性邊界波濾波裝置1101除了縱耦合諧振器型彈性邊界波濾波部 12的接地布線不同之外，都與上述實(shí)施方式的彈性邊界波濾波裝置1相同。即，如圖6所 示，共用連接與平衡側(cè)的IDT即第二、第三IDT22、23的接地電位連接的端部，形成第一接地 布線1102。另外，共用連接與不平衡側(cè)的第一、第四以及第五IDT21、24以及25的接地電位 連接的一側(cè)的端部，并與第二接地布線1103連接。這里，第一接地布線1102以及第二接地 布線1103在連接點(diǎn)1104上共用連接，并利用共用接地布線1105與接地端子6連接。艮口， 與第一 第五IDT21 25的接地電位連接的一側(cè)的全部端部在連接點(diǎn)1104共用連接，并 利用共用接地布線1105與接地端子6連接。如圖6所示，通過(guò)公用接地布線，可實(shí)現(xiàn)小型化。但是，在彈性邊界波濾波裝置 1101中，頻帶外衰減量是不充分的。另一方面，在圖7所示的彈性邊界波濾波裝置1201中，連接平衡側(cè)的IDT和接地 端子6的第一接地布線1202與共用連接不平衡側(cè)的IDT21、24、25的接地電位并與接地端 子6連接的第二接地布線1203分離。即，在平衡側(cè)和不平衡側(cè)，接地布線1202、1203分離。 關(guān)于其它結(jié)構(gòu)，彈性邊界波濾波裝置1201與彈性邊界波濾波裝置1以及1101相同。圖8示出上述第一、第二比較例的彈性邊界波濾波裝置中的第一、第二平衡端子 間的差動(dòng)特性，圖9示出第一、第二比較例的彈性邊界波濾波裝置中的第一平衡端子的輸 出特性，圖10示出來(lái)自第一、第二比較例的彈性邊界波濾波裝置中的第二平衡端子的輸出 特性。如第二比較例的彈性邊界波濾波裝置1201那樣，通過(guò)分離與不平衡端子連接的第二接地布線和與平衡端子連接的第一接地布線，來(lái)確認(rèn)改善頻帶外的共模電平的情況。但 是，由圖8 圖10可知，關(guān)于頻帶外衰減量，無(wú)論是分離還是非分離，都不那么大。例如，在 6GHz附近，在任意的情況下，衰減量的差動(dòng)特性都處于30dB左右。圖11 圖13是分別示出上述第一實(shí)施方式的彈性邊界波濾波裝置1以及上述第 二比較例的彈性邊界波濾波裝置1201中的第一、第二平衡端子間的差動(dòng)特性、來(lái)自第一平 衡端子的輸出特性以及來(lái)自第二平衡端子的輸出特性的圖。由圖11 圖13可知，特別是由圖11的差動(dòng)特性可知，在第一實(shí)施方式的彈性邊 界波濾波裝置1中，可顯著改善通帶外的衰減量。例如可知，在6GHZ下，在第二比較例中， 衰減量是30dB，與此相對(duì)在本實(shí)施方式中是50dB以上，變大了 20dB以上。即可知，通過(guò)將與不平衡側(cè)IDT21、24以及25連接的第二接地布線設(shè)置為具有上 述分支布線部18a、18b，可顯著改善頻帶外衰減量。這是因?yàn)椋O(shè)置分支布線部18a、18b，分 支布線部18a、18b通過(guò)設(shè)有IDT21 25的區(qū)域兩側(cè)，由此在設(shè)有IDT21 25的區(qū)域兩側(cè)， 與接地布線相對(duì)的寄生電容相等，所以可認(rèn)為能夠改善第一、第二平衡端子間的差動(dòng)特性。 差動(dòng)特性是第一平衡端子的輸出特性與第二平衡端子的輸出特性之差。由圖12以及圖13 可知，在第一實(shí)施方式中，高頻側(cè)的頻帶外衰減特性大致相同。因此，能夠改善差動(dòng)特性。與 此相對(duì)，在第二比較例中高頻側(cè)的頻帶外衰減特性大不相同。因此，差動(dòng)特性惡化。如上所 述，根據(jù)第一實(shí)施方式，僅僅改變了第二接地布線的圖案，就能夠獲得大幅改善頻帶外衰減 量這樣的顯著效果。圖14(a)以及(b)是本發(fā)明第二實(shí)施方式的彈性邊界波濾波裝置的示意俯視圖以 及示出其主要部分的部分切掉剖視圖。在本實(shí)施方式的彈性邊界波濾波裝置101中，配置為第一接地布線17與第二接地 布線18的一部分重合。即，第二接地布線18的第一分支布線部18a的一部分為了通過(guò)第 一接地布線17的上方而相對(duì)于第一接地布線17層疊。但是，為了實(shí)現(xiàn)兩者之間的電絕緣， 而形成絕緣層102。即，在壓電基板2上形成第一接地布線17，在第一接地布線17上層疊 絕緣層102，在絕緣層102上連接第二接地布線18的第一分支布線部18a。由此，實(shí)現(xiàn)第一 接地布線17與第二接地布線18的第一分支布線部18a的電絕緣。這樣，除了第一分支布 線部18a的一部分經(jīng)由絕緣層102在第一接地布線17上層疊之外，本實(shí)施方式的彈性邊界 波濾波裝置101與第一實(shí)施方式的彈性邊界波濾波裝置1同樣地構(gòu)成。此外，對(duì)于構(gòu)成上述絕緣層102的材料沒(méi)有特別限定，可由聚酰亞胺樹(shù)脂、環(huán)氧樹(shù) 脂或丙烯樹(shù)脂等適當(dāng)合成樹(shù)脂或氧化鋁等絕緣性陶瓷形成。圖15(a)以及(b)是示出第二實(shí)施方式的彈性邊界波濾波裝置101的變形例的彈 性邊界波濾波裝置111的示意俯視圖以及示出其主要部分的部分切掉剖視圖。這里與第二 實(shí)施方式的彈性邊界波濾波裝置101情況相反，在第二接地布線18的第一分支布線部18a 上層疊絕緣層112，在絕緣層112上層疊第一接地布線17。這樣，在第一接地布線17與第 一分支布線部18a的一部分層疊的情況下，可都位于下方。在第二實(shí)施方式的彈性邊界波濾波裝置101以及上述變形例的彈性邊界波濾波 裝置111中，層疊第一接地布線17和第二接地布線18的第二分支布線部，因此能夠提高電 極圖案的形成密度，由此可促進(jìn)小型化。此外，在第一接地布線17與第二接地布線18的一部分經(jīng)由絕緣層102、112層疊的情況下，有可能由于兩者之間的電容而導(dǎo)致特性劣化。但是，即使在上述第二實(shí)施方式的彈性邊界波濾波裝置101以及上述變形例的彈性邊界波濾波裝置111中，與上述第二比較 例的彈性邊界波濾波裝置1201相比，能夠顯著改善差動(dòng)特性。上述內(nèi)容在圖16 圖18中 示出。圖16 圖18分別示出第二實(shí)施方式的彈性邊界波濾波裝置101以及上述第二比 較例的彈性邊界波濾波裝置1201中的第一、第二平衡端子間的差動(dòng)特性、來(lái)自第一平衡端 子的輸出特性以及來(lái)自第二平衡端子的輸出特性。實(shí)線示出第二實(shí)施方式的結(jié)果，虛線示 出第二比較例的結(jié)果。由圖16 圖18可知，特別是由圖16的差動(dòng)特性可知，即使在第二實(shí)施方式中，與 第二比較例相比可知，能夠顯著改善通帶外衰減量。即，即使在6GHz的頻域下，即使在第二 實(shí)施方式中，與第二比較例相比可知，能夠改善衰減量30dB以上。因此，能夠既實(shí)現(xiàn)小型 化，又實(shí)現(xiàn)通帶外衰減量的擴(kuò)大。在上述的第一、第二實(shí)施方式以及變形例中，對(duì)彈性邊界波濾波裝置進(jìn)行了說(shuō)明， 但本發(fā)明不僅能適用于彈性邊界波濾波裝置，還能夠適用于利用了彈性表面波的彈性表面 波濾波裝置。即，將圖1所示的電極構(gòu)造全部形成在壓電基板上，并且在電介質(zhì)上未形成接 地布線，所以能夠形成具有同樣構(gòu)造的彈性表面波濾波裝置。因此，圖1預(yù)先指出可以是示出關(guān)于彈性表面波濾波裝置的壓電基板以及電極構(gòu) 造的圖的情況。另外，在上述實(shí)施方式的彈性邊界波濾波裝置1中，配置了 5個(gè)IDT21 25，不過(guò) 本發(fā)明可廣泛應(yīng)用于具備具有3個(gè)以上奇數(shù)IDT的縱耦合諧振器型彈性邊界波濾波部的彈 性邊界波濾波裝置。S卩，本發(fā)明可廣泛應(yīng)用于如下的彈性波濾波裝置，該彈性波濾波裝置為了在不平 衡端子與第一、第二平衡端子之間具有至少3個(gè)IDT中的與不平衡端子連接的IDT和與第 一、第二平衡端子連接的IDT，而連接具有至少3個(gè)IDT的縱耦合諧振器型的彈性波濾波部。 此外，第一縱耦合諧振器型彈性波濾波部與不平衡端子和第一平衡端子之間連接、第二縱 耦合諧振器型彈性波濾波器與不平衡端子和第二平衡端子連接的如專(zhuān)利文獻(xiàn)2所述的彈 性波濾波裝置，在以本發(fā)明為對(duì)象的彈性波濾波裝置和實(shí)現(xiàn)平衡_不平衡變換功能的電極 構(gòu)造中是完全不同的，因此預(yù)先指出不能同樣地進(jìn)行考慮。
權(quán)利要求
一種彈性波濾波裝置，具備不平衡端子和第一、第二平衡端子，并具有平衡-不平衡變換功能，其特征在于，具有壓電基板；縱耦合諧振器型彈性波濾波部，其形成在上述壓電基板上，連接在上述不平衡端子與上述第一、第二平衡端子之間，并具有至少3個(gè)IDT；第一接地布線，其形成在上述壓電基板上，具有第一端部以及第二端部，并且第一端部連接在上述至少3個(gè)IDT內(nèi)的與上述第一或第二平衡端子連接的IDT的接地側(cè)端部；第二接地布線，其形成在上述壓電基板上，具有第一、第二端部，并且第一端部連接在與上述不平衡端子連接的IDT的接地側(cè)端部；以及第一、第二接地用電極焊盤(pán)，其形成在上述壓電基板上，并電連接于上述第一、第二接地布線的各第二端部，上述第二接地布線在從上述第一端部朝向第二端部的中途分成第一、第二分支布線部，第一、第二分支布線部被配置成夾著設(shè)有上述至少3個(gè)IDT的區(qū)域。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的彈性波濾波裝置，其特征在于，上述第一、第二接地用電極焊盤(pán)由1個(gè)電極焊盤(pán)構(gòu)成的。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的彈性波濾波裝置，其特征在于，上述第一接地布線具有經(jīng)由絕緣膜與上述第一分支布線部的一部分層疊的部分。
4.根據(jù)權(quán)利要求1 3中任意一項(xiàng)所述的彈性波濾波裝置，其特征在于，還具有與壓電基板層疊的電介質(zhì)，并且在上述壓電基板與上述電介質(zhì)之間形成至少3 個(gè)上述IDT。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 3中任意一項(xiàng)所述的彈性波濾波裝置，其特征在于，該彈性波濾波裝置是彈性表面波濾波裝置。
全文摘要
提供能實(shí)現(xiàn)頻帶外衰減量擴(kuò)大的具有平衡不平衡變換功能的彈性波濾波裝置。彈性波濾波裝置(1)在不平衡端子(3)和第一、第二平衡端子(4、5)間，形成具有IDT(21～25)的5IDT型縱耦合諧振器型彈性波濾波部(12)，使IDT(21、24、25)連接不平衡端子(3)、IDT(22、23)分別連接第一、第二平衡端子(4、5)，連結(jié)與不平衡側(cè)IDT(21、23、25)的接地電位連接的一側(cè)端部和接地端子(6)的第二接地布線(18)與第一接地布線(17)分離，第二接地布線(18)具有第一、第二分支布線部(18a、18b)，第一、第二分支布線部(18a、18b)被設(shè)置為夾著設(shè)有IDT(21～25)的區(qū)域。
文檔編號(hào)H03H9/145GK101874348SQ20098010109
公開(kāi)日2010年10月27日 申請(qǐng)日期2009年3月6日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月27日
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