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      一種石墨等離子源的制作方法

      文檔序號:12646046閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      1.一種石墨等離子源,其特征在于:包括石墨陽極環(huán)、陽極蓋板、石墨陰極、冷卻池、冷卻池蓋板、第一絕緣板、第二絕緣板、進水管、出水管、第一緊固件和第二緊固件;所述石墨陽極環(huán)與陽極蓋板相連形成頂部開口的容納空腔,石墨陰極、冷卻池、冷卻池蓋板、第一絕緣板均設(shè)于容納空腔內(nèi);所述石墨陰極設(shè)于冷卻池的頂部;所述冷卻池為空腔結(jié)構(gòu),其內(nèi)底部設(shè)有極靴,極靴上置有磁鋼和磁鋼環(huán),磁鋼的N極和S極呈上下分布,與磁鋼環(huán)的磁極分布方向相反,且磁鋼置于磁鋼環(huán)的中心位置;所述冷卻池蓋板和第一絕緣板順次設(shè)于冷卻池和陽極蓋板之間;所述第二絕緣板設(shè)于陽極蓋板下方;所述進水管和出水管均依次貫穿冷卻池蓋板、第一絕緣板、陽極蓋板、第二絕緣板,且進水管和出水管與冷卻池蓋板固定連接,進水管和出水管的頂端位于冷卻池內(nèi),進水管和出水管的底端分別與第一緊固件和第二緊固件連接,用于實現(xiàn)將冷卻池蓋板、第一絕緣板、陽極蓋板、第二絕緣板緊密貼合。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石墨等離子源,其特征在于:所述陽極蓋板與進水管和出水管之間設(shè)有空隙,空隙間距為2-10mm。

      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石墨等離子源,其特征在于:所述石墨陽極環(huán)與石墨陰極之間具有間隙,間隙間距為1-10mm。

      4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石墨等離子源,其特征在于:所述冷卻池蓋板與冷卻池通過螺釘連接,且冷卻池底面設(shè)有第一密封圈凹槽,第一密封圈凹槽嵌入有第一密封圈。

      5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種石墨等離子源,其特征在于:所述冷卻池蓋板在遠離冷卻池的一面上設(shè)有第二密封圈凹槽,第二密封圈凹槽嵌入有第二密封圈;所述陽極蓋板靠近第一絕緣板的一面上設(shè)有第三密封圈凹槽,第三密封圈凹槽嵌入有第三密封圈;所述陽極蓋板上位于石墨陽極環(huán)外側(cè)處設(shè)置有第四密封圈凹槽,第四密封圈凹槽嵌入有第四密封圈。

      6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石墨等離子源,其特征在于:所述石墨陰極靠近冷卻池的表面為光滑表面,其遠離冷卻池的表面為通過機械加工或激光蝕刻形成的粗糙表面。

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