本發(fā)明涉及高精密測(cè)量的傳輸，尤其涉及一種傳輸電路。

背景技術(shù)：

1、隨著半導(dǎo)體技術(shù)和加工工藝的發(fā)展，特別是為了滿足納米級(jí)制程的要求，對(duì)半導(dǎo)體元件的測(cè)量的系統(tǒng)需要具備更高的精度，以實(shí)現(xiàn)fa級(jí)別的電流測(cè)量。然而，現(xiàn)有技術(shù)在高精度測(cè)量中面臨諸多挑戰(zhàn)，例如，在采樣信號(hào)的測(cè)量系統(tǒng)中，一般采用電纜作為測(cè)量系統(tǒng)中的傳輸元件，電纜在信號(hào)傳輸過(guò)程中會(huì)出現(xiàn)漏流，這種漏流會(huì)隨著測(cè)量系統(tǒng)中的電纜的加長(zhǎng)和測(cè)量系統(tǒng)中的電流增加而加劇，最終影響測(cè)量精度。這些漏流可能達(dá)到pa甚至na級(jí)別，嚴(yán)重時(shí)會(huì)導(dǎo)致對(duì)半導(dǎo)體測(cè)試的失敗。

2、目前的高精度測(cè)量中通常推薦使用三同軸電纜傳輸技術(shù)以降低漏流，三同軸電纜通過(guò)其多層屏蔽和高絕緣電阻設(shè)計(jì)，能夠在一定程度上減少漏流。然而，這種方法并不能完全消除漏流問(wèn)題，尤其在要求更高精度的應(yīng)用中，其效果有限。在極高精度測(cè)量場(chǎng)景中，即使微小的漏流也會(huì)對(duì)測(cè)量結(jié)果產(chǎn)生顯著影響，導(dǎo)致測(cè)量誤差。

3、需要說(shuō)明的是，上述背景技術(shù)部分公開(kāi)的信息僅用于加強(qiáng)對(duì)本發(fā)明的背景的理解，因此可以包括不構(gòu)成對(duì)本領(lǐng)域普通技術(shù)人員已知的現(xiàn)有技術(shù)的信息。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的問(wèn)題，本發(fā)明的目的在于提供一種傳輸電路，以有效降低漏流，提高測(cè)量精度?，F(xiàn)有技術(shù)中，芯線上的電信號(hào)與內(nèi)屏蔽層的保護(hù)信號(hào)之間存在電壓差，導(dǎo)致芯線和內(nèi)屏蔽層之間產(chǎn)生漏流。這種漏流會(huì)隨著測(cè)試電纜長(zhǎng)度的增加和傳輸至包含電纜的測(cè)量系統(tǒng)中電流的增大而顯著加劇，也會(huì)影響最終測(cè)量的精度。此外，由于芯線本身的電阻，隨著電流增加會(huì)導(dǎo)致電壓差進(jìn)一步惡化，從而加劇漏流問(wèn)題。為了解決這些問(wèn)題，本發(fā)明通過(guò)優(yōu)化電路設(shè)計(jì)和改進(jìn)電路連接方案，致力于減少芯線與屏蔽層之間的壓差，并控制由于傳輸至測(cè)量系統(tǒng)的電流增加引起的漏流現(xiàn)象，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)高精度電流測(cè)量。

2、本發(fā)明實(shí)施例提供一種傳輸電路，與外部源電路、負(fù)載電路相連，包括：

3、第一信號(hào)驅(qū)動(dòng)模塊，第一信號(hào)驅(qū)動(dòng)模塊包括第一信號(hào)驅(qū)動(dòng)模塊輸入端與第一信號(hào)驅(qū)動(dòng)模塊輸出端，

4、第一電纜，第一電纜包括第一芯線，第一內(nèi)屏蔽層以及第一外屏蔽層，第一內(nèi)屏蔽層圍繞第一芯線設(shè)置，且第一內(nèi)屏蔽層與第一芯線之間設(shè)置有第一絕緣層，第一外屏蔽層圍繞第一內(nèi)屏蔽層設(shè)置，

5、第二信號(hào)驅(qū)動(dòng)模塊，第二信號(hào)驅(qū)動(dòng)模塊包括第二信號(hào)驅(qū)動(dòng)模塊輸入端與第二信號(hào)驅(qū)動(dòng)模塊輸出端，

6、外部源電路與第一信號(hào)驅(qū)動(dòng)模塊輸入端相連，外部源電路與第一芯線的第一端相連，第一芯線的第二端與負(fù)載電路的第一端相連，負(fù)載電路的第一端與第二信號(hào)驅(qū)動(dòng)模塊輸入端相連，第一信號(hào)驅(qū)動(dòng)模塊輸出端與第一內(nèi)屏蔽層的第一端相連，第二信號(hào)驅(qū)動(dòng)模塊輸出端與第一內(nèi)屏蔽層的第二端相連，第一外屏蔽層與接地信號(hào)相連；

7、第一芯線的第一端通過(guò)外部源電路接入第一主信號(hào)，第一主信號(hào)通過(guò)第一芯線傳輸至負(fù)載電路的第一端得到第二主信號(hào)，通過(guò)第一信號(hào)驅(qū)動(dòng)模塊生成第一電壓信號(hào)，并向第一內(nèi)屏蔽層的第一端提供第一電壓信號(hào)；

8、將負(fù)載電路的第一端的且與第二主信號(hào)的電壓相等的信號(hào)作為遠(yuǎn)端采樣信號(hào)，通過(guò)第二信號(hào)驅(qū)動(dòng)模塊根據(jù)遠(yuǎn)端采樣信號(hào)生成第二電壓信號(hào)，并將第二電壓信號(hào)提供至第一內(nèi)屏蔽層的第二端，第一電壓信號(hào)與第一主信號(hào)的電壓相等，第二電壓信號(hào)與第二主信號(hào)的電壓相等。

9、應(yīng)當(dāng)理解的是，以上的一般描述和后文的細(xì)節(jié)描述僅是示例性和解釋性的，并不能限制本申請(qǐng)。

10、本發(fā)明的傳輸電路具有如下有益效果：解決了高精密測(cè)量系統(tǒng)中的電流傳輸過(guò)程中的漏流問(wèn)題。通過(guò)本發(fā)明的技術(shù)方案，可以顯著降低傳輸電路中的漏流。這樣的改進(jìn)不僅有效減少了電纜中芯線與內(nèi)屏蔽層之間的壓差導(dǎo)致的漏流，還緩解了電纜中由于芯線的電阻存在，造成當(dāng)包含傳輸電路的測(cè)量系統(tǒng)中傳輸?shù)男盘?hào)的電流增加而引起的漏流加劇現(xiàn)象。這些技術(shù)改進(jìn)極大地提升了高精密電子測(cè)量的性能，確保了測(cè)量的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。因此，本發(fā)明的傳輸電路可以廣泛應(yīng)用于源測(cè)單元(smu)、晶圓測(cè)試(wat)、自動(dòng)測(cè)試設(shè)備(ate)、科學(xué)研究和物理研究等高精密測(cè)量場(chǎng)景，滿足這些領(lǐng)域?qū)Τ呔葴y(cè)量的需求。

技術(shù)特征：

1.一種傳輸電路，其特征在于，所述傳輸電路與外部源電路、負(fù)載電路相連，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳輸電路，其特征在于，所述傳輸電路還與測(cè)量模塊相連，所述傳輸電路還包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳輸電路，其特征在于，所述傳輸電路還包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的傳輸電路，其特征在于，所述第二電纜還包括第二內(nèi)屏蔽層，所述第二內(nèi)屏蔽層圍繞所述第二芯線，且設(shè)置于所述第二芯線和所述第二外屏蔽層之間，且所述第二內(nèi)屏蔽層與所述第二芯線之間設(shè)置有第二絕緣層，所述第二內(nèi)屏蔽層的第二端與所述第四信號(hào)驅(qū)動(dòng)模塊輸出端連接；

5.根據(jù)權(quán)利要求4中所述的傳輸電路，其特征在于，所述第一信號(hào)驅(qū)動(dòng)模塊至所述第四信號(hào)驅(qū)動(dòng)模塊，分別實(shí)時(shí)跟蹤對(duì)應(yīng)接收到的信號(hào)的電壓，使得所述第一信號(hào)驅(qū)動(dòng)模塊至所述第四信號(hào)驅(qū)動(dòng)模塊輸出的電壓信號(hào)相比于各自輸入的電壓信號(hào)在誤差范圍內(nèi)。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳輸電路，其特征在于，所述傳輸電路還包括：

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的傳輸電路，其特征在于，所述第二電纜還包括第二內(nèi)屏蔽層，所述第二內(nèi)屏蔽層圍繞所述第二芯線，且設(shè)置于所述第二芯線和所述第二外屏蔽層之間，且所述第二內(nèi)屏蔽層與所述第二芯線之間設(shè)置有第二絕緣層，所述第二內(nèi)屏蔽層的第二端與所述第五信號(hào)驅(qū)動(dòng)模塊輸出端連接；

8.根據(jù)權(quán)利要求6中所述的傳輸電路，其特征在于，所述第一信號(hào)驅(qū)動(dòng)模塊至所述第三信號(hào)驅(qū)動(dòng)模塊、以及所述第五信號(hào)驅(qū)動(dòng)模塊，分別實(shí)時(shí)跟蹤對(duì)應(yīng)接收到的信號(hào)的電壓，使得所述第一信號(hào)驅(qū)動(dòng)模塊至所述第三信號(hào)驅(qū)動(dòng)模塊、以及所述第五信號(hào)驅(qū)動(dòng)模塊輸出的電壓信號(hào)相比于各自輸入的電壓信號(hào)在誤差范圍內(nèi)。

9.根據(jù)權(quán)利要求4或6所述的傳輸電路，其特征在于，所述第一電纜或所述第二電纜為三同軸電纜。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的傳輸電路，其特征在于，所述第一信號(hào)驅(qū)動(dòng)模塊集成在所述外部源電路中，或者，所述第一信號(hào)驅(qū)動(dòng)模塊與所述外部源電路分離設(shè)置。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種傳輸電路與外部源電路、負(fù)載電路相連，包括：第一信號(hào)驅(qū)動(dòng)模塊，第一電纜包括第一芯線，第一內(nèi)屏蔽層以及第一外屏蔽層，第二信號(hào)驅(qū)動(dòng)模塊，通過(guò)第一信號(hào)驅(qū)動(dòng)模塊將與第一主信號(hào)的電壓相等的第一電壓信號(hào)提供至第一屏蔽層的第一端，通過(guò)第二信號(hào)驅(qū)動(dòng)模塊生成與第二主信號(hào)的電壓相等的第二電壓信號(hào)，并將第二電壓信號(hào)提供至第一內(nèi)屏蔽層的第二端。本發(fā)明提供的傳輸電路，解決了高精密測(cè)量系統(tǒng)中的電流傳輸過(guò)程中的漏流問(wèn)題。

技術(shù)研發(fā)人員：周代彬,李根柱,余振洪,余樂(lè)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海精積微半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/5