有機電致發(fā)光元件的制作方法
【技術(shù)領域】
[0001]本發(fā)明涉及有機電致發(fā)光元件。特別是涉及通過將中間電極薄膜化而透光性優(yōu)異、且中間電極的斷線、高電阻化被抑制而確保了導電性的有機電致發(fā)光元件。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來，有機電致發(fā)光元件(以下也稱作“有機EL元件”。)的開發(fā)正在活躍地進行，作為顯示裝置、照明裝置而被使用。
[0003]有機EL元件是可以以數(shù)V?數(shù)十V左右的低電壓進行發(fā)光的薄膜型的完全固體元件，具有高亮度、高發(fā)光效率、薄型、輕量這樣的大量優(yōu)異的特征。有機EL元件在一對電極間夾持由有機材料構(gòu)成的發(fā)光單元而構(gòu)成、由該發(fā)光單元產(chǎn)生的發(fā)光光透過電極而被取出至外部。
[0004]在這樣的有機EL元件中，作為將發(fā)光光彩色化的手段，例如已知有將紅、綠、藍等的發(fā)光色不同的有機EL元件例如線條狀配置、調(diào)整各色的發(fā)光強度而得到任意的發(fā)光色的手段。作為其實現(xiàn)手段，可使用以下的方法:使用高精細的金屬掩模在基板上將各發(fā)光色的有機EL元件個別地進行構(gòu)圖的所謂的被稱作分涂方式的方法，預先在基板上以任意的圖案形成濾色器、在其上層疊白色有機EL元件的被稱作濾色器方式的方法。
[0005]但是，上述的任意的方式均需要在發(fā)光面上分別確保各發(fā)光區(qū)域，而且，由于為了避免各色的混色等而需要在鄰接的發(fā)光區(qū)域間設置非發(fā)光區(qū)域，因此存在相對于發(fā)光面整體、發(fā)光區(qū)域的比例(開口率)非常小、大大損失發(fā)光效率這樣的問題。另外，由于制造工序復雜，因此也存在制造成本增大這樣的問題。
[0006]對于這樣的問題，提案有以下方法:不將發(fā)光色不同的有機EL元件配置成平面狀、經(jīng)由中間電極在元件的厚度方向?qū)盈B各發(fā)光色的發(fā)光單元、使各發(fā)光單元分別獨立地發(fā)光而得到任意的發(fā)光色(例如參照專利文獻I。)。
[0007]根據(jù)這樣的方法，可以使各發(fā)光色的開口率事實上無限接近100 %，其結(jié)果，可以大幅降低發(fā)光效率的損失。另外，由于不需要利用高精細金屬掩模的構(gòu)圖、濾色器的形成這樣的工藝，因此可以將制造工序簡化、也可以期待制造成本的降低、成品率的提尚。
[0008]特別是，在如照明裝置那樣不需要像素而在具有較大面積的發(fā)光區(qū)域的裝置中要使發(fā)光色任意變化的情況下，根據(jù)該層疊方式，可以說在發(fā)光效率及制造工藝中比上述兩個方式還優(yōu)異。
[0009]但是，在層疊方式中，存在如以下的問題。
[0010]就介于發(fā)光單元彼此之間的中間電極而言，為了從各發(fā)光單元高效地取出發(fā)光光而優(yōu)選形成為薄膜，雖然也取決于材料，但具體而言優(yōu)選形成為20nm以下的膜厚。
[0011]另一方面，在中間電極和基板之間層疊有含有發(fā)光單元的各種構(gòu)成層，當將中間電極為了與外部電源連接而引出時，需要以該中間電極越過各層的臺階高差地進行圖案形成。在此，如果中間電極的膜厚為上述20nm以下，則存在如以下的問題:在各層的臺階高差部分產(chǎn)生中間電極的斷線，或因中間電極在臺階高差部分進行薄膜化而損害中間電極的厚度的連續(xù)性、進行高電阻化。
[0012]即，在層疊方式中存在難以兼得中間電極的高透光性和高導電性的這樣的問題。
[0013]現(xiàn)有技術(shù)文獻
[0014]專利文獻
[0015]專利文獻1:日本特開2009-252458號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0016]發(fā)明要解決的課題
[0017]本發(fā)明是鑒于上述問題而完成的，其解決課題在于，提供通過將中間電極薄膜化而透光性優(yōu)異、且中間電極的斷線、高電阻化被抑制而確保了導電性的有機電致發(fā)光元件。
[0018]用于解決課題的手段
[0019]為解決本發(fā)明涉及的上述課題，對上述問題的原因等進行了研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，可提供以下的有機EL元件:鄰接于中間電極上的發(fā)光單元被構(gòu)圖以使得從層疊方向看時該中間電極的一部分露出，用于連接于外部電源的第一取出配線連接于上述中間電極的露出了的部分，由此即使將中間電極薄膜化，在該中間電極也不會產(chǎn)生斷線、高電阻化，可與外部電源連接。
[0020]即，本發(fā)明的上述課題通過以下的手段解決。
[0021]1.一種有機電致發(fā)光元件，其特征在于，其為以下的有機電致發(fā)光元件:在形成于基板上的第一電極和與上述第一電極對置的第二電極之間層疊多個至少含有發(fā)光層的發(fā)光單元、將設于上述發(fā)光單元彼此之間的中間電極經(jīng)由第一取出配線而連接于外部電源、由此上述發(fā)光單元分別獨立地進行發(fā)光；其中，
[0022]將鄰接于上述中間電極上的上述發(fā)光單元進行圖案形成以使得從層疊方向看時該中間電極的一部分露出，
[0023]上述第一取出配線與上述中間電極的露出了的部分連接。
[0024]2.根據(jù)第I項所述的有機電致發(fā)光元件，其特征在于，
[0025]在上述基板上還設置連接于外部電源的第二取出配線，
[0026]上述第一取出配線連接于上述第二取出配線。
[0027]3.根據(jù)第I項或第2項所述的有機電致發(fā)光元件，其特征在于，上述第一取出配線被分割成多個部位而被圖案形成。
[0028]4.根據(jù)第I項?第3項的任一項所述的有機電致發(fā)光元件，其特征在于，上述第二電極和上述第一取出配線由相同的導電性材料構(gòu)成。
[0029]5.根據(jù)第I項?第4項的任一項所述的有機電致發(fā)光元件，其特征在于，層疊了多個的上述發(fā)光單元中的至少一個為不同的發(fā)光色。
[0030]6.根據(jù)第5項所述的有機電致發(fā)光元件，其特征在于，通過分別調(diào)整層疊了多個的上述發(fā)光單元的發(fā)光強度，可調(diào)整被取出到外部的發(fā)光光的發(fā)光色。
[0031]7.根據(jù)第I項?第6項的任一項所述的有機電致發(fā)光元件，其特征在于，上述中間電極含有選自鋁、銀、鎂及鈣中的至少I種金屬元素。
[0032]發(fā)明的效果
[0033]通過本發(fā)明的上述手段，可以提供通過將中間電極薄膜化而透光性優(yōu)異、且中間電極的斷線、高電阻化被抑制而確保了導電性的有機電致發(fā)光元件。
[0034]本發(fā)明效果的呈現(xiàn)機理乃至作用機理，如以下。
[0035]S卩，鄰接于中間電極上的發(fā)光單元被進行圖案形成以使得從層疊方向看時該中間電極的一部分露出，第一取出配線連接于中間電極的露出了的部分，由此不需要以中間電極越過臺階高差地被圖案形成，即使由于在各發(fā)光單元間平面狀地形成而充分地進行薄膜化，也不會引起斷線、高電阻化。因此，可以形成兼得中間電極的高透光性和高導電性的有機電致發(fā)光元件。
【附圖說明】
[0036]圖1是表示本發(fā)明涉及的有機電致發(fā)光元件的構(gòu)成的一例的平面圖。
[0037]圖2是沿著圖1中的I1-1I線的面的向視剖面圖。
[0038]圖3是沿著圖1中的II1-1II線的面的向視剖面圖。
[0039]圖4是表示本發(fā)明涉及的有機電致發(fā)光元件的構(gòu)成的變形例的平面圖。
[0040]圖5是表示本發(fā)明涉及的有機電致發(fā)光元件的構(gòu)成的變形例的平面圖。
【具體實施方式】
[0041]就本發(fā)明的有機電致發(fā)光元件而言，其特征在于，其為在形成于基板上的第一電極、和與上述第一電極對置的第二電極之間層疊了多個至少含有發(fā)光層的發(fā)光單元、將設于上述發(fā)光單元彼此之間的中間電極經(jīng)由第一取出配線而連接于外部電源、由此上述發(fā)光單元分別獨立地進行發(fā)光的有機電致發(fā)光元件，鄰接于上述中間電極上的上述發(fā)光單元被進行圖案形成以使得從層疊方向看時該中間電極的一部分露出，上述第一取出配線連接于上述中間電極的露出了的部分。該特征是與權(quán)利要求1?權(quán)利要求7的權(quán)利要求的共通的技術(shù)特征。
[0042]另外，本發(fā)明優(yōu)選在基板上還設有連接于外部電源的第二取出配線、上述第一取出配線連接于上述第二取出配線。由此，可以將有機EL元件中的配線電阻進行低電阻化，另外，可以使與外部電源的連接性良好。
[0043]另外，本發(fā)明優(yōu)選上述第一取出配線被分割成多個部位而被圖案形成。在此，第一取出配線的圖案形成在通過使用了金屬掩模的蒸鍍法來進行的情況下，如果將第一取出配線作為一個膜廣泛面積地形成于基板上，則需要大地設定金屬掩模的開口部，可能產(chǎn)生該金屬掩模的強度降低、撓曲。通過第一取出配線被分割成多個部位而被圖案形成，可以被分割成多個部位而形成金屬掩模的開口部，可以抑制金屬掩模的強度降低、撓曲。
[0044]另外，就本發(fā)明而言，優(yōu)選上述第二電極和上述第一取出配線由相同的導電性材料構(gòu)成。由此，可以同時形成