專(zhuān)利名稱(chēng)：一種平行束注入角度測(cè)量方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件制造控制測(cè)量方法，尤其涉及一種平行束注入角度測(cè)量方法。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有半導(dǎo)體集成電路制造技術(shù)中，隨著半導(dǎo)體集成電路技術(shù)的發(fā)展，集成度越來(lái)越高，代工的晶圓尺寸越來(lái)越大，從6英寸到8英寸，甚至12英寸，電路中單元器件尺寸越來(lái)越小，對(duì)各半導(dǎo)體工藝設(shè)備的自動(dòng)化提出了更高的要求。
離子注入機(jī)作為半導(dǎo)體離子摻雜工藝線(xiàn)的關(guān)鍵設(shè)備之一，也提出了更高的要求，當(dāng)代工的晶圓尺寸到達(dá)8英寸或12英寸時(shí)，要求離子注入機(jī)具有整機(jī)可靠性好、精確控制束品質(zhì)、低塵粒污染、注入束流的角度同一性好等多種功能和特征，特別是離子束到達(dá)晶圓表面時(shí)，在晶園表面不同的位置，束斑都要求以同樣的角度注入。因此，平行束注入角度測(cè)量技術(shù)是大角度離子注入機(jī)設(shè)備中最為關(guān)鍵的技術(shù)之一。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中精確測(cè)量平行束注入角度比較困難的情況，提出一種新的測(cè)量方法，該方法簡(jiǎn)單實(shí)用，測(cè)量準(zhǔn)確。
本發(fā)明通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)一種平行束注入角度測(cè)量方法，使用了移動(dòng)法拉第、測(cè)束法拉第，測(cè)量步驟為(1)通過(guò)移動(dòng)法拉第遮擋離子束，使測(cè)束法拉第形成相應(yīng)的電流曲線(xiàn)圖；(2)根據(jù)公式計(jì)算出平行束注入角度θ≈arctg((X1’+X2’)/2-X0)/(H-h/2)，其中X1’、X2’為測(cè)束杯電流峰值50％兩點(diǎn)位置，X0為測(cè)束杯中點(diǎn)的位置，移動(dòng)法拉第高度為h，移動(dòng)法拉第入口與測(cè)束法拉第入口之間的距離為H。
本發(fā)明具有如下顯著優(yōu)點(diǎn)1.方法簡(jiǎn)單、實(shí)用，易于操作。
2.測(cè)量準(zhǔn)確。


圖1是本發(fā)明的原理圖。
圖2為本發(fā)明的測(cè)束法拉第電流曲線(xiàn)圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)描述如圖1所示，離子束經(jīng)過(guò)掃描電源掃開(kāi)后，從平行束透鏡和加速場(chǎng)出來(lái)以后注入到晶片中，在晶片位置設(shè)置1個(gè)或多個(gè)測(cè)束法拉第2，將移動(dòng)法拉第1的從左到右移動(dòng)，根據(jù)平行束角度測(cè)量公式可以測(cè)量出測(cè)束法拉第所在位置的平行束注入角度。
平行束角度測(cè)量公式如圖1所示，移動(dòng)法拉第1從左到右運(yùn)動(dòng)，當(dāng)移動(dòng)法拉第1運(yùn)動(dòng)到位置X1時(shí)，測(cè)束法拉第2測(cè)量的束流開(kāi)始減小，當(dāng)移動(dòng)法拉第1運(yùn)動(dòng)到位置X2時(shí)，測(cè)束法拉第2測(cè)量的束流恢復(fù)到最大值。X0為測(cè)束杯中點(diǎn)的位置，X3為測(cè)束法拉第2發(fā)出的離子束中心線(xiàn)與移動(dòng)法拉第1上沿相交的位置。設(shè)移動(dòng)法拉第1的寬度為W1，高度為h，測(cè)束法拉第2的寬度為W2，移動(dòng)法拉第1與測(cè)束法拉第2之間的距離為H。
X3-X1＝W1/2+h*tgθ+W2/2..............................(1)X2-X3＝W2/2+W1/2.....................................(2)X3-X0＝H*tgθ........................................(3)由(2)-(1)得2*X3-(X2+X1)＝h*tgθ.................................(4)由(3)和(4)得tgθ＝((X1+X2)/2-X0)/(H-h/2).........................(5)平行束角度為θ＝arctg((X1+X2)/2-X0)/(H-h/2)......................(6)控制移動(dòng)法拉第從左到右移動(dòng)，從測(cè)束法拉第上獲得如圖2所示的電流曲線(xiàn)圖，根據(jù)圖示計(jì)算出X1’和X2’兩點(diǎn)。由圖可知(X1’+X2’)/2≈(X1+X2)/2.............................(7)將(7)代入公式(6)即可計(jì)算出平行束角度。
本發(fā)明的特定實(shí)施例已對(duì)發(fā)明內(nèi)容做了詳盡說(shuō)明。對(duì)本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本發(fā)明原理的前提下對(duì)它所做的任何顯而易見(jiàn)的改動(dòng)，都構(gòu)成對(duì)本發(fā)明專(zhuān)利的侵犯，將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。
權(quán)利要求
1.一種平行束注入角度測(cè)量方法，使用了移動(dòng)法拉第、測(cè)束法拉第，測(cè)量步驟為(1)通過(guò)移動(dòng)法拉第遮擋離子束，使測(cè)束法拉第形成電流曲線(xiàn)圖；(2)根據(jù)公式計(jì)算出平行束注入角度θ≈arctg((X1’+X2’)/2-X0)/(H-h/2)，其中X1’、X2’為測(cè)束杯電流峰值50％兩點(diǎn)位置，X0為測(cè)束杯中點(diǎn)的位置，移動(dòng)法拉第高度為h，移動(dòng)法拉第入口與測(cè)束法拉第入口之間的距離為H。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種平行束注入角度測(cè)量方法，使用了移動(dòng)法拉第、測(cè)束法拉第，測(cè)量步驟為(1)通過(guò)移動(dòng)法拉第遮擋離子束，使測(cè)束法拉第形成相應(yīng)的電流曲線(xiàn)圖；(2)根據(jù)公式計(jì)算出平行束注入角度θ≈arctg((X1’+X2’)/2－X0)/(H－h(huán)/2)，其中X1’、X2’為測(cè)束杯電流峰值50％兩點(diǎn)位置，X0為測(cè)束杯中點(diǎn)的位置，移動(dòng)法拉第高度為h，移動(dòng)法拉第與測(cè)束法拉第之間的距離為H。本發(fā)明方法簡(jiǎn)單、實(shí)用，易于操作，且測(cè)量準(zhǔn)確。
文檔編號(hào)H01L21/265GK1862766SQ20061007296
公開(kāi)日2006年11月15日 申請(qǐng)日期2006年4月7日 優(yōu)先權(quán)日2006年4月7日
發(fā)明者羅宏洋, 孫勇, 謝均宇, 唐景庭 申請(qǐng)人:北京中科信電子裝備有限公司