專利名稱：陣列式波導多路復用/解復用器的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種陣列式波導多路復用/解復用器，特別是具有低串擾平坦光譜響應的陣列式波導多路復用/解復用器，屬于光傳輸領域的波分復用技術中的波導陣列光柵型光波長多路復用/解復用器。
背景技術：
隨著光傳輸研究的發(fā)展，波分復用技術已經成為一種增大通信信息容量的有效手段。所謂波分復用是指將多個不同波長的光合到同一根波導或光纖中傳輸，解復用是將同一根波導或光纖中的不同波長的光按照波長分別分到不同波導或光纖中的技術。實現波分復用技術的關鍵部分是波分復用器。波導陣列光柵(Arrayed Waveguide Grating，簡稱AWG)型波分復用/解復用(WDM)器件(AWGR)具有信道間隔小、易于同其它器件集成、體積小、性能穩(wěn)定、易于批量生產、以及成本低的特點而得到了快速的發(fā)展。
然而，由于典型的波導陣列光柵型光波長多路解復用器的干涉圖樣與輸出波導的導模都具有高斯形狀，所以它們顯示的光譜響應也是高斯型的。這樣對光源的光譜變化就有一個嚴格的限制，特別在很多波長多路解復用器級聯的情況下，總體的光譜響應的通帶帶寬會減小，這必然會增加系統(tǒng)的成本，為了解決這個問題，必須使得各個通道的光譜響應是平坦的。為了提高波分復用器以及采用波分復用器的通信系統(tǒng)的傳輸質量，波分復用器的串擾水平也是很重要的一項指標。本發(fā)明的精神在于通過適當的結構實現波分復用器的光譜響應的平坦性和低串擾特性。
圖1所示的是一個AWG型波長解復用器的原理圖，圖中1所表示的是輸入波導，用來傳播輸入光，2表示的是一個平板波導，光在其中可以自由傳播，具有讓從波導1中入射到2中的光發(fā)散的作用，3表示的是許多波導并排排列組成的波導陣列，4是與2結構相同的平板波導，5表示的是一些并排排列的輸出波導。平板波導2將波導1和波導陣列3連接起來，平板波導4將波導5和波導陣列3連接起來。圖1是一個原理圖，波導1可以是1根或多根，陣列波導3可以有很多根，通常超過100根，輸出波導5一般超過兩根，根據設計要求選取。陣列波導中任意相鄰的兩個波導長度差恒定。它的波長解復用原理是一組間隔恒定的波長分別為λ1，λ2，λ3...，λi-1，λi的光從同一根輸入波導中輸入，它們在波導2中會發(fā)散，能量會分布到各個陣列波導5中，由于相鄰陣列波導有一個固定的長度差，所以各個陣列波導中光在經過陣列波導到達波導4時，相鄰陣列波導中的光會有一個確定的光程差，這樣在通過波導4以后，在波導4和波導5連接端會形成干涉圖樣，不同波長的光干涉的最強點位置不同，將輸出波導與平板波導5連接的位置設置在這些干涉最強點，這樣不同波長的光就會從不同輸出波導輸出，從而實現了解復用。反之，根據可逆性原理，如果不同波長的光從相應的輸出波導輸入，在經過AWG結構后，會從同一根波導1輸出，從而也可以實現波長復用功能。
具體原理是，假設光入射到輸入波導中的中心波導中，可以得到光柵方程為nslabdsinθ+ng·ΔL＝mλ， (1)其中，nslab表示平板波導2和4的有效折射率，ng是陣列波導的有效折射率，ΔL是相鄰陣列波導的長度差，λ是入射光的波長，θ是光在平板波導4中的衍射角，m是衍射級數，為整數，而d為AWG的柵距。
式1中θ為零時波長對應的值λ0是中心波長，其定義為λ0=ngΔLm.----(2)]]>根據表達式(1)，在中心波長附近對波長λ微分就可以得到色散公式dθdλ=m(ng-λdng/dλ)dnslabng.----(3)]]>根據表達式(3)，可以看到不同的波長的入射光會有不同的波前方向，那么在平板波導4上輸出圓上聚焦的位置也就不同。
如果輸入波導和輸出波導是單模波導，它們的基本模場形式近似為高斯狀，所以，輸入波導中的場在經過AWG后干涉所成的像也是高斯型。所以輸出波導的光譜響應也是高斯型。這樣對光源的光譜變化就有一個嚴格的限制，特別在很多波長多路解復用器級聯的情況下，總體的光譜向應的通帶帶寬會減小，這必然會增加系統(tǒng)的成本。為了解決這個問題，必須使得各個通道的光譜響應具有足夠寬的帶寬。
目前已經有多種方案用于獲得寬帶寬的通道光譜響應。這幾種方法的共同原理都是使得輸入波導中的場在經過AWGR以后干涉所成的像不是高斯型，而是一個如圖2所示的形狀，它的頂端具有兩個峰或者是平坦的，這樣輸出波導的譜響應就具有一個相對平坦的結構，從而增加通帶的帶寬，如圖3所示。
授權給Corrado Pietro Dragone，Lucent Technology的美國專利US6195482。是在先前他自己的美國專利US5467418基礎上的改進，該方法是在一定范圍內調整一部分陣列波導的長度差，使得各個陣列波導3中場在到達平板波導4后疊加的總的場的分布具有正弦形式，根據反傅立葉變換，可以得到這個場在經過平板波導4后干涉圖樣為矩形，這樣就可以獲得平坦的輸出譜響應，但是在設計中要有意地根據各個陣列波導中的光強給出損耗，以此來獲得正弦的場分布。該方案增大了插入損耗，同時陣列波導結構也比較復雜，工藝上比較困難。
第二種是在輸入波導1與平板波導2之間加入一個Y型分支，或者一個多模干涉波導，由于在平板波導與這個Y分支(或多模干涉波導)連接處，Y分支或者多模干涉波導可以實現如圖2所示的場分布，這樣這種場分布在通過AWGR之后的干涉圖樣也具有如圖3所示的場分布，所以可以實現平坦的光譜響應，這也是用得較多的方法，但是該方法一般具有較大的插損，但是不論是多模波導還是Y分支，都存在比較大的輻射損耗，這樣它們通過AWG后的所成干涉圖樣的場的分布就具有比較大的邊凸，這樣導致比較大的串擾。

發(fā)明內容
本發(fā)明的目的是克服上述問題，基于陣列波導1光柵的波分復用器的輸入波導采用一種新型具有分支結構的梯形耦合器結構，輸出波導采用一種梯型波導，設計一種可以獲得具有較寬帶寬和很低串擾的傳輸譜特性的陣列式波導多路復用/解復用器。
本發(fā)明的技術方案本發(fā)明的陣列式波導多路復用/解復用器包括輸入波導1、輸入平板波導2、波導陣列3、輸出平板波導4、輸出波導5，相鄰波導長度差恒定的波導陣列3連接了輸入平板波導2和輸出平板波導4，不少于兩個的輸出波導5與輸出平板波導4相連，其特征是在輸入波導1與輸入平板波導2或者輸出波導5與輸出平板波導4之間接入了一個帶分支的梯形波導耦合器6，帶分支的梯形波導耦合器6包括普通的單?；驕蕟文２▽?2及在沿著從波導到平板波導方向逐漸變窄的梯形波導14，即梯形波導14的窄端與平板波導連接，在梯形波導14的兩側反向對稱放置兩個梯形波導13a和13b，即梯形波導13a和13b的寬端與平板波導連接。
所述的陣列式波導多路復用/解復用器，兩個梯形波導13a和13b的寬端與梯形波導14的間隙W3小于另一端即窄端與梯形波導14的間隙W6。
所述的陣列式波導多路復用/解復用器，帶分支的梯形波導耦合器6在輸入端，普通的單?；驕蕟文２▽?2及在沿著從波導到平板波導方向逐漸變窄形成梯形波導14，即梯形波導14的窄端與輸入平板波導2連接，在梯形波導14的兩側反向對稱放置兩個梯形波導13a和13b，即梯形波導13a和13b的寬端與輸入平板波導2連接。
所述的陣列式波導多路復用/解復用器，帶分支的梯形波導耦合器6在輸出端時，帶分支的梯形波導耦合器6包括普通的單?；驕蕟文２▽?2及在沿著從輸出波導到輸出平板波導4方向逐漸變窄的梯形波導14，即梯形波導14的窄端與輸出平板波導4連接，在梯形波導14的兩側反向對稱放置兩個梯形波導13a和13b，即梯形波導13a和13b的寬端與輸出平板波導4連接。
所述的陣列式波導多路復用/解復用器，帶分支的梯形波導耦合器6在輸入端時，在輸出平板波導4與輸出波導5之間由梯形波導7連接，梯形波導7的寬端與輸出平板波導4連接，其窄端與輸出波導5連接，其窄端寬度與輸出波導5的寬度相同。
所述的陣列式波導多路復用/解復周器，帶分支的梯形波導耦合器6在輸出端時，在輸入平板波導2與輸入波導1之間由梯形波導7連接，梯形波導7的寬端與輸入平板波導2連接，其窄端與輸入波導1連接，其窄端寬度與輸入波導1的寬度相同。
本發(fā)明的優(yōu)點依照本發(fā)明的精神制作的陣列式波導多路復用/解復用器具有較寬帶寬和很低串擾的傳輸譜特性，應用這種技術的波分復用器或系統(tǒng)將具有更好的傳輸特性和通信質量。


圖1是一個現有AWG型波長解復用器的原理圖；圖2是頂端具有兩個峰的輸出波導的譜響應示意圖；圖3是頂端具有平坦輸出波導的譜響應示意圖；圖4是本發(fā)明的AWG型波長復用器結構示意圖；圖5是帶分支的梯形波導耦合器6的具體結構圖；圖6是輸入端帶分支的梯形波導耦合器和具有梯形結構的輸出波導相結合形式；圖7表示利用帶分支的梯形波導耦合器6(實線)和多模干涉結構(虛線)實現的平坦譜響應的對比；
圖8表示本發(fā)明實現方式1，在輸入波導1與輸入平板波導2之間加入帶分支的梯形波導耦合器6；圖9表示本發(fā)明實現方式2，在輸入波導1與輸入平板波導2之間加入梯形波導耦合器6，輸出波導5與輸出平板波導4之間加入梯形波導7；圖10表示本發(fā)明實現方式3，在輸出波導5與輸出平板波導4之間加入帶分支的梯形波導耦合器6；圖11表示本發(fā)明實現方式4，在輸出波導5與輸出平板波導4之間加入帶分支的梯形波導耦合器6，輸入波導1與輸入平板波導2之間加入梯形波導7；圖12表示依照本發(fā)明制作的一種粗波分復用器部分輸出通道光譜響應的測試結果圖；圖13表示依照本發(fā)明制作的一種密集波分復用器部分輸出通道光譜響應的測試結果圖。
具體實施例方式
圖4是本發(fā)明的AWG型波長復用器結構示意圖，基本結構形狀與圖1相同，不同的是在輸入波導和輸入平板波導連接處加入了一個帶分支的梯形波導耦合器6。6的兩端分別與輸入波導1以及輸入平板波導2連接，相鄰波導長度差恒定的波導陣列3連接了輸入平板波導2和輸出平板波導4，不少于兩個的輸出波導5與輸出平板波導4相連，連接的位置滿足表達式(3)。
圖5是帶分支的梯形波導耦合器6的具體結構，在這個結構中，普通的單模(或準單模)波導12在沿著傳播方向逐漸變窄，形成梯形波導14(窄端與AWG波分復用器的輸入平板波導2連接)，而在梯形波導14兩側對稱地安排了兩個梯形波導13a和13b，具體尺寸如圖5所示，波導12寬W1，梯形波導14與波導12連接端的寬度為W1，與平板波導2連接端的寬度為W2；波導13a和13b與平板波導2連接端的寬度為W4，而且在這一端與波導14的間隙為W3，另外一端寬度為W5，另外一端與波導14的間隙為W6；W3盡可能小，通常以工藝限制為標準，約2μm，這樣可以得到比較強的耦合；W5盡可能小，通常以工藝限制為標準，這里選擇2μm；間隙W6＞W3；W4，W6根據需要選取。L是梯形波導13a和13b的長度，/是梯形波導14具有梯形結構的那部分的長度。
設計的基本原理在于1、選擇較大的間隙W6，是為了減小這一端的耦合，并且減小對這一端輸入波導中場形的破壞，從而減小輻射；2、梯形波導13a和13b逐漸增寬，而且與梯形波導14間距減小，是為了獲得足夠的耦合并將通過AWGR后的干涉圖樣場的分布形狀展寬為矩形。使用這種模式轉換結構可以實現具有低串擾特性的平坦光譜響應波分復用器。
作為比較，我們分析了分別使用本發(fā)明的帶分支的梯形波導耦合器和傳統(tǒng)多模干涉波導作為輸入波導時輸出通道間隔20nm的波分復用器的輸出特性，梯形耦合器的參數見表1，波導厚度為6μm，覆層折射率在波長1.55μm時為1.4450，芯層與覆層的相對折射率差為0.75％。
表1 梯形耦合器的一種設計的設計參數參數參數的取值輸入單模波導寬度W1(μm) 6.0梯形波導14窄端寬度W2(μm)3.4梯形波導14的長度L(μm)815.0梯形波導13a和13b的長度l(μm) 815.0梯形波導13a和13b窄端寬度W5(μm) 2.0梯形波導13a和13b寬端寬度W4(μm) 4.0梯形波導13a和13b與梯形波導14之間 3.0最大間隙W6(μm) 3.0梯形波導13a和13b與梯形波導14之間 2.3最小間隙W3(μm) 2.3設計的AWG的輸出通道中心波長間隔為20nm，在與羅蘭圓連接處，輸出波導間隔為23μm。為了比較我們這個設計的優(yōu)點，我們同時分析了一個利用多模干涉結構實現平坦譜響應的結果，該多模結構長504.5μm，寬16μm。
圖7表示利用帶分支的梯型耦合器(實線)和多模干涉結構(虛線)實現的平坦譜響應對比，從圖中可以看出采用帶分支的梯型波導耦合器實現平坦譜響應具有更小的串擾。
根據傳輸譜的形狀，可以將波分復用器分為高斯型譜響應波分復用器和平坦型譜向應波分復用器?；谏厦嬗懻摰奶菪尾▽я詈掀?，我們可以十分方便地實現具有較寬帶寬譜響應的低串擾波分復用器器件。
在有些情況下，梯形波導13a或13b與梯形波導14之間的耦合并不是足夠大，這樣梯形波導耦合器6的輸出場強將具有比較大的峰谷差，導致AWG輸出光譜不平坦。
為了優(yōu)化高斯型以及平坦型波分復用器的帶寬和平坦性，本發(fā)明采用了在輸出波導5與輸出平板波導4之間加入梯形波導7的方法，如圖6所示。為了簡化起見，只畫出了輸入和輸出結構，在圖6中的虛線代表平板波導2和4，以及連接平板波導2和4的陣列波導3，L2為梯形波導7的長度，W7是梯形波導7大底寬度，即與平板波導4連接端的寬度，W8是梯形波導7的小底寬度，即與輸出波導5連接端的寬度，該寬度通常與輸出波導5寬度相同。其基本原理是輸入波導為帶分支的梯形波導耦合器，用于產生具有雙峰或三峰結構的干涉圖樣場分布，而輸出波導為梯形波導，用于調整傳輸譜的平坦性。由于輸入波導為耦合器結構，在很多情況下輸入波導的具有雙峰或三峰結構輸出場(或像場)的峰與峰之間的谷處的場強差別很大，輸出波導設計為梯形波導的目的是減小由于這種差別所引入的輸出不平坦性。
根據本發(fā)明上面所述的原理，依照本發(fā)明的陣列式波導多路復用/解復用器有如下兩種實現方式實現方式1，在輸入波導1與輸入平板波導2之間加入帶分支的梯形波導耦合器6，輸出波導5與輸出平板波導4之間不加入梯形波導，如圖8所示，圖8是示意圖，在實際制作時輸入波導數可以是1個，也可以是大于1的任意值，陣列波導的數目可以是大于2的任意數，一般大于100根，輸出波導數目是不小于2的任意數；實現方式2，在輸入波導1與輸入平板波導2之間加入帶分支的梯形波導耦合器6，輸出波導5與輸出平板波導4之間加入梯形波導7，如圖9所示，圖9是示意圖，在實際制作時輸入波導數可以是1個，也可以是大于1的任意值，陣列波導的數目可以是大于2的任意數，一般大于100根，輸出波導數目是不小于2的任意數。
另外，根據可逆性原理，這種實現AWG型WDM的寬帶寬低串擾譜響應的梯形波導耦合器6既可以放置在波導1和輸入平板波導2之間，也可以放置在輸出平板波導4與輸出波導5之間。放置在輸出平板波導4與輸出波導5之間時，波導之間的連接特點與放置在波導1和輸入平板波導2之間相同，只是將平板波導2換成平板波導4，輸入波導1換成輸出波導5。這種結構也可以實現具有寬帶寬低串擾譜響應的陣列式波導多路復用/解復用器。這樣，依照本發(fā)明的陣列式波導多路復用/解復用器又可以有如下兩種實現方式實現方式3，在輸出波導5與輸出平板波導4之間加入帶分支的梯形波導耦合器6，輸入波導1與輸入平板波導2之間不加入梯形波導，如圖10所示，圖10是示意圖，在實際制作時輸入波導數可以是1個，也可以是大于1的任意值，陣列波導的數目可以是大于2的任意數，一般大于100根，輸出波導數目是不小于2的任意數；實現方式4，在輸出波導5與輸出平板波導4之間加入帶分支的梯形波導耦合器6，輸入波導1與輸入平板波導2之間加入梯形波導7，如圖11所示，圖11是示意圖，在實際制作時輸入波導數可以是1個，也可以是大于1的任意值，陣列波導的數目可以是大于2的任意數，一般大于100根，輸出波導數目是不小于2的任意數。
根據AWG型WDM的原理，不難發(fā)現，只要相鄰陣列波導3的長度差設計適當，依照本發(fā)明的陣列式波導多路復用/解復用器的輸出通道中心波長間隔可以是任意值。依照本發(fā)明的陣列式波導多路復用/解復用器可以應用于輸出通道中心波長間隔很大的粗波分復用器件中，也可以應用在通道中心波長間隔較小的密集波分復用器件中。
由于在目前波分復用系統(tǒng)中通道中心波長間隔為20nm的粗波分復用器，以及通道中心波長間隔為0.8nm的密集波分復用器應用比較廣泛，作為本發(fā)明的應用實例，我們設計制作了滿足上面4種實現方式的通道中心波長間隔分別為20nm和0.8nm的粗波分復用器和密集波分復用器。
我們設計制作的1dB通帶帶寬大于16nm的粗波分復用器，該粗波分復用器共有8個輸出波導，結構采用實現方式2或4(兩者是等價的)。設計的參數如表2所示，表中長度單位為微米。
表2 實現平坦譜響應的粗波分復用器設計參數

其中m是衍射級數，d為柵距，D為輸出波導間距，F為平板波導焦距，W7為輸出梯形波導輸入端口的寬度，L2為輸出梯形波導的長度。
波導的制作的方法是在700微米厚的硅片上利用熱氧化的方法生成厚15微米的二氧化硅層，波長1.55μm時為1.4450；再在該二氧化硅層上利用等離子增強化學氣相沉積的方法沉積出厚6微米的摻雜層，該層折射率為1.4558，利用反應離子刻蝕的技術刻蝕出具有矩形截面的波導，最后再利用等離子增強化學氣相沉積的方法沉積出厚約21微米的上覆蓋層，該層折射率在波長1.55μm時為1.4450。
圖12是該粗波分復用器部分輸出通道光譜響應的測試結果圖。從圖中可以看出1dB帶寬為17.4nm，大于輸出通道中心波長間隔的85％，而非相鄰串擾好于38dB。
另外，我們還依照本發(fā)明設計制作了通道間隔為0.8nm的密集波分復用器，該密集波分復用器具有40個輸出通道，其設計方法為方法1和3(兩者是等價的)，設計參數如表3所示，表中長度單位為微米。
表3 實現平坦譜響應的密集波分復用器設計參數


其中m是衍射級數，d為柵距，D為輸出波導間距，F為平板波導焦距。波導厚度為6μm，覆層折射率在波長1.55μm時為1.4450，芯層與覆層的相對折射率差為0.75％。波導制作同上述的粗波分復用器的制作。
圖13是該密集波分復用器部分輸出通道光譜響應的測試結果圖。從圖中可以看出1dB帶寬為0.44nm，大于相鄰輸出通道中心波長間隔的55％，相鄰串擾好于27dB，而非相鄰串擾好于37dB。
從上面的測試結果可以看出，基于這種帶分支的梯形波導耦合器結構，可以很方便地實現寬帶寬譜響應的波分復用器器件，而且串擾非常的低。
實施例中的各個參數并不是唯一的，輸入、輸出波導可以是大于或等于1的任意數，波分復用器的陣列波導數目可以是大于2的任意數，其它參數可以在本發(fā)明精神下任意選取。實施例中采用相鄰輸出通道中心波長間隔為20nm以及0.8nm的粗波分復用器和密集波分復用器，是因為這兩種器件應用比較多，具有代表性，在實際應用中，可以在本發(fā)明的精神下制作包括20nm以及0.8nm在內的各種相鄰輸出通道中心波長間隔的波分復用器件。
權利要求
1.一種陣列式波導多路復用/解復用器，包括輸入波導(1)、輸入平板波導(2)、波導陣列(3)、輸出平板波導(4)、輸出波導(5)，相鄰波導長度差恒定的波導陣列(3)連接了輸入平板波導(2)和輸出平板波導(4)，不少于兩個的輸出波導(5)與輸出平板波導(4)相連，其特征是在輸入波導(1)與輸入平板波導(2)或者輸出波導(5)與輸出平板波導(4)之間接入了一個帶分支的梯形波導耦合器(6)，帶分支的梯形波導耦合器(6)包括普通的單?；驕蕟文２▽?12)及在沿著從波導到平板波導方向逐漸變窄的梯形波導(14)，即梯形波導(14)的窄端與平板波導連接，在梯形波導(14)的兩側反向對稱放置兩個梯形波導(13a)和(13b)，即梯形波導(13a)和(13b)的寬端與平板波導連接。
2.根據權利要求1所述的陣列式波導多路復用/解復用器，其特征是兩個梯形波導(13a)和(1 3b)的寬端與梯形波導(14)的間隙W3小于另一端即窄端與梯形波導14的間隙W6。
3.根據權利要求1或2所述的陣列式波導多路復用/解復用器，其特征是帶分支的梯形波導耦合器(6)在輸入端，普通的單?；驕蕟文２▽?12)及在沿著從波導到平板波導方向逐漸變窄形成梯形波導(14)，即梯形波導(14)的窄端與輸入平板波導(2)連接，在梯形波導(14)的兩側反向對稱放置兩個梯形波導(13a)和(13b)，即梯形波導(13a)和(13b)的寬端與輸入平板波導(2)連接。
4.根據權利要求1或2所述的陣列式波導多路復用/解復用器，其特征是帶分支的梯形波導耦合器(6)在輸出端時，帶分支的梯形波導耦合器(6)包括普通的單?；驕蕟文２▽?12)及在沿著從輸出波導到輸出平板波導(4)方向逐漸變窄的梯形波導(14)，即梯形波導(14)的窄端與輸出平板波導(4)連接，在梯形波導(14)的兩側反向對稱放置兩個梯形波導(13a)和(13b)，即梯形波導(13a)和(13b)的寬端與輸出平板波導(4)連接。
5.根據權利要求3所述的陣列式波導多路復用/解復用器，其特征是帶分支的梯形波導耦合器(6)在輸入端時，在輸出平板波導(4)與輸出波導(5)之間由梯形波導(7)連接，梯形波導(7)的寬端與輸出平板波導(4)連接，其窄端與輸出波導(5)連接，其窄端寬度與輸出波導(5)的寬度相同。
6.根據權利要求4所述的陣列式波導多路復用/解復用器，其特征是帶分支的梯形波導耦合器(6)在輸出端時，在輸入平板波導(2)與輸入波導(1)之間由梯形波導(7)連接，梯形波導(7)的寬端與輸入平板波導(2)連接，其窄端與輸入波導(1)連接，其窄端寬度與輸入波導(1)的寬度相同。
全文摘要
本發(fā)明提供一種陣列式波導多路復用/解復用器，包括輸入波導1、輸入平板波導2、波導陣列3、輸出平板波導4、輸出波導5，相鄰波導長度差恒定的波導陣列3連接了輸入平板波導2和輸出平板波導4，不少于兩個的輸出波導5與輸出平板波導4相連，在輸入波導1與輸入平板波導2或輸出波導5與輸出平板波導4之間接入了一個帶分支的梯形波導耦合器6，帶分支的梯形波導耦合器6包括普通的單?；驕蕟文２▽?2及在沿著從波導到平板波導方向逐漸變窄的梯形波導14，即梯形波導14的窄端與平板波導連接，在梯形波導14的兩側反向對稱放置兩個梯形波導13a和13b，即梯形波導13a和13b的寬端與平板波導連接。
文檔編號H04B10/02GK1492617SQ0312530
公開日2004年4月28日 申請日期2003年8月21日 優(yōu)先權日2003年8月21日
發(fā)明者王文敏, 許遠忠, 馬衛(wèi)東, 胡國華, 劉青, 劉 文, 楊濤 申請人:武漢光迅科技有限責任公司