專(zhuān)利名稱(chēng)：用于識(shí)別玻璃板表面缺陷和體缺陷的檢查系統(tǒng)和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明一般涉及用于識(shí)別玻璃板(例如液晶顯示器(LCD)玻璃基板)的表面上的或體內(nèi)的缺陷(例如劃痕、顆粒、氣泡)的檢查系統(tǒng)和方法。
相關(guān)領(lǐng)域描述現(xiàn)在行業(yè)內(nèi)所使用的常規(guī)檢查系統(tǒng)包括一起工作以幫助識(shí)別玻璃板表面上或體內(nèi)缺陷(例如劃痕、顆粒、氣泡)的模擬相機(jī)和閃光燈。通常，閃光燈發(fā)射照亮玻璃板的一部分的光，同時(shí)置于玻璃板另一側(cè)的模擬相機(jī)對(duì)玻璃板的被照亮部分進(jìn)行照相。然后，分析該相片以確定玻璃板的該部分上是否存在任何缺陷。為了檢查整個(gè)玻璃板，玻璃板和/或閃光燈/模擬相機(jī)需要以一種或另一種方式移動(dòng)，使得模擬相機(jī)能拍攝足夠的相片來(lái)建立整個(gè)玻璃板的宏觀圖像映射。使用常規(guī)檢查系統(tǒng)存在若干缺點(diǎn)。首先，模擬相機(jī)具有相對(duì)較小的視場(chǎng)(例如12mm×16mm)，這表示需要拍攝多個(gè)相片以建立玻璃板的宏觀圖像映射，而這又表示需要更長(zhǎng)的時(shí)間以檢查整個(gè)玻璃板。第二，閃光燈照明是受到限制的，這使其難于獲得玻璃板上所需的使模擬相機(jī)能拍攝指示玻璃板缺陷的照片的強(qiáng)度適當(dāng)且均勻的光。因此，需要能克服上述缺點(diǎn)以及常規(guī)檢查系統(tǒng)的其它缺點(diǎn)的新檢查系統(tǒng)。該需要或其它需要可通過(guò)本發(fā)明的檢查系統(tǒng)和方法得到滿足。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明包括使用照明系統(tǒng)(例如光源(閃光)和光銳化部件)以及成像系統(tǒng)(例如數(shù)碼相機(jī)和計(jì)算機(jī)/軟件)來(lái)檢查和識(shí)別玻璃板(例如液晶顯示器(LCD)玻璃基板)的表面缺陷和體缺陷的方法和檢查系統(tǒng)。在較佳實(shí)施方式中，照明系統(tǒng)包括用于發(fā)射光的閃光燈以及用于反射發(fā)射光的一部分的球面反射器和主反射器。該照明系統(tǒng)也包括用于阻止發(fā)射光和反射光的一部分的暗場(chǎng)片(darkfield patch)以及漫射未被暗場(chǎng)片阻止的發(fā)射光和反射光的漫射器。該照明系統(tǒng)還包括用于通過(guò)阻止光的一部分在未在玻璃缺陷上散射的情況下到達(dá)相機(jī)透鏡來(lái)消除相機(jī)物鏡上的眩光的錐形聚光罩。然后，置于玻璃板另一側(cè)的成像系統(tǒng)，尤其是數(shù)碼相機(jī)獲取圖像，該圖像由計(jì)算機(jī)分析以確定在玻璃板被照明的部分中是否存在缺陷。


結(jié)合附圖參考以下詳細(xì)描述可獲得對(duì)本發(fā)明更完全的理解，其中圖1是示出根據(jù)本發(fā)明的檢查系統(tǒng)的基本部件的示圖；圖2是作為圖1所示的檢查系統(tǒng)的一部分的照明系統(tǒng)的立體圖；圖3是用于固定圖2所示照明系統(tǒng)的閃光燈的安裝組件的立體圖；圖4是用于圖2所示照明系統(tǒng)的球面反射器的立體圖；圖5是用于圖2所示照明系統(tǒng)的主反射器的立體圖；以及圖6是示出根據(jù)本發(fā)明的用于識(shí)別玻璃板中的表面缺陷和體缺陷的較佳方法的基本步驟的流程圖。
具體實(shí)施例方式
參照?qǐng)D1，它是示出根據(jù)本發(fā)明的檢查系統(tǒng)100的一較佳實(shí)施方式的基本部件的示圖。檢查系統(tǒng)100包括一起工作以識(shí)別玻璃板105的表面上和體內(nèi)的缺陷(例如劃痕、顆粒、氣泡)的成像系統(tǒng)102(例如相機(jī)110(例如數(shù)碼相機(jī)110)和計(jì)算機(jī)115)和照明系統(tǒng)120。工作時(shí)，計(jì)算機(jī)115發(fā)送觸發(fā)信號(hào)(觸發(fā)脈沖)到照明系統(tǒng)120和數(shù)碼相機(jī)110，這使照明系統(tǒng)120發(fā)射光102，該光102照亮玻璃板105的一部分104同時(shí)置于玻璃板105另一側(cè)的數(shù)碼相機(jī)110獲取玻璃板105的被照明部分104的圖像。然后，計(jì)算機(jī)115分析由數(shù)碼相機(jī)110獲取的圖像以確定玻璃板105的該部分104上是否有任何缺陷。為了檢查整個(gè)玻璃板105，玻璃板105和/或數(shù)碼相機(jī)110/照明系統(tǒng)120需要以一種或另一種方式移動(dòng)，使得數(shù)碼相機(jī)110可獲取足夠的圖像以建立整個(gè)玻璃板105的宏觀圖像映射。在一實(shí)施方式中，玻璃板105可置于氣動(dòng)工作臺(tái)130上、并調(diào)節(jié)成垂直地對(duì)準(zhǔn)數(shù)碼相機(jī)110和照明系統(tǒng)120的位置。然后，數(shù)碼相機(jī)110和照明系統(tǒng)120兩者通過(guò)滑動(dòng)機(jī)構(gòu)140從玻璃板105的一側(cè)水平地移動(dòng)到另一側(cè)，同時(shí)數(shù)碼相機(jī)110獲取圖像。然后，玻璃板105由氣動(dòng)工作臺(tái)130在垂直方向上調(diào)節(jié)，且重復(fù)該過(guò)程直到檢查了整個(gè)玻璃板105。
如圖1-5所示，照明系統(tǒng)120的較佳實(shí)施方式包括照明器外殼121、安裝組件122(參見(jiàn)圖3)、閃光燈123、球面反射器124(參見(jiàn)圖4)、主反射器125(參見(jiàn)圖5)、暗場(chǎng)片126、漫射器127和照明器聚光罩128。如下文所詳述地，這些部件121、122、123、124、125、126、127和128彼此連接并工作，從而閃光燈123輻射光102，光102被反射并傳導(dǎo)到玻璃板105上與大面積掃描數(shù)碼相機(jī)110的視場(chǎng)尺寸相同或基本上相同的斑點(diǎn)104。數(shù)碼相機(jī)110可以是各種商用相機(jī)的任一種，例如由Basler Vision Technologies制造的每秒能獲取48幀的Basler A200系列相機(jī)。數(shù)碼相機(jī)110甚至可以是每秒能獲取500-1000幀的CMOS數(shù)碼相機(jī)110。
照明器外殼121容納安裝組件122。安裝組件122包括連接于支撐閃光燈123的閃光燈鎮(zhèn)流座(strobe ballast mount)130的燈泡接線柱(bulb stud)129(參見(jiàn)圖2和3)。閃光燈123具有置于球面反射器124的腔131內(nèi)的一部分和從球面反射器124的腔131延伸出來(lái)的一部分(參見(jiàn)圖1和4)。球面反射器124具有連接于主反射器125中腔134(例如45°腔134)的內(nèi)壁133的外緣132(參見(jiàn)圖5)。主反射器125也具有連接于照明器聚光罩128的大開(kāi)口136的外緣135(參看圖1)。具有置于其上的暗場(chǎng)片126的漫射器127被固定在主反射器125和錐形反射器128之間(參見(jiàn)圖1)。照明器聚光罩128在與較大開(kāi)口136相對(duì)的一端具有較小開(kāi)口137。
如圖1和2所示，閃光燈光源123的中心與球面反射器124的中心重合，使得從球面反射器124反射的光102穿過(guò)閃光燈泡外殼(strobe bulb envelope)123、并進(jìn)一步與閃光燈123在主反射器125的方向上輻射的光102一起從主反射器125反射。然后，輻射光和反射光102被暗場(chǎng)片126阻止、或以漫射光102均勻地照亮玻璃板105上期望部分或視場(chǎng)104的方式穿過(guò)漫射器127進(jìn)入照明器聚光罩128。照明器聚光罩128阻止光的直接到達(dá)相機(jī)透鏡而未在玻璃缺陷上散射的部分，并且只允許穿過(guò)小開(kāi)口136的漫射光102到達(dá)玻璃。
漫射器127均勻地將光102分布在照明器聚光罩128一端的小塊口137的整個(gè)面積上。漫射器127也有助于補(bǔ)償閃光燈123的外殼中以及球面反射器124和主反射器125的內(nèi)表面中的瑕疵。在較佳實(shí)施方式中，漫射器127由具有最小光吸收的材料制成，且漫射角必須約為最大光入射角?？墒褂镁哂羞m當(dāng)數(shù)值孔徑的微透鏡陣列。
暗場(chǎng)片126阻止發(fā)射光102的一部分照射在玻璃板105上，這使暗場(chǎng)圖像能由數(shù)碼相機(jī)110捕捉。特別地，暗場(chǎng)片126阻止光102直接從閃光燈123到達(dá)數(shù)碼相機(jī)110。結(jié)果在暗場(chǎng)圖像中，完美的玻璃板105看起來(lái)是暗場(chǎng)。并且，表面上或玻璃體內(nèi)具有顆粒、劃痕、玻璃表面不連續(xù)、玻璃內(nèi)的氣泡以及其它缺陷的非完美玻璃板105看起來(lái)是暗場(chǎng)圖像中的明亮斑點(diǎn)。
反射器124和125的形狀可考慮閃光燈123的特性來(lái)設(shè)計(jì)。特別地，方程組可數(shù)值求解以?xún)?yōu)化特定閃光燈123的輸出，從該輸出可得到隨后用于設(shè)計(jì)反射器124、125形狀的曲線。在較佳實(shí)施方式中，閃光燈123是被更改成包括例如使用兩個(gè)紅光發(fā)射二極管(LED)以一致地觸發(fā)選通脈沖的Perkin Elmer X-400閃光燈。照明器聚光罩128也可具有光吸收內(nèi)表面，用來(lái)通過(guò)吸收由照明器聚光罩128的內(nèi)表面在相機(jī)透鏡前元件方向上散射的光102來(lái)減少數(shù)碼相機(jī)110的透鏡上的眩光(參見(jiàn)圖1)。照明器聚光罩可具有不同于錐形的其它形狀，但是它應(yīng)該具有開(kāi)口137。
參照?qǐng)D6，它是示出根據(jù)本發(fā)明的用于識(shí)別玻璃板的表面缺陷和體缺陷的一較佳方法600的基本步驟的流程圖。從步驟602和604開(kāi)始，數(shù)碼相機(jī)110和照明系統(tǒng)120兩者被設(shè)置并放置于玻璃板105的相對(duì)兩側(cè)。在步驟606，數(shù)碼相機(jī)110和成像系統(tǒng)120兩者都由計(jì)算機(jī)115控制，從而照明系統(tǒng)120運(yùn)行以將漫射光102發(fā)射到玻璃板105的一部分104上，且數(shù)碼相機(jī)110運(yùn)行以產(chǎn)生玻璃板105的該部分104的暗場(chǎng)圖像，該圖像由計(jì)算機(jī)115分析以確定玻璃板105是否存在任何表面缺陷或體缺陷。為了檢查整個(gè)玻璃板105，玻璃板105和/或數(shù)碼相機(jī)110/照明系統(tǒng)120需要以一種或另一種方式移動(dòng)，使得數(shù)碼相機(jī)110可獲得足夠的圖像以建立整個(gè)玻璃板105的宏觀圖像映射。在一實(shí)施方式中，玻璃板105可置于氣動(dòng)工作臺(tái)130上并調(diào)節(jié)成垂直地對(duì)準(zhǔn)數(shù)碼相機(jī)110和照明系統(tǒng)120的位置。然后數(shù)碼相機(jī)110和照明系統(tǒng)120兩者都由滑動(dòng)機(jī)構(gòu)140從玻璃板105的一側(cè)水平地移動(dòng)到另一側(cè)，同時(shí)數(shù)碼相機(jī)110獲取圖像。然后玻璃板105由氣動(dòng)工作臺(tái)130在垂直方向上調(diào)節(jié)，且重復(fù)該過(guò)程直到計(jì)算機(jī)115檢查玻璃板105的整個(gè)面積?？捎捎?jì)算機(jī)115識(shí)別的缺陷類(lèi)型包括例如(1)玻璃板105表面上的顆粒；(2)玻璃板105內(nèi)的顆粒(例如二氧化硅顆粒)；(3)玻璃板105表面上的劃痕；(4)玻璃板105表面上的不連續(xù)；或(5)玻璃板105內(nèi)的氣泡。
如上所述，本領(lǐng)域技術(shù)人員容易理解包括成像系統(tǒng)102(例如數(shù)碼相機(jī)110和計(jì)算機(jī)115)和照明系統(tǒng)115(參見(jiàn)圖2-5)的檢查系統(tǒng)100可用于檢查和識(shí)別玻璃板105(例如LCD玻璃基板105)中的表面缺陷和體缺陷。在較佳實(shí)施方式中，照明系統(tǒng)120包括用于發(fā)射光102的閃光燈123以及反射了發(fā)射光102的一部分的球面反射器124和主反射器125。照明系統(tǒng)120也包括用于阻止發(fā)射光和發(fā)射光102一部分的暗場(chǎng)片126、以及用于漫射未被暗場(chǎng)片126阻止的發(fā)射光和反射光102的漫射器127。照明系統(tǒng)120還包括錐形反射器128，用于容納由漫射器127漫射的光102、并引導(dǎo)漫射光102通過(guò)開(kāi)口137以照亮玻璃板105的一部分104。然后，置于玻璃板105另一側(cè)的成像系統(tǒng)102，尤其是數(shù)碼相機(jī)110獲取圖像，該圖像由計(jì)算機(jī)115分析以確定玻璃板105的該部分104是否存在缺陷。
在較佳實(shí)施方式中，球面反射器124和主反射器125具有鏡面內(nèi)表面，諸如(例如)通過(guò)電成型或金剛石車(chē)削然后涂敷以增強(qiáng)特定頻帶的反射率的增強(qiáng)鋁涂層。該涂層可對(duì)于具體入射角優(yōu)化，其中例如球面反射器124可對(duì)直角優(yōu)化而主反射器125可對(duì)45°優(yōu)化。應(yīng)該注意，球面反射器124不必通過(guò)聚集更多由閃光燈發(fā)射的光而增大FOV(視場(chǎng))中的光強(qiáng)，但這是有幫助的。經(jīng)增強(qiáng)的效率允許減小照明系統(tǒng)120的長(zhǎng)度和直徑。
在再一實(shí)施方式中，照明系統(tǒng)120可以明場(chǎng)模式運(yùn)行，其中去除了暗場(chǎng)片126、并且從閃光燈123發(fā)射的光102可直接傳輸?shù)讲⒋┻^(guò)玻璃板105，這使得數(shù)碼相機(jī)110可拍攝明場(chǎng)圖像。在明場(chǎng)模式中，諸如雜質(zhì)或劃痕的缺陷顯示為暗斑點(diǎn)，因?yàn)樵撊毕葑柚沽瞬糠止?02。導(dǎo)致玻璃折射系數(shù)局部變化的缺陷顯示為亮點(diǎn)或亮點(diǎn)和暗點(diǎn)的組合。然而，應(yīng)該理解，以暗場(chǎng)模式運(yùn)行的照明系統(tǒng)120使捕獲的圖像具有比明場(chǎng)圖像高得多的對(duì)比度和高得多的小缺陷敏感度。
本發(fā)明的檢查系統(tǒng)100使用大面積掃描數(shù)碼相機(jī)110(例如Basler A200系列數(shù)碼相機(jī)110)和照明系統(tǒng)120來(lái)替代常規(guī)模擬相機(jī)/照明系統(tǒng)。數(shù)碼相機(jī)110可具有約30×30mm2的視場(chǎng)，與常規(guī)的模擬相機(jī)/照明系統(tǒng)相比這有效地將缺陷掃描面積增至三倍并減少一半的宏觀掃描成像時(shí)間。照明系統(tǒng)120由特別設(shè)計(jì)的反射器124和125、照明器聚光罩128、漫射器127和暗場(chǎng)片126組成。反射器124、125、照明器聚光罩128的獨(dú)特之處在于它們被設(shè)計(jì)成圍繞特定閃光燈123的光源，以提供對(duì)期望視場(chǎng)的均勻照明并最小化閃光燈123的損耗。以下列出本發(fā)明的一些示例性?xún)?yōu)點(diǎn)1)提供獲得玻璃板105中缺陷的準(zhǔn)確暗場(chǎng)圖像所必需的足夠光強(qiáng)和均勻性。
2)有效地使視場(chǎng)增至常規(guī)檢查系統(tǒng)的三倍，因此減少檢查玻璃板105的時(shí)間。
3)降低運(yùn)行閃光燈123所需的功率，這延長(zhǎng)了閃光燈123的壽命。
4)消除對(duì)使用昂貴、壽命短的光纖束的需要。
5)當(dāng)與具有相同視場(chǎng)的常規(guī)精簡(jiǎn)光學(xué)器件相比時(shí)，允許緊湊型的照明器設(shè)計(jì)。
雖然本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式在附圖中示出并在上述詳細(xì)描述中描述，但是應(yīng)該理解本發(fā)明并不限于公開(kāi)的實(shí)施方式，但能夠進(jìn)行許多重新安排、更改和替換而不背離由以下權(quán)利要求書(shū)描述和限定的本發(fā)明的精神。
權(quán)利要求
1.一種用于識(shí)別玻璃板中缺陷的檢查系統(tǒng)，包括相機(jī)；以及照明系統(tǒng)，包括用于發(fā)射光的閃光燈；用于反射所發(fā)射光的一部分的主反射器；用于將所發(fā)射的光和所反射的光散布在所述玻璃板的一部分上的漫射器；以及置于所述玻璃板一側(cè)的所述相機(jī)產(chǎn)生一圖像，所述圖像指示所述玻璃板的由從置于所述玻璃板的相對(duì)一側(cè)的所述照明系統(tǒng)發(fā)射的漫射光照亮的一部分中是否有缺陷。
2.如權(quán)利要求1所述的檢查系統(tǒng)，還包括用于移動(dòng)所述玻璃板的移動(dòng)裝置；以及用于移動(dòng)所述相機(jī)和所述照明系統(tǒng)使得所述相機(jī)能產(chǎn)生多個(gè)圖像以建立所述玻璃板的宏觀圖像映射的滑動(dòng)裝置。
3.如權(quán)利要求1所述的檢查系統(tǒng)，其特征在于，所述相機(jī)是數(shù)碼相機(jī)。
4.如權(quán)利要求1所述的檢查系統(tǒng)，其特征在于，所述照明系統(tǒng)包括用于通過(guò)阻止光的一部分在未在玻璃缺陷上散射的情況下到達(dá)相機(jī)透鏡而消除相機(jī)物鏡中的眩光的照明器聚光罩。
5.如權(quán)利要求1所述的檢查系統(tǒng)，其特征在于，所述照明系統(tǒng)包括用于將從所述閃光燈發(fā)射的光的一部分導(dǎo)向所述主反射器和所述漫射器的球面反射器。
6.如權(quán)利要求1所述的檢查系統(tǒng)，其特征在于，所述照明系統(tǒng)還包括用于阻止從所述閃光燈發(fā)射的光的一部分使得所述相機(jī)可產(chǎn)生所述玻璃板部分的暗場(chǎng)圖像的暗場(chǎng)片。
7.如權(quán)利要求1所述的檢查系統(tǒng)，其特征在于，所述缺陷包括所述玻璃板表面上的顆粒；所述玻璃板內(nèi)的顆粒；所述玻璃板表面上的劃痕；所述玻璃板表面的不連續(xù)；或所述玻璃板內(nèi)的氣泡；稱(chēng)為微透鏡或二氧化硅雜質(zhì)的玻璃折射系數(shù)的局部偏差。
8.一種用于識(shí)別玻璃板中缺陷的方法，包括設(shè)置包括相機(jī)和計(jì)算機(jī)的成像系統(tǒng)；設(shè)置照明系統(tǒng)，所述照明系統(tǒng)包括用于發(fā)射光的閃光燈；用于反射所發(fā)射光的一部分的主反射器；用于將所述所發(fā)射的光和所反射的光散布在所述玻璃板的一部分上的漫射器；以及操作所述相機(jī)和所述照明系統(tǒng)使得置于所述玻璃板一側(cè)的所述相機(jī)可產(chǎn)生圖像，所述圖像由所述計(jì)算機(jī)分析以確定所述玻璃板的由從置于與所述相機(jī)相對(duì)的玻璃板另一側(cè)的所述照明系統(tǒng)發(fā)射的漫射光照亮的部分中是否有缺陷。
9.如權(quán)利要求8所述的方法，還包括移動(dòng)所述玻璃板使得所述相機(jī)可產(chǎn)生多個(gè)圖像以建立所述玻璃板的宏觀圖像映射的步驟。
10.如權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，所述相機(jī)是數(shù)碼相機(jī)。
11.如權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，所述照明系統(tǒng)包括用于將從所述閃光燈發(fā)射的光的一部分導(dǎo)向所述主反射器和所述漫射器的球面反射器。
12.如權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，所述照明系統(tǒng)還包括用于阻止從所述閃光燈發(fā)射的光的一部分使得所述相機(jī)能產(chǎn)生所述玻璃板部分的暗場(chǎng)圖像的暗場(chǎng)片。
13.如權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，所述缺陷包括所述玻璃板表面上的顆粒；所述玻璃板內(nèi)的顆粒；所述玻璃板表面上的劃痕；所述玻璃板表面的不連續(xù)；或所述玻璃板內(nèi)的氣泡；稱(chēng)為微透鏡或二氧化硅雜質(zhì)的玻璃折射系數(shù)的局部偏差。
14.一種用于識(shí)別玻璃板中缺陷的照明系統(tǒng)，包括用于發(fā)射光的閃光燈；用于反射所發(fā)射光的一部分的主反射器；以及用于將所發(fā)射的光和所反射的光散布在所述玻璃板的一部分上的漫射器，其中置于所述玻璃板一側(cè)的相機(jī)產(chǎn)生一圖像，所述圖像指示由穿過(guò)置于所述玻璃板的相對(duì)一側(cè)的所述漫射器的漫射光照亮的所述玻璃板部分中是否有缺陷。
15.如權(quán)利要求14所述的照明系統(tǒng)，還包括用于通過(guò)阻止光的一部分在未在玻璃缺陷上散射的情況下到達(dá)相機(jī)透鏡而消除相機(jī)物鏡中的眩光的照明器聚光罩。
16.如權(quán)利要求14所述的照明系統(tǒng)，還包括用于將從所述閃光燈發(fā)射的光的一部分導(dǎo)向所述主反射器和所述漫射器的球面反射器。
17.如權(quán)利要求14所述的照明系統(tǒng)，還包括用于阻止從所述閃光燈發(fā)射的光的一部分使得所述相機(jī)產(chǎn)生所述玻璃板部分的暗場(chǎng)圖像的暗場(chǎng)片。
18.如權(quán)利要求14所述的照明系統(tǒng)，其特征在于，所述缺陷包括所述玻璃板表面上的顆粒；所述玻璃板內(nèi)的顆粒；所述玻璃板表面上的劃痕；所述玻璃板表面的不連續(xù)；或所述玻璃板內(nèi)的氣泡；稱(chēng)為微透鏡或二氧化硅雜質(zhì)的玻璃折射系數(shù)的局部偏差。
19.一種用于識(shí)別玻璃板中缺陷的檢查系統(tǒng)，包括數(shù)碼相機(jī)；以及照明系統(tǒng)，包括用于發(fā)射光的閃光燈；用于反射所發(fā)射光的一部分的主反射器；用于反射所發(fā)射光的一部分的球面反射器；用于阻止所發(fā)射的光和所發(fā)射的光的一部分的暗場(chǎng)片；用于漫射未被所述暗場(chǎng)片阻止的所發(fā)射的光和所反射的光的漫射器；用于通過(guò)阻止光的一部分在未在玻璃缺陷上散射的情況下到達(dá)相機(jī)透鏡而消除相機(jī)物鏡中的眩光的照明器聚光罩；以及置于所述玻璃板一側(cè)的所述數(shù)碼相機(jī)產(chǎn)生一暗場(chǎng)圖像，所述暗場(chǎng)圖像指示所述玻璃板的由從置于所述玻璃板相對(duì)一側(cè)的所述照明系統(tǒng)發(fā)射的漫射光照亮的部分中是否有缺陷。
20.如權(quán)利要求19所述的檢查系統(tǒng)，還包括用于移動(dòng)所述玻璃板的移動(dòng)裝置；以及用于移動(dòng)所述數(shù)碼相機(jī)和所述照明系統(tǒng)使得所述數(shù)碼相機(jī)能獲取多個(gè)暗場(chǎng)圖像以建立所述玻璃板的宏觀圖像映射的滑動(dòng)裝置。
全文摘要
本文描述了使用照明系統(tǒng)(例如光源(閃光)和光銳化部件)和成像系統(tǒng)(例如數(shù)碼相機(jī)和計(jì)算機(jī)/軟件)來(lái)檢查和識(shí)別玻璃板(例如液晶顯示器(LCD)玻璃基板)中表面缺陷和體缺陷的檢查系統(tǒng)和方法。
文檔編號(hào)H04N9/47GK101049022SQ200580036950
公開(kāi)日2007年10月3日 申請(qǐng)日期2005年10月24日 優(yōu)先權(quán)日2004年10月28日
發(fā)明者J·A·阿里戈利歐, T·A·布朗利, D·C·達(dá)羅, V·W·豪威爾, S·波塔潘科, P·沙利文, P·M·沃特 申請(qǐng)人:康寧股份有限公司