專利名稱：靜電電聲轉(zhuǎn)換器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本申請案大體而言有關(guān)于聲學(xué)裝置，且更特定言之有關(guān)于靜電電聲轉(zhuǎn)換
器(ELECTROSTATIC ELECTROACOUSTIC TRANSDUCERS)。
背景技術(shù)：
隨著對小型低重量小外形電子設(shè)備的興趣不斷增加，諸如計算機、通信 及消費型電子產(chǎn)品的許多產(chǎn)品可被制造成具有微小的特征尺寸。小尺寸的電 子產(chǎn)品或元件可在各類應(yīng)用中提供靈活性。舉例而言，可被劃分成電動式轉(zhuǎn) 換器與靜電式轉(zhuǎn)換器的電聲轉(zhuǎn)換器(若其大小被適當(dāng)減小)，以便利于在諸 如揚聲器等相對較大的裝置中的使用或在諸如微型揚聲器或耳機等相對較
小的裝置中的使用。然而，與其聲學(xué)效能相比，現(xiàn)有電聲轉(zhuǎn)換器可能具有相 對較大的尺寸。大體而言，可用作蜂巢式電話中的微型揚聲器的電動轉(zhuǎn)換器 可具有大致3毫米(mm)或大于3毫米的厚度及大致12mm的直徑，并且 在10公分(cm)的距離處可測得約80 dB的聲壓位準(zhǔn)(下文表示為80 dB/10 cm)。此外，電動揚聲器可具有大約5 cm或大于5 cm的厚度及大致12.5 cm 的直徑，且具有85dB/l米(m)的所需聲壓位準(zhǔn)。而且，為滿足85dB/lm 的所需聲壓位準(zhǔn)，靜電轉(zhuǎn)換器可達兩張A4-尺寸紙張的大小，且其厚度可大 于2 cm。
一些現(xiàn)有的靜電轉(zhuǎn)換器可包括在兩片剛性電極板之間的導(dǎo)電薄膜。在操 作中，高達數(shù)百伏特或更高的直流電(DC)偏壓可被施加至該導(dǎo)電薄膜。 這些現(xiàn)有的靜電轉(zhuǎn)換器通常可能需要可能昂貴且體積龐大的功率放大器。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的范例可提供一種靜電電聲裝置，其可包含 一第一電極，其可
配置成用以接收一音頻信號； 一第一傳導(dǎo)薄膜，其可配置成用以接收該音頻 信號；在該第一電極與該第一傳導(dǎo)薄膜之間的一第一駐極體，該第一駐極體 能夠基于該音頻信號而相對于該第一電極作振動運動； 一第二電極，其可配 置成用以接收該音頻信號； 一第二傳導(dǎo)薄膜，其可配置成用以接收該音頻信 號，該第二傳導(dǎo)薄膜與該第一傳導(dǎo)薄膜電隔離；及在該第二電極與該第二傳 導(dǎo)薄膜之間的一第二駐極體，該第二駐極體能夠基于該音頻信號而相對于該 第二電極作振動運動。
本發(fā)明的一些范例也可提供一種靜電電聲裝置，其可包含 一第一電極； 一第二電極；在該第一電極與該第二電極之間的一駐極體裝配件，該駐極體 裝配件可包含具有一第一電極性的一第一駐極體，具有一第二電極性的一 第二駐極體，該第二電極性不同于該第一電極性，相關(guān)于該第一駐極體的一 第一傳導(dǎo)薄膜，及相關(guān)于該第二駐極體的一第二傳導(dǎo)薄膜，該第二傳導(dǎo)薄膜 與該第一傳導(dǎo)薄膜電隔離；在該駐極體裝配件與該第一電極之間的一第一間 隔件；及在該駐極體裝配件與該第二電極之間的一第二間隔件，其中該駐極 體裝配件能夠基于施加至該第一電極、該第二電極、該第一傳導(dǎo)薄膜及該第 二傳導(dǎo)薄膜的一音頻信號而相對于該第一電極及該第二電極作振動運動。
本發(fā)明的一些范例可進一步提供一種靜電電聲裝置，其可包含配置成 一堆棧的復(fù)數(shù)個聲學(xué)單元，這些聲學(xué)單元中的每一者可包含 一第一電極， 其可配置成用以接收一音頻信號； 一第一傳導(dǎo)薄膜，其可配置成用以接收該 音頻信號；在該第一電極與該第一傳導(dǎo)薄膜之間的一第一駐極體，該第一駐 極體具有一第一電極性； 一第二電極，其可配置成用以接收該音頻信號；一 第二傳導(dǎo)薄膜，其可配置成用以接收該音頻信號，該第二傳導(dǎo)薄膜與該第一 傳導(dǎo)薄膜電隔離；及在該第二電極與該第二傳導(dǎo)薄膜之間的一第二駐極體， 該第二駐極體具有一第二電極性，其中該第一駐極體及該第二駐極體能夠基 于該音頻信號而大體上在相同方向上相對于該第一電極及該第二電極作振
動運動o
應(yīng)可了解上文的概要說明以及下文的詳細(xì)說明都僅供作例示與解釋，并 未限制本文所主張的發(fā)明。


圖1A為根據(jù)本發(fā)明的一范例的靜電電聲裝置的示意性橫截面圖1B及圖1C為說明圖1A中所說明的靜電電聲裝置在一聲學(xué)區(qū)中的操 作的示意圖2為根據(jù)本發(fā)明的另一范例的靜電電聲裝置的示意性橫截面圖3A為根據(jù)本發(fā)明的又一范例的靜電電聲裝置的示意性橫截面圖3B為根據(jù)本發(fā)明的另一實例的靜電電聲裝置的示意性橫截面圖；以
及
圖4為根據(jù)本發(fā)明的其它實例的靜電電聲裝置的示意性橫截面圖。
主要元件符號說明 10:靜電電聲裝置
10- 1:聲學(xué)區(qū)域 11:第一電極
11- 1:聲學(xué)通道 12:第二電極
12- 1:聲學(xué)通道
13- 1:間隔件
13- 2:間隔件
14- 1:第一駐極體
14- 2:第二駐極體
15- 1:第一傳導(dǎo)薄膜 15-2:第二傳導(dǎo)薄膜 16:絕緣層
17:信號源
20:靜電電聲裝置 21:第一聲學(xué)單元
22:第二聲學(xué)單元 26:絕緣層 30:靜電電聲裝置 31:靜電電聲裝置 34-1:第一駐極體 34-2:第二駐極體 40:靜電電聲裝置
40-1...40-N:聲學(xué)單元
46:絕緣層
130:間隔件單元
具體實施例方式
參考附圖可更好地了解前文所述的本發(fā)明的發(fā)明內(nèi)容及以下實施方式。 然而應(yīng)了解，本發(fā)明不限于所示的精確配置及手段。
參考附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的當(dāng)前實例。在所有附圖中，將盡可能以相同 標(biāo)號來代表相同或類似的元件。
圖1A為根據(jù)本發(fā)明的一范例的靜電電聲裝置的示意性橫截面圖。參看 圖1A，該靜電電聲裝置10可包括(但不限于)能夠在聲學(xué)信號與音頻信號 之間轉(zhuǎn)換的一電聲轉(zhuǎn)換器。靜電電聲裝置10可包括一第一電極11、 一第二 電極12及在第一電極11與第二電極12之間的一駐極體裝配件。該駐極體 裝配件可包括一第一駐極體14-1、相關(guān)于第一駐極體14-1的一第一傳導(dǎo)薄 膜15-1、 一第二駐極體14-2以及相關(guān)于第二駐極體14-2的第二傳導(dǎo)薄膜 15-2。可提供絕緣層16以將第一傳導(dǎo)薄膜15-1與第二傳導(dǎo)薄膜15-2電隔離。
絕緣層16可為如圖1A所說明的圖案化層或可包括在第一傳導(dǎo)薄膜15-1與 第二傳導(dǎo)薄膜15-2之間的一薄膜(未圖示)。在第一駐極體14-1及第二駐 極體14-2具有相同的電極性時，可需要絕緣層16。然而，在其它范例中， 在第一駐極體14-1及第二駐極體14-2具有不同的電極性時，可取消絕緣層 16。靜電電聲裝置10可進一步包括在第一電極11與第一駐極體14-1之間 的第一間隔件13-1，及在第二電極12與第二駐極體14-2之間的第二間隔件 13-2。
第一電極11及第二電極12中的每一者可包括傳導(dǎo)金屬板與其上設(shè)有導(dǎo) 電層的聚合物板中的一者。根據(jù)本發(fā)明的一些范例，第一電極11及第二電 極12中的每一者可視情況為透明的且可包括選自以下各物中的一者的材料 聚酰亞胺(PI)、聚碳酸酯(PC)、聚對苯二甲酸乙二酯(PET)、聚甲基 丙烯酸甲酯(PMMA)、環(huán)烯烴共聚物(COC)及適當(dāng)?shù)墓怆姴牧?。在其?范例中，第一電極11及第二電極12中的每一者可能為可撓的且可包括傳導(dǎo) 金屬薄膜或絲網(wǎng)、傳導(dǎo)纖維以及其上設(shè)有傳導(dǎo)薄膜的聚合物基板中的一者。 可呈薄片、絲網(wǎng)或氈子形式的傳導(dǎo)纖維可包括(但不限于)金屬纖維、碳纖 維、石墨纖維或涂覆有金屬、碳或石墨的諸如玻璃纖維的非傳導(dǎo)纖維中的一 或多者。聚合物基板可包括聚酰亞胺、聚碳酸酯、聚對苯二甲酸乙二酯、聚 甲基丙烯酸甲酯以及環(huán)烯烴共聚物中的一者，而涂覆在聚合物基板上的傳導(dǎo) 薄膜可包括氧化銦錫(ITO)及氧化銦鋅(IZO)中的一者。
第一電極11及第二電極12中的每一者可具有大約10至3000微米(pm) 的厚度。第一電極ll可包括若干孔ll-l，這些孔可用作聲學(xué)通道。同樣地， 第二電極12可包括若干孔12-1以用作聲學(xué)通道。在一些范例中，孔11-1與 第一電極11的面積比可在大致5°/。至70%的范圍內(nèi)。用于形成孔11-1及12-1 的方法可包括(但不限于)圖案化及蝕刻工藝、激光輻射工藝或適當(dāng)?shù)臋C械 工藝。
第一傳導(dǎo)薄膜15-1及第二傳導(dǎo)薄膜15-2可分別用作第一駐極體14-1及
第二駐極體14-2的電極。具體言之，第一傳導(dǎo)薄膜15-1及第一電極11的功 能在于用作第一駐極體14-1的一對電極，且第二傳導(dǎo)薄膜15-2及第二電極 12的功能在于用作第二駐極體14-2的一對電極。第一傳導(dǎo)薄膜15-1及第二 傳導(dǎo)薄膜15-2中的每一者可包括(但不限于)諸如鋁薄膜的金屬薄膜，及 氧化銦錫或氧化銦鋅薄膜。用于形成傳導(dǎo)薄膜15-3的方法可包括蒸鍍、濺 鍍及旋涂中的一者。在一些范例中，第一傳導(dǎo)薄膜15-1及第二傳導(dǎo)薄膜15-2 中的每一者可具有在大致0.01至3 pm的范圍內(nèi)的厚度。
駐極體可指能夠產(chǎn)生永久性外部電場的介電質(zhì)，該永久性外部電場是因 為分子偶極子的永久性排序或因為未回復(fù)穩(wěn)態(tài)的表面或空間電荷而形成。在 根據(jù)本發(fā)明的一些范例中，第一駐極體14-1及第二駐極體14-2中的每一者 可包括選自以下各物中的一者的一或多個介電薄膜聚四氟乙烯(PTFE)、 氟化乙丙烯(FEP)、非晶系含氟聚合物(AF)、聚偏二氟乙烯(PVDF)、 環(huán)烯烴共聚物以及含氟(F)透明聚合物。該介電薄膜可為介孔或納米微孔 薄膜，且可通過(例如)電暈充電而"生電"以永久維持靜電荷。具體言之， 第一駐極體14-1及第二駐極體14-2中的每一者可充有電洞而帶正電荷或充 有電子而帶負(fù)電荷。在本范例中，第一駐極體14-1及第二駐極體14-2可具 有相同的電荷正負(fù)號且展現(xiàn)相同的電極性，即正的電極性。在一范例中，駐 極體裝配件可具有大致1至1000 pm的厚度。
第一間隔件13-1及第二間隔件13-2可提供一預(yù)定距離以允許駐極體裝 配件在第一電極11與第二電極12之間進行振動運動。第一間隔件13-1及 第二間隔件13-2中的每一者可包括若干間隔件單元130，其可配置在不干擾 聲學(xué)通道11-1及12-1的適當(dāng)位置處。此外，若干聲學(xué)區(qū)域10-1可由間隔件 單元130與聲學(xué)信道11-1及12-1進行界定。在一些實例中，第一間隔件13-1 及第二間隔件13-2中的每一者可具有在大致2至1000 pm的范圍內(nèi)的厚度。 用于間隔件13-1及13-2的合適材料可包括(但不限于)聚酰亞胺、聚碳酸 酉旨、聚對苯二甲酸乙二酯、聚甲基丙烯酸甲酯或環(huán)烯烴共聚物?；趯Σ牧?br> 的選擇，靜電電聲裝置10的一些范例可具有透明性、靈活性或此兩種特性 的特征。這些特征可便利于電聲裝置的外觀設(shè)計及其與其它電子產(chǎn)品的配置
或裝配。間隔件13-1及13-2可包括通過(例如)圖案化及蝕刻工藝形成的 圖案。此圖案可配置成用以支撐諸如第一電極11的電極及允許聲波通過。 類似地，絕緣層16可經(jīng)設(shè)計而具有允許聲波通過的圖案。
圖1B及圖1C為根據(jù)本發(fā)明的一范例說明在圖1A所說明的聲學(xué)區(qū)域 10-1的一者中靜電電聲裝置10的操作示意圖。請參看圖1A及圖1B，第一 電極11及第二電極12可耦接至信號源17并自信號源17接收音頻信號。音 頻信號可包括(例如)呈交流電(AC)信號的形式的聲波。參看圖1B，在 音頻信號的前半周期中，第一電極11可經(jīng)歷正偏壓，如此可拒斥第一駐極 體14-1連同第一傳導(dǎo)薄膜15-1而使其朝向第二電極12。同時，第二電極12 可經(jīng)歷負(fù)偏壓，如此可吸引第二駐極體14-2連同第二傳導(dǎo)薄膜15-2而使其 朝向第二電極12。結(jié)果，駐極體裝配件可相對于第一電極ll朝向第二電極 12移動。
參看圖1A及圖1C，在后半周期中，第一電極ll可經(jīng)歷負(fù)偏壓，如此 可吸引第一駐極體14-1連同第一傳導(dǎo)薄膜15-1而使其朝向第一電極11。同 時，第二電極12可經(jīng)歷正偏壓，如此可拒斥第二駐極體14-2連同第二傳導(dǎo) 薄膜15-2而使其朝向第一電極11。結(jié)果，駐極體裝配件可相對于第二電極 12朝向第一電極11移動。在不限于任何特定理論的情況下，駐極體裝配件 與第一電極11或第二電極12之間的靜電吸引強度或靜電拒斥強度可通過庫 侖法則(Coulomb's law)確定，其可描述于下列方程式
F = k x V, x V2 x A/d2
在"F"為吸引力或拒斥力的情況下，V,為駐極體裝配件的電位(可取 決于電荷量)，V2為施加至電極的信號源的電壓位準(zhǔn)，"d"為駐極體裝配 件與電極中的一者之間的距離，且"k"為常數(shù)，其可取決于駐極體裝配件 的材料。 圖2為根據(jù)本發(fā)明的另一范例的靜電電聲裝置20的示意性橫截面圖。 參看圖2，該靜電電聲裝置20可包括可通過絕緣層26而彼此電隔離的第一 聲學(xué)單元21及第二聲學(xué)單元22。該絕緣層26可為如圖2中所說明的圖案化 層或可包括在第一聲學(xué)單元21與第二聲學(xué)單元22之間的一薄膜(未圖式)。 第一聲學(xué)單元21及第二聲學(xué)單元22中的每一者可類似于參看圖1A所描述 及所說明的靜電電聲裝置10。通過使第一聲學(xué)單元21重迭于第二聲學(xué)單元 22上，靜電電聲裝置20的聲壓位準(zhǔn)可相比于圖1A中所說明的具有單一聲 學(xué)單元結(jié)構(gòu)的靜電電聲裝置10而得到改良。此外，靜電電聲裝置20的此堆 棧結(jié)構(gòu)在低頻音頻范圍內(nèi)可具有改良的效能。舉例而言， 一些現(xiàn)有的電聲裝 置可在大致500赫茲(Hz)至15千赫(KHz)的音頻范圍中操作，而靜電 電聲裝置20可在大致20 Hz至15 KHz的音頻范圍中操作，此有利地擴展得 到在大致20 Hz與500 Hz之間的低頻范圍。
圖3A為根據(jù)本發(fā)明的又一范例的靜電電聲裝置30的示意性橫截面圖。 參看圖3A，靜電電聲裝置30可類似于參看圖1A所描述及所說明的靜電電 聲裝置10，除了將第一駐極體34-1及第二駐極體34-2分別取代了第一駐極 體14-1及第二駐極體14-2之外。具體言之，第一駐極體34-1及第二駐極體 34-2可具有不同的電荷正負(fù)號且展現(xiàn)不同的電極性。在本范例中，第一駐極 體34_1具有負(fù)的電極性，而第二駐極體34-2具有正的電極性。通過如圖3 中所說明將電極ll、 12， 15-1及15-2適當(dāng)耦接至信號源17,靜電電聲裝置 30的駐極體裝配件(可包括駐極體34-1及34-2及傳導(dǎo)薄膜15-1及15-2) 可以類似于參看圖1B及圖1C所描述及所說明的方式而相對于電極11及12 移動。
圖3B為根據(jù)本發(fā)明的另一范例的靜電電聲裝置31的示意性橫截面圖。 參看圖3B，靜電電聲裝置31可類似于參看圖3A所描述及所說明的靜電電 聲裝置30，除了 (例如)因為第一駐極體34-1及第二駐極體34-2具有不同 的電極性而取消了圖3A中的絕緣層16及傳導(dǎo)薄膜中的一者(諸如第二傳導(dǎo)
薄膜15-2)之外。
圖4為根據(jù)本發(fā)明的其它范例的靜電電聲裝置40的示意性橫截面圖。 參看圖4，靜電電聲裝置40可包括數(shù)目為"N"的聲學(xué)單元40-1至40-N， N為自然數(shù)。聲學(xué)單元40-1至40-N可配置成重迭結(jié)構(gòu)且通過絕緣層46而 彼此電隔離。聲學(xué)單元40-1至40-N中的每一者可類似于參看圖1A所描述 及所說明的靜電電聲裝置10。然而，諸如第一聲學(xué)單元40-l的一些聲學(xué)單 元可包括具有正的電極性的駐極體，且諸如聲學(xué)單元40-N的一些聲學(xué)單元 可包括具有負(fù)的電極性的駐極體。此外，諸如第二聲學(xué)單元40-2的其它聲 學(xué)單元可包括具有不同的電極性的駐極體。通過適當(dāng)電連接至信號源，聲學(xué) 單元40-1至40-N中的每一者的駐極體裝配件可以類似于參看圖1B及圖1C 所描述及所說明的運動的方式，在前半周期中沿第一方向同步移動且在后半 周期中沿第二方向同步移動。
熟習(xí)此項技術(shù)者應(yīng)了解，可在不脫離本發(fā)明的廣泛發(fā)明概念的情況下對 以上所述的范例進行更改。因此應(yīng)了解，本發(fā)明不限于所解釋的特定范例， 而是意欲涵蓋在權(quán)利要求中所界定的本發(fā)明的精神及范疇內(nèi)的修改。
權(quán)利要求
1. 一種靜電電聲轉(zhuǎn)換器，其包含一第一電極，其可配置成用以接收一音頻信號；一第一傳導(dǎo)薄膜，其可配置成用以接收所述音頻信號；在所述第一電極與所述第一傳導(dǎo)薄膜之間的一第一駐極體，所述第一駐極體能夠基于所述音頻信號而相對于所述第一電極作振動運動；一第二電極，其可配置成用以接收所述音頻信號；一第二傳導(dǎo)薄膜，其可配置成用以接收所述音頻信號，所述第二傳導(dǎo)薄膜與所述第一傳導(dǎo)薄膜電隔離；以及在所述第二電極與所述第二傳導(dǎo)薄膜之間的一第二駐極體，所述第二駐極體能夠基于所述音頻信號而相對于所述第二電極作振動運動。
2. 如權(quán)利要求1所述的靜電電聲轉(zhuǎn)換器，其中所述第一電極及所述第二 電極中的一者包括一選自以下各物中的至少一者的材料聚酰亞胺、聚碳酸 酯、聚對苯二甲酸乙二酯、聚甲基丙烯酸甲酯及環(huán)烯烴共聚物。
3. 如權(quán)利要求1所述的靜電電聲轉(zhuǎn)換器，其中所述第一電極及所述第二 電極中的一者包括一聚合物基板、 一傳導(dǎo)金屬薄膜、 一傳導(dǎo)纖維以及一其上 設(shè)有一傳導(dǎo)薄膜的聚合物基板中的一者。
4. 如權(quán)利要求3所述的靜電電聲轉(zhuǎn)換器，其中所述傳導(dǎo)纖維包括一金屬 纖維、 一碳纖維、 一石墨纖維或一涂覆有金屬、碳或石墨的玻璃纖維中的至 少一者。
5. 如權(quán)利要求3所述的靜電電聲轉(zhuǎn)換器，其中所述聚合物基板包括聚酰 亞胺、聚碳酸酯、聚對苯二甲酸乙二酯、聚甲基丙烯酸甲酯以及環(huán)烯烴共聚 物中的一者，且設(shè)于所述聚合物基板上的所述傳導(dǎo)層包括氧化銦錫及氧化銦 鋅中的一者。
6. 如權(quán)利要求1所述的靜電電聲轉(zhuǎn)換器，其中所述第一駐極體及所述第 二駐極體中的一者包括至少一介電層，所述至少一介電層包括選自以下各物 中的至少一者的材料聚四氟乙烯、氟化乙丙烯、非晶系含氟聚合物、環(huán)烯烴共聚物以及一含氟透明聚合物。
7. 如權(quán)利要求1所述的靜電電聲轉(zhuǎn)換器，其中所述第一傳導(dǎo)薄膜及所述 第二傳導(dǎo)薄膜中的一者包括一鋁薄膜、 一氧化銦錫薄膜以及一氧化銦鋅薄膜 中的一者。
8. 如權(quán)利要求1所述的靜電電聲轉(zhuǎn)換器，其中所述轉(zhuǎn)換器還包含在所述第一電極與所述第一駐極體之間的一第一間隔件；以及在所述第二電極與所述第二駐極體之間的一第二間隔件。
9. 如權(quán)利要求8所述的靜電電聲轉(zhuǎn)換器，其中所述第一間隔件及所述第 二間隔件中的一者包括聚酰亞胺、聚碳酸酯、聚對苯二甲酸乙二酯、聚甲基 丙烯酸甲酯以及環(huán)烯烴共聚物中的一者。
10. 如權(quán)利要求1所述的靜電電聲轉(zhuǎn)換器，其中所述第一駐極體及所述第 二駐極體展現(xiàn)相同的電極性。
11，如權(quán)利要求1所述的靜電電聲轉(zhuǎn)換器，其中所述第一駐極體及所述第 二駐極體展現(xiàn)相反的電極性。
12.—種靜電電聲轉(zhuǎn)換器，其包含一第一電極；一第二電極；在所述第一電極與所述第二電極之間的一駐極體裝配件，所述駐極體裝 配件包含展現(xiàn)一第一電極性的一第一駐極體；展現(xiàn)一第二電極性的一第二駐極體，所述第二電極性不同于所述第一電 極性；相關(guān)于所述第一駐極體的一第一傳導(dǎo)薄膜；以及相關(guān)于所述第二駐極體的一第二傳導(dǎo)薄膜，所述第二傳導(dǎo)薄膜與所述第 一傳導(dǎo)薄膜電隔離；在所述駐極體裝配件與所述第一電極之間的一第一間隔件；以及 在所述駐極體裝配件與所述第二電極之間的一第二間隔件， 其中所述駐極體裝配件能夠基于施加至所述第一電極、所述第二電極、所述第一傳導(dǎo)薄膜以及所述第二傳導(dǎo)薄膜的一音頻信號而相對于所述第一電極及所述第二電極作振動運動。
13. 如權(quán)利要求12所述的靜電電聲轉(zhuǎn)換器，其中所述第一電極及所述第 二電極中的一者包括一選自以下各物中的至少一者的材料聚酰亞胺、聚碳 酸酯、聚對苯二甲酸乙二酯、聚甲基丙烯酸甲酯以及環(huán)烯烴共聚物。
14. 如權(quán)利要求12所述的靜電電聲轉(zhuǎn)換器，其中所述第一電極及所述第 二電極中的一者包括一傳導(dǎo)金屬薄膜、 一傳導(dǎo)纖維以及一其上設(shè)有一傳導(dǎo)層 的聚合物基板中的一者。
15. 如權(quán)利要求14所述的靜電電聲轉(zhuǎn)換器，其中所述傳導(dǎo)纖維包括一金 屬纖維、 一碳纖維、 一石墨纖維或一涂覆有金屬、碳或石墨的玻璃纖維中的 至少一者。
16. 如權(quán)利要求14所述的靜電電聲轉(zhuǎn)換器，其中所述聚合物基板包括聚 酰亞胺、聚碳酸酯、聚對苯二甲酸乙二酯、聚甲基丙烯酸甲酯以及環(huán)烯烴共 聚物中的一者，且設(shè)于所述聚合物基板上的所述傳導(dǎo)層包括氧化銦錫及氧化 銦鋅中的一者。
17. 如權(quán)利要求12所述的靜電電聲轉(zhuǎn)換器，其中所述第一駐極體及所述 第二駐極體中的一者包括至少一介電層，所述至少一介電層包括一選自以下 各物中的至少一者的材料聚四氟乙烯、氟化乙丙烯、非晶系含氟聚合物、環(huán)烯烴共聚物以及一含氟透明聚合物。
18. 如權(quán)利要求12所述的靜電電聲轉(zhuǎn)換器，其中所述第一傳導(dǎo)薄膜及所 述第二傳導(dǎo)薄膜中的一者包括一鋁薄膜、 一氧化銦錫薄膜以及一氧化銦鋅薄 膜中的一者。
19. 如權(quán)利要求12所述的靜電電聲轉(zhuǎn)換器，其中所述第一間隔件及所述 第二間隔件中的一者包括聚酰亞胺、聚碳酸酯、聚對苯二甲酸乙二酯、聚甲 基丙烯酸甲酯以及環(huán)烯烴共聚物中的一者。
20. —種靜電電聲轉(zhuǎn)換器，其包含配置成一堆桟的復(fù)數(shù)個聲學(xué)單元，所述聲學(xué)單元中的每一者包含一第一電極，其可配置成用以接收一音頻信號； 一第一傳導(dǎo)薄膜，其可配置成用以接收所述音頻信號； 在所述第一電極與所述第一傳導(dǎo)薄膜之間的一第一駐極體，所述第一駐 極體展現(xiàn)一第一電極性；一第二電極，其可配置成用以接收所述音頻信號；一第二傳導(dǎo)薄膜，其可配置成用以接收所述音頻信號，所述第二傳導(dǎo)薄 膜與所述第一傳導(dǎo)薄膜電隔離；以及在所述第二電極與所述第二傳導(dǎo)薄膜之間的一第二駐極體，所述第二駐 極體展現(xiàn)一第二電極性，其中所述第一駐極體及所述第二駐極體能夠基于所述音頻信號而大體 上在相同方向上相對于所述第一 電極及所述第二電極作振動運動。
21. 如權(quán)利要求20所述的靜電電聲轉(zhuǎn)換器，其中所述第一電極及所述第 二電極中的一者包括一選自以下各物中的至少一者的材料聚酰亞胺、聚碳 酸酯、聚對苯二甲酸乙二酯、聚甲基丙烯酸甲酯以及環(huán)烯烴共聚物。
22. 如權(quán)利要求20所述的靜電電聲轉(zhuǎn)換器，其中所述第一電極及所述第 二電極中的一者包括一傳導(dǎo)金屬薄膜、 一傳導(dǎo)纖維以及其上設(shè)有一傳導(dǎo)薄膜 的一聚合物基板中的一者。
23. 如權(quán)利要求22所述的靜電電聲轉(zhuǎn)換器，其中所述傳導(dǎo)纖維包括一金 屬纖維、 一碳纖維、 一石墨纖維或一涂覆有金屬、碳或石墨的玻璃纖維中的 至少一者。
24. 如權(quán)利要求22所述的靜電電聲轉(zhuǎn)換器，其中所述聚合物基板包括聚 酰亞胺、聚碳酸酯、聚對苯二甲酸乙二酯、聚甲基丙烯酸甲酯以及環(huán)烯烴共 聚物中的一者，且涂覆于所述聚合物基板上的所述傳導(dǎo)薄膜包括氧化銦錫及 氧化銦鋅中的一者。
25. 如權(quán)利要求20所述的靜電電聲轉(zhuǎn)換器，其中所述第一駐極體及戶;^第二駐極體中的一者包括至少一介電層，所述至少一介電層包括一選自以下各物中的至少一者的材料聚四氟乙烯、氟化乙丙烯、非晶系含氟聚合物、環(huán)烯烴共聚物以及一含氟透明聚合物。
26. 如權(quán)利要求20所述的靜電電聲轉(zhuǎn)換器，其中所述第一傳導(dǎo)薄膜及所 述第二傳導(dǎo)薄膜中的一者包括一鋁薄膜、 一氧化銦錫薄膜以及一氧化銦鋅薄 膜中的一者。
27. 如權(quán)利要求20所述的靜電電聲轉(zhuǎn)換器，其中所述轉(zhuǎn)換器還包含在所 述第一電極與所述第一駐極體之間的一第一間隔件，及在所述第二電極與所 述第二駐極體之間的一第二間隔件。
28. 如權(quán)利要求27所述的靜電電聲轉(zhuǎn)換器，其中所述第一間隔件及所述 第二間隔件中的一者包括聚酰亞胺、聚碳酸酯、聚對苯二甲酸乙二酯、聚甲 基丙烯酸甲酯以及環(huán)烯烴共聚物中的一者。
29. 如權(quán)利要求27所述的靜電電聲轉(zhuǎn)換器，其中所述第一間隔件及所述 第二間隔件中的每一者包括一圖案。
30. 如權(quán)利要求20所述的靜電電聲轉(zhuǎn)換器，其中所述第一電極性及所述 第二電極性中的一者為一正的電極性，且所述第一電極性及所述第二電極性 中的另一者為一負(fù)的電極性。
全文摘要
本發(fā)明一種靜電電聲轉(zhuǎn)換器，其包含一第一電極，其可配置成用以接收一音頻信號；一第一傳導(dǎo)薄膜，其可配置成用以接收該音頻信號；在該第一電極與該第一傳導(dǎo)薄膜之間的一第一駐極體，該第一駐極體能夠基于該音頻信號而相對于該第一電極作振動運動；一第二電極，其可配置成用以接收該音頻信號；一第二傳導(dǎo)薄膜，其可配置成用以接收該音頻信號，該第二傳導(dǎo)薄膜與該第一傳導(dǎo)薄膜電隔離；及在該第二電極與該第二傳導(dǎo)薄膜之間的一第二駐極體，該第二駐極體能夠基于該音頻信號而相對于該第二電極作振動運動。
文檔編號H04R19/01GK101384102SQ200710160549
公開日2009年3月11日 申請日期2007年12月25日 優(yōu)先權(quán)日2007年9月4日
發(fā)明者劉昌和, 姜達銘, 陳明道 申請人:財團法人工業(yè)技術(shù)研究院