專利名稱：快速升降溫加熱器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種加熱器，尤其是涉及一種熱容量小、升降溫速度快、體積小功率大的應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的薄膜材料生長設(shè)備，用來對襯底進行加熱的加熱器。
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)的用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的薄膜材料生產(chǎn)設(shè)備中，對襯底進行加熱的加熱器升降溫速率較慢，加熱的均勻性難以保證，極限工作溫度低，不宜在高溫條件下連續(xù)工作，是由于其加熱器的熱容量大，爐絲排布不均勻，爐體結(jié)構(gòu)不合理等原因造成的，這種加熱器不適合在有急劇升溫和快速降溫要求的設(shè)備上應(yīng)用。
實用新型內(nèi)容為解決上述問題，本實用新型的目的是提供一種熱容量小、升降溫速度快、體積小、功率大、加熱均勻的快速升降溫加熱器。
本實用新型快速升降溫加熱器，由爐絲、支架、絕緣板、支撐桿、電極板、絕緣固定套、爐絲電極、隔熱板和引出電極構(gòu)成；爐絲通過支架安裝在絕緣板上；電極板固定設(shè)置在絕緣板下方；爐絲通過爐絲電極與電極板連接；電極板下方設(shè)置若干隔熱板；電極板上設(shè)有引出電極。
所述的爐絲和支架為單層結(jié)構(gòu)或多層結(jié)構(gòu)，固定安裝在絕緣板一側(cè)或上下兩側(cè)。
所述的電極板由上、下電極板構(gòu)成；上電極板通過支撐桿固定于絕緣板下方，下電極板通過絕緣固定套與上電極板固定連接。
所述的爐絲包括外爐絲和內(nèi)爐絲，外爐絲通過支架繞成圓形，分布于絕緣板上下兩側(cè)；內(nèi)爐絲采用平行往復(fù)的方式對稱分布于外爐絲內(nèi)側(cè)。
所述的引出電極穿過若干隔熱板與上電極板和下電極板固定連接。
本實用新型的優(yōu)點效果如下1、本實用新型由于采用高溫電阻加熱材料，在1300℃以上可以連續(xù)工作，適用于常壓或低壓工作環(huán)境。
2、加熱器單位面積功率密度大，表面功率密度可達(dá)到每平方厘米60瓦。
3、采用隔熱板代替保溫材料，使得加熱器熱容量很小，又能有效防止能量的輻射和對流，熱量不易直接外排，從而達(dá)到快速升溫的目的；由于隔熱板采用金屬材料，所以當(dāng)停止加熱時又能有效地進行熱傳導(dǎo)，達(dá)到快速降溫的目的，這些功能可以滿足特殊的工藝要求，從而制造出更好的薄膜材料。


圖1是本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實用新型外爐絲與內(nèi)爐絲安裝結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中主要符號說明1、外爐絲；2、內(nèi)爐絲；3、支架；4、絕緣板；5、支撐桿；6、上電極板；7、下電極板；8、絕緣固定套；9、爐絲電極；10、隔熱板；11、引出電極。
具體實施方式
結(jié)合附圖對本實用新型的具體實施例說明如下
如圖1所示，本實用新型快速升降溫加熱器，由爐絲、支架3、絕緣板4、支撐桿5、電極板、絕緣固定套8、爐絲電極9、隔熱板10和引出電極11構(gòu)成；爐絲包括外爐絲1和內(nèi)爐絲2，外爐絲1和內(nèi)爐絲2通過支架安裝在絕緣板4上，絕緣板4為耐溫絕緣的陶瓷板；電極板由上電極板6和下電極板7構(gòu)成，上電極板6通過支撐桿5固定在絕緣板4的下方，下電極板7通過絕緣固定套8與上電極板6固定連接，絕緣固定套8為陶瓷套；外爐絲1與內(nèi)爐絲2通過爐絲電極9與上電極板6和下電極板7連接，下電極板7的下方設(shè)置三層隔熱板10；上電極板6和下電極板7上設(shè)有引出電極11，所述的引出電極11穿過三層隔熱板10與上電極板6和下電極板7固定連接。
所述的電極板也可以由左電極板和右電極板構(gòu)成；左電極板和右電極板通過支撐桿固定于絕緣板下方。
如圖2所示，爐絲的排布方式如下外爐絲1為兩段，通過支架3繞成圓形，分布于絕緣板4上下兩側(cè)，內(nèi)爐絲2采用平行往復(fù)的方式對稱分布于外爐絲1內(nèi)側(cè)，爐絲和爐絲電極采用高溫電熱材料，如鉭、鉬、鎢等。
所述的爐絲和支架可以為單層結(jié)構(gòu)或多層結(jié)構(gòu)，固定安裝在絕緣板一側(cè)或上下兩側(cè)。
權(quán)利要求1.一種快速升降溫加熱器，其特征的于由爐絲、支架、絕緣板、支撐桿、電極板、絕緣固定套、爐絲電極、隔熱板和引出電極構(gòu)成；爐絲通過支架安裝在絕緣板上；電極板固定設(shè)置在絕緣板下方；爐絲通過爐絲電極與電極板連接；電極板下方設(shè)置若干隔熱板；電極板上設(shè)有引出電極。
2.按照權(quán)利要求1所述的快速升降溫加熱器，其特征在于所述的爐絲和支架為單層結(jié)構(gòu)或多層結(jié)構(gòu)，固定安裝在絕緣板一側(cè)或上下兩側(cè)。
3.按照權(quán)利要求1所述的快速升降溫加熱器，其特征在于所述的電極板由上、下電極板構(gòu)成；上電極板通過支撐桿固定于絕緣板下方，下電極板通過絕緣固定套與上電極板固定連接。
4.按照權(quán)利要求1所述的快速升降溫加熱器，其特征在于所述的爐絲包括外爐絲和內(nèi)爐絲，外爐絲通過支架繞成圓形，分布于絕緣板上下兩側(cè)；內(nèi)爐絲采用平行往復(fù)的方式對稱分布于外爐絲內(nèi)側(cè)。
5.按照權(quán)利要求1所述的快速升降溫加熱器，其特征在于所述的引出電極穿過若干隔熱板與上電極板和下電極板固定連接。
專利摘要本實用新型涉及一種快速升降溫加熱器，它由爐絲、支架、絕緣板、支撐桿、電極板、絕緣固定套、爐絲電極、隔熱板和引出電極構(gòu)成；爐絲通過支架安裝在絕緣板上；電極板固定設(shè)置在絕緣板下方；爐絲通過爐絲電極與電極板連接；電極板下方設(shè)置若干隔熱板；電極板上設(shè)有引出電極。本實用新型熱容量小、升降溫速度快、體積小功率大、加熱均勻，非常適用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的薄膜材料生產(chǎn)設(shè)備中，對襯底進行加熱。
文檔編號C30B25/10GK2818496SQ20052009038
公開日2006年9月20日 申請日期2005年4月20日 優(yōu)先權(quán)日2005年4月20日
發(fā)明者梁玉生, 錢進, 王文君, 吳向方 申請人:遼寧聚智科技發(fā)展有限公司