專(zhuān)利名稱(chēng)：可消除靜電的基板載具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種承載基板的載具，特別是涉及一種可消除靜電的基板載具。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體工藝之中，每一片基板(或晶片)都會(huì)經(jīng)過(guò)數(shù)道不同的工藝，以制作出各式各樣的電子產(chǎn)品。舉例來(lái)說(shuō)，以液晶顯示器(liquid crystal display，LCD)的制作而言，玻璃基板亦需要經(jīng)過(guò)曝光、顯影、沉積等等繁雜的流程，而這些繁雜的工藝步驟必須仰賴(lài)不同的機(jī)器完成之，因此，玻璃基板在制作的過(guò)程中，必須依據(jù)所進(jìn)行的工藝，移動(dòng)到不同的機(jī)器來(lái)進(jìn)行不同的工藝步驟。
然而，玻璃基板放在無(wú)塵室中會(huì)產(chǎn)生帶電不良的情形，尤其在傳送的過(guò)程中，不論玻璃基板是放置于卡匣(cassette)中、移動(dòng)的運(yùn)送裝置上(譬如真空機(jī)械人)，或是正在作業(yè)的機(jī)器中，玻璃基板皆會(huì)與周遭的環(huán)境產(chǎn)生摩擦，而產(chǎn)生靜電放電(electrostatic discharge，ESD)效應(yīng)。
在某些特定的機(jī)器，譬如ULVAC PVD機(jī)器，是先利用真空機(jī)械人手臂將玻璃基板傳送至濺射室(sputter chamber)，之后再進(jìn)行物理氣相沉積，并于玻璃基板表面生成半導(dǎo)體以及保護(hù)層的薄膜。
請(qǐng)參閱圖1，圖1為現(xiàn)有機(jī)械人手臂(robot forklift)100的示意圖。如圖1所示，機(jī)械人手臂100包括支撐模塊110、120，以及一連接模塊130。連接模塊130與機(jī)械人的本體連接，而支撐模塊110、120與連接模塊130相互連接，以通過(guò)支撐模塊110、120與連接模塊130之間的連接力，來(lái)提供支撐模塊110、120一支撐力。因此，支撐模塊110、120便可以用來(lái)承載玻璃基板150，以將玻璃基板150運(yùn)送至不同的機(jī)器。
此外，一般來(lái)說(shuō)，支撐模塊110、120上亦設(shè)置有多個(gè)接觸墊140。當(dāng)支撐模塊110、120運(yùn)送玻璃基板150時(shí)，這些接觸墊140會(huì)提供玻璃基板150多個(gè)接觸面，以通過(guò)這些接觸面，提供玻璃基板150承載時(shí)所需的支撐力，并且同時(shí)提供一摩擦力，以防止玻璃基板150與接觸墊140之間發(fā)生 滑動(dòng)。
然而，由于這些接觸墊140會(huì)與玻璃基板1 50相互摩擦，因此玻璃基板150與接觸墊140之間會(huì)開(kāi)始累積靜電電荷，當(dāng)電荷累積到一定程度后，接觸墊140與玻璃基板150之間便會(huì)發(fā)生前述的靜電效應(yīng)，因此，圖1所示的區(qū)域160、170便會(huì)產(chǎn)生前述的靜電效應(yīng)。由于靜電效應(yīng)會(huì)改變區(qū)域160、170周遭的電場(chǎng)，如此便會(huì)使得玻璃基板150進(jìn)行各項(xiàng)工藝時(shí)，因電場(chǎng)的不穩(wěn)定而產(chǎn)生不必要的工藝誤差。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明的主要目的之一在于提供一種可消除靜電的基板載具，以解決現(xiàn)有技術(shù)中的問(wèn)題。
本發(fā)明揭露一種用來(lái)承載一基板的載具，該載具包括一支撐模塊以及一導(dǎo)電媒介。其中，該支撐模塊具有至少一接觸區(qū)域與該基板接觸，以提供該基板一支撐力以承載該基板，因此上述的靜電放電效應(yīng)可能發(fā)生于該接觸區(qū)域，一導(dǎo)電媒介電連接至該接觸區(qū)域與一電壓準(zhǔn)位，以消除該接觸區(qū)域與該基板之間的靜電。
本發(fā)明另揭露一種使用一載具來(lái)承載一基板的方法，其包括使用該載具的一支撐模塊上的至少一接觸區(qū)域與該基板接觸，以提供該基板一支撐力來(lái)承載該基板；以及將該接觸區(qū)域電連接至一電壓準(zhǔn)位，以經(jīng)由該電壓準(zhǔn)位消除該接觸區(qū)域與該基板之間的靜電。
本發(fā)明的機(jī)械人手臂具有導(dǎo)電媒介，以消除接觸墊與玻璃基板之間所產(chǎn)生的靜電，因此，原本工藝時(shí)所受到靜電干擾的情況便可大幅改善，也因此可以提升液晶顯示器的成品率。


圖1為現(xiàn)有機(jī)械人手臂(robot forklift)的示意圖。
圖2為本發(fā)明機(jī)械人手臂(robot forklift)的示意圖。
圖3為圖2所示的導(dǎo)電媒介的一實(shí)施例的示意圖。
簡(jiǎn)單符號(hào)說(shuō)明110、120、210、220支撐模塊 140、240 接觸墊150、250 玻璃基板 130、230 連接模塊
160、170、260、270區(qū)域100、200機(jī)械人手臂280 導(dǎo)電媒介具體實(shí)施方式
請(qǐng)參閱圖2，圖2為本發(fā)明機(jī)械人手臂(robot forklift)200的示意圖。如圖2所示，機(jī)械人手臂200亦包括支撐模塊210、220，以及一連接模塊230。連接模塊230與機(jī)械人的本體連接，而支撐模塊210、220與連接模塊230相互連接，以通過(guò)支撐模塊210、220與連接模塊230之間的連接力，來(lái)提供支撐模塊210、220一支撐力。因此，支撐模塊210、220便可以用來(lái)承載玻璃基板250，以將玻璃基板250運(yùn)送至不同的機(jī)器。
與機(jī)械人手臂100相同，本發(fā)明機(jī)械人手臂200的支撐模塊210、220上亦設(shè)置有多個(gè)接觸墊240。當(dāng)支撐模塊210、220運(yùn)送玻璃基板250時(shí)，這些接觸墊240會(huì)提供玻璃基板250多個(gè)接觸面，以通過(guò)這些接觸面，提供玻璃基板250承載時(shí)所需的支撐力，并且同時(shí)提供一摩擦力，以防止玻璃基板250與接觸墊240之間發(fā)生滑動(dòng)。
于本實(shí)施例之中，支撐模塊210、220上面另具有一導(dǎo)電媒介280，導(dǎo)電媒介280一端電連接至前述的接觸墊240，而另一端電連接至接地端；因此，于區(qū)域260、270中，原本由于接觸墊240與玻璃基板250相互摩擦而產(chǎn)生的靜電荷便會(huì)經(jīng)由導(dǎo)電媒介280導(dǎo)流至接地端，如此便可以有效地消除前述的靜電效應(yīng)。
請(qǐng)參閱圖3，圖3為圖2所示的導(dǎo)電媒介280的一實(shí)施例的示意圖。如圖3所示，導(dǎo)電媒介280為一樹(shù)枝狀的銅箔導(dǎo)線(xiàn)，其中每一個(gè)分叉接觸支撐模塊210、220上的接觸墊240，而銅箔導(dǎo)線(xiàn)的另一端電連接至接地端，因此，靜電荷便可以通過(guò)接地端的低電壓導(dǎo)出。而圖3所示的樹(shù)枝狀的銅箔導(dǎo)線(xiàn)280僅僅只為本發(fā)明的一優(yōu)選實(shí)施例，換句話(huà)說(shuō)，導(dǎo)電媒介280亦可具有不同的形狀，或是利用其它的導(dǎo)電物質(zhì)制作而成，如此的相對(duì)應(yīng)變化，亦屬本發(fā)明的范疇。
然而，為了確實(shí)地將接觸墊240與玻璃基板250之間的靜電荷導(dǎo)至接地端，于本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例中，本發(fā)明改良了一些元件，以達(dá)到消除靜電荷的最佳化，舉例來(lái)說(shuō)，接觸墊240采用微導(dǎo)電材料制作而成，如此，區(qū)域260、270的靜電荷便可順利地通過(guò)可導(dǎo)電的接觸墊240以及導(dǎo)電媒介280導(dǎo)出；接觸墊240亦可采用其它的材料，前述的微導(dǎo)電材料僅僅作為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，而非本發(fā)明的限制。
此外，如圖2以及圖3所示，導(dǎo)電媒介280通過(guò)一背膠平貼于支撐模塊210、220上，因此，為了整體結(jié)構(gòu)的最佳化，并且為了避免導(dǎo)電媒介280影響到原本欲進(jìn)行的工藝，于本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例中，背膠采用耐高溫的背膠，以免背膠揮發(fā)出不必要的氣體而影響工藝；并且，銅箔的厚度也盡可能的薄，以使銅箔對(duì)工藝的影響達(dá)到最低，舉例來(lái)說(shuō)，銅箔的厚度可為0.1mm；然而，前述的耐高溫背膠，0.1mm的銅箔厚度亦僅作為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，設(shè)計(jì)者可隨著欲進(jìn)行的工藝以及成本的考慮而選擇不同的材料以及厚度，如此的相對(duì)應(yīng)變化亦不違背本發(fā)明的精神。
上述皆利用液晶屏幕的工藝加以說(shuō)明，然而，本發(fā)明亦可利用于各種不同電子產(chǎn)品的工藝；換句話(huà)說(shuō)，本發(fā)明的機(jī)械人手臂不限于用來(lái)承載玻璃基板，本發(fā)明的機(jī)械人手臂實(shí)可利用來(lái)承載并且運(yùn)送各種基板，或是晶片。
此外，本發(fā)明亦不限于實(shí)施于前述的機(jī)械人手臂；在實(shí)際應(yīng)用上，所有用來(lái)承載基板的載具，皆可利用本發(fā)明的方法將附著于基板的靜電消除，如此的相對(duì)應(yīng)變化亦屬本發(fā)明的范疇。
相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明的機(jī)械人手臂具有導(dǎo)電媒介，以消除接觸墊與玻璃基板之間所產(chǎn)生的靜電，因此，原本工藝時(shí)所受到靜電干擾的情況便可大幅改善，也因此可以提升液晶屏幕的成品率。
以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，凡依本發(fā)明權(quán)利要求所做的均等變化與修飾，皆應(yīng)屬本發(fā)明的涵蓋范圍。
權(quán)利要求
1.一種用來(lái)承載基板的載具，其包括支撐模塊，其具有至少一接觸區(qū)域與該基板接觸，用來(lái)提供該基板支撐力以承載該基板；以及導(dǎo)電媒介，電連接至該接觸區(qū)域與電壓準(zhǔn)位，以經(jīng)由該電壓準(zhǔn)位消除該接觸區(qū)域與該基板之間的靜電。
2.如權(quán)利要求1所述的載具，其中該支撐模塊包括多個(gè)接觸墊，每一接觸墊提供一接觸區(qū)域來(lái)與該基板接觸。
3.如權(quán)利要求2所述的載具，其中該多個(gè)接觸墊以微導(dǎo)電材料制作而成。
4.如權(quán)利要求1所述的載具，其中該導(dǎo)電媒介包含金屬薄膜，連接于該接觸區(qū)域。
5.如權(quán)利要求4所述的載具，其中該金屬薄膜為銅箔。
6.如權(quán)利要求5所述的載具，其中該銅箔平貼于該支撐模塊上。
7.如權(quán)利要求6所述的載具，其中該銅箔與該支撐模塊利用背膠相互黏接。
8.如權(quán)利要求7所述的載具，其中該背膠為耐高溫背膠。
9.如權(quán)利要求1所述的載具，其中該基板為玻璃基板。
10.如權(quán)利要求1所述的載具，其中該電壓準(zhǔn)位為接地電位。
全文摘要
一種用來(lái)承載一基板的載具包括一支撐模塊，其具有至少一接觸區(qū)域與該基板接觸，用來(lái)提供該基板一支撐力以承載該基板；以及一導(dǎo)電媒介，電連接至該接觸區(qū)域與一電壓準(zhǔn)位，以消除該接觸區(qū)域與該基板之間的靜電。
文檔編號(hào)H05F3/00GK101071785SQ200610080368
公開(kāi)日2007年11月14日 申請(qǐng)日期2006年5月11日 優(yōu)先權(quán)日2006年5月11日
發(fā)明者劉懿承, 王信雄, 黃銘崗 申請(qǐng)人:中華映管股份有限公司