專(zhuān)利名稱(chēng):印刷點(diǎn)圖案位圖的缺陷檢測(cè)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明總體上涉及圖像處理,并且更特別地涉及用于印刷點(diǎn)圖案位
圖(printed dot-pattern bitmap )圖像的缺陷(fault)檢測(cè)的系統(tǒng)和方法。
背景技術(shù):
印刷技術(shù)是諸如印刷電路板(此后稱(chēng)為"PCB")制造之類(lèi)的應(yīng)用的 重要組成部分。在PCB制造中,可以將PCB圖案(pattern)圖像直接印 刷到PCB基底上。精確的PCB圖像是很重要的,因?yàn)閳D像中的誤差或偏 差(aberration)可能導(dǎo)致制造的PCB基底中的誤差。
典型地,通過(guò)工業(yè)噴墨打印機(jī)(inkjet printer)將PCB圖案印刷成點(diǎn)圖 案圖像。重要的是能夠校準(zhǔn)這樣的打印機(jī)以及執(zhí)行質(zhì)量控制,以便確保 它們的印刷性能是一致的并且符合規(guī)范。噴墨打印機(jī)頭包含一組噴嘴, 可以使特定噴嘴的輸出與正在印刷的點(diǎn)圖案圖像的區(qū)域相關(guān)。在連續(xù)使 用打印機(jī)若干時(shí)段之后,噴嘴可能被阻塞或者出現(xiàn)其他故障 (malfunction),并且這可能導(dǎo)致正在印刷的圖像中的誤差或偏差。
具有由工業(yè)噴墨打印機(jī)印刷的圖案的陶資PCB基底典型地在連續(xù)的 印刷周期之間通過(guò)烘焙(baking)工藝進(jìn)行固化。表面污染物的存在以 及固化的動(dòng)作可能導(dǎo)致印刷特征的失真。除了均勻收縮(shrinkage)之 外,印刷圖案(printed pattern )還受到基于印刷材料的局部幾何形狀的 非均勻收縮的影響。印刷圖案中的失真以及噴射失敗(misfiring)的噴 墨噴嘴還可能產(chǎn)生諸如斷路和短路(拓樸失真)之類(lèi)的電路錯(cuò)誤以及多 遍(pass )印刷之間的電路特征的不對(duì)準(zhǔn)(幾何失真)。
如果噴嘴的"特點(diǎn)"(signature)可以按照其再現(xiàn)點(diǎn)圖案區(qū)域的質(zhì)量 來(lái)表征,那么可以通過(guò)檢查其產(chǎn)生的圖像來(lái)標(biāo)識(shí)發(fā)生故障的打印機(jī)和故 障的原因。有用的是,能夠在發(fā)生代價(jià)更高的制造誤差之前標(biāo)識(shí)并且校 正由發(fā)生故障的打印機(jī)產(chǎn)生的印刷誤差。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的實(shí)施例允許實(shí)現(xiàn)印刷點(diǎn)圖案圖像中的缺陷檢測(cè)。本發(fā)明的特定應(yīng)用是其用于檢查印刷電路板("PCB")基底的系統(tǒng)的各種不同的 實(shí)施例中。在實(shí)施例中,產(chǎn)生的失真圖基于重建的點(diǎn)圖案圖像、模擬的 參考位圖以及代表重建的點(diǎn)圖案圖像與該參考位圖之間的差異的誤差 圖的比較。在實(shí)施例中,失真圖的像素經(jīng)過(guò)顏色編碼,以便標(biāo)識(shí)作為所 述比較的結(jié)果而發(fā)現(xiàn)的偏差的位置和類(lèi)型。
在實(shí)施例中,用于標(biāo)識(shí)圖像中的偏差的方法可以包括通過(guò)應(yīng)用函 數(shù)以便增大圖像內(nèi)的像素的強(qiáng)度值之差來(lái)調(diào)節(jié)圖像;基于圖像內(nèi)的像素 集合與圖像的參考位圖內(nèi)的像素集合的比較產(chǎn)生誤差圖;至少部分地基 于用戶輸入?yún)?shù)從誤差圖中移除像素集合;以及產(chǎn)生標(biāo)識(shí)圖像內(nèi)的偏差 的失真圖??梢灾辽俨糠值鼗谒稣`差圖、所述圖像以及該圖像的參 考位圖來(lái)產(chǎn)生所述失真圖。
在實(shí)施例中,調(diào)節(jié)圖像可以包括計(jì)算圖像內(nèi)的像素的強(qiáng)度值分布; 定義下強(qiáng)度閾值和上強(qiáng)度闞值;如果該分布內(nèi)的像素具有小于下強(qiáng)度闊 值的強(qiáng)度值,則將第一強(qiáng)度值分配給該像素;如果該分布內(nèi)的像素具有 大于上強(qiáng)度閾值的強(qiáng)度值,則將第二強(qiáng)度值分配給該像素;以及如果強(qiáng) 度值小于所述上強(qiáng)度值并且大于所述下強(qiáng)度閾值,則分配計(jì)算的強(qiáng)度 值,該強(qiáng)度值是通過(guò)將閾值函數(shù)應(yīng)用到所述像素的強(qiáng)度值而計(jì)算出的。
在實(shí)施例中,產(chǎn)生誤差圖可以包括標(biāo)識(shí)圖像內(nèi)的第一像素以及參 考位圖內(nèi)的笫二像素,這些像素具有相應(yīng)的位置;計(jì)算第一像素的強(qiáng)度 值與第二像素的強(qiáng)度值之間的絕對(duì)差值;標(biāo)識(shí)誤差圖內(nèi)的第三像素,該 第三像素具有與第一像素的位置相應(yīng)的位置;以及將所述絕對(duì)差值分配 給第三像素的強(qiáng)度值。在實(shí)施例中,響應(yīng)于該絕對(duì)差值大于一定閾值將 所述絕對(duì)差值分配給第三像素的強(qiáng)度值。
在實(shí)施例中,從誤差圖中移除像素可以包括接收最小可接受誤差 寬度參數(shù)和最小可接受誤差高度參數(shù);通過(guò)將連通分量分析應(yīng)用到誤差 圖內(nèi)的像素來(lái)產(chǎn)生誤差圖內(nèi)的連通分量集合;基于連通分量的高度和寬 度與最小可接受誤差寬度參數(shù)和最小可接受誤差高度參數(shù)的比較,從所 述連通分量集合中移除至少一個(gè)連通分量。
在實(shí)施例中,從所述連通分量集合中移除至少一個(gè)連通分量可以包 括標(biāo)識(shí)所述連通分量集合內(nèi)的連通分量行;如果連通分量行包含具有 小于最小可接受誤差寬度的寬度的連通分量,則移除該連通分量行;標(biāo) 識(shí)所述連通分量集合內(nèi)的連通分量列;以及如果該連通分量列包含具有小于最小可接受誤差高度的高度的連通分量,則移除該連通分量列。
在實(shí)施例中,產(chǎn)生失真圖可以包括產(chǎn)生初始化失真圖,其具有與
誤差圖的高度和寬度相應(yīng)的高度和寬度;至少部分地基于在誤差圖中的 相應(yīng)像素處的標(biāo)識(shí)的偏差,將第一顏色強(qiáng)度值分配給在初始化失真圖內(nèi) 具有位置的第 一像素;以及至少部分地基于在誤差圖中的第二相應(yīng)像素 處不存在偏差將第二顏色強(qiáng)度值分配給在初始化失真圖內(nèi)具有第二位 置的第二像素。在實(shí)施例中,第一顏色強(qiáng)度值可以選自多個(gè)顏色強(qiáng)度值 并且與誤差圖中第一相應(yīng)像素處標(biāo)識(shí)的特定類(lèi)型的偏差有關(guān)。在實(shí)施例 中,第一顏色強(qiáng)度值可以選自多個(gè)強(qiáng)度值并且將所述偏差標(biāo)識(shí)成位于圖 ^f象的前景部分(foreground section )中。
在實(shí)施例中,用于產(chǎn)生標(biāo)識(shí)圖像內(nèi)的偏差的失真圖的方法可以包 括通過(guò)將圖像內(nèi)的第 一像素集合的第 一強(qiáng)度值集合與參考位圖內(nèi)的第 二像素集合的第二強(qiáng)度值集合進(jìn)行比較來(lái)產(chǎn)生誤差圖;產(chǎn)生初始化失真 圖,其具有與誤差圖的高度和寬度相應(yīng)的高度和寬度;以及將多個(gè)顏色
強(qiáng)度值分配給初始化失真圖內(nèi)的多個(gè)像素,所述多個(gè)像素內(nèi)的像素子集 中的每個(gè)像素的顏色強(qiáng)度值至少部分地基于誤差圖中的相應(yīng)像素的標(biāo)
識(shí)的偏差。
在實(shí)施例中,用于產(chǎn)生標(biāo)識(shí)圖像內(nèi)的偏差的失真圖的系統(tǒng)包括誤 差圖發(fā)生器,其耦合來(lái)接收?qǐng)D像和參考位圖,基于圖像內(nèi)的第一像素集 合的第一強(qiáng)度值集合與參考位圖內(nèi)的第二像素集合的第二強(qiáng)度值集合 的比較產(chǎn)生誤差圖;以及失真圖生成器,其耦合來(lái)接收所述誤差圖、所 述參考位圖以及所述圖像,將多個(gè)顏色強(qiáng)度值分配給初始化失真圖內(nèi)的 多個(gè)像素,所述多個(gè)像素內(nèi)的像素子集中的每個(gè)像素的顏色強(qiáng)度值至少 部分地基于誤差圖中的相應(yīng)像素的標(biāo)識(shí)的偏差。在實(shí)施例中,產(chǎn)生誤差 圖還可以包括部分地基于由誤差圖發(fā)生器接收的用戶輸入?yún)?shù)而從產(chǎn) 生的誤差圖中移除像素。
在該發(fā)明內(nèi)容部分大體上描述了本發(fā)明的 一些特征和優(yōu)點(diǎn);然而, 附加的特征、優(yōu)點(diǎn)和實(shí)施例在本文被提供,或者鑒于附圖、說(shuō)明書(shū)及其 權(quán)利要求而對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見(jiàn)的。因此,應(yīng)當(dāng) 理解的是,本發(fā)明的范圍不應(yīng)當(dāng)受到該發(fā)明內(nèi)容部分中公開(kāi)的特定實(shí)施 例的限制。
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下面將參照本發(fā)明的實(shí)施例,其實(shí)例可以在附圖中示出。這些附圖
預(yù)期是說(shuō)明性的,而不是限制性的。盡管本發(fā)明總體上是在這些實(shí)施例 的上下文中進(jìn)行描述的,但是應(yīng)當(dāng)理解的是,本發(fā)明的范圍并不打算限 于這些特定的實(shí)施例。
圖1示出了依照本發(fā)明各個(gè)實(shí)施例的印刷的PCB圖案的模擬參考位
圖、重建位像以及失真位圖的實(shí)例。
圖2A繪出了依照本發(fā)明各個(gè)實(shí)施例的用于片企查印刷的PCB位圖的 系統(tǒng)的框圖。
圖2B繪出了依照本發(fā)明各個(gè)實(shí)施例的用于產(chǎn)生在印刷點(diǎn)圖案位圖 中發(fā)現(xiàn)的缺陷的失真圖的缺陷檢測(cè)系統(tǒng)的框圖。
圖3繪出了依照本發(fā)明各個(gè)實(shí)施例的用于產(chǎn)生在印刷點(diǎn)圖案位圖中 發(fā)現(xiàn)的缺陷的失真圖的方法。
擬參考位圖中的像素強(qiáng)度的比較l產(chǎn)生誤差圖t々方法。 ;—
圖5A示出了依照本發(fā)明各個(gè)實(shí)施例將噪聲裁切(noise clipping )應(yīng)
用到點(diǎn)圖案圖像內(nèi)的像素分布的強(qiáng)度值。
圖5B示出了依照本發(fā)明各個(gè)實(shí)施例將對(duì)比度拉伸應(yīng)用到點(diǎn)圖案圖
像內(nèi)的像素分布的強(qiáng)度值。
圖6繪出了依照本發(fā)明各個(gè)實(shí)施例的用于修剪誤差圖上的誤差的方法。
圖7繪出了依照本發(fā)明各個(gè)實(shí)施例的用于產(chǎn)生失真圖的方法。 圖8繪出了計(jì)算系統(tǒng)的框圖。
具體實(shí)施例方式
在以下描述中,為了解釋的目的,敘述了特定的細(xì)節(jié)以便提供對(duì)于 本發(fā)明的理解。然而,本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)顯而易見(jiàn)的是,可以無(wú)需這 些細(xì)節(jié)來(lái)實(shí)施本發(fā)明。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)認(rèn)識(shí)到,以下描述了其中一 些的本發(fā)明的實(shí)施例可以合并到若干不同的系統(tǒng)和設(shè)備中,所述系統(tǒng)和 設(shè)備包括照相機(jī)、掃描儀、打印機(jī)、計(jì)算機(jī)、傳真機(jī)、移動(dòng)設(shè)備(包括 具有顯示器或照相機(jī)性能的那些設(shè)備)、多媒體設(shè)備等等。本發(fā)明的實(shí) 施例可以以軟件、硬件、固件或者其組合來(lái)實(shí)施??驁D中示出的部件或模塊說(shuō)明了本發(fā)明的示例性實(shí)施例,并且意在 避免使本發(fā)明不清楚。還應(yīng)當(dāng)理解的是,在整個(gè)討論中,部件可以被描 述成單獨(dú)的功能單元(其可以包括子單元),但是本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)以將其集^在一起,包:集^到)個(gè)系;充或部件內(nèi):、;° 此外,附圖中部件/模塊之間的連接并不打算限于直接的連接。相反, 可以通過(guò)中間部件修改、重新格式化或者以其他方式改變這些部件之間 的數(shù)據(jù)。此外,可以使用附加的或者更少的連接。還應(yīng)當(dāng)指出的是,術(shù) 語(yǔ)"耦合"或"通信耦合"應(yīng)當(dāng)被理解成包括直接連接、通過(guò)一個(gè)或多 個(gè)中間設(shè)備的間接連接以及無(wú)線連接。 在說(shuō)明書(shū)中,提到"一個(gè)實(shí)施例"或"實(shí)施例",表示結(jié)合該實(shí)施 例描迷的特定特征、結(jié)構(gòu)、特性或功能包含在本發(fā)明的至少一個(gè)實(shí)施例 中,并且可以在不止一個(gè)實(shí)施例中。在說(shuō)明書(shū)中不同位置出現(xiàn)的短語(yǔ)"在 一個(gè)實(shí)施例中"或"在實(shí)施例"不一定都指的是相同的實(shí)施例。本發(fā)明的特定應(yīng)用用于檢查印刷電路板("PCB")基底的系統(tǒng)的各個(gè)不同的實(shí)施例中。可以通過(guò)工業(yè)噴墨打印機(jī)將PCB圖案作為點(diǎn)圖案 圖像印刷到基底上;該點(diǎn)圖案由打印機(jī)墨嘴陣列產(chǎn)生。在連續(xù)使用噴墨 打印機(jī)一定時(shí)段之后,它的一些噴嘴可能被阻塞或者可能發(fā)生故障,這 可能導(dǎo)致正在印刷的點(diǎn)圖案圖像中的偏差。印刷的PCB圖案中的偏差可 能與諸如短接或斷開(kāi)的連接之類(lèi)的電路缺陷相應(yīng)。將檢查系統(tǒng)應(yīng)用到已經(jīng)由噴墨打印機(jī)印刷的PCB圖像。這種檢查系 統(tǒng)可以允許標(biāo)識(shí)印刷的PCB圖像中的缺陷并且也可以允許確定哪些噴 嘴與印刷圖像上標(biāo)識(shí)的缺陷的位置相關(guān)聯(lián)。圖l示出了依照本發(fā)明各個(gè) 實(shí)施例的印刷的PCB圖f^中的缺陷沖全測(cè)的實(shí)例??梢詫CB圖案的點(diǎn) 圖案圖像140與PCB圖案的模擬參考位圖120進(jìn)行比較,并且可以產(chǎn)生 代表點(diǎn)圖案圖像140與參考位圖120之間的差異的失真圖160。圖2A繪出了依照本發(fā)明各個(gè)實(shí)施例的用于檢查印刷點(diǎn)圖案圖像的 系統(tǒng)200的框圖。系統(tǒng)200接收待檢查的點(diǎn)圖案位像205并且將它 與由參考位圖發(fā)生器215產(chǎn)生的模擬參考位像225進(jìn)行比較。該參 考位圖是點(diǎn)圖案位像的模擬,并且用來(lái)排除將圖像印刷到PCB基底 上所造成的大多數(shù)(如果不是全部的話)偏差。圖1示出了 PCB圖案的點(diǎn)圖案圖像的示例性模擬參考位圖120的縮略圖。該模擬參考位圖的尺寸可以比它所依據(jù)的點(diǎn)圖案圖像大,以便增 大該參考圖像的分辨率。在各個(gè)不同的實(shí)施例中,產(chǎn)生的參考位圖的尺寸和配置可以由用戶輸入?yún)?shù)210確定,如2008年2月14日提交的題 為"Simulation of a Printed Dot-Pattern Bitmap"的美國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)(序列 號(hào)No. 12/03121 )所述,該專(zhuān)利申請(qǐng)通過(guò)引用全部合并于此。點(diǎn)圖案圖像205和參考位像225由圖像處理器230進(jìn)行比較。 可由用戶輸入?yún)?shù)235配置的缺陷檢測(cè)器240建立在輸入圖像205與產(chǎn) 生的參考圖像225的比較期間發(fā)現(xiàn)的偏差的失真圖245。圖1中示出了 示例性失真圖160。輸入點(diǎn)圖案位像205可以是非常大的??梢詫⒋蟮狞c(diǎn)圖案位圖 圖像劃分成片段(section),然后可以將選定的片段與產(chǎn)生的參考位圖 圖像的相應(yīng)片段進(jìn)行比較。在實(shí)施例中,可以通過(guò)用戶輸入?yún)?shù)210來(lái) 選擇待比較的片段。在選擇待比較的片段中可以使用由排除圖發(fā)生器 220產(chǎn)生的點(diǎn)圖案圖像的"排除圖"(exclusion map) 250。排除圖標(biāo)識(shí) 點(diǎn)圖案圖像內(nèi)的非檢查區(qū)域。在實(shí)施例中,圖像處理器230可以部分地 使用片段集合(a set of sections),輸入點(diǎn)圖案圖像205、參考位圖225以 及排除圖250以便產(chǎn)生重建的點(diǎn)圖案圖像,該重建的點(diǎn)圖案圖像可以成 為缺陷檢測(cè)的基礎(chǔ)。圖1中示出了示例性重建的點(diǎn)圖案圖像140。A.系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)圖2B繪出了依照本發(fā)明各個(gè)實(shí)施例的缺陷檢測(cè)器240的框圖。缺 陷檢測(cè)器240接收參考位圖225、重建的點(diǎn)圖案圖像265以及用戶輸入 參數(shù)235并且產(chǎn)生代表重建的點(diǎn)圖案圖像265與參考位圖225之間的差 異的失真圖245。缺陷檢測(cè)器240可以用于4企查系統(tǒng)200的實(shí)施例中, 以便產(chǎn)生標(biāo)識(shí)點(diǎn)圖案位像205內(nèi)的缺陷的失真圖245。在檢查系統(tǒng)200的實(shí)施例中,根據(jù)印刷點(diǎn)圖案片段的快照集合,重 建不能在單次掃描中捕獲的印刷點(diǎn)圖案圖像。通過(guò)將重建的點(diǎn)圖案圖像 265與參考位圖225進(jìn)行比較來(lái)檢查該重建的點(diǎn)圖案圖像的誤差。在實(shí)施例中,誤差圖發(fā)生器255產(chǎn)生"誤差圖"圖像,該圖像是將 重建的點(diǎn)圖案圖像265內(nèi)的像素的強(qiáng)度值與點(diǎn)圖案圖像的模擬參考位圖 225內(nèi)的相應(yīng)像素的強(qiáng)度值進(jìn)行比較的結(jié)果。該誤差圖是重建的點(diǎn)圖案 圖像中的偏差的表示。ii在實(shí)施例中,可以通過(guò)將噪聲裁切和對(duì)比度拉伸應(yīng)用到圖像內(nèi)的像素的強(qiáng)度值來(lái)增強(qiáng)重建的點(diǎn)圖案圖像265。例如,可以選擇下強(qiáng)度閾值 a和上強(qiáng)度閾值6。可以通過(guò)將強(qiáng)度值0 (黑色)分配給具有小于"的強(qiáng) 度值的像素并且將強(qiáng)度值255 (白色)分配給具有大于6的強(qiáng)度值的像 素來(lái)實(shí)現(xiàn)圖像內(nèi)的像素強(qiáng)度值的噪聲裁切。圖像像素的強(qiáng)度分布特性可 以用來(lái)選擇下強(qiáng)度閾值a和上強(qiáng)度閾值6,但是本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)認(rèn) 識(shí)到,許多因素可以確定特定值的選擇以用于強(qiáng)度閾值"和6,并且該 選擇對(duì)于本發(fā)明不是關(guān)鍵的??梢詫?duì)比度拉伸應(yīng)用到大于下強(qiáng)度閾值"并且小于上強(qiáng)度值6的 像素強(qiáng)度值集合。對(duì)比度拉伸通過(guò)使用閾值函數(shù)/z來(lái)計(jì)算所述強(qiáng)度值集 合中的每個(gè)強(qiáng)度值/的新強(qiáng)度值/z(/)而增強(qiáng)了該強(qiáng)度值集合內(nèi)的差值。 本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)認(rèn)識(shí)到,存在各種各樣的閾值函數(shù)并且閾值函數(shù)的 選擇對(duì)于本發(fā)明不是關(guān)鍵的。在實(shí)施例中,通過(guò)基于比較增強(qiáng)的重建圖像/z(/)與參考位圖中的 相應(yīng)像素的強(qiáng)度值的函數(shù)計(jì)算每個(gè)誤差圖像素的強(qiáng)度值/e/T,來(lái)產(chǎn)生具 有與重建的點(diǎn)圖案圖像相同的配置的誤差圖。例如,可以使用以下函數(shù) i十式中,r為增強(qiáng)誤差圖中的對(duì)比度的閾值。在實(shí)施例中,可以更新產(chǎn)生的誤差圖以便僅表示顯著的偏差。顯著 的偏差可以通過(guò)用戶輸入?yún)?shù)235來(lái)確定,所述用戶輸入?yún)?shù)限定了最 小可接受誤差寬度和高度。這些參數(shù)可以以像素?cái)?shù)表示。在實(shí)施例中, 可以對(duì)誤差圖進(jìn)行連通分量(connected component)分析,然后通過(guò)移 除具有的寬度和高度低于最小可接受誤差寬度和高度的連通分量段 (segment)來(lái)更新該誤差圖。在實(shí)施例中,失真圖生成器260產(chǎn)生失真圖245,該失真圖是經(jīng)過(guò) 顏色編碼以便突出標(biāo)識(shí)的偏差的位置和類(lèi)型的誤差圖。圖1中示出了示 例性失真圖160。在實(shí)施例中,失真圖生成器260基于重建的點(diǎn)圖案圖像265、參考 位圖225和產(chǎn)生的誤差圖上的相應(yīng)像素的強(qiáng)度值和位置將顏色分配給失 真圖中的像素。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)認(rèn)識(shí)到,具有不同特性的各種類(lèi)型 的圖可以用來(lái)圖示重建的點(diǎn)圖案圖像265上的失真。12B.用于產(chǎn)生代表圖像缺陷的失真圖的方法如前面所討論的那樣,可以將點(diǎn)圖案位像內(nèi)的缺陷表示成標(biāo)識(shí) 重建的點(diǎn)圖案圖像與點(diǎn)圖案圖像的參考位圖之間的差異的失真圖。在實(shí) 施例中,根據(jù)印刷點(diǎn)圖案片段的快照集合重建單次掃描中不能捕獲的印 刷點(diǎn)圖案圖像。通過(guò)將重建的點(diǎn)圖案圖像與參考位圖進(jìn)行比較來(lái)檢查該 重建的點(diǎn)圖案圖像的誤差,并且該檢查的結(jié)果為失真圖。發(fā)現(xiàn)的缺陷的失真圖的方法300,該方法與結(jié)構(gòu)無(wú)關(guān)。方法300可以在 系統(tǒng)200中的缺陷檢測(cè)器240的實(shí)施例中實(shí)施。方法300包括步驟增 強(qiáng)重建的點(diǎn)圖案圖像305;產(chǎn)生誤差圖310;更新產(chǎn)生的誤差圖315;以 及基于產(chǎn)生的誤差圖、重建的點(diǎn)圖案圖像和參考位圖320產(chǎn)生失真圖。 方法300可以在系統(tǒng)200中的缺陷沖企測(cè)器240的實(shí)施例中實(shí)施。1.產(chǎn)生誤差圖在實(shí)施例中,"誤差圖"圖像是將重建的點(diǎn)圖案圖像內(nèi)的像素的強(qiáng) 度值與點(diǎn)圖案圖像的模擬參考位圖內(nèi)的相應(yīng)像素的強(qiáng)度值進(jìn)行比較的 結(jié)果。該誤差圖是重建的點(diǎn)圖案圖像中的偏差的表示。a)像素強(qiáng)度值的噪聲裁切和對(duì)比度拉伸在實(shí)施例中,可以通過(guò)將噪聲裁切和對(duì)比度拉伸應(yīng)用到圖像內(nèi)的像 素的強(qiáng)度值來(lái)增強(qiáng)重建的點(diǎn)圖案圖像3 05 。圖4繪出了依照本發(fā)明各個(gè)實(shí)施例的用于將噪聲裁切應(yīng)用到圖像內(nèi) 的像素的強(qiáng)度值的方法400,該方法與結(jié)構(gòu)無(wú)關(guān)。方法400可以在方法 300的實(shí)施例的步驟305內(nèi)實(shí)現(xiàn)以及在誤差圖發(fā)生器255的實(shí)施例中實(shí) 現(xiàn)。在實(shí)施例中,可以選擇下強(qiáng)度閾值a和上強(qiáng)度閾值6 405??梢酝?過(guò)將強(qiáng)度值0 (黑色)分配420給具有小于a 415的強(qiáng)度值的像素并且 將強(qiáng)度值255 (白色)分配425給具有大于6 415的強(qiáng)度值的像素來(lái)實(shí) 現(xiàn)圖像內(nèi)的像素強(qiáng)度值的噪聲裁切。圖像像素的強(qiáng)度分布特性可以用來(lái) 選擇下強(qiáng)度閾值"和上強(qiáng)度閾值6,但是本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)認(rèn)識(shí)到, 許多因素可以確定特定值的選擇以用于強(qiáng)度閾值a和6,并且該選擇對(duì)于本發(fā)明不是關(guān)鍵的。圖5A繪出了依照本發(fā)明各個(gè)實(shí)施例的圖像內(nèi)的像素505的強(qiáng)度值 510分布的示例性直方圖表示。下強(qiáng)度閾值"515和上強(qiáng)度閾值Z> 520由 重疊到直方圖上的豎直虛線標(biāo)示。在實(shí)施例中,可以將對(duì)比度拉伸應(yīng)用到 一定分布內(nèi)的大于下強(qiáng)度闊 值a并且小于上強(qiáng)度值6的像素強(qiáng)度值集合(圖5A中繪出的直方圖上 的加括號(hào)的強(qiáng)度值區(qū)域525 )。對(duì)比度拉伸通過(guò)使用閾值函數(shù)/z來(lái)計(jì)算 所述強(qiáng)度值集合中的每個(gè)強(qiáng)度值/的新強(qiáng)度值/z(/)而增強(qiáng)了該強(qiáng)度值集 合內(nèi)的差值。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)認(rèn)識(shí)到,存在各種閾值函數(shù)并且閾值 函數(shù)的選擇對(duì)于本發(fā)明不是關(guān)鍵的。圖5B繪出了依照本發(fā)明各個(gè)實(shí)施例的示例性閾值函數(shù)的圖形表 示,其包括噪聲裁切和對(duì)比度拉伸。將該示例性函數(shù)/2應(yīng)用到圖5A中 繪出的像素強(qiáng)度值的示例性分布,并且可以將該函數(shù)實(shí)現(xiàn)為方法300的 實(shí)施例的步驟305。 / (/) 530的值對(duì)于具有小于下強(qiáng)度閾值"515的強(qiáng)度 值/的像素為0,并且/z(/) 530的值對(duì)于具有大于上強(qiáng)度閾值6 520的強(qiáng) 度值/的像素為255。在該實(shí)例中,/z(/) 530對(duì)于所述分布內(nèi)大于下強(qiáng)度 閾值"515并且小于上強(qiáng)度值6 520的/的值(加括號(hào)的強(qiáng)度值/區(qū)域525 ) 為線性函數(shù)。b)產(chǎn)生以及更新誤差圖在實(shí)施例中,通過(guò)基于比較增強(qiáng)的重建圖像/z(/)與參考位圖中的 相應(yīng)像素的強(qiáng)度值的函數(shù)計(jì)算每個(gè)誤差圖像素的強(qiáng)度值來(lái)產(chǎn)生具 有與重建的點(diǎn)圖案圖像相同的配置的誤差圖310。例如,在實(shí)施例中,可以使用以下函數(shù)計(jì)算/^:/OT HW-U〉T式中,r為增強(qiáng)誤差圖中的對(duì)比度的閾值。圖6繪出了依照本發(fā)明各個(gè)實(shí)施例的用于修剪誤差圖上的誤差的方 法600,該方法與結(jié)構(gòu)無(wú)關(guān)??梢詫⒎椒?00實(shí)現(xiàn)為方法300的實(shí)施例 中的步驟315以及在誤差圖發(fā)生器255的實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)該方法600。在實(shí)施例中,可以通過(guò)修剪不滿足特定準(zhǔn)則的偏差來(lái)更新產(chǎn)生的誤 差圖以便僅表示顯著的偏差。顯著的偏差可以通過(guò)用戶輸入?yún)?shù)來(lái)確 定,所述用戶輸入?yún)?shù)限定了最小可接受誤差寬度和高度605。這些參數(shù)可以以像素?cái)?shù)表示??梢詫⒄`差圖分割成層,并且可以對(duì)誤差圖的前景(foreground) 像素進(jìn)行連通分量分析("CCA" )610。 CCA的一個(gè)實(shí)例是掃描圖像 內(nèi)的每行像素,確定行內(nèi)每個(gè)像素的分量標(biāo)簽(label)。為了確定像素的 分量標(biāo)簽,應(yīng)用"8連通性,,(8-connectivity)原理,使得^象素的標(biāo)簽 基于包圍該像素的3 x 3鄰域內(nèi)的8個(gè)像素的標(biāo)簽。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng) 當(dāng)認(rèn)識(shí)到,這是一個(gè)實(shí)例并且可以對(duì)圖像使用各種CCA方法??梢詫?連通分量定義為包圍前景像素的連通集合的有界區(qū)域。最小可接受誤差寬度和高度可以用來(lái)修剪在誤差圖內(nèi)已經(jīng)被標(biāo)識(shí) 的連通分量段集合。可以掃描連通分量行,并且可以移除具有寬度小于 最小可接受誤差寬度的連通分量段的任何行615??梢話呙柽B通分量列, 并且可以移除具有高度小于最小可接受誤差高度的連通分量段的任何 列620。2.產(chǎn)生失真圖在實(shí)施例中,失真圖是經(jīng)過(guò)顏色編碼以便突出標(biāo)識(shí)的偏差的位置和 類(lèi)型的誤差圖。圖1中示出了示例性失真圖160。圖7繪出了用于基于重建的點(diǎn)圖案圖像、模擬參考位圖以及代表重 建的點(diǎn)圖案圖像與參考位圖之間的差異的誤差圖的比較而產(chǎn)生失真圖 的方法700,該方法與結(jié)構(gòu)無(wú)關(guān)??梢詫⒎椒?00實(shí)現(xiàn)為方法300的實(shí) 施例中的步驟320,以及在失真圖生成器260的實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)該方法 700。在實(shí)施例中,產(chǎn)生具有與誤差圖相同的高度和寬度的初始化失真 圖。將所有像素的強(qiáng)度值/^,。^設(shè)為0 (黑色)705。然后,基于對(duì)重 建的點(diǎn)圖案圖像、模擬參考位圖以及誤差圖上的相應(yīng)像素進(jìn)行比較710 的結(jié)果而重新分配每個(gè)像素的強(qiáng)度值4w。 。如果在重建的點(diǎn)圖案圖像上存在具有0強(qiáng)度值/的相應(yīng)像素并且在 誤差圖上不存在相應(yīng)的像素715,則失真圖上的像素的強(qiáng)度值/化,^.。
保持設(shè)置為0 720。如果誤差圖上存在相應(yīng)的像素715,那么對(duì)失真圖上的像素的強(qiáng)度 值/化,。,,,。 分配顏色強(qiáng)度值。如果該像素處于圖像的前景中,那么誤差 圖表示的偏差涉及PCB部件,并且因而可能代表缺陷725。如果僅在重15建的圖像的前景中存在相應(yīng)的像素730,那么將/^雄。"設(shè)為紅色735。 如果僅在參考位圖的前景中存在相應(yīng)的像素730,那么將/化,。w/。w設(shè)為藍(lán) 色740。如果所述像素處于圖像的背景中,那么由誤差圖表示的偏差不涉及 PCB部件并且因而可能不代表缺陷725。如果僅在參考位圖的背景中存 在相應(yīng)的像素745,那么將",,旨,,。 設(shè)為白色750。如果僅在重建的圖像 的背景中存在相應(yīng)的像素745,那么將U,歸。"設(shè)為綠色755。C.計(jì)算系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)應(yīng)當(dāng)指出的是,本發(fā)明可以以能夠處理數(shù)據(jù)的任何指令-執(zhí)行/計(jì)算 設(shè)備或系統(tǒng)實(shí)現(xiàn),所述設(shè)備或系統(tǒng)包括但不限于通用計(jì)算機(jī)和專(zhuān)用計(jì)算 機(jī),例如預(yù)期用于數(shù)據(jù)處理的計(jì)算機(jī)。也可以將本發(fā)明實(shí)現(xiàn)為其他的計(jì) 算設(shè)備和系統(tǒng),包括但不限于數(shù)碼相機(jī)、打印機(jī)、掃描儀、多功能打印 機(jī)/掃描儀、傳真機(jī)、多媒體設(shè)備以及處理、捕獲、傳輸或存儲(chǔ)數(shù)據(jù)的任 何其他設(shè)備。此外,在這些設(shè)備的任何設(shè)備內(nèi),可以以各種各樣的方式 實(shí)施本發(fā)明的各方面,所述方式包括軟件、硬件、固件或者它們的組合。面的功口能:、所述部件:括分立;^部件: 一個(gè)或多^個(gè)專(zhuān)用集;電路(ASIC)和/或程控處理器。應(yīng)當(dāng)指出的是,實(shí)現(xiàn)這些項(xiàng)目的方式對(duì)于 本發(fā)明不是關(guān)鍵的。圖8繪出了可以實(shí)現(xiàn)或?qū)嵤┍景l(fā)明的實(shí)施例的指令-執(zhí)行/計(jì)算設(shè)備 800的實(shí)施例的功能框圖。如圖8所示,處理器802執(zhí)行軟件指令并且 與其他的系統(tǒng)部件交互。在實(shí)施例中,處理器802可以是通用處理器, 例如AMD處理器、INTEL處理器、SUN MICROSYSTEMS SPARC或 POWERPC兼容CPU,或者該處理器可以是(一個(gè)或多個(gè))專(zhuān)用處理器。 耦合到處理器802的儲(chǔ)存設(shè)備(storage device)804提供對(duì)于數(shù)據(jù)和軟件程 序的長(zhǎng)期存儲(chǔ)。儲(chǔ)存設(shè)備804可以是硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器和/或能夠存儲(chǔ)數(shù)據(jù)的另 一設(shè)備,例如計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)(例如磁盤(pán)、磁帶、光盤(pán)、DVD等等)驅(qū) 動(dòng)器或固態(tài)存儲(chǔ)器裝置。儲(chǔ)存設(shè)備804可以保存程序、指令和/或數(shù)據(jù)以 供處理器802使用。在實(shí)施例中,可以將存儲(chǔ)到儲(chǔ)存設(shè)備804或者從儲(chǔ) 存設(shè)備804加載的程序或指令加載到存儲(chǔ)器806中并且由處理器802執(zhí) 行。在實(shí)施例中,儲(chǔ)存設(shè)備804保存用于在處理器802上實(shí)施操作系統(tǒng)的程序或指令。在一個(gè)實(shí)施例中,可能的操作系統(tǒng)包括但不限于UNIX、AIX、 LINUX、 Microsoft Windows以及Apple MAC OS。在實(shí)施例中, 操作系統(tǒng)在計(jì)算系統(tǒng)800上執(zhí)行并且控制計(jì)算系統(tǒng)800的操作。耦合到處理器802的可尋址存儲(chǔ)器806可以用來(lái)存儲(chǔ)數(shù)據(jù)以及由處 理器802執(zhí)行的軟件指令。存儲(chǔ)器806可以是例如固件、只讀存儲(chǔ)器 (ROM)、閃存、非易失性隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(NVRAM)、隨才幾存取存 儲(chǔ)器(RAM)或者其任意組合。在一個(gè)實(shí)施例中,存儲(chǔ)器806存儲(chǔ)多個(gè) 軟件對(duì)象,也稱(chēng)為服務(wù)、應(yīng)用程序、組件或者模塊。本領(lǐng)域技術(shù)人員也 應(yīng)當(dāng)認(rèn)識(shí)到,儲(chǔ)存器804和存儲(chǔ)器806可以是相同的項(xiàng)目并且在其能力 范圍內(nèi)起作用。在實(shí)施例中,圖2A和圖2B的部件中的一個(gè)或多個(gè)可以 是存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器804、 806中并且由處理器802執(zhí)行的模塊。在實(shí)施例中,計(jì)算系統(tǒng)800提供了與其他設(shè)備、其他網(wǎng)絡(luò)或二者通 信的能力。計(jì)算系統(tǒng)800可以包括將計(jì)算系統(tǒng)800通信耦合到其他網(wǎng)絡(luò) 和設(shè)備的一個(gè)或多個(gè)網(wǎng)絡(luò)接口或者適配器812、 814。例如,計(jì)算系統(tǒng) 800可以包括網(wǎng)絡(luò)^接口 812、通信端口 814或者二者,其中每一個(gè)都通 信耦合到處理器802,并且其可以用來(lái)將計(jì)算系統(tǒng)800耦合到其他的計(jì) 算機(jī)系統(tǒng)、網(wǎng)絡(luò)和設(shè)備。在賣(mài)施例中,計(jì)算系統(tǒng)800可以包括方便顯示圖形和文本的耦合到 處理器802的一個(gè)或多個(gè)輸出設(shè)備808。輸出設(shè)備808可以包括但不限 于顯示器、LCD屏、CRT監(jiān)視器、打印機(jī)、觸摸屏或者用于顯示信息的 其他設(shè)備。計(jì)算系統(tǒng)800還可以包括幫助在輸出設(shè)備808上顯示信息或 圖像的圖形適配器(未示出)。耦合到處理器802的一個(gè)或多個(gè)輸入設(shè)備810可以用來(lái)方便用戶輸 入。輸入設(shè)備810可以包括但不限于指向設(shè)備(pointing device),例如 鼠標(biāo)、跟蹤球或者觸摸墊,并且也可以包括將數(shù)據(jù)或指令輸入到計(jì)算系 統(tǒng)800中的4建盤(pán)或鍵區(qū)(keypad)。在實(shí)施例中,計(jì)算系統(tǒng)800可以通過(guò)通信端口 814、網(wǎng)絡(luò)接口 812、 存儲(chǔ)器804/806中存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)接收輸入,或者通過(guò)輸入設(shè)備810從掃描 儀、復(fù)印機(jī)、傳真機(jī)或其他計(jì)算設(shè)備接收輸入。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)認(rèn)識(shí)到,計(jì)算系統(tǒng)對(duì)于實(shí)施本發(fā)明不是關(guān)鍵 的。本領(lǐng)域技術(shù)人員還應(yīng)當(dāng)認(rèn)識(shí)到,可以從物理上和/或功能上將上述多 個(gè)元件分離成子模塊或者將其組合在一起。應(yīng)當(dāng)指出的是,本發(fā)明的實(shí)施例還可以涉及具有計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)的 計(jì)算機(jī)產(chǎn)品,所述計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)在其上具有用于執(zhí)行各種計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn) 的操作的計(jì)算機(jī)代碼。所述介質(zhì)和計(jì)算機(jī)代碼可以是為本發(fā)明的目的而 專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)和構(gòu)建的,或者它們可以是相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)人員所熟悉或可獲得的。計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)的實(shí)例包括但不限于磁性介質(zhì),例如硬盤(pán)、軟 盤(pán)和磁帶;光學(xué)介質(zhì),例如CD-ROM和全息設(shè)備;磁光介質(zhì);以及專(zhuān) 門(mén)被配置成存儲(chǔ)或者存儲(chǔ)并執(zhí)行程序代碼的硬件設(shè)備,例如專(zhuān)用集成電 路(ASIC)、可編程邏輯器件(PLD)、閃存設(shè)備以及ROM和RAM 設(shè)備。計(jì)算機(jī)代碼的實(shí)例包括例如編譯器產(chǎn)生的機(jī)器碼,以及包含由使 用解釋器的計(jì)算機(jī)執(zhí)行的更高級(jí)代碼的文件。盡管本發(fā)明容易有各種修改和可替換的形式,在附圖中示出并且在 本文詳細(xì)地描述了其特定的實(shí)例。然而,應(yīng)當(dāng)理解的是,本發(fā)明并不限 于所公開(kāi)的特定形式,而是相反地,本發(fā)明意在涵蓋落入所附權(quán)利要求 書(shū)的范圍內(nèi)的所有修改、等效物和可替換方案。
權(quán)利要求
1.一種用于標(biāo)識(shí)包含像素的圖像中的偏差的方法,該方法包括通過(guò)應(yīng)用函數(shù)以便增大該圖像內(nèi)的多個(gè)像素的強(qiáng)度值之差來(lái)調(diào)節(jié)所述圖像;基于所述圖像內(nèi)的第一像素集合與所述圖像的參考位圖內(nèi)的第二像素集合的比較產(chǎn)生誤差圖;至少部分地基于用戶輸入?yún)?shù)從所述誤差圖中移除第三像素集合;以及產(chǎn)生標(biāo)識(shí)所述圖像內(nèi)的偏差的失真圖,該失真圖是至少部分地基于所述誤差圖、所述圖像以及該圖像的參考位圖而產(chǎn)生的。
2. 權(quán)利要求l的方法,其中調(diào)節(jié)圖像的步驟包括 計(jì)算所述圖像內(nèi)的像素的強(qiáng)度值分布; 定義下強(qiáng)度閾值和上強(qiáng)度閾值;響應(yīng)于該分布內(nèi)的像素具有小于下強(qiáng)度閾值的強(qiáng)度值,將第一強(qiáng)度 值分配給該像素;響應(yīng)于該分布內(nèi)的像素具有大于上強(qiáng)度閾值的強(qiáng)度值,將第二強(qiáng)度 值分配給該像素;以及響應(yīng)于該分布內(nèi)的像素具有大于所述下強(qiáng)度閾值并且小于所述上 強(qiáng)度值的強(qiáng)度值,分配計(jì)算的強(qiáng)度值給該像素,該計(jì)算的強(qiáng)度值是通過(guò) 將閾值函數(shù)應(yīng)用到所述強(qiáng)度值而產(chǎn)生的。
3. 權(quán)利要求l的方法,其中產(chǎn)生誤差圖的步驟包括標(biāo)識(shí)圖像內(nèi)的第 一像素以及參考位圖內(nèi)的第二像素,其中所述第一 像素和第二像素具有相應(yīng)的位置;計(jì)算所述第一像素的第一強(qiáng)度值與所述第二像素的第二強(qiáng)度值之 間的絕對(duì)差值;標(biāo)識(shí)誤差圖內(nèi)的第三像素,其中所述第三像素和第 一像素具有相應(yīng) 的位置;以及將所述絕對(duì)差值分配給所述第三像素的第三強(qiáng)度值。
4. 權(quán)利要求3的方法,其中響應(yīng)于絕對(duì)差值大于閾值將所述絕對(duì)差 值分配給第三強(qiáng)度值。
5. 權(quán)利要求l的方法,其中從誤差圖中移除像素的步驟包括 接收最小可接受誤差寬度參數(shù)和最小可接受誤差高度參數(shù);通過(guò)將連通分量分析應(yīng)用到誤差圖內(nèi)的像素來(lái)產(chǎn)生誤差圖內(nèi)的連通分量集合,其中連通分量包括至少兩個(gè)相鄰的像素;以及基于至少一個(gè)連通分量的高度和寬度與最小可接受誤差寬度參數(shù) 和最小可接受誤差高度參數(shù)的比較,從所述連通分量集合中移除所述至 少一個(gè)連通分量。
6. 權(quán)利要求5的方法,其中從所述連通分量集合中移除所述至少一 個(gè)連通分量的步驟包括標(biāo)識(shí)所述連通分量集合內(nèi)的連通分量行;響應(yīng)于該連通分量行包含具有小于最小可接受誤差寬度的寬度的 連通分量,移除該連通分量行;標(biāo)識(shí)所述連通分量集合內(nèi)的連通分量列;以及響應(yīng)于該連通分量列包含具有小于最小可接受誤差高度的高度的 連通分量,移除該連通分量列。
7. 權(quán)利要求的方法,其中產(chǎn)生失真圖的步驟包括產(chǎn)生包含像素的初始化失真圖,該初始化失真圖具有與誤差圖的高 度和寬度相應(yīng)的高度和寬度;將第 一顏色強(qiáng)度值分配給在初始化失真圖內(nèi)具有笫 一位置的第一 像素,第 一顏色強(qiáng)度值至少部分地基于在誤差圖中的第 一相應(yīng)像素處的 標(biāo)識(shí)的偏差;以及將第二顏色強(qiáng)度值分配給在初始化失真圖內(nèi)具有第二位置的第二像素,第二顏色強(qiáng)度值至少部分地基于在誤差圖中的第二相應(yīng)像素處不 存在偏差。
8. 權(quán)利要求7的方法,其中第一顏色強(qiáng)度值選自多個(gè)顏色強(qiáng)度值并 且與在誤差圖中第一相應(yīng)像素處標(biāo)識(shí)的特定類(lèi)型的偏差有關(guān)。
9. 權(quán)利要求7的方法,其中第一顏色強(qiáng)度值選自多個(gè)強(qiáng)度值并且將 所述偏差標(biāo)識(shí)成位于圖像的前景部分中。
10. —種計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì),具有用于執(zhí)行權(quán)利要求l的方法的指令。
11. 一種用于產(chǎn)生標(biāo)識(shí)包含像素的圖像內(nèi)的偏差的失真圖的方法, 該方法包括通過(guò)將所述圖像內(nèi)的第 一像素集合的第 一強(qiáng)度值集合與參考位圖 內(nèi)的第二像素集合的第二強(qiáng)度值集合進(jìn)行比較來(lái)產(chǎn)生誤差圖;產(chǎn)生包括像素的初始化失真圖,該初始化失真圖具有與誤差圖的高度和寬度相應(yīng)的高度和寬度;以及將多個(gè)顏色強(qiáng)度值分配給初始化失真圖內(nèi)的多個(gè)像素,所述多個(gè)像 素內(nèi)的像素子集中的每個(gè)像素的顏色強(qiáng)度值至少部分地基于誤差圖中 的相應(yīng)像素的標(biāo)識(shí)的偏差。
12. 權(quán)利要求ll的方法,其中產(chǎn)生誤差圖的步驟包括標(biāo)識(shí)圖像內(nèi)的第 一像素以及參考位圖內(nèi)的第二像素,其中所述第一 像素和第二像素具有相應(yīng)的位置;計(jì)算所述第一像素的第一強(qiáng)度值與所述第二像素的第二強(qiáng)度值之 間的絕對(duì)差值;標(biāo)識(shí)誤差圖內(nèi)的第三像素,其中所述第三像素和第 一像素具有相應(yīng) 的4立置;以及將所述絕對(duì)差值分配給所述第三像素的第三強(qiáng)度值。
13. 權(quán)利要求12的方法,其中響應(yīng)于該絕對(duì)差值大于閾值將所述絕 對(duì)差值分配給第三強(qiáng)度值。
14. 權(quán)利要求ll的方法,其中將顏色強(qiáng)度值分配給初始化失真圖內(nèi) 的像素的步驟包括將第一顏色強(qiáng)度值分配給在初始化失真圖內(nèi)具有第一位置的第一 像素,第一顏色強(qiáng)度值至少部分地基于在誤差圖中的第一相應(yīng)像素處標(biāo) -i只的偏差;以及將第二顏色強(qiáng)度值分配給在初始化失真圖內(nèi)具有第二位置的笫二 像素,第二顏色強(qiáng)度值至少部分地基于在誤差圖中的第二相應(yīng)像素處不 存在偏差。
15. 權(quán)利要求14的方法,其中第一顏色強(qiáng)度值選自多個(gè)顏色強(qiáng)度值 并且與在誤差圖中第一相應(yīng)^f象素處標(biāo)識(shí)的特定類(lèi)型的偏差有關(guān)。
16. —種計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì),具有用于執(zhí)行權(quán)利要求ll的方法的指令。
17. —種用于產(chǎn)生標(biāo)識(shí)圖像內(nèi)的偏差的失真圖的系統(tǒng),該系統(tǒng)包括 誤差圖發(fā)生器,其耦合來(lái)接收所述圖像和參考位圖,該誤差圖發(fā)生器基于所述圖像內(nèi)的第 一像素集合的第 一強(qiáng)度值集合與所述參考位圖 內(nèi)的第二像素集合的第二強(qiáng)度值集合的比較產(chǎn)生誤差圖;以及失真圖生成器,其耦合來(lái)接收所述誤差圖、所述參考位圖以及所述 圖像,該失真圖生成器將多個(gè)顏色強(qiáng)度值分配給初始化失真圖內(nèi)的多個(gè) 像素,所述多個(gè)像素內(nèi)的像素子集中的每個(gè)像素的顏色強(qiáng)度值至少部分地基于所述誤差圖中的相應(yīng)像素的標(biāo)識(shí)的偏差。
18. 權(quán)利要求17的系統(tǒng),其中產(chǎn)生誤差圖還包括部分地基于由誤差 圖發(fā)生器接收的用戶輸入?yún)?shù)而從產(chǎn)生的誤差圖中移除像素。
19. 權(quán)利要求17的系統(tǒng),其中將所述多個(gè)顏色強(qiáng)度值分配給初始化失 真圖內(nèi)的所述多個(gè)像素是由包括以下步驟的方法來(lái)實(shí)現(xiàn)的將第一顏色強(qiáng)度值分配給在初始化失真圖內(nèi)具有第一位置的第一 像素,第 一顏色強(qiáng)度值至少部分地基于在誤差圖中的第 一相應(yīng)像素處的 才示識(shí)的偏差;以及將第二顏色強(qiáng)度值分配給在初始化失真圖內(nèi)具有第二位置的第二 像素,第二顏色強(qiáng)度值至少部分地基于在誤差圖中的第二相應(yīng)像素處不 存在偏差。
20. 權(quán)利要求19的系統(tǒng),其中第一顏色強(qiáng)度值選自多個(gè)顏色強(qiáng)度值 并且與在誤差圖中第一相應(yīng)像素處標(biāo)識(shí)的特定類(lèi)型的偏差有關(guān)。
全文摘要
本發(fā)明的涉及印刷點(diǎn)圖案位圖的缺陷檢測(cè)。本發(fā)明的特定應(yīng)用是其用于檢查印刷電路板(“PCB”)基底的系統(tǒng)的各種不同的實(shí)施例中。在實(shí)施例中,產(chǎn)生的失真圖基于重建的點(diǎn)圖案圖像、模擬的參考位圖以及代表重建的點(diǎn)圖案圖像與該參考位圖之間的差異的誤差圖的比較。在實(shí)施例中,失真圖的像素經(jīng)過(guò)顏色編碼,以便標(biāo)識(shí)作為所述比較的結(jié)果而發(fā)現(xiàn)的偏差的位置和類(lèi)型。
文檔編號(hào)H05K1/00GK101636035SQ200910160488
公開(kāi)日2010年1月27日 申請(qǐng)日期2009年7月23日 優(yōu)先權(quán)日2008年7月23日
發(fā)明者A·贊迪法, 陳嘉翰 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社