專(zhuān)利名稱(chēng)：用于硅片堿腐蝕加工的新型夾具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于硅片堿腐蝕加工的新型夾具。
背景技術(shù)：
硅片在研磨后的腐蝕工藝主要有酸腐蝕和堿腐蝕兩種。較酸腐蝕而言，堿腐蝕主要優(yōu)點(diǎn)為加工成本低，環(huán)境污染小特點(diǎn)。對(duì)于小尺寸產(chǎn)品(3 5寸)，多半采用堿腐蝕工藝。堿腐蝕工藝中比較難控制的是硅片在腐蝕過(guò)程中的漂浮狀態(tài)以及腐蝕后硅片表面堿液沖洗。為了控制硅片在堿腐蝕過(guò)程的漂浮高度和便于清洗，需要把硅片放在合適的夾具中。堿腐蝕中常用的一種夾具是片架和花籃的組合。如圖1所示為花籃結(jié)構(gòu)示意圖。 其結(jié)構(gòu)包括支撐框1和提架2。支撐框1設(shè)置有第一通孔11、第二通孔12、第三通孔13和第四通孔14。提架2包括第一連桿21和第二連桿22。第一連桿21和第二連桿22均為一端與支撐框1連接，另一端通過(guò)橫桿23連接。橫桿23兩端分別設(shè)置有第一螺母M和第二螺母25。如圖2所示為一種片架3結(jié)構(gòu)示意圖。使用時(shí)，硅片放置于片架3內(nèi)。四個(gè)片架 3分別放置于第一通孔11、第二通孔12、第三通孔13和第四通孔14。再將夾具放入堿液內(nèi)對(duì)硅片進(jìn)行堿腐蝕處理。這種夾具存在的最大問(wèn)題是不能控制硅片的漂浮狀態(tài)，導(dǎo)致硅片表面部分過(guò)度腐蝕或腐蝕不足，這個(gè)問(wèn)題嚴(yán)重影響了堿腐蝕成品率。使用這種提籃進(jìn)行堿腐蝕時(shí)，良率約為99. 2%。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種用于硅片堿腐蝕加工，可控制硅片在堿腐蝕過(guò)程的漂浮高度的用于硅片堿腐蝕加工的新型夾具。為實(shí)現(xiàn)以上目的，本發(fā)明通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)用于硅片堿腐蝕加工的新型夾具，包括支撐框，支撐框設(shè)置有放置片架的通孔；支撐框上安裝有提架，其特征在于，所述提架包括至少兩根與支撐框垂直的連桿，兩根連桿端部通過(guò)橫桿連接；還包括壓條，所述壓條可靠近支撐框或遠(yuǎn)離支撐框運(yùn)動(dòng)地安裝在提架上。優(yōu)選地是，所述壓條橫跨通孔。優(yōu)選地是，還包括壓框，所述壓條安裝于壓框上；所述壓框可靠近支撐框或遠(yuǎn)離支撐框運(yùn)動(dòng)地安裝在提架上。優(yōu)選地是，所述壓框形狀與支撐框形狀相適應(yīng)；所述壓框與連桿可拆卸連接。優(yōu)選地是，所述提架包括兩根連桿和一根橫桿；兩根連桿分別有一端與支撐框連接，另一端通過(guò)橫桿連接；所述壓框可沿連桿移動(dòng)卡設(shè)于兩根連桿上。優(yōu)選地是，所述支撐框設(shè)置有與連桿相配合的兩個(gè)開(kāi)口 ；兩根連桿分別與兩個(gè)開(kāi)口相配合。優(yōu)選地是，所述壓框上設(shè)置有限位塊，限位塊位于壓框與支撐框之間。優(yōu)選地是，所述限位塊可拆卸地安裝在壓框上。
優(yōu)選地是，還包括用于放置硅片的片架，所述片架設(shè)置在通孔內(nèi)。本發(fā)明中的用于硅片堿腐蝕加工的新型夾具，可方便地調(diào)整壓框的位置，既方便限制硅片的漂浮高度，又方便將片架裝配在支撐框上。調(diào)整壓框的位置時(shí)，只需沿著連桿推動(dòng)壓框即可，調(diào)整方便。壓框上安裝有限位塊，限制壓框的移動(dòng)距離，可防止用力過(guò)大時(shí)壓壞硅片。限位塊可拆卸安裝在壓框上，方便更換。利用壓條限制硅片的漂浮，壓條采用圓柱形時(shí)可避免阻擋沖洗液，不會(huì)妨礙沖洗硅片。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便，制造成本低。使用本發(fā)明中的夾具，硅片堿腐蝕良率可達(dá)到99. 8%以上。


圖1為一種提籃結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為一種片架結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本發(fā)明中的用于硅片堿腐蝕加工的新型夾具結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為本發(fā)明中的壓框結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)的描述如圖3、圖4所示，用于硅片堿腐蝕加工的新型夾具，其結(jié)構(gòu)包括支撐框1和提架 2。支撐框1為長(zhǎng)方形形狀。支撐框1設(shè)置有第一通孔11、第二通孔12、第三通孔13和第四通孔14。提架2包括第一連桿21和第二連桿22。第一連桿21和第二連桿22均為一端與支撐框1連接，另一端通過(guò)橫桿23連接。橫桿23兩端分別設(shè)置有第一螺母M和第二螺母25。還包括壓框4。壓框4為長(zhǎng)方形形狀，與支撐框1的形狀相適應(yīng)。壓框4上安裝有第一壓條41和第二壓條42。第一壓條41橫跨在第一通孔11和第二通孔12上方。第二壓條42橫跨在第三通孔13和第四通孔14上方。第一壓條41和第二壓條42均用于阻擋放置于第一通孔11、第二通孔12、第三通孔13或第四通孔14內(nèi)的片架3內(nèi)的硅片，防止其漂浮過(guò)大。壓框4設(shè)置有第一開(kāi)口 43和第二開(kāi)口 44。第一開(kāi)口 43與第一連桿21相配合；第二開(kāi)口 44與第二連桿22相配合，將壓框4卡設(shè)于第一連桿21和第二連桿22上，并且壓框4可沿第一連桿21和第二連桿22上下移動(dòng)。壓框4向上移動(dòng)時(shí)，遠(yuǎn)離支撐框1 ；壓框4向下移動(dòng)時(shí)，靠近支撐框1。壓框4上通過(guò)四個(gè)螺釘49可拆卸地安裝第一限位塊45、第二限位塊46、第三限位塊47和第四限位塊48。第一限位塊45、第二限位塊46、第三限位塊47和第四限位塊48位于壓框4與支撐框1之間。在壓框4向下移動(dòng)時(shí)，第一限位塊45、第二限位塊46、第三限位塊47和第四限位塊48可限制壓框4與支撐框1之間的距離，防止其距離過(guò)近壓壞硅片。第一限位塊45、第二限位塊46、第三限位塊47和第四限位塊48可拆卸地安裝在壓框4上，方便更換。使用本發(fā)明中的夾具，硅片堿腐蝕良率可達(dá)到99. 8%以上。本發(fā)明中的實(shí)施例僅用于對(duì)本發(fā)明進(jìn)行說(shuō)明，并不構(gòu)成對(duì)權(quán)利要求范圍的限制， 本領(lǐng)域內(nèi)技術(shù)人員可以想到的其他實(shí)質(zhì)上等同的替代，均在本發(fā)明保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.用于硅片堿腐蝕加工的新型夾具，包括支撐框，支撐框設(shè)置有放置片架的通孔 ’支撐框上安裝有提架，其特征在于，所述提架包括至少兩根與支撐框垂直的連桿，兩根連桿端部通過(guò)橫桿連接；還包括壓條，所述壓條可靠近支撐框或遠(yuǎn)離支撐框運(yùn)動(dòng)地安裝在提架上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于硅片堿腐蝕加工的新型夾具，其特征在于，所述壓條橫跨通孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于硅片堿腐蝕加工的新型夾具，其特征在于，還包括壓框， 所述壓條安裝于壓框上；所述壓框可靠近支撐框或遠(yuǎn)離支撐框運(yùn)動(dòng)地安裝在提架上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于硅片堿腐蝕加工的新型夾具，其特征在于，所述壓框形狀與支撐框形狀相適應(yīng)；所述壓框與連桿可拆卸連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于硅片堿腐蝕加工的新型夾具，其特征在于，所述提架包括兩根連桿和一根橫桿；兩根連桿分別有一端與支撐框連接，另一端通過(guò)橫桿連接；所述壓框可沿連桿移動(dòng)卡設(shè)于兩根連桿上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于硅片堿腐蝕加工的新型夾具，其特征在于，所述支撐框設(shè)置有與連桿相配合的兩個(gè)開(kāi)口 ；兩根連桿分別與兩個(gè)開(kāi)口相配合。
7.根據(jù)權(quán)利要求3或5所述的用于硅片堿腐蝕加工的新型夾具，其特征在于，所述壓框上設(shè)置有限位塊，限位塊位于壓框與支撐框之間。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于硅片堿腐蝕加工的新型夾具，其特征在于，所述限位塊可拆卸地安裝在壓框上。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于硅片堿腐蝕加工的新型夾具，其特征在于，還包括用于放置硅片的片架，所述片架設(shè)置在通孔內(nèi)。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種用于硅片堿腐蝕加工的新型夾具，包括支撐框，支撐框設(shè)置有放置片架的通孔；支撐框上安裝有提架，其特征在于，所述提架包括至少兩根與支撐框垂直的連桿，兩根連桿端部通過(guò)橫桿連接；還包括壓條，所述壓條可靠近支撐框或遠(yuǎn)離支撐框運(yùn)動(dòng)地安裝在提架上。本發(fā)明中的用于硅片堿腐蝕加工的新型夾具，可方便地調(diào)整壓框的位置，既方便限制硅片的漂浮高度，又方便將片架裝配在支撐框上。調(diào)整壓框的位置時(shí)，只需沿著連桿推動(dòng)壓框即可，調(diào)整方便。壓框上安裝有限位塊，限制壓框的移動(dòng)距離，可防止用力過(guò)大時(shí)壓壞硅片。使用本發(fā)明中的夾具，硅片堿腐蝕良率可達(dá)到99.8％以上。
文檔編號(hào)C30B33/10GK102345171SQ201110231799
公開(kāi)日2012年2月8日 申請(qǐng)日期2011年8月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月14日
發(fā)明者李強(qiáng), 黃春峰 申請(qǐng)人:上海合晶硅材料有限公司