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      焰熔法合成晶體爐膛組的制作方法

      文檔序號(hào):8057255閱讀:544來(lái)源:國(guó)知局
      專利名稱:焰熔法合成晶體爐膛組的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本實(shí)用新型涉及一種晶體合成的爐膛組,尤其是一種內(nèi)腔為紡錘型的焰熔法合成晶體爐膛組。
      背景技術(shù)
      目前,焰熔法合成晶體爐膛組,如

      圖1所示氧氣經(jīng)過(guò)噴咀21帶著主(輔)料進(jìn)入燃燒室2,與H2W2進(jìn)入燃燒室(10) ,H2與仏成一定比例在燃燒室2混合后,形成的帶有粉料的氫氧焰,同時(shí)把粉料帶入爐膛3,粉料從噴口到結(jié)晶區(qū)經(jīng)過(guò)IOOmm 150mm之間的高溫區(qū)而熔融,不斷地落在晶體41上,同時(shí),下降機(jī)構(gòu)5帶動(dòng)托柱4和不斷生長(zhǎng)的晶體41同步下降,在規(guī)定的時(shí)間內(nèi)長(zhǎng)成所需尺寸的晶體。由于傳統(tǒng)的通用爐膛3內(nèi)腔與火焰圖5的形狀不一致,火焰易在爐膛內(nèi)壁轉(zhuǎn)折處 32產(chǎn)生渦流,造成爐內(nèi)橫向溫度與縱向溫度梯度大,晶體直徑不易長(zhǎng)大,且所生產(chǎn)的晶體內(nèi)部缺陷較多。不易滿足合成直徑40mm以上圓形晶體,尤其是橢圓形或扁圓形晶體的要求。

      實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題,是提供一種溫場(chǎng)均勻、氫氧焰流動(dòng)自如、適合生產(chǎn)質(zhì)量好、大直徑晶體的焰熔法合成晶體爐膛組。為了解決上述技術(shù)問(wèn)題,本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是提供一種焰熔法合成晶體爐膛組,包括供料裝置、供氣系統(tǒng)、燃燒室、爐膛、托柱及下降機(jī)構(gòu),所述爐膛內(nèi)腔的結(jié)晶區(qū)為紡錘型曲線結(jié)構(gòu),爐膛內(nèi)腔的橫截面為橢圓形結(jié)構(gòu),結(jié)晶區(qū)內(nèi)腔的軸長(zhǎng)度大于爐膛上下端口的軸長(zhǎng)度,所述燃燒室上噴咀的噴口設(shè)計(jì)為與爐膛相適配的橢圓形結(jié)構(gòu)。其中,所述爐膛上端口內(nèi)腔的軸長(zhǎng)度為24mm 36mm,所述爐膛下端口內(nèi)腔的軸長(zhǎng)度為85mm 118mm,所述結(jié)晶區(qū)內(nèi)腔的短軸長(zhǎng)度為60mm 90mm、長(zhǎng)軸長(zhǎng)度為IOOmm 150mmo其中,所述噴咀的噴口短軸長(zhǎng)度為6. 5mm 8mm、長(zhǎng)軸長(zhǎng)度為8mm 12mm。其中,所述爐膛內(nèi)腔的橫截面為圓形結(jié)構(gòu),所述噴咀的噴口設(shè)計(jì)為與爐膛相適配的圓形結(jié)構(gòu)。其中,所述爐膛上端口內(nèi)腔的直徑為24mm 36mm,所述爐膛下端口內(nèi)腔的直徑為 85mm 118mm,所述結(jié)晶區(qū)內(nèi)腔的直徑為IOOmm 150mm。其中,所述噴咀的噴口直徑為6. 5mm 12mm。本實(shí)用新型的有益效果是,將爐膛內(nèi)腔設(shè)計(jì)為圓形或橢圓形紡錘型曲線結(jié)構(gòu),使得氫氧焰流動(dòng)自如順暢,爐膛內(nèi)腔不產(chǎn)生渦流。噴咀的噴口設(shè)計(jì)為與爐膛相適配,使得爐膛形狀與氫氧焰形狀相似,營(yíng)造出比常規(guī)熔焰法合成晶體爐膛更為均勻的溫場(chǎng),縱向溫度和橫向溫度梯度小,適合生產(chǎn)大直徑晶體,并且缺陷少、毛度好的圓形、橢圓形和扁圓形晶體。以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
      作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。圖1是普通焰熔法合成晶體爐膛組的整體結(jié)構(gòu)示意圖;圖2是本實(shí)用新型焰熔法合成晶體爐膛組的整體結(jié)構(gòu)示意圖;圖3是本實(shí)用新型焰熔法合成晶體爐膛組實(shí)施例中橢圓形噴咀的結(jié)構(gòu)示意圖;圖4是本實(shí)用新型焰熔法合成晶體爐膛組實(shí)施例中圓形噴咀的結(jié)構(gòu)示意圖;圖5是本實(shí)用新型焰熔法合成晶體爐膛組實(shí)施例中氫氧焰的示意圖。其中,1 供料裝置;11 導(dǎo)料管;12 供氣系統(tǒng);2 燃燒室;21 噴咀;22 噴口 ;23 高溫區(qū);24 冷焰;3 爐膛;31 保溫層;32 爐膛內(nèi)壁轉(zhuǎn)折處;4 托柱;41 晶體;5 下降機(jī)構(gòu)。
      具體實(shí)施方式
      為詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)內(nèi)容、構(gòu)造特征、所實(shí)現(xiàn)目的及效果,以下結(jié)合實(shí)施方式并配合附圖詳予說(shuō)明。實(shí)施例1請(qǐng)一并參閱圖2、圖3和圖5,本實(shí)用新型焰熔法合成晶體爐膛組實(shí)施例包括供料裝置1、供氣系統(tǒng)12、燃燒室2、爐膛3、托柱4及下降機(jī)構(gòu)5,隨著敲擊和拉動(dòng)篩網(wǎng)抖動(dòng)供料裝置1,使得供料裝置1里的粉料落下,該粉料為Y -Al2O3,由&通過(guò)導(dǎo)料管11把粉料送到噴咀21,和吐通過(guò)燃燒室2混合燃燒,形成帶粉料的氫氧焰,進(jìn)入爐膛3內(nèi),熔融的粉料一層層落在晶體41上,隨著晶體41不斷長(zhǎng)大,同時(shí),下降機(jī)構(gòu)5 —點(diǎn)一點(diǎn)同步下降,在規(guī)定的時(shí)間內(nèi),長(zhǎng)成所需要的晶體41。所述爐膛3外層為保溫層31,爐膛3內(nèi)腔為紡錘型曲線結(jié)構(gòu),爐膛3內(nèi)腔壁上不再有轉(zhuǎn)折結(jié)構(gòu),爐膛3內(nèi)腔的橫截面為橢圓形結(jié)構(gòu),根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)的需要設(shè)計(jì)內(nèi)腔的軸長(zhǎng)度, 結(jié)晶區(qū)內(nèi)腔的軸長(zhǎng)度大于爐膛3上、下端口的軸長(zhǎng)度,下端口的軸長(zhǎng)度大于上端口的軸長(zhǎng)度,且大于成長(zhǎng)的晶體41直徑,所述燃燒室2內(nèi)噴咀21的噴口 22設(shè)計(jì)為與爐膛3相適配的橢圓形結(jié)構(gòu)。通過(guò)上述結(jié)構(gòu),從燃燒室2噴出的氫氧焰如圖所示,外形呈現(xiàn)出類似紡錘型曲線結(jié)構(gòu),氫氧焰包括內(nèi)層的冷焰M和外層的高溫區(qū)23,設(shè)定相應(yīng)的高度,使晶體41生長(zhǎng)區(qū)位于最高溫度區(qū)的附近,氫氧焰帶著粉料,順暢地進(jìn)入紡錘型曲線結(jié)構(gòu)的爐膛3內(nèi),使二者形狀相吻合,氫氧焰流動(dòng)自如順暢,爐膛3內(nèi)腔不產(chǎn)生渦流。燃燒室2內(nèi)噴咀21的噴口 22設(shè)計(jì)為與爐膛3相適配,使得爐膛3形狀與氫氧焰形狀相似,營(yíng)造出比常規(guī)熔焰法合成晶體爐膛更為均勻的溫場(chǎng),縱向溫度和橫向溫度梯度小,適合生產(chǎn)大直徑晶體41,并且缺陷少、毛度好的圓形、橢圓形和扁圓形晶體41。在本實(shí)施例中,所述爐膛上端口內(nèi)腔的軸長(zhǎng)度為24mm 36mm,所述爐膛下端口內(nèi)腔的軸長(zhǎng)度為85mm 118mm,所述結(jié)晶區(qū)內(nèi)腔的短軸長(zhǎng)度為60mm 90mm、長(zhǎng)軸長(zhǎng)度為 IOOmm 150mm。所述噴咀21的噴口 22設(shè)計(jì)為與爐膛3相適配的橢圓形結(jié)構(gòu),所述噴咀的噴口短軸長(zhǎng)度為6. 5mm 8mm、長(zhǎng)軸長(zhǎng)度為8mm 12mm。表一橢圓形爐膛、噴咀結(jié)構(gòu)一覽表[0030]
      權(quán)利要求1.一種焰熔法合成晶體爐膛組,包括供料裝置、供氣系統(tǒng)、燃燒室、爐膛、托柱及下降機(jī)構(gòu),其特征在于,所述爐膛內(nèi)腔的結(jié)晶區(qū)為紡錘型曲線結(jié)構(gòu),爐膛內(nèi)腔的橫截面為橢圓形結(jié)構(gòu),結(jié)晶區(qū)內(nèi)腔的軸長(zhǎng)度大于爐膛上下端口的軸長(zhǎng)度,位于燃燒室內(nèi)的噴咀噴口設(shè)計(jì)為與爐膛相適配的橢圓形結(jié)構(gòu)。
      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的焰熔法合成晶體爐膛組,其特征在于,所述爐膛上端口內(nèi)腔的軸長(zhǎng)度為24mm 36mm,所述爐膛下端口內(nèi)腔的軸長(zhǎng)度為85mm 118mm,所述結(jié)晶區(qū)內(nèi)腔的短軸長(zhǎng)度為60mm 90mm、長(zhǎng)軸長(zhǎng)度為IOOmm 150mm。
      3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的焰熔法合成晶體爐膛組,其特征在于,所述噴咀的噴口短軸長(zhǎng)度為6. 5mm 8mm、長(zhǎng)軸長(zhǎng)度為8mm 12mm。
      4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的焰熔法合成晶體爐膛組,其特征在于,所述爐膛內(nèi)腔的橫截面為圓形結(jié)構(gòu),所述噴咀的噴口設(shè)計(jì)為與爐膛相適配的圓形結(jié)構(gòu)。
      5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的焰熔法合成晶體爐膛組,其特征在于,所述爐膛上端口內(nèi)腔的直徑為24mm 36mm,所述爐膛下端口內(nèi)腔的直徑為85mm 118mm,所述結(jié)晶區(qū)內(nèi)腔的直徑為 IOOmm 150mm。
      6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的焰熔法合成晶體爐膛組,其特征在于,所述噴咀的噴口直徑為 6. 5mm 12mm0
      專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種焰熔法合成晶體爐膛組,包括供料裝置、供氣系統(tǒng)、燃燒室、爐膛、托柱及下降機(jī)構(gòu),所述爐膛內(nèi)腔的結(jié)晶區(qū)為紡錘型曲線結(jié)構(gòu),爐膛內(nèi)腔的橫截面為橢圓形結(jié)構(gòu),結(jié)晶區(qū)內(nèi)腔的軸長(zhǎng)度大于爐膛上下端口的軸長(zhǎng)度,位于燃燒室內(nèi)的噴咀噴口設(shè)計(jì)為與爐膛相適配的橢圓形結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型的有益效果是,將爐膛內(nèi)腔設(shè)計(jì)為圓形或橢圓形紡錘型曲線結(jié)構(gòu),使得氫氧焰流動(dòng)自如順暢,爐膛內(nèi)腔不產(chǎn)生渦流。噴咀的噴口的形狀設(shè)計(jì)為與爐膛相適配,使得爐膛形狀與氫氧焰形狀相似,營(yíng)造出比常規(guī)熔焰法合成晶體爐膛內(nèi)均勻的溫場(chǎng),縱向溫度和橫向溫度梯度小,適合生產(chǎn)大直徑晶體,并且缺陷少、毛度好的圓形、橢圓形和扁圓形晶體。
      文檔編號(hào)C30B11/10GK202039150SQ201120113269
      公開(kāi)日2011年11月16日 申請(qǐng)日期2011年4月15日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月15日
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