專利名稱：一種雙鏡頭單晶爐測徑儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬于單晶硅制造測控技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種雙鏡頭單晶爐測徑儀。
背景技術(shù)：
單晶爐測徑儀用于在單晶硅生長過程中測試硅棒的直徑，以保證單晶硅晶體按照要求直徑生長?，F(xiàn)有的單晶爐測徑儀是由底座、設(shè)在底座上的支架及標(biāo)尺、滑軌、安裝在支架上的一個鏡頭構(gòu)成。使用時，將底座放置在單晶爐觀察窗上來回拉動鏡頭進(jìn)行測量。由于只有一個鏡頭，且需來回拉動，會產(chǎn)生測量誤差，影響測量精度。同時，現(xiàn)有單晶爐測徑儀測量誤差變化較大，使用者需不定期校正；且標(biāo)尺上沒有目標(biāo)直徑值位置標(biāo)記，測量不同尺寸的晶體直徑時給使用者帶來很大困難。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種雙鏡頭單晶爐測徑儀，解決了現(xiàn)有技術(shù)中存在的結(jié)構(gòu)設(shè)置不合理，測量誤差變化較大的問題。本實用新型所采用的技術(shù)方案是一種雙鏡頭單晶爐測徑儀，在底座上設(shè)置有滑軌，滑軌上安裝有鏡頭一和鏡頭二，鏡頭一和鏡頭二均與標(biāo)尺連接，標(biāo)尺上刻有不同晶體尺寸目標(biāo)直徑值的位置標(biāo)記，其中的鏡頭一與標(biāo)尺固定連接，鏡頭二與標(biāo)尺滑動連接。本實用新型的優(yōu)點(diǎn)是通過設(shè)置兩個測量鏡頭，測量晶體直徑前，將一個鏡頭移動到要求尺寸的檔上，兩個鏡頭就通過標(biāo)尺固定連接在一起，其距離不再變化。測量時只需移動一個鏡頭到測量位置，另一鏡頭隨之一起移動，消除了因鏡頭被來回拉動引起的誤差；同時通過測量、計算實際直徑值與目標(biāo)直徑值位置標(biāo)記之間的刻度差，即可知道實際直徑值與目標(biāo)直徑值偏差，提高了測量精確度，且操作方便。

圖1是本實用新型裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實用新型裝置的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。圖中，1.底座，2.滑軌，3.鏡頭一，4.鏡頭二，5.標(biāo)尺，6.位置標(biāo)記。
具體實施方式

以下結(jié)合附圖和具體實施方式
對本實用新型進(jìn)行詳細(xì)說明。如圖1、圖2所示，本實用新型的結(jié)構(gòu)是，在底座1上設(shè)置有滑軌2，滑軌2上安裝有兩個鏡頭(鏡頭一 3和鏡頭二 4)，兩個鏡頭均與標(biāo)尺5連接，標(biāo)尺5上刻有不同晶體尺寸目標(biāo)直徑值的位置標(biāo)記6，其中的鏡頭一 3與標(biāo)尺5固定連接，鏡頭二 4與標(biāo)尺5滑動連接，鏡頭二 4能夠根據(jù)所要測量的晶體尺寸自由換擋后與標(biāo)尺5固定。本實用新型裝置包括底座、標(biāo)尺和安裝于同一滑軌上的兩個鏡頭組成，其特殊之處是一是標(biāo)尺上有不同晶體尺寸的目標(biāo)直徑值位置標(biāo)記；二是有兩個鏡頭，其中一個鏡頭與標(biāo)尺一端固定連接；另一個鏡頭可根據(jù)要求的晶體尺寸自由換擋后與標(biāo)尺固定。本實用新型裝置的工作方式是1)測量前根據(jù)所要測量的晶體尺寸，將鏡頭二 4移動到要求尺寸的檔上，則鏡頭二 4的指針就會指向目標(biāo)直徑值位置標(biāo)記6的某一處；2)移動鏡頭一 3，使目鏡測量標(biāo)與晶體左光圈內(nèi)圈邊緣對準(zhǔn)，觀察鏡頭二 4目鏡內(nèi)測量標(biāo)位置是否與光圈內(nèi)圈邊緣重合；3)若鏡頭二 4目鏡測量標(biāo)與光圈內(nèi)圈邊緣不重合，則移動鏡頭二 4使測量標(biāo)對準(zhǔn)光圈內(nèi)側(cè)邊緣，則指針?biāo)甘镜目潭葴p去目標(biāo)直徑值位置標(biāo)記刻度之差值即為直徑偏差。
權(quán)利要求1. 一種雙鏡頭單晶爐測徑儀，其特征在于在底座⑴上設(shè)置有滑軌O)，滑軌⑵上安裝有鏡頭一 C3)和鏡頭二 G)，鏡頭一 C3)和鏡頭二(4)均與標(biāo)尺( 連接，標(biāo)尺(5)上刻有不同晶體尺寸目標(biāo)直徑值的位置標(biāo)記(6)，其中的鏡頭一 C3)與標(biāo)尺(5)固定連接，鏡頭二(4)與標(biāo)尺( 滑動連接。
專利摘要本實用新型公開了一種雙鏡頭單晶爐測徑儀，在底座上設(shè)置有滑軌，滑軌上安裝有鏡頭一和鏡頭二，鏡頭一和鏡頭二均與標(biāo)尺連接，標(biāo)尺上刻有不同晶體尺寸目標(biāo)直徑值的位置標(biāo)記，其中的鏡頭一與標(biāo)尺固定連接，鏡頭二與標(biāo)尺滑動連接。本實用新型的測徑儀，在測量晶體直徑前，將一個鏡頭移動到要求尺寸的檔上固定，其距離不再變化，測量時只需移動一個鏡頭到測量位置，另一鏡頭隨之一起移動，消除了因鏡頭移動引起的誤差，提高了測量精確度，且使用者無需反復(fù)校準(zhǔn)，操作方便，解決了現(xiàn)有單晶爐測徑儀在測量過程中因拉回移動鏡頭而影響精度的問題。
文檔編號C30B15/26GK202220217SQ201120333390
公開日2012年5月16日 申請日期2011年9月7日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月7日
發(fā)明者李迎春 申請人:寧夏隆基硅材料有限公司, 無錫隆基硅材料有限公司, 西安隆基硅材料股份有限公司, 銀川隆基硅材料有限公司