專利名稱：多晶鑄錠爐真空系統(tǒng)的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及ー種真空抽氣系統(tǒng)，具體涉及ー種應用于多晶硅鑄錠生產(chǎn)過程的真空抽氣系統(tǒng)。
背景技術：
針對多晶硅鑄錠行業(yè)エ藝的特殊性，在開始爐子抽空階段，要求能快速的抽到
0.SPa以下的壓力，在熔解和冷卻階段需要充入氮氣防止氧化，并保持爐內氮氣壓カ在 60000Pa，此時需要真空系統(tǒng)能長時間進行維持，目前，任何一種單ー類型的真空泵都無法同時滿足這ーエ藝要求。

實用新型內容本實用新型要解決的技術問題是提供ー種能夠滿足多晶硅鑄錠行業(yè)生產(chǎn)エ藝特殊要求的真空抽氣系統(tǒng)，該真空系統(tǒng)不僅能快速抽到0. SPa以下的壓力，而且能長時間エ 作在60000Pa壓カ下。為了解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案為一種多晶鑄錠爐真空系統(tǒng)，所述的多晶鑄錠爐真空系統(tǒng)包含由羅茨真空泵和滑閥真空泵通過連接彎管直接連接而成的真空機組，所述滑閥真空泵的高缸的內部包含壓カ控制器、第一電磁閥和第二電磁閥，所述彎管上設有檢漏口和維持抽氣ロ。作為本實用新型的較佳的實施例，所述滑閥真空泵排氣口上設有油霧消除器。作為本實用新型的較佳的實施例，所述機組底部裝有隔振墊。作為本實用新型的較佳的實施例，所述真空機組內設有用于冷卻羅茨真空泵和滑閥真空泵的水冷機構。本實用新型具有下述優(yōu)點本實用新型通過羅茨真空泵和滑閥真空泵組成的真空機組來實現(xiàn)多晶硅鑄錠過程生產(chǎn)エ藝對真空系統(tǒng)的要求，具有結構緊湊、抽氣能力強、振動小、使用壽命長的優(yōu)點。而且本實用新型進ー步在排氣口上設有油霧消除器，能夠提高排出氣體的質量，減輕對環(huán)境的污染，安全可靠性高。

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術中的技術方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖I為本實用新型實施例的主視結構示意圖。圖2為本實用新型實施例的側視結構示意圖。圖3為本實用新型實施例的滑閥真空泵油潤滑原理示意圖。圖例說明1、滑閥真空泵；2、羅茨真空泵；3、連接彎管；4、隔振墊；5、油霧消除器；11、油泵；12、電磁閥A ;13、電磁閥B ;14、電磁閥C ;15、壓カ控制器；16、出水ロ ；17、電動機 A ;21、電動機B ;31、檢漏ロ ；32、維持抽氣ロ。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型的優(yōu)選實施例進行詳細闡述，以使本實用新型的優(yōu)點和特征能更易于被本領域技術人員理解，從而對本實用新型的保護范圍做出更為清楚明確的界定。如圖I和圖2所不，本實施例多晶鑄淀爐真空系統(tǒng)是由滑閥真空栗I、羅茨真空栗
2、連接彎管3、隔振墊4、油霧消除器5連接組成的ー種真空機組。在多晶鑄錠爐抽空階段， 滑閥真空泵I由電動機17經(jīng)V帶驅動，羅茨真空泵2由電動機21經(jīng)聯(lián)軸器直接驅動，兩臺真空泵同時工作，氣體由羅茨真空泵2進氣ロ吸入，經(jīng)過連接彎管3被滑閥真空泵I吸入， 然后再經(jīng)油霧消除器5排到大氣中。在熔解和冷卻階段，羅茨真空泵2停止運行，氣體由連接彎管3上維持抽氣ロ抽氣，使多晶鑄錠爐內壓力保持在60000Pa，此時滑閥真空泵I高缸內部零件的潤滑必須用油泵11來強制供油，如圖3所示，供油控制由壓カ控制器15和電磁閥A12、電磁閥B13來完成。本實施例的滑閥真空泵I的排氣口上設有油霧消除器5。本實施例的設有用于冷卻的水冷機構，水冷機構包括流經(jīng)滑閥真空泵I、羅茨真空泵2的水管和設于滑閥真空泵I上的進水口、設于羅茨真空泵2上的出水ロ，此外滑閥真空泵I上的出水ロ 16通過水管連接羅茨真空泵2的進水口。以上所述僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式，本實用新型的保護范圍并不僅局限于上述實施例，凡屬于本實用新型思路下的技術方案均屬于本實用新型的保護范圍。應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型原理前提下的若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護范圍。
權利要求1.多晶鑄錠爐真空系統(tǒng)，其特征在于，所述的多晶鑄錠爐真空系統(tǒng)包含由羅茨真空泵(2)和滑閥真空泵(I)通過連接彎管(3)直接連接而成的真空機組，所述滑閥真空泵(I)的高缸的內部包含壓カ控制器(15)、第一電磁閥(12)和第二電磁閥(13)，所述彎管(3)上設有檢漏ロ(31)和維持抽氣ロ(32)。
2.根據(jù)權利要求I所述的多晶鑄錠爐真空系統(tǒng)，其特征在于所述滑閥真空泵(I)排氣口上設有油霧消除器(5)。
3.根據(jù)權利要求I所述的多晶鑄錠爐真空系統(tǒng)，其特征在于所述機組底部裝有隔振墊⑷。
4.根據(jù)權利要求I所述的多晶鑄錠爐真空系統(tǒng)，其特征在于所述真空機組內設有用于冷卻羅茨真空泵(2)和滑閥真空泵(I)的水冷機構。
專利摘要本實用新型公開了一種多晶鑄錠爐真空系統(tǒng)，所述的多晶鑄錠爐真空系統(tǒng)包含由羅茨真空泵(2)和滑閥真空泵(1)通過連接彎管(3)直接連接而成的真空機組，所述滑閥真空泵(1)的高缸的內部包含壓力控制器(15)、第一電磁閥(12)和第二電磁閥(13)，所述彎管(3)上設有檢漏口(31)和維持抽氣口(32)。既能快速抽到較低壓力，也能長期工作在較高壓力下，通過羅茨真空泵、滑閥真空泵和連接彎管組成的真空機組來實現(xiàn)，具有結構緊湊、抽氣能力強、振動小、使用壽命長的優(yōu)點。而且本實用新型進一步在排氣口上設有油霧消除器，能夠提高排出氣體的質量，減輕對環(huán)境的污染，安全可靠性高。
文檔編號C30B11/00GK202348615SQ20112046598
公開日2012年7月25日 申請日期2011年11月22日 優(yōu)先權日2011年11月22日
發(fā)明者汪學鋆, 王國民 申請人:臺州力鑫真空設備有限公司