專利名稱：運(yùn)算裝置、部件安裝裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及與電子設(shè)備的生產(chǎn)有關(guān)的將部件(電子部件)安裝在基板(電路基板)上的裝置(部件安裝裝置)等的技術(shù)，特別涉及進(jìn)行用于計(jì)算、決定、修正部件安裝裝置的部位(頭、吸附吸嘴等)的動(dòng)作控制的設(shè)定的參數(shù)值的運(yùn)算(信息處理)的技術(shù)。
背景技術(shù)：
部件安裝裝置用內(nèi)部被減壓了的吸附吸嘴(以下也稱為“吸嘴”)吸附保持在部件供給裝置(給料器)上的部件，而搬運(yùn)到基板的預(yù)定位置而進(jìn)行裝配(以下將包含吸附和裝配在內(nèi)稱為安裝)。對(duì)于部件安裝裝置，將與重力方向交叉(也可以是斜著)的方向作為Χ、γ方向(X-Y平面)，將與X、Y方向(X-Y平面)垂直交叉的方向作為Z方向。此外，Z方向可以與X、Y方向(X — Y平面)交叉，也可以垂直。在該情況下，部件安裝裝置在進(jìn)行上述裝配動(dòng)作時(shí)，通過使吸嘴(具備吸嘴的頭等)在X、Y方向和Z方向上移動(dòng)，而使其移動(dòng)到與保持 在給料器上的部件(吸附對(duì)象)接近的位置(預(yù)定的X、Y、Z位置)，使其停止預(yù)定時(shí)間，并對(duì)吸嘴的內(nèi)部進(jìn)行減壓，從而吸附部件，在將部件吸附在吸嘴上的狀態(tài)下，按照預(yù)定的動(dòng)作速度使其在X、Y方向和Z方向上移動(dòng)，由此將部件裝配在基板的預(yù)定位置上。作為現(xiàn)有技術(shù)例子，有日本特開2002-050896號(hào)公報(bào)(專利文件I)。在專利文件I中，記載了對(duì)吸附部件時(shí)吸嘴在Χ、γ方向上的位置進(jìn)行設(shè)定的技術(shù)。在該技術(shù)中，在吸附部件后對(duì)吸嘴和吸嘴所把持的部件進(jìn)行攝像，計(jì)算部件的目標(biāo)把持位置和吸嘴的實(shí)際把持位置之間的差分，按照與差分成正比的值對(duì)吸附部件時(shí)吸嘴在X、Y方向上的位置進(jìn)行修正。現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I :日本特開2002-050896號(hào)公報(bào)在上述那樣的部件安裝裝置中，認(rèn)為需要與承載、保持在給料器上的部件的位置、部件的形狀、重量等對(duì)應(yīng)，適當(dāng)?shù)卦O(shè)定吸嘴吸附時(shí)的位置、吸嘴吸附時(shí)的停止時(shí)間、吸嘴吸附后的動(dòng)作速度等。例如，在部件的安裝位置相對(duì)于Z方向的吸嘴停止位置(稍微在部件的上部)向相反側(cè)一方的位置偏離的情況(例如承載部件的給料器(凹部)在Z方向上稍微向下偏離的情況)下，部件與吸嘴之間的距離變大，難以適當(dāng)?shù)貙⒉考皆谖焐?圖5)。由此，會(huì)產(chǎn)生在傾斜的狀態(tài)下吸附部件的異常、無法吸附部件的異常。在這樣的情況下，例如考慮需要使吸嘴的吸附位置(停止位置)向在Z方向上接近部件的位置移動(dòng)。另外，例如在與吸嘴有關(guān)的壓力控制機(jī)構(gòu)惡化的情況下，到吸嘴的內(nèi)部被減壓為止會(huì)花費(fèi)時(shí)間，因此，吸嘴會(huì)在吸嘴的內(nèi)部沒有被充分減壓的狀態(tài)下動(dòng)作，會(huì)產(chǎn)生傾斜地吸附部件的異常、無法吸附部件的異常。在這樣的情況下，例如考慮需要增加吸嘴吸附部件時(shí)的停止時(shí)間，或者與吸嘴內(nèi)部的減壓狀況對(duì)應(yīng)地降低動(dòng)作速度(吸嘴、頭等移動(dòng)時(shí)的速度)，使得吸嘴內(nèi)部被充分減壓。為了降低上述那樣的異常的發(fā)生率，例如考慮需要通過運(yùn)算來計(jì)算出吸嘴吸附部件時(shí)的位置、停止時(shí)間、動(dòng)作速度等而適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行設(shè)定(修正)。在現(xiàn)有技術(shù)例子中，有以下這樣的問題點(diǎn)。在上述專利文件I的技術(shù)中，設(shè)定吸附部件時(shí)的吸嘴的X、Y方向位置。但是，在該技術(shù)中，沒有提供(公開)設(shè)定Z方向的吸嘴位置的方法、設(shè)定吸附部件時(shí)的吸嘴的停止時(shí)間的方法等。因此，例如即使在通過降低吸嘴的Z方向位置使部件與吸嘴接觸、或?qū)⑽彀磯涸诓考隙軌蚪档彤惓０l(fā)生率的情況下，在專利文獻(xiàn)I的技術(shù)中，也無法將Z方向的吸嘴位置設(shè)定為適當(dāng)?shù)闹?，因此，無法降低異常發(fā)生率。另外，即使在通過延長吸附部件時(shí)吸嘴的停止時(shí)間而能夠降低異常發(fā)生率的情況下，在專利文件I的技術(shù)中，也無法將吸嘴的停止時(shí)間設(shè)定為適當(dāng)?shù)闹担虼?，無法降低異常發(fā)生率。另外，在專利文件I等現(xiàn)有技術(shù)例子中，甚至公開了在把持位置的平均值有某種程度的偏離時(shí)修正把持位置(X、Y方向)，但并沒有揭示出如本發(fā)明那樣在把持位置的波動(dòng) 程度大時(shí)修正包含Z方向在內(nèi)的位置、停止時(shí)間、動(dòng)作速度等。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于以上問題，本發(fā)明的主要目的(課題)在于提供一種與部件安裝裝置有關(guān)，通過適當(dāng)?shù)赜?jì)算、決定、修正吸附部件時(shí)的包含Z方向在內(nèi)的吸嘴的位置、停止時(shí)間、動(dòng)作速度等，能夠降低異常發(fā)生率的技術(shù)。為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的代表性方式是一種運(yùn)算裝置、具備該運(yùn)算裝置的部件安裝裝置、以及執(zhí)行該運(yùn)算裝置中的處理的程序等，該運(yùn)算裝置進(jìn)行用于對(duì)部件安裝裝置的動(dòng)作控制的設(shè)定(動(dòng)作控制方法)的信息(參數(shù)值)進(jìn)行計(jì)算、決定、修正的運(yùn)算(信息處理)，其特征在于具有如下所示的結(jié)構(gòu)。本方式的運(yùn)算裝置具備以下功能在吸嘴吸附部件時(shí)的位置等的波動(dòng)大的情況下，對(duì)上述設(shè)定的信息進(jìn)行修正。在本功能的處理中，使用與現(xiàn)有技術(shù)不同的輸入信息(包含Z方向在內(nèi)的吸嘴的吸附位置等)，進(jìn)行與現(xiàn)有技術(shù)不同的處理(波動(dòng)值的計(jì)算、判定等)，得到與現(xiàn)有技術(shù)不同的輸出信息(包含Z方向在內(nèi)的吸嘴的吸附位置、停止時(shí)間、動(dòng)作速度等)。本運(yùn)算裝置利用上述功能，對(duì)部件安裝裝置的安裝動(dòng)作(包含吸附動(dòng)作和裝配動(dòng)作)的設(shè)定進(jìn)行適當(dāng)?shù)男拚?，由此降低異常發(fā)生率。本方式的部件安裝裝置具備供給部件的供給裝置；包含用于吸附部件的吸嘴的裝配裝置；全體控制裝置，其按照設(shè)定的信息，對(duì)包含吸附動(dòng)作、以及的、安裝動(dòng)作中的包含供給裝置和安裝裝置的各部位的動(dòng)作進(jìn)行控制，其中，上述吸附動(dòng)作是通過吸嘴吸附部件的動(dòng)作，上述裝配動(dòng)作是將通過吸嘴吸附了的部件裝配到基板上的動(dòng)作；以及檢測裝置，其檢測吸附動(dòng)作時(shí)的與吸嘴和部件有關(guān)的狀態(tài)。部件安裝裝置使裝配裝置的吸嘴在X、Y、Z方向上移動(dòng)到與供給裝置的預(yù)定部件的位置對(duì)應(yīng)的預(yù)定的吸附位置(停止位置)，使得通過該吸嘴吸附該部件，使吸附了該部件的吸嘴在X、Y、Z方向上移動(dòng)，而將該部件裝配到基板的預(yù)定位置。將使吸嘴相對(duì)于供給裝置的部件的承載面垂直地接近或遠(yuǎn)離的方向作為Z方向，將與Z方向垂直的平面的方向作為X、Y方向。本方式的運(yùn)算裝置具有運(yùn)算控制部，其進(jìn)行用于進(jìn)行上述修正的計(jì)算處理；存儲(chǔ)部，其存儲(chǔ)在該計(jì)算處理中使用的數(shù)據(jù)信息。在存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)吸附結(jié)果信息、波動(dòng)信息、閾值信息。吸附結(jié)果信息包含表示部件安裝裝置的吸附動(dòng)作的結(jié)果(實(shí)際成績)的信息。波動(dòng)信息包含表示把持位置(在吸附動(dòng)作中是吸嘴把持部件的位置)等的波動(dòng)信息。閾值信息包含用于判定波動(dòng)的程度的閾值。運(yùn)算裝置例如使用部件安裝裝置的檢測裝置取得與吸嘴和部件有關(guān)的狀態(tài)。運(yùn)算控制部根據(jù)存儲(chǔ)部的信息，進(jìn)行以下的處理(I)第一處理，以包含Z方向的形式取得或計(jì)算表示吸附動(dòng)作時(shí)的吸嘴與部件的距離、相對(duì)位置的狀態(tài)參數(shù)，將該信息(距離KZ、把持位置HX、HY)存儲(chǔ)在吸附結(jié)果信息中；(2)第二處理，計(jì)算基于吸附結(jié)果信息的在多次(實(shí)際成績)的吸附動(dòng)作中的狀態(tài)參數(shù)的波動(dòng)值，將該信息存儲(chǔ)在波動(dòng)信息中；(3)第三處理，在狀態(tài)參數(shù)的波動(dòng)值超過了基于閾值信息的第一閾值的情況下，以包含Z方向的形式將吸嘴的吸附位置(停止位置)的參數(shù)向吸嘴接近部件的位置修正。另外，運(yùn)算控制部進(jìn)行第四處理，(4)在狀態(tài)參數(shù)的波動(dòng)值超過了基于閾值信息的第二閾值的情況下，對(duì)吸嘴在吸附位置的停止時(shí)間的參數(shù)進(jìn)行修正使其變大。另外，運(yùn)算控制部進(jìn)行第五處理，(5)在狀態(tài)參數(shù)的波動(dòng)值超過了基于閾值信息的第三閾值的情況下，對(duì)包含吸嘴的吸附位置附近的包含Z方向在內(nèi)的移動(dòng)的移動(dòng)速度的參數(shù)進(jìn)行修正使其變小。
根據(jù)本發(fā)明的代表性方式，能夠提供一種部件安裝裝置，其能夠?qū)⑽讲考蟮奈斓牟考殉治恢?、吸附部件時(shí)的吸嘴的Z方向位置等作為輸入信息，適當(dāng)?shù)赜?jì)算、決定吸附時(shí)的吸嘴的Z方向位置、停止時(shí)間、動(dòng)作速度等，從而能夠降低異常發(fā)生率。


圖I是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的部件安裝裝置(包含運(yùn)算裝置)的結(jié)構(gòu)例子的圖。圖2是表示本部件安裝裝置中的處理例子的流程圖。圖3是示意地表示本部件安裝裝置中的給料器、頭等部位的結(jié)構(gòu)例子、以及將部件向基板安裝的結(jié)構(gòu)例子的圖。圖4是表示頭和吸嘴的結(jié)構(gòu)例子的圖。圖5是表示從側(cè)面看吸附時(shí)的部件和吸嘴的位置的例子的圖。圖6是表示側(cè)面檢測部的圖像的例子的圖。圖7是表示從上面看吸附時(shí)的部件和吸嘴的位置的例子的圖。圖8是表示下面檢測部的圖像的例子的圖。圖9是表示本運(yùn)算裝置的處理例子(動(dòng)作信息的計(jì)算、修正處理)的流程圖。圖10是表示裝配信息的表例子的圖。圖11是表示動(dòng)作信息的表例子的圖。圖12是表示吸附結(jié)果信息的表例子的圖。圖13是表示波動(dòng)信息的表例子的圖。圖14是表不閾值信息的表例子的圖。圖15是表示修正內(nèi)容確認(rèn)的畫面例子的圖。符號(hào)說明50 :部件(P) ；90 :基板；100 :部件安裝裝置；110 :供給裝置；111 :給料器基座；Illa :給料器(F) ;112、125、133、145、163 IF 部；120 :裝配裝置；121 :頭；122 :梁；122a 導(dǎo)軌；123 :吸嘴(吸附吸嘴)(N) ；124 :驅(qū)動(dòng)控制部；125 :壓力控制部；130 :部件檢測裝置；131 :側(cè)面檢測部；132 :下面檢測部；140 :全體控制裝置；141 :存儲(chǔ)部；144 :全體控制部；150 :運(yùn)算裝置；151 :存儲(chǔ)部；D1 :裝配信息；D2 :動(dòng)作信息；D3 :吸附結(jié)果信息；D4 :波動(dòng)信息；D5 :閾值信息；160 :運(yùn)算控制部；161 :輸入部；162 :輸出部；170 :輸入裝置；171 :輸出裝置；172 :通信IF裝置；173 :總線
具體實(shí)施例方式以下，使用圖f圖15，說明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式(運(yùn)算裝置、部件安裝裝置等)。另外，在用于說明實(shí)施方式的全部圖中，原則上對(duì)相同部附加相同的符號(hào)，并省略其重復(fù)的說明。作為說明上的記號(hào)，例如將給料器設(shè)為F，將吸嘴設(shè)為N，將部件設(shè)為P。在本實(shí)施方式的部件安裝裝置100 (運(yùn)算裝置150)中，根據(jù)圖I、圖3、圖4等的硬件、軟件的結(jié)構(gòu)，進(jìn)行圖2、圖9那樣的處理(包含對(duì)部件安裝裝置100的部件安裝方法(動(dòng)作控制的設(shè)定信息)進(jìn)行計(jì)算、決定、修正的處理)。對(duì)圖10 圖14那樣的數(shù)據(jù)信息進(jìn)行管理。在圖15那樣的畫面中，用戶(利用和管理包含本部件安裝裝置100的系統(tǒng)的操作者等)能夠輸入輸出信息。 作為特征之一，在圖2的處理步驟S9 (在圖9中詳細(xì)說明)中，使用與吸嘴N對(duì)部件P的把持位置(HX、HY)、吸嘴N與部件P的距離(KZ)有關(guān)的波動(dòng)信息，計(jì)算出吸附時(shí)的吸嘴N的停止位置(L)、或停止時(shí)間(T)、或動(dòng)作速度(V)等參數(shù)的修正值(謀求為使異常發(fā)生率降低的適當(dāng)?shù)男拚?，將其結(jié)果反映到部件安裝裝置100的動(dòng)作控制的設(shè)定信息中。[部件安裝裝置]在圖I中，表示了本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的部件安裝裝置100和運(yùn)算裝置150的結(jié)構(gòu)。運(yùn)算裝置150被設(shè)置在部件安裝裝置100的內(nèi)部。另外，也可以是運(yùn)算裝置150被連接在部件安裝裝置100的外部的形式，還可以是將運(yùn)算裝置150和全體控制裝置140統(tǒng)一為I個(gè)的形式等。部件安裝裝置100具備供給裝置110、裝配裝置120、部件檢測裝置130、全體控制裝置140、運(yùn)算裝置150、輸入裝置170、輸出裝置171、通信IF裝置172等，經(jīng)由總線173將它們相互連接起來。輸入裝置170是接受用戶操作的信息輸入的例如鼠標(biāo)、鍵盤等。輸出裝置171是向用戶輸出信息的顯示器、打印機(jī)等。通信IF裝置172是用于經(jīng)由總線173、外部網(wǎng)絡(luò)等與其他裝置、系統(tǒng)(也能夠與現(xiàn)存的生產(chǎn)管理系統(tǒng)等連接)連接，進(jìn)行信息收發(fā)的接口。總線173將各部分(11(Γ172)連接起來。各裝置(110 150)的IF部(112 163等)是用于經(jīng)由總線173進(jìn)行信息收發(fā)的接口。供給裝置110具備具有多個(gè)給料器F的給料器基座111、IF部112等。供給裝置110具有在圖3內(nèi)詳細(xì)示例的物理結(jié)構(gòu)(另外這是一個(gè)例子，能夠進(jìn)行各種應(yīng)用)。裝配裝置120具備頭121、梁122、吸嘴(吸附吸嘴)123、驅(qū)動(dòng)控制部124、壓力控制部125、IF部126等。裝配裝置120具有在圖3內(nèi)詳細(xì)地示例的物理結(jié)構(gòu)(另外這是一個(gè)例子，能夠進(jìn)行各種應(yīng)用)。驅(qū)動(dòng)控制部124根據(jù)來自全體控制裝置140的指示、對(duì)頭121、梁122、以及吸嘴123等部位(圖3 圖5等)進(jìn)行控制，使得針對(duì)后述的裝配信息142 (圖10)所示的裝配順序、以及基板上的部件裝配位置坐標(biāo)來裝配部件。壓力控制部125根據(jù)來自全體控制裝置140的指示，控制吸嘴123的內(nèi)部的壓力。例如，壓力控制部125從全體控制部140接受指示而降低吸嘴123的內(nèi)部壓力，將部件P吸附到吸嘴123上。
部件檢測裝置130具備側(cè)面檢測部131、下面檢測部132、IF部133等。側(cè)面檢測部131接受全體控制部140的指示，從旁邊(側(cè)面)對(duì)吸附了部件P的吸嘴123 (N)進(jìn)行攝像，使用該圖像，通過圖案匹配(圖像處理)等單元，測量、計(jì)算Z方向(圖5)上的吸嘴N與部件P的距離(KZ)(后述，圖5、圖6等)。側(cè)面檢測部131例如如圖4所示那樣，具有承載在頭121上的受光部131a和射光部131b而構(gòu)成，并包含上述值(KZ)的計(jì)算處理功能。另外，下面檢測部132接受全體控制部140的指示，從下方對(duì)吸附了部件P的吸嘴123 (N)進(jìn)行攝像，使用該圖像，通過圖案匹配(圖像處理)等的單元，測量、計(jì)算X、Y方向(圖3)上的吸嘴N對(duì)部件P的把持位置(HX、HY)(后述，圖7、圖8等)。下面檢測部132例如如圖3所示，被配置在給料器基座111與基板90之間，并包含上述值(HX、HY)的計(jì)算處理功能。另外，在本實(shí)施方式中，上述KZ、HX、HY值的計(jì)算處理通過側(cè)面檢測部131、下面檢測部132進(jìn)行，由運(yùn)算裝置150取得其結(jié)果，但也可以由運(yùn)算裝置150等其他部位進(jìn)行該計(jì)算處理。在通過運(yùn)算裝置150進(jìn)行計(jì)算的情況下，從側(cè)面檢測部131、下面檢測部132取得各數(shù)據(jù)信息(例如圖像數(shù)據(jù))，由運(yùn)算裝置150計(jì)算出各值。另外，用于取得上述值的單元并 不限于攝像、圖案匹配等單元，能夠進(jìn)行各種應(yīng)用。全體控制裝置140是部件安裝裝置100的主要控制部，具備全體控制部144、存儲(chǔ)部141、IF部145等。在存儲(chǔ)部141的存儲(chǔ)區(qū)域中，存儲(chǔ)裝配信息Dl (后述，圖10)、動(dòng)作信息D2 (后述，圖11)等。全體控制部144對(duì)由供給裝置110、裝配裝置120、部件檢測裝置130、運(yùn)算裝置150、輸入部170、輸出部171、以及通信IF部172等執(zhí)行的處理進(jìn)行控制。全體控制裝置140依照裝配信息Dl和動(dòng)作信息D2，對(duì)供給裝置110、裝配裝置120、部件檢測裝置130等各部位(包含給料器F、吸嘴N等)的動(dòng)作進(jìn)行控制。全體控制部144依照存儲(chǔ)在裝配信息Dl中的順序，從預(yù)定的給料器F通過預(yù)定的吸嘴N、依照存儲(chǔ)在動(dòng)作信息D2中的設(shè)定來吸附部件P。在吸附時(shí)，全體控制部144使部件檢測部130計(jì)算部件把持位置HX、HY、距離KZ等。另外，全體控制部144使得將部件P裝配到存儲(chǔ)在裝配信息Dl中的基板的位置上。裝配信息Dl和動(dòng)作信息D2 (其存儲(chǔ)信息)是用于對(duì)部件安裝裝置100的各部位的動(dòng)作(安裝動(dòng)作)進(jìn)行控制的信息(設(shè)定信息)之一。[運(yùn)算裝置]運(yùn)算裝置150具備運(yùn)算控制部160、存儲(chǔ)部151、輸入部161、輸出部162、IF部163等。在存儲(chǔ)部151的存儲(chǔ)區(qū)域中，存儲(chǔ)吸附結(jié)果信息D3 (后述，圖12)、波動(dòng)信息D4 (后述，圖13)、閾值信息D5 (后述，圖14)等。運(yùn)算裝置150能夠用一般的計(jì)算機(jī)、IC等實(shí)現(xiàn)。例如，運(yùn)算控制部160能夠通過CPU、存儲(chǔ)器(ROM、RAM等)等硬件、以及基于它的軟件程序處理(本實(shí)施方式的程序的處理)等實(shí)現(xiàn)。例如，通過由運(yùn)算控制部160裝載并執(zhí)行存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部151或外部等中的程序，來實(shí)現(xiàn)各處理功能(包含圖2內(nèi)、圖9內(nèi)所示的處理)。存儲(chǔ)部151能夠通過各種存儲(chǔ)器、HDD等外部存儲(chǔ)裝置、對(duì)CD、DVD等存儲(chǔ)介質(zhì)讀寫信息的讀寫裝置、或者對(duì)外部網(wǎng)絡(luò)的數(shù)據(jù)進(jìn)行讀寫的裝置等實(shí)現(xiàn)。輸入部161能夠由接受用戶操作的信息輸入的鍵盤、鼠標(biāo)等輸入裝置實(shí)現(xiàn)，輸出部162能夠由向用戶輸出信息的顯示器等輸出裝置實(shí)現(xiàn)，IF部163能夠由與總線173連接并經(jīng)由總線173收發(fā)信息的接口實(shí)現(xiàn)。
運(yùn)算控制部160使用存儲(chǔ)在吸附結(jié)果信息D3中的信息(實(shí)際成績數(shù)據(jù))，進(jìn)行計(jì)算與部件把持位置HX、HY和距離KZ有關(guān)的波動(dòng)等、基于判定對(duì)存儲(chǔ)在動(dòng)作信息D2中的信息(設(shè)定信息)進(jìn)行修正的處理(后述，圖2、圖9等)。將存儲(chǔ)在運(yùn)算裝置150內(nèi)的吸附結(jié)果信息D3、波動(dòng)信息D4、閾值信息D5作為在運(yùn)算裝置150的處理中必需的信息進(jìn)行管理。另外，根據(jù)需要，可以將這些信息與全體控制裝置140內(nèi)的各信息(裝配信息D1、動(dòng)作信息D2)統(tǒng)一或分離。[供給裝置、裝配裝置]圖3表示與圖I的供給裝置110和裝配裝置120相關(guān)的給料器基座111、頭121、梁122、以及導(dǎo)軌122a等的概要結(jié)構(gòu)(上面)。給料器基座111上具備多個(gè)給料器llla(F)。部件供給裝置(給料器基座111)作為一個(gè)例子是臺(tái)式的，例如在每個(gè)給料器F上承載供給對(duì)象的多個(gè)部件P。例如，如果通過頭121的吸嘴N(圖4)吸附了容納在給料器F上的I個(gè) 部件P，則與全體控制裝置140的指示對(duì)應(yīng)地，該給料器F自動(dòng)地將剩余的部件P中的下一個(gè)部件輸送到能夠由該吸嘴N吸附的位置(在圖3中是Y方向)。與全體控制裝置140的指示對(duì)應(yīng)地控制頭121和梁122等的動(dòng)作。頭121構(gòu)成為能夠沿著梁122在一個(gè)坐標(biāo)軸方向(在圖3中是X方向)上移動(dòng)。梁122構(gòu)成為能夠沿著導(dǎo)軌122a在與頭121移動(dòng)的坐標(biāo)軸方向交叉的其他坐標(biāo)軸方向(在圖3中是Y方向)上移動(dòng)。進(jìn)而，構(gòu)成為能夠使頭121 (承載在頭121上的吸嘴N)在與X、Y方向垂直的方向(Z方向)上移動(dòng)。構(gòu)成為能夠使頭121和梁122在X、Y方向上移動(dòng)，使頭121所具備的吸嘴N在Z方向上移動(dòng)，通過預(yù)定的吸嘴N從預(yù)定的給料器F吸附預(yù)定的部件P (50)，進(jìn)而，能夠使各部位在X、Y、Z方向上同樣地移動(dòng)，將部件P (50)裝配到基板90上的預(yù)定的位置上。[頭、吸嘴]圖4表示作為頭121的結(jié)構(gòu)例子的下面。該頭121在下面部具備多個(gè)吸嘴123(N)，進(jìn)而，承載有作為側(cè)面檢測部131的結(jié)構(gòu)要素的受光部131a、射光部131b。在本例子中，是將多個(gè)(例如12個(gè))吸嘴N配置為圓形，通過旋轉(zhuǎn)控制等，能夠利用希望的吸嘴N的機(jī)構(gòu)。另外，同樣是通過旋轉(zhuǎn)控制等，能夠通過受光部131a對(duì)希望的吸嘴N進(jìn)行攝像的機(jī)構(gòu)。用編號(hào)來識(shí)別各吸嘴N的位置。除此以外，能夠?qū)︻^121和吸嘴N應(yīng)用各種形式。例如，可以列舉在I個(gè)單元中承載多個(gè)頭121、吸嘴N的結(jié)構(gòu)。[側(cè)面檢測部、距離KZ]在側(cè)面檢測部131中，受光部131a (圖4)接受從射光部131b發(fā)射的光，從光的影子的部分，例如生成(攝像)圖6所示那樣的圖像。另外，側(cè)面檢測部131根據(jù)該攝像的圖像，計(jì)算部件P相對(duì)于吸嘴N的相對(duì)距離KZ。圖5表示從側(cè)面看吸附時(shí)的給料器F的部件P和吸嘴N的位置的例子。是將部件50 (P)容納在給料器F的每個(gè)凹部520中的情況。(a)例如是設(shè)定上的標(biāo)準(zhǔn)位置(停止位置L)的情況，(b)是從(a)稍微偏離的情況。在(a)中，501是與吸嘴N的位置(停止位置L)有關(guān)的Z方向的基準(zhǔn)線(Z方向位置(z)=0)。例如將相對(duì)于基準(zhǔn)線501的下方向(吸嘴N下降方向)作為+ (正)，將上方向作為-(負(fù))。503表示吸嘴N的前端(下端)的吸嘴停止位置L的線。502表示與503的停止位置L對(duì)應(yīng)的吸嘴N的Z方向位置(z)。504表示部件P的上端的部件位置的線。505表示吸嘴N下端與部件P上端的距離。506表示吸嘴N下端與部件P下端(凹部502底面)的距尚。例如可以由505或506計(jì)算出距尚KZ。給料器F (凹部502)上的部件P的位置在包含Z方向在內(nèi)的方向上可能產(chǎn)生偏離、波動(dòng)。例如在如上所述那樣給料器F由于搬運(yùn)而移動(dòng)情況下，可以考慮凹部520的面在Z方向上稍微偏離的情況。由此，部件P相對(duì)于吸嘴N的相對(duì)位置(距離)稍微偏離。(b)是相對(duì)于(a)部位P位置相對(duì)于吸嘴N位置向相反側(cè)(+Z方向)離開而偏離的情況。509表示部件P的上端的部件位置的線。504和509的線之間的距離相當(dāng)于偏離的 大小。在該情況下，與(a)相比，吸嘴N與部件P的距離(507或508)大。S卩，難以通過吸嘴N吸附部件P，容易產(chǎn)生異常(斜著吸附部件P、吸附部件P的端部、無法吸附部件P、在吸附后落下等異常)。圖6是側(cè)面檢測部131的基于攝像的圖像例子，是2值圖像數(shù)據(jù)的情況。在(a)的圖像700a中，711是相當(dāng)于吸嘴N的部分，712是相當(dāng)于部件P的部分。701是Z方向的測量基準(zhǔn)線，是通過了吸嘴N的前端(下端)的直線。702是部件P的下端的直線。703表示701和702的距離KZ。另外，在(b)的圖像700b中，為了容易理解地表示出距離KZ的概念，而表示出吸附時(shí)的部件P的傾斜大的情況。704是部件P的下端的直線。705表示701和704的距離KZ0在此處定義的距離KZ中，具有以下的關(guān)系，即與(a)相比，如(b)那樣吸嘴N進(jìn)行吸附時(shí)的部件P的傾斜越大，則KZ值越大。如(b)那樣KZ值越大，則異常發(fā)生率越高。在本實(shí)施方式中，與距離KZ的波動(dòng)值的大小對(duì)應(yīng)地進(jìn)行與吸附時(shí)的吸嘴N的位置等有關(guān)的修正。在本實(shí)施方式中，距離KZ的定義簡單地是Z方向上的從吸嘴N到部件P的距離。在圖6的例子中，作為距離KZ的計(jì)算方法，是從吸嘴N前端(701)到部件P下端(702等)的距離。距離KZ也可以是其他定義(計(jì)算方法)。例如并不限于下端、上端等，也可以是基準(zhǔn)點(diǎn)之間的距離。進(jìn)而也可以是將距離值等作為輸入而按照預(yù)定的公式計(jì)算出的值等。另夕卜，并不限于Z方向，也可以包含X、Y方向計(jì)算出距離值。[下面檢測部、部件把持位置HX、HY]下面檢測部132的基于攝像的圖像，根據(jù)X、Y方向上的部件P中心與吸嘴N中心的位置的差分，計(jì)算出部件把持位置HX、HY。圖7表示從上面看吸附時(shí)的部件P和吸嘴N的位置的例子。是在X、Y方向(與圖3—樣)上，在長方形的部件P上重疊有圓形的吸嘴N的情況。外側(cè)的圓是吸嘴N的外形，內(nèi)側(cè)的圓是吸嘴N的內(nèi)徑。CP表示部件P中心點(diǎn)，CN表示吸嘴N中心點(diǎn)。601、602表示通過CP的X、Y方向的基準(zhǔn)線。603、604表示通過CN的X、Y方向的基準(zhǔn)線。PX、PY表示吸嘴N (CN)相對(duì)于部件P (CP)的X、Y方向的相對(duì)位置、距離。在許多部件中，CN與CP —致的情況是理想的吸附狀態(tài)。圖8是下面檢測部132的基于攝像的圖像例子(與圖7為對(duì)應(yīng)關(guān)系)。在圖8的圖像800中，C是測量基準(zhǔn)點(diǎn)，是與CP —致的點(diǎn)。801、802通過C，不是絕對(duì)坐標(biāo)系的基準(zhǔn)線，而是以部件P單位的坐標(biāo)系(例如在圖7、圖8的情況下，與長邊平行的方向?yàn)閄，與短邊平行的方向?yàn)閅)為基準(zhǔn)的測量基準(zhǔn)線。801是與部件的相對(duì)關(guān)系與圖7的601相同的直線。例如，在圖7中，601是與部件的短邊平行的直線，但在該情況下，801也是與部件的短邊平行的直線。同樣，802是與部件的相對(duì)關(guān)系與圖7的602相同的直線。820是相當(dāng)于部件P的部分。810 (虛線所示的區(qū)域)是相當(dāng)于吸嘴N的部分。803、804是通過吸嘴中心CN的與X、Y方向的測量基準(zhǔn)線801、802平行的直線。810由于是從下面的攝像，所以在圖像800上被部件P (820)遮住而不顯出，但通過使吸嘴N移動(dòng)到預(yù)定的位置(例如攝像部位的中心)，能夠掌握吸嘴中心CN。圖7的ΡΧ、ΡΥ與圖8的部件把持位置ΗΧ、ΗΥ對(duì)應(yīng)。ΗΧ、ΗΥ的方向與部件P被承載在給料器F上時(shí)的部件P的Χ、Υ方向(絕對(duì)坐標(biāo)系中的Χ、Υ方向)一致。例如,在長方形的部件P被承載在給料器F上時(shí)，在部件P的長邊與圖3的X方向平行，短邊與圖3的Y方向平行的情況下，部件把持位置HX表示與部件P的長邊平行的方向上的部件中心CP與吸嘴中心CN的差分，同樣，部件把持位置HY表示與部件P的短邊平行的方向上的CP與CN的差分。HX、HY值越大，則偏離越大，難以由吸嘴N吸附部件P，容易發(fā)生異常(斜著吸附部 件P、吸附部件P的端部、無法吸附部件P、吸附后落下等異常)。[處理概要(圖2)]圖2表示包含本實(shí)施方式的特征的部件安裝裝置100的全體處理概要的流程(SI等表示處理步驟)。特別使用圖9在后面說明S9的詳細(xì)結(jié)構(gòu)例子。(SI)全體控制裝置140的全體控制部144使用裝配信息Dl (圖10)、動(dòng)作信息D2(圖11)，向包含供給裝置110、裝配裝置120的各部件指示安裝動(dòng)作。(S2)根據(jù)S I的指示，供給裝置110使給料器F (Illa)等動(dòng)作，裝配裝置120使頭121、梁122、吸嘴N (123)等動(dòng)作。特別使對(duì)象的頭121、吸嘴N在Χ、Υ方向上(圖3)移動(dòng)，而移動(dòng)到對(duì)象的給料器F-部件P (吸附對(duì)象)的位置。(S3)接著，使吸嘴123 (N)在Z方向(圖5)上移動(dòng)(下降)，使其移動(dòng)到接近對(duì)象部件P (上)的預(yù)定位置(吸嘴N的停止位置L{x、y、z})后停止。另外，在本實(shí)施方式中，是將S2 (X、Y方向移動(dòng))和S3 (Z方向移動(dòng))分開的形式，但也可以是將S2和S3合為I個(gè)而同時(shí)進(jìn)行控制(X、Y、Z方向移動(dòng))的形式。(S4)使吸嘴N在停止位置L停止預(yù)定時(shí)間(停止時(shí)間T)，通過由壓力控制部125對(duì)吸嘴N內(nèi)部進(jìn)行減壓，而吸附、把持部件P。(S5)按照預(yù)定的動(dòng)作速度VZ使吸嘴N從停止位置L在Z方向移動(dòng)(上升)。另外，在本實(shí)施方式中，在S4、S5時(shí)，使用側(cè)面檢測部件131，從側(cè)面對(duì)吸附、把持了部件P的狀態(tài)下的吸嘴N進(jìn)行攝像，從而計(jì)算出距離KZ。(S6)進(jìn)而，使頭121、吸嘴N等在X、Y、Z方向上移動(dòng)，使其移動(dòng)到基板的部件裝配位置，通過解除吸附，而裝配部件P (圖3)。另外，在本實(shí)施方式中，在S6時(shí)，使用下面檢測部132，從下面對(duì)吸附、把持了部件P的狀態(tài)下的吸嘴N進(jìn)行攝像，從而計(jì)算出部件把持位置HX、HY。(S7)針對(duì)通過上述Sf S6進(jìn)行動(dòng)作的給料器F、吸嘴N等的組合，生成實(shí)際成績數(shù)據(jù)的吸附結(jié)果信息152，并存儲(chǔ)在運(yùn)算裝置150的存儲(chǔ)部151中。在吸附結(jié)果信息152中包含上述距離HZ、部件把持位置HX、HY的信息。另外，也可以在其他定時(shí)下進(jìn)行該存儲(chǔ)。例如，運(yùn)算裝置150也可以根據(jù)需要，從外部(全體控制裝置140等)取得吸附結(jié)果信息152等。同樣地對(duì)多次的每次的每個(gè)部件安裝動(dòng)作次存儲(chǔ)實(shí)際成績數(shù)據(jù)。(S8)在裝配上述部件P后，全體控制裝置140的全體控制部144針對(duì)通過上述SrS7進(jìn)行動(dòng)作的給料器F、吸嘴N等的組合，向運(yùn)算裝置150指示對(duì)動(dòng)作信息D2進(jìn)行修正(包含對(duì)其是否需要的判斷)。(S9)運(yùn)算裝置150的運(yùn)算控制部160根據(jù)指示，使用吸附結(jié)果信息152，進(jìn)行用于計(jì)算、修正動(dòng)作信息D2的以下的處理(在圖9中詳細(xì)說明)。作為進(jìn)行修正的對(duì)象、候選，包含與吸嘴N的停止位置L (Ilc)有關(guān)的Z方向位置(z)、停止時(shí)間T (lid)、動(dòng)作速度VZ(Ile)0(I)基于上述側(cè)面檢測，計(jì)算吸嘴N-部件P的距離KZ (圖6等)。在本實(shí)施方式中，取得通過側(cè)面檢測部131計(jì)算、輸出的距離KZ的信息。
(2)基于上述下面檢測，計(jì)算吸嘴N-部件P的部件把持位置HX、HY(后述，圖8等)。在本實(shí)施方式中，取得通過下面檢測部132計(jì)算、輸出的部件把持位置HX、HY的信息。(3)針對(duì)上述(I)的距離KZ、(2)的部件把持位置HX、HY，分別計(jì)算波動(dòng)值，并作為波動(dòng)信息153存儲(chǔ)。(4)針對(duì)上述(3)的波動(dòng)值，使用閾值信息154，判斷波動(dòng)的大小(程度)。根據(jù)該判斷的結(jié)果以及優(yōu)先度判斷(后述)等，進(jìn)行以下的(5) (7)那樣的與各設(shè)定要素(參數(shù))有關(guān)的修正(修正值計(jì)算)。(5)計(jì)算與吸嘴N的停止位置L{x、y、z}有關(guān)的修正值。特別包含與Z方向位置有關(guān)的修正。(6)計(jì)算與吸嘴N的停止時(shí)間T有關(guān)的修正值。(7)計(jì)算與吸嘴N的動(dòng)作速度V (VZ)有關(guān)的修正值。特別包含與Z方向的移動(dòng)的移動(dòng)速度VZ有關(guān)的修正。另外，考慮到對(duì)生產(chǎn)節(jié)奏時(shí)間的影響后的修正的優(yōu)先度是上述(5)的L為第一優(yōu)先，上述(6)的T、(7)的V為第二優(yōu)先。(8)運(yùn)算裝置150的運(yùn)算控制部160將包含上述修正內(nèi)容信息(包含參數(shù)修正值等)的S9的處理結(jié)果存儲(chǔ)在吸附結(jié)果信息152中。(SlO)運(yùn)算裝置150的運(yùn)算控制部160等例如在畫面上顯示S9的修正內(nèi)容信息，使用戶對(duì)修正執(zhí)行進(jìn)行確認(rèn)(后述，圖15)。在確認(rèn)的基礎(chǔ)上，向全體控制裝置140應(yīng)答發(fā)送S9的修正內(nèi)容信息(包含是否要修正)，由此，全體控制部144對(duì)動(dòng)作信息143的內(nèi)容進(jìn)行更新(再設(shè)定)。另外，也可以是省略上述畫面、用戶的確認(rèn)的形式，在該情況下，是自動(dòng)地更新全體控制裝置140內(nèi)的設(shè)定信息的形式。[裝配信息]圖10表示作為裝配信息Dl的一個(gè)實(shí)施方式的裝配信息表例子。本表具有順序10a、部件裝配位置坐標(biāo)10b、給料器編號(hào)10c、吸附吸嘴編號(hào)IOd等各字段。Dl (其存儲(chǔ)信息)包含從給料器F通過吸嘴N吸附部件P時(shí)、以及將該部件P裝配到基板上時(shí)的順序、位置、給料器F、吸嘴N等信息。另外，也可以具有未圖示的部件ID等其他字段。順序IOa存儲(chǔ)表示部件P裝配到基板的裝配順序的信息、表示通過吸嘴N吸附該部件P的吸附順序的信息。在本實(shí)施方式中，構(gòu)成為裝配順序與吸附順序相同，但也可以不同。部件裝配位置坐標(biāo)IOb將基板上的X、Y方向的坐標(biāo)的信息作為表示將該部件P裝配到基板(圖3的90)上的位置的信息來存儲(chǔ)。給料器編號(hào)IOc存儲(chǔ)表示保持該部件P的給料器F (位置)的信息。在本實(shí)施方式中，存儲(chǔ)唯一地識(shí)別給料器基座111 (圖3)上的該給料器F (Illa)的承載位置的給料器編號(hào)。吸附吸嘴編號(hào)IOd存儲(chǔ)表示吸附該部件P的吸嘴N的信息。在本實(shí)施方式中，使用被分配為唯一地識(shí)別該吸嘴N的承載位置的吸附吸嘴編號(hào)(例如f 12)，作為用于確定與該吸嘴N關(guān)聯(lián)的頭121 (圖4)上的該吸嘴N的位置的信息。[動(dòng)作信息]圖11表示作為動(dòng)作信息D2的一個(gè)實(shí)施方式的動(dòng)作信息表的例子。該表具有給料器編號(hào)11a、吸附吸嘴編號(hào)lib、停止位置(L)llc{X方向位置(x)、Y方向位置(y)、Z方向位置(z) }、停止時(shí)間(T) lid、動(dòng)作速度(VZ) lie (修正系數(shù))等各字段。D2 (其存儲(chǔ)信息)包含通過吸嘴N從給料器F吸附部件P時(shí)的吸嘴N的停止位置L、停止時(shí)間T、動(dòng)作速度V等 信息。給料器編號(hào)Ila存儲(chǔ)用于確定該給料器F(承載對(duì)象部件P)的位置的信息(與IOc一樣)。吸附吸嘴編號(hào)Ilb存儲(chǔ)用于確定該吸嘴N (吸附對(duì)象部件P)的位置的信息(與IOd一樣)。停止位置lie (L{x，y，z})存儲(chǔ)用于確定由Ilb所示的吸嘴N吸附被承載在由Ila所示的位置(給料器F)處的部件P時(shí)的吸嘴N的停止位置L (換一種說法就是吸附位置)的信息。在本實(shí)施方式中，具有X、Y、Z方向的各位置(用相對(duì)于基準(zhǔn)位置的相對(duì)位置表示)。X方向位置(X)、Y方向位置(y)表示圖3的X、Y方向的位置。例如，如圖7所示，使吸嘴N停止在部件中心CP和吸嘴中心CN之間的X方向上的距離與Ilc的X的存儲(chǔ)值相同的位置上。Z方向位置(z)表示圖5的Z方向的位置。例如，如圖5所示，使吸嘴N下降停止在相對(duì)于基準(zhǔn)線501 (z=0)的距離與Ilc的z的存儲(chǔ)值相同的位置。停止時(shí)間(T) Ild存儲(chǔ)用該吸嘴N吸附對(duì)應(yīng)位置(給料器F)的部件P時(shí)的Ilc的停止位置L處的吸嘴N (對(duì)應(yīng)的頭121等)的與停止時(shí)間T有關(guān)的修正值的信息。在本例中，使吸嘴N停止與Ild的值對(duì)應(yīng)的量。例如，在Ild的值為I的情況下，設(shè)為T=O. I秒。在動(dòng)作速度(VZ) Ile (修正系數(shù))中存儲(chǔ)用相應(yīng)的吸嘴N吸附相應(yīng)位置(給料器)的部件P時(shí)的、用于確定吸嘴N的動(dòng)作速度V的信息。在本實(shí)施方式中，作為動(dòng)作速度V，至少包含動(dòng)作速度TL。動(dòng)作速度VZ是使吸附了部件P的狀態(tài)下的吸嘴N在Z方向上上升時(shí)的動(dòng)作速度。另外，用修正系數(shù)表示He。將把用lie表示的值乘以設(shè)定上的預(yù)定的標(biāo)準(zhǔn)動(dòng)作速度值所得的值作為實(shí)際使用的動(dòng)作速度(修正值)。也可以在其他移動(dòng)時(shí)對(duì)Ile(VZ)的控制進(jìn)行應(yīng)用。例如，也可以應(yīng)用到X、Y方向的移動(dòng)、以及頭121和梁122等的移動(dòng)中。[全體控制例子]全體控制裝置140 (全體控制部144)使用裝配信息Dl (圖10)和動(dòng)作信息D2 (圖11)進(jìn)行的部件安裝動(dòng)作的控制例子如下。全體控制部144向供給裝置110和裝配裝置120發(fā)出指示使得按照裝配信息Dl的順序10a，通過吸附吸嘴編號(hào)IOd的吸嘴N (dll)吸附承載在給料器編號(hào)IOc的給料器F位置(dlO)上的部件P，并使其移動(dòng)到基板上的部件裝配位置坐標(biāo)IOb進(jìn)行裝配。DlO等是用于區(qū)別的符號(hào)。全體控制部144使吸嘴N (dll)定位(停止)在動(dòng)作信息D2的Ilc的停止位置L{x(dl2)，y (dl3),z (dl4)}，向壓力控制部125發(fā)出指示使得對(duì)相應(yīng)吸嘴N (dll)的內(nèi)部進(jìn)行減壓，并使吸嘴N (dll)停止Ild的停止時(shí)間T (dl5)，由此吸附部件P。然后，在經(jīng)過了停止時(shí)間T (dl5)后，全體控制部144按照lie的動(dòng)作速度VZ (dl6)使相應(yīng)吸嘴N (dll)
等移動(dòng)。另外，在上述吸附后，全體控制部144使吸附了部件P的狀態(tài)下的吸嘴N(dlI)移動(dòng)到能夠由側(cè)面檢測部131攝像的位置而從側(cè)面進(jìn)行攝像。由此，計(jì)算出上述距離KZ(dl7)。另外，全體控制部144使吸附了部件P的狀態(tài)下的吸嘴N (dll)移動(dòng)到能夠通過下面檢測部132 (圖3)攝像的預(yù)定的位置而從下面進(jìn)行攝像。由此，計(jì)算出上述的部件把持位置HX(dl8)、HY (dl9)。全體控制部144將上述動(dòng)作的IOc的給料器位置(dl0)、10d的吸嘴N (dll)Ulc的停止位置L{x (dl2)，y (dl3)，z (dl4) }、lid的停止時(shí)間T (dl5)、lie的動(dòng)作速度VZ(dl6)、上述計(jì)算出的距離KZ (dl7)、部件把持位置HX (dl8)、HY (dl9)的值等存儲(chǔ)在吸附結(jié)果信息D3 (圖12)的最終行的相應(yīng)的字段(12a 12h)中。 然后，全體控制部144使吸嘴N (dll)在X、Y、Z方向上移動(dòng)到基板上的部件裝配位置坐標(biāo)10b，向壓力控制部125發(fā)出指示使得解除吸嘴N (dll)的內(nèi)部的減壓，由此將部件P裝配到該位置。[吸附結(jié)果信息]圖12表示作為吸附結(jié)果信息152的一個(gè)實(shí)施方式的吸附結(jié)果信息表的例子。吸附結(jié)果信息D3存儲(chǔ)包含使用部件檢測裝置130檢測、計(jì)算出的信息的部件吸附結(jié)果的信息(實(shí)際成績數(shù)據(jù))。該表具有給料器編號(hào)12a、吸附吸嘴編號(hào)12b、停止位置12c(L{X，y，Z})、停止時(shí)間(T) 12d、動(dòng)作速度(VZ) 12e、部件把持位置HX (12f )、部件把持位置HY (12g)、距離KZ (12h)等各字段。12a 12e是與圖11的Ilalle對(duì)應(yīng)的字段，如上述S7和[全體控制例子]所說明的那樣，將上述那樣的值(dl(Tdl9)存儲(chǔ)在這些各字段中。在部件把持位置HX (12f)、HY (12g)中存儲(chǔ)上述(圖7、圖8)的由下面檢測部132檢測、計(jì)算出的用于確定部件把持位置HX、HY的信息。在本例子中，是將圖7的CP=CN時(shí)設(shè)為O的值。在距離KZ (12h沖存儲(chǔ)上述(圖5、圖6)的由側(cè)面檢測部131檢測、計(jì)算出的用于確定距離KZ的信息。在本例子中，是吸嘴N前端與部件P在Z方向上的距離。[波動(dòng)信息]圖13表不作為波動(dòng)信息D4的一個(gè)實(shí)施方式的波動(dòng)信息表的例子。該表具有給料器編號(hào)13a、吸附吸嘴編號(hào)13b、部件把持位置平均AveX (13c)、部件把持位置平均AveY(13d)、部件把持位置方差VarXY (13e)、距離方差VarZ (13f)等各字段。在波動(dòng)信息D4中，存儲(chǔ)通過圖9的處理計(jì)算出的信息。給料器編號(hào)13a存儲(chǔ)給料器F位置的信息(與IOc —樣)。吸附吸嘴編號(hào)13b存儲(chǔ)吸嘴N位置的信息(與IOd —樣)。部件把持位置平均AveX (13c)存儲(chǔ)部把持位置HX (12f)的平均值(為AveX)的信息。部件把持位置平均AveY (13d)存儲(chǔ)部把持位置HY (12g)的平均值(為AveY)的信息。另外，按照上述的給料器F-吸嘴N的單位(組合)取得13c、13d的平均(也可以與吸嘴N無關(guān)地取得與同一給料器F有關(guān)的平均。另外，還可以與給料器F無關(guān)地，取得與同一吸嘴N有關(guān)的平均)。另外，還取得基于過去多次安裝動(dòng)作的實(shí)際成績數(shù)據(jù)的平均。另外，在部件把持位置方差VarXY (13e)中，存儲(chǔ)根據(jù)部件把持位置HX (12f)、HY(12g)計(jì)算出的方差值(為VarXY)的信息。距離方差VarZ (13f)存儲(chǔ)根據(jù)距離KZ (12h)計(jì)算出的方差值(為VarZ)的信息。這些方差(VarXY、VarZ)表示波動(dòng)程度。[閾值信息]圖14表不作為閾值信息D5的一個(gè)實(shí)施方式的閾值信息表的例子。該表具有第一閾值Thl (14a)、第二閾值Th2 (14b)、第三閾值Th3 (14c)、Z方向位置初始值(14d)等各字段。閾值信息D5是與吸附時(shí)的吸嘴N的動(dòng)作的修正有關(guān)的在圖9的判斷(s3、s4、s6)中使用的設(shè)定信息，可以由用戶設(shè)定變更各字段值。第一閾值Thl (14a)存儲(chǔ)用于判斷(S3)是否實(shí)施吸嘴N的Z方向位置(z)、停止時(shí)間(T)、動(dòng)作速度(VZ)等修正處理的信息。第二閾值Th2 (14b)存儲(chǔ)用于判斷(s4)是否實(shí)施吸嘴N的X方向位置(x)、Y方向位置(y)的修正處理的信息。第三閾值Th3 (14c)存儲(chǔ)用于判斷(s6)是否實(shí)施吸嘴N的停止時(shí)間(T)、動(dòng)作速度(VZ)的修正處理的信息。在Z方向位置初始值(14d)中，存儲(chǔ)實(shí)施了 T、VZ的修正的情況下的用于決定吸嘴 N的Z方向位置(z)的復(fù)位時(shí)的值(重設(shè)值)的信息。在本實(shí)施方式中，在實(shí)施了 T、VZ的修正的情況下，進(jìn)行控制(復(fù)位)而使吸嘴N的位置在Z方向上恢復(fù)為上方的初始值(14d)，因此，能夠設(shè)定該初始值(14d)。[處理詳細(xì)(圖9)]圖9表示與圖2的S9相關(guān)的用于由運(yùn)算裝置150 (主要是運(yùn)算控制部160)計(jì)算、修正動(dòng)作信息D2的處理例子(Si等表示處理步驟)。運(yùn)算控制部160例如如果從全體控制裝置140 (全體控制部144)經(jīng)由IF部163等接收到用于指定成為動(dòng)作信息D2 (表)的修正對(duì)象的給料器F (給料器位置)(d201)與吸嘴N (吸嘴位置)(d202)的組合等的信息、動(dòng)作信息D2的修正處理的指示，則執(zhí)行圖9的處理。(Si)運(yùn)算控制部160計(jì)算出部件把持位置HX的平均值(AveX)、部件把持位置HY的平均值(AveY)、距離KZ的平均值(AveZ)。另外，取得給料器F、吸嘴N、部件P等的單位的平均(Ave)。首先，運(yùn)算控制部160在動(dòng)作信息D2的表中，確定給料器編號(hào)Ila與d201相等并且吸附吸嘴編號(hào)Ilb與d202相等的行，讀入存儲(chǔ)在該行中的X方向位置(X) (d203)、Y方向位置(y) (d204)、Z方向位置(z) (d205)、停止時(shí)間T (lid) (d206)、動(dòng)作速度VZ (He)(d207)。進(jìn)而，運(yùn)算控制部160在吸附結(jié)果信息D3的表中，檢索全部的行，確定符合下述條件I的行，讀入符合條件I的行中的部件把持位置HX (12f)、HY (12g)、距離KZ (12h)的信息。(條件I)給料器編號(hào)12a的存儲(chǔ)值與d201相等，吸附吸嘴編號(hào)12b的存儲(chǔ)值與d202相等，12c的X方向位置(X)的存儲(chǔ)值與d203相等，Y方向位置(y)的存儲(chǔ)值與d204相等，Z方向位置(z)的存儲(chǔ)值與d205相等，停止時(shí)間T (12d)的存儲(chǔ)值與d206相等，動(dòng)作速度VZ (12e)的存儲(chǔ)值與d207相等。在此，將符合條件I的行中的從上數(shù)第i行中的部件把持位置HX (12f)的信息稱為Xi，將部件把持位置HY (12g)的信息稱為Yi，將距離KZ (12h)的信息稱為Zi，將符合條件I的行的個(gè)數(shù)稱為η。進(jìn)而，運(yùn)算控制部160計(jì)算出部件把持位置HX的平均值(AveX)、部件把持位置HY的平均值(AveY)、以及距離KZ的平均值(AveZ)。在數(shù)據(jù)的個(gè)數(shù)η為預(yù)定的閾值ThO (例如5)以下的情況下，設(shè)為數(shù)據(jù)數(shù)少，并設(shè)為AveX=0、AveY=O、AveZ=O。在η比閾值ThO大的情況下，運(yùn)算控制部160依照下式(I )、式(2)、以及式(3)，計(jì)算出AveX、AveY、AveZ。
權(quán)利要求
1.一種運(yùn)算裝置，其對(duì)將部件安裝到基板上的部件安裝裝置的動(dòng)作控制的設(shè)定進(jìn)行計(jì)算，其特征在于 上述部件安裝裝置具備 供給裝置，其供給上述部件； 裝配裝置，其包含用于吸附上述部件的吸嘴； 全體控制裝置，其按照上述設(shè)定的信息，對(duì)包含吸附動(dòng)作以及裝配動(dòng)作的安裝動(dòng)作中的包含上述供給裝置和裝配裝置的各部位的動(dòng)作進(jìn)行控制，其中，上述吸附動(dòng)作是通過上述吸嘴吸附上述部件的動(dòng)作，上述裝配動(dòng)作是將通過上述吸嘴吸附了的上述部件裝配到基板上的動(dòng)作；以及 檢測裝置，其檢測上述吸附動(dòng)作時(shí)的與上述吸嘴和部件有關(guān)的狀態(tài)， 將使上述吸嘴相對(duì)于上述供給裝置的部件的承載面接近或遠(yuǎn)離的方向作為Z方向，將與Z方向交叉的平面的方向作為X、Y方向， 上述運(yùn)算裝置具有進(jìn)行上述計(jì)算處理的運(yùn)算控制部；以及存儲(chǔ)在該計(jì)算處理中使用的數(shù)據(jù)信息的存儲(chǔ)部， 上述運(yùn)算裝置使用上述檢測裝置取得與上述吸嘴和部件有關(guān)的狀態(tài)， 上述運(yùn)算控制部根據(jù)上述存儲(chǔ)部的信息，進(jìn)行以下的處理 (1)第一處理，以包含Z方向的形式取得或計(jì)算表示上述吸附動(dòng)作時(shí)的上述吸嘴與部件的距離、相對(duì)位置的狀態(tài)參數(shù)，并存儲(chǔ)該信息； (2)第二處理，計(jì)算上述吸附動(dòng)作中的上述狀態(tài)參數(shù)的波動(dòng)值，并存儲(chǔ)該信息； (3)第三處理，在上述狀態(tài)參數(shù)的波動(dòng)值超過了第一閾值的情況下，以包含Z方向的形式將上述吸嘴的吸附位置的參數(shù)值向上述吸嘴接近部件的位置修正。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的運(yùn)算裝置，其特征在于 上述運(yùn)算控制部根據(jù)上述存儲(chǔ)部的信息進(jìn)行以下處理 (4)第四處理，在上述狀態(tài)參數(shù)的波動(dòng)值超過了第二閾值的情況下，對(duì)上述吸嘴在吸附位置的停止時(shí)間的參數(shù)值進(jìn)行修正使其變大。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的運(yùn)算裝置，其特征在于 上述運(yùn)算控制部根據(jù)上述存儲(chǔ)部的信息進(jìn)行以下處理 (5)第五處理，在上述狀態(tài)參數(shù)的波動(dòng)值超過了第三閾值的情況下，對(duì)包含上述吸嘴的吸附位置附近的包含Z方向在內(nèi)的移動(dòng)的移動(dòng)速度的參數(shù)值進(jìn)行修正使其變小。
4.根據(jù)權(quán)利要求廣3的任一項(xiàng)所述的運(yùn)算裝置，其特征在于 計(jì)算方差值并將其作為上述狀態(tài)參數(shù)的波動(dòng)值而利用。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的運(yùn)算裝置，其特征在于 在上述修正時(shí)，相對(duì)于上述第四處理而優(yōu)先進(jìn)行上述第三處理，在上述吸嘴過于接近部件的情況下，進(jìn)行上述第四處理。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的運(yùn)算裝置，其特征在于 在上述修正時(shí)，相對(duì)于上述第五處理而優(yōu)先進(jìn)行上述第三處理，在上述吸嘴過于接近部件的情況下，進(jìn)行上述第五處理。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的運(yùn)算裝置，其特征在于 在上述部件安裝裝置或運(yùn)算裝置所具備的輸出裝置的畫面中，顯示上述狀態(tài)參數(shù)的波動(dòng)值、與上述設(shè)定的參數(shù)有關(guān)的包含上述修正前后的值的修正內(nèi)容信息，在由用戶確認(rèn)的基礎(chǔ)上，執(zhí)行上述修正。
8.一種部件安裝裝置，其將部件安裝到基板上，其特征在于， 上述部件安裝裝置具備 供給裝置，其供給上述部件； 裝配裝置，其包含用于吸附上述部件的吸嘴； 全體控制裝置，其按照上述設(shè)定的信息，對(duì)包含吸附動(dòng)作、以及裝配動(dòng)作的安裝動(dòng)作中的包含上述供給裝置和裝配裝置的各部位的動(dòng)作進(jìn)行控制，其中，上述吸附動(dòng)作是通過上述吸嘴吸附上述部件的動(dòng)作，上述裝配動(dòng)作是將通過上述吸嘴吸附了的部件裝配到基板上的動(dòng)作； 檢測裝置，其檢測上述吸附動(dòng)作時(shí)的與上述吸嘴和部件有關(guān)的狀態(tài)；以及 運(yùn)算裝置，其對(duì)上述部件安裝裝置的動(dòng)作控制的設(shè)定進(jìn)行計(jì)算， 將使上述吸嘴相對(duì)于上述供給裝置的部件的承載面接近或遠(yuǎn)離的方向作為Z方向，將與Z方向交叉的平面的方向作為X、Y方向， 上述運(yùn)算裝置具有進(jìn)行上述計(jì)算處理的運(yùn)算控制部；存儲(chǔ)在該計(jì)算處理中使用的數(shù)據(jù)信息的存儲(chǔ)部， 上述運(yùn)算裝置使用上述檢測裝置取得與上述吸嘴和部件有關(guān)的狀態(tài)， 上述運(yùn)算控制部根據(jù)上述存儲(chǔ)部的信息，進(jìn)行以下的處理 (1)第一處理，以包含Z方向的形式取得或計(jì)算表示上述吸附動(dòng)作時(shí)的上述吸嘴與部件的距離、相對(duì)位置的狀態(tài)參數(shù)，并存儲(chǔ)該信息； (2)第二處理，計(jì)算上述吸附動(dòng)作中的上述狀態(tài)參數(shù)的波動(dòng)值，并存儲(chǔ)該信息； (3)第三處理，在上述狀態(tài)參數(shù)的波動(dòng)值超過了第一閾值的情況下，以包含Z方向的形式將上述吸嘴的吸附位置的參數(shù)值向上述吸嘴接近部件的位置修正。
全文摘要
本發(fā)明提供運(yùn)算裝置、部件安裝裝置。提供一種能夠降低異常發(fā)生率的技術(shù)。本部件安裝裝置(運(yùn)算裝置)進(jìn)行以下的處理取得或計(jì)算表示吸附動(dòng)作時(shí)的吸嘴與部件的距離的狀態(tài)參數(shù)值的處理(s1)；計(jì)算狀態(tài)參數(shù)的波動(dòng)值的處理(s2)；在波動(dòng)值超過了第一閾值的情況下(s3)，以包含Z方向的形式將吸嘴的吸附位置的參數(shù)值向吸嘴接近部件的位置修正的處理(s7)。另外，本部件安裝裝置(運(yùn)算裝置)進(jìn)行延長吸嘴的停止時(shí)間(s8)、減慢吸嘴的動(dòng)作速度(s9)這樣的修正。
文檔編號(hào)H05K13/04GK102811600SQ201210159318
公開日2012年12月5日 申請(qǐng)日期2012年5月21日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月3日
發(fā)明者朝倉涼次, 立石淳, 星野正浩, 森谷友二, 關(guān)口裕人, 小山富圣 申請(qǐng)人:株式會(huì)社日立高新技術(shù)儀器