專利名稱：一種新型藍(lán)寶石晶體生長爐籽晶腔室的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及藍(lán)寶石晶體生長爐的加工制造，尤其是一種藍(lán)寶石晶體生長爐籽晶腔室。
背景技術(shù)：
目前藍(lán)寶石晶體生長爐多采用俄羅斯技術(shù)，俄羅斯技術(shù)的缺陷在于使用壓電傳感器，靠籽晶桿對傳感器產(chǎn)生剪切力來產(chǎn)生重量的電信號，其晶體生長爐波紋管置于稱重傳感器下端，在晶體升降和旋轉(zhuǎn)的過程中，波紋管的移動會產(chǎn)生不穩(wěn)定信號，給稱重值造成很大的干擾。對于初學(xué)操作者來說，對于晶體生長的判斷比較困難，同時對晶體的生長也不 利。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種藍(lán)寶石晶體生長爐籽晶腔室，用于提高重量測量的精度。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的技術(shù)方案為一種藍(lán)寶石晶體生長爐籽晶腔室，包括籽晶升降伺服機構(gòu)，籽晶旋轉(zhuǎn)伺服機構(gòu)，籽晶桿，腔室冷卻系統(tǒng)，稱重系統(tǒng)和波紋管，其特征在于，所述籽晶旋轉(zhuǎn)伺服機構(gòu)固定于波紋管的上端，所述波紋管上端連接于籽晶升降伺服機構(gòu)上，下端連接于上爐蓋上的籽晶通孔上，所述稱重系統(tǒng)和腔室冷卻系統(tǒng)密封于波紋管內(nèi)，所述稱重系統(tǒng)包括2只壓力傳感器，承重托盤和支撐盤，所述冷卻系統(tǒng)為一金屬換熱板，懸掛于支撐盤的下面。上述一種藍(lán)寶石晶體生長爐籽晶腔室，其特征在于，所述支撐盤與波紋管上端固定連接，其上放置有壓力傳感器，所述壓力傳感器上放置有承重托盤，所述承重托盤下面固定有籽晶桿。本發(fā)明的優(yōu)點在于極大地提高了重量測量精度，設(shè)計方便，造價低。


下面結(jié)合附圖和具體實施方式
對本發(fā)明作進一步詳細(xì)的說明。圖I是藍(lán)寶石晶體生長爐整體示意圖。圖2是籽晶腔室示意圖。
具體實施例方式圖I和圖2所示，藍(lán)寶石晶體生長爐包括籽晶腔室1，爐體2和上爐蓋16。籽晶腔室I包括籽晶升降伺服機構(gòu)3，籽晶旋轉(zhuǎn)伺服機構(gòu)，籽晶桿8，腔室冷卻系統(tǒng)，稱重系統(tǒng)和波紋管10。籽晶旋轉(zhuǎn)伺服機構(gòu)固定于波紋管上端14，波紋管上端14連接于籽晶升降伺服機構(gòu)3上，下端連接于上爐蓋16上的籽晶通孔9上，稱重系統(tǒng)和腔室冷卻系統(tǒng)密封于波紋管10內(nèi)，稱重系統(tǒng)包括2只壓力傳感器12，承重托盤4和支撐盤5，支撐盤5與波紋管上端14固定連接，其上放置有壓力傳感器12，壓力傳感器12上放置有承重托盤4，承重托盤4上固定有籽晶桿8，籽晶桿8通過上爐蓋16上的籽晶通孔9。冷卻系統(tǒng)為一金屬換熱板11，懸掛 于支撐盤5的下面，由金屬換熱板水管13連接到波紋管上端14上。整個波紋管10靠籽晶升降伺服機構(gòu)3帶動上下移動。
權(quán)利要求
1.一種藍(lán)寶石晶體生長爐籽晶腔室，包括籽晶升降伺服機構(gòu)，籽晶旋轉(zhuǎn)伺服機構(gòu)，籽晶桿，腔室冷卻系統(tǒng)，稱重系統(tǒng)和波紋管，其特征在于，所述籽晶旋轉(zhuǎn)伺服機構(gòu)固定于波紋管的上端，所述波紋管上端連接于籽晶升降伺服機構(gòu)上，下端連接于上爐蓋上的籽晶通孔上，所述稱重系統(tǒng)和腔室冷卻系統(tǒng)密封 于波紋管內(nèi)，所述稱重系統(tǒng)包括2只壓力傳感器，承重托盤和支撐盤，所述冷卻系統(tǒng)為一金屬換熱板，懸掛于支撐盤的下面。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種藍(lán)寶石晶體生長爐籽晶腔室，其特征在于，所述支撐盤與波紋管上端固定連接，其上放置有壓力傳感器，所述壓力傳感器上放置有承重托盤，所述承重托盤下端固定有籽晶桿。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種藍(lán)寶石晶體生長爐籽晶腔室，包括籽晶升降伺服機構(gòu)，籽晶旋轉(zhuǎn)伺服機構(gòu)，籽晶桿，腔室冷卻系統(tǒng)，稱重系統(tǒng)和波紋管，極大地提高了重量測量精度，設(shè)計方便，造價低。
文檔編號C30B35/00GK102953121SQ201210457968
公開日2013年3月6日 申請日期2012年11月14日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月14日
發(fā)明者滑喜寶 申請人:吳江億泰真空設(shè)備科技有限公司