專利名稱：一種新型晶體生長爐的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種晶體硅生長爐，尤其是一種新型晶體生長爐。
背景技術：
在現(xiàn)有單晶硅加工過程中，根據(jù)晶體生長工藝的要求，熔化硅料 時，坩堝必須升降于爐室內(nèi)的加熱區(qū)內(nèi)，晶體生長時坩堝不但要位于 加熱區(qū)內(nèi)而且坩堝內(nèi)液面要與其上方的導流筒保持一定且較近的距 離。制備單晶所需的固體多晶硅料多為塊狀，熔化前與熔化后所占空 間差別很大，要想讓液面與導流筒保持近距離就必須化完料后再調(diào)整 兩者位置關系，目前，常用的方法是化料后升降坩堝，但爐室內(nèi)加熱 區(qū)范圍較窄，如增加投料量坩堝將降至超出加熱區(qū)，坩堝升降幅度受 限。
同時，導流筒的底端面通常位于坩堝的區(qū)域內(nèi)，在向?qū)Я魍矁?nèi)加 固體多晶硅料時則須避開導流筒，使加料量減少，影響了生產(chǎn)效率。

實用新型內(nèi)容
為了解決現(xiàn)有技術中存在的問題，本實用新型提供了一種可實現(xiàn) 導流筒與坩堝距離調(diào)節(jié)的晶體生長爐。
為實現(xiàn)上述目的，本實用新型的新型晶體生長爐，包括爐體、爐 蓋、坩堝、導流筒，坩堝位于爐體內(nèi)部，導流筒位于爐體內(nèi)坩堝的上 方，爐蓋上安裝有一個導流筒提升機構(gòu)。
作為對本實用新型的改進，本實用新型的新型晶體生長爐，導流筒提升'機構(gòu)包括支撐套筒、絲杠、連接桿、支架，支撐套筒固裝在爐 蓋外部，絲杠穿過支撐套筒端部的頂蓋，絲杠的螺桿部分與連接桿置 于支撐套筒內(nèi)，連接桿桿內(nèi)設置內(nèi)螺紋與絲杠的外螺紋相配合，支架 與連接桿聯(lián)接，導流筒安裝在支架上。
作'為對本實用新型的進一步改進，本實用新型的新型晶體生長 爐，在絲杠的頂端配裝有轉(zhuǎn)動手輪，連接桿與支撐套筒間隙處設有軸 瓦，位于連接桿軸瓦的上方設有密封波紋管。
該裝置中由于導流筒設有與爐蓋相連的提升機構(gòu)，可按生產(chǎn)需要 將坩堝上方的導流筒進行升降，保證了坩堝內(nèi)液面要與其上方的導流 筒保持了一定距離，同時增大了坩堝的有效空間，使原料裝料量增加 約三分之一，從而使產(chǎn)量增加，經(jīng)濟效益非常明顯。

圖1為本實用新型的新型晶體生長爐的結(jié)構(gòu)圖。
圖2為本實用新型的新型生長爐導流筒提升機構(gòu)的剖視圖。
具體實施方式

由圖l、圖2可知，本實用新型的新型晶體生長爐，包括爐體l、 爐蓋2、坩堝3、導流筒4，坩堝3位于爐體1內(nèi)部，導流筒4位于 爐體l內(nèi)坩堝3的上方，爐蓋2上安裝有一個導流筒提升機構(gòu)，導流 筒提升機構(gòu)穿過爐蓋2， 一部分位于爐蓋2內(nèi)部， 一部分位于爐蓋2 外部，支撐套筒9固裝在爐蓋2外部，絲杠6穿過支撐套筒9端部的 頂蓋，絲杠6的螺桿部分與連接桿7置于支撐套筒9內(nèi)，連接桿7桿 內(nèi)設置內(nèi)螺紋與絲杠6的外螺紋相配合，支架8與連接桿7聯(lián)接，導 流筒4安裝在支架8上，在絲杠6的頂端配裝有轉(zhuǎn)動手輪5，連接桿7與支撐套筒9間隙處設有軸瓦10，位于連接桿軸瓦10的上方設有 密封波'紋管ll。
裝料前，轉(zhuǎn)動手輪5帶動絲杠6旋轉(zhuǎn)，通過連接桿7帶動支架8 將導流筒4勻速升起后將爐蓋2提升旋開，將硅原料裝入坩堝3后升 降到加熱區(qū)內(nèi)，旋合爐蓋2。待原料熔為液體后，轉(zhuǎn)動手輪5勻速降 下導流'筒4置于液面上規(guī)定位置。
絲杠的上端可用軸承使其轉(zhuǎn)動靈活省力，上端的支撐套筒9上開 有長方形視口，可定期潤滑絲杠副，避免出現(xiàn)卡滯現(xiàn)象。波紋管11 連接密封保證爐體內(nèi)惰性氣體純度。軸瓦10保證了連接桿7滑動順 暢、精密。
權利要求1、一種新型晶體生長爐，包括爐體(1)、爐蓋(2)、坩堝(3)、導流筒(4)，坩堝(3)位于爐體(1)內(nèi)部，導流筒(4)位于爐體(1)內(nèi)坩堝(3)的上方，其特征在于爐蓋(2)上安裝有一個導流筒提升機構(gòu)。
2、 根據(jù)權利要求1所述的新型晶體生長爐，其特征在于所述 導流筒提升機構(gòu)包括支撐套筒(9)、絲杠(6)、連接桿(7)、支架(8)， 支撐套筒(9)固裝在爐蓋(2)外部，絲杠(6)穿過支撐套筒(9) 端部的頂蓋，絲杠(6)的螺桿部分與連接桿(7)置于支撐套筒(9) 內(nèi)，連接桿桿內(nèi)設置內(nèi)螺紋與絲杠(6)的外螺紋相配合，支架(8) 與連接桿聯(lián)接，導流筒(4)安裝在支架(8)上。
3、 根據(jù)權利要求2所述的新型晶體生長爐，其特征在于在絲 杠(6)的上頂端配裝有轉(zhuǎn)動手輪(5)。
4、 根據(jù)權利要求2或3所述的新型晶體生長爐，其特征在于 連接桿(7)與支撐套筒(9)間隙處設有軸瓦(10)，位于連接桿軸 瓦(10)的上方設有密封波紋管(11)。
專利摘要本實用新型提供了一種新型晶體生長爐，包括爐體、爐蓋、坩堝、導流筒，坩堝位于爐體內(nèi)部，導流筒位于爐體內(nèi)坩堝的上方，爐蓋上安裝有一個導流筒提升機構(gòu)，導流筒提升機構(gòu)穿過爐蓋，一部分位于爐蓋內(nèi)部，一部分位于爐蓋外部，裝料前，轉(zhuǎn)動手輪帶動絲杠旋轉(zhuǎn)，通過連接桿、銷，帶動支架將導流筒勻速升起后將爐蓋提升旋開，將硅原料裝入坩堝后升降到加熱區(qū)內(nèi)，旋合爐蓋。待原料熔為液體后，轉(zhuǎn)動手輪，勻速降下導流筒置于液面上規(guī)定位置。
文檔編號C30B15/00GK201321511SQ200820227610
公開日2009年10月7日 申請日期2008年12月3日 優(yōu)先權日2008年12月3日
發(fā)明者周衛(wèi)忠, 王瀅贊, 趙京通, 邊志堅 申請人:河北晶龍陽光設備有限公司