一種藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)用真空爐的制作方法
【專利摘要】藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)用真空爐涉及一種藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)用的真空爐。主要是為解決現(xiàn)有的藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)用真空爐溫場(chǎng)熱擾動(dòng)幾率和不穩(wěn)定性高的問(wèn)題而設(shè)計(jì)的。它包括爐體、進(jìn)水閥門、流量計(jì)、真空系統(tǒng)、爐蓋、出水流量計(jì)、電極、觀察孔、晶體提拉機(jī)構(gòu)、下隔熱屏、側(cè)隔熱屏、上隔熱屏、坩堝、發(fā)熱體、坩堝托盤、托盤頂柱、出水管道、集水槽；集水控制槽上有進(jìn)水管，集水控制槽有管道經(jīng)調(diào)節(jié)閥門與集水槽連接，集水控制槽內(nèi)的換熱器有管道經(jīng)制冷閥門與制冷機(jī)連接，集水控制槽內(nèi)設(shè)有溫度控制儀，集水控制槽通過(guò)管道經(jīng)水泵和控制流量計(jì)與爐底中央的進(jìn)水閥門連接。優(yōu)點(diǎn)是減少溫場(chǎng)擾動(dòng)幾率和不穩(wěn)定性，確保藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)能有穩(wěn)定和理想的溫場(chǎng)。
【專利說(shuō)明】—種藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)用真空爐

【技術(shù)領(lǐng)域】
:
[0001]本發(fā)明涉及一種藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)用的真空爐。

【背景技術(shù)】
:
[0002]現(xiàn)有的藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)用真空爐底部無(wú)水冷，有的雖然有水冷，但是沒有溫度和水流量的控制，增加了生長(zhǎng)藍(lán)寶石晶體溫場(chǎng)熱擾動(dòng)幾率和不穩(wěn)定性，導(dǎo)致生產(chǎn)困難，產(chǎn)品質(zhì)量不穩(wěn)定，特別是生長(zhǎng)60kg以上晶體就更為困難。


【發(fā)明內(nèi)容】

:
[0003]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種溫場(chǎng)熱擾動(dòng)幾率小，穩(wěn)定性好，能提高藍(lán)寶石產(chǎn)量和質(zhì)量的藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)用真空爐。
[0004]上述目的是這樣實(shí)現(xiàn)的:與現(xiàn)有技術(shù)相同的是它也包括具有雙層結(jié)構(gòu)的爐體，爐體側(cè)壁上有進(jìn)水閥門，爐體側(cè)壁的出水口上有流量計(jì)，爐體一側(cè)裝有真空系統(tǒng)，爐體上部有爐蓋，爐蓋上有進(jìn)水閥門、出水流量計(jì)、電極、觀察孔、藍(lán)寶石晶體提拉機(jī)構(gòu)，爐體內(nèi)有下隔熱屏、側(cè)隔熱屏、上隔熱屏，在各隔熱屏里面爐體的中央有坩堝，坩堝外面有發(fā)熱體，坩堝下面是坩堝托盤，坩堝托盤下面是托盤頂柱，托盤頂柱置于爐底上，爐底為雙層結(jié)構(gòu)，爐底中央有進(jìn)水閥門；爐底周圍有若干個(gè)出水管道，各出水管道上都有流量計(jì)，爐底上的各出水管道均與集水槽連通，集水槽內(nèi)設(shè)有溫度計(jì)，集水槽上有排水閥門；與現(xiàn)有技術(shù)不同的是:還設(shè)有集水控制槽，集水控制槽上有進(jìn)水管，集水控制槽有管道經(jīng)調(diào)節(jié)閥門與集水槽連接，集水控制槽內(nèi)有換熱器，換熱器有管道經(jīng)制冷閥門與制冷機(jī)連接，集水控制槽內(nèi)設(shè)有溫度控制儀，集水控制槽通過(guò)管道經(jīng)水泵和控制流量計(jì)與爐底中央的進(jìn)水閥門連接。
[0005]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是:藍(lán)寶石晶體的生長(zhǎng)對(duì)溫場(chǎng)要求非常嚴(yán)格，現(xiàn)有的藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)用真空爐溫度調(diào)控設(shè)施雖然較完備，并且設(shè)有雙層爐底，，通過(guò)控制雙層爐底內(nèi)的水溫來(lái)影響托盤頂柱的溫度，進(jìn)而達(dá)到通過(guò)托盤頂柱的溫度去影響坩堝的溫場(chǎng)，在藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)實(shí)踐中雙層爐底內(nèi)水溫控制的精度仍顯不足；本發(fā)明增設(shè)了集水控制槽等控制手段，對(duì)水溫控制更精準(zhǔn)、靈活，從而實(shí)現(xiàn)通過(guò)托盤頂柱對(duì)坩堝溫場(chǎng)更為精確及時(shí)的控制，避免和減少溫場(chǎng)擾動(dòng)幾率和不穩(wěn)定性，確保藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)能有穩(wěn)定和理想的溫場(chǎng)。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
:
[0006]附圖是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
:
[0007]參照附圖，它包括具有雙層結(jié)構(gòu)的爐體6，爐體側(cè)壁上有進(jìn)水閥門11，爐體側(cè)壁的出水口上有流量計(jì)25，爐體一側(cè)裝有真空系統(tǒng)7，爐體上部有爐蓋1，爐蓋上有進(jìn)水閥門5、出水流量計(jì)25、電極2、觀察孔3、藍(lán)寶石晶體提拉機(jī)構(gòu)4，爐體內(nèi)有下隔熱屏10、側(cè)隔熱屏9、上隔熱屏8，在各隔熱屏里面爐體的中央有坩堝29，坩堝外面有發(fā)熱體27，坩堝下面是坩堝托盤28，坩堝托盤下面是托盤頂柱26，托盤頂柱置于爐底30上，爐底為雙層結(jié)構(gòu)，爐底中央有進(jìn)水閥門15 ;爐底周圍有若干個(gè)出水管道，各出水管道上都有流量計(jì)25，爐底上的各出水管道均與集水槽12連通，集水槽內(nèi)設(shè)有溫度計(jì)14，集水槽上有排水閥門13 ;還設(shè)有集水控制槽17，集水控制槽上有進(jìn)水管18，集水控制槽有管道經(jīng)調(diào)節(jié)閥門16與集水槽12連接，集水控制槽內(nèi)有換熱器19，換熱器有管道經(jīng)制冷閥門20與制冷機(jī)21連接，集水控制槽內(nèi)設(shè)有溫度控制儀22，集水控制槽通過(guò)管道經(jīng)水泵23和控制流量計(jì)24與爐底中央的進(jìn)水閥門15連接。
【權(quán)利要求】
1.一種藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)用真空爐，包括具有雙層結(jié)構(gòu)的爐體(6)，爐體側(cè)壁上有進(jìn)水閥門(11)，爐體側(cè)壁的出水口上有流量計(jì)(25)，爐體一側(cè)裝有真空系統(tǒng)(7)，爐體上部有爐蓋(1)，爐蓋上有進(jìn)水閥門(5)、出水流量計(jì)(25)、電極(2)、觀察孔(3)、藍(lán)寶石晶體提拉機(jī)構(gòu)(4)，爐體內(nèi)有下隔熱屏(10)、側(cè)隔熱屏(9)、上隔熱屏(8)，在各隔熱屏里面爐體的中央有坩堝(29)，坩堝外面有發(fā)熱體(27)，坩堝下面是坩堝托盤(28)，坩堝托盤下面是托盤頂柱(26)，托盤頂柱置于爐底(30)上，爐底為雙層結(jié)構(gòu)，爐底中央有進(jìn)水閥門(15);爐底周圍有若干個(gè)出水管道，各出水管道上都有流量計(jì)(25)，爐底上的各出水管道均與集水槽(12)連通，集水槽內(nèi)設(shè)有溫度計(jì)(14)，集水槽上有排水閥門(13);其特征是:還設(shè)有集水控制槽(17)，集水控制槽上有進(jìn)水管(18)，集水控制槽有管道經(jīng)調(diào)節(jié)閥門(16)與集水槽(12)連接，集水控制槽內(nèi)有換熱器(19)，換熱器有管道經(jīng)制冷閥門(20)與制冷機(jī)(21)連接，集水控制槽內(nèi)設(shè)有溫度控制儀(22)，集水控制槽通過(guò)管道經(jīng)水泵(23)和控制流量計(jì)(24)與爐底中央的進(jìn)水閥門(15)連接。
【文檔編號(hào)】C30B11/00GK104294363SQ201310307418
【公開日】2015年1月21日 申請(qǐng)日期:2013年7月15日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月15日
【發(fā)明者】姚泰, 韓杰才, 張宇民, 于永澔 申請(qǐng)人:哈爾濱工業(yè)大學(xué)