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      可實(shí)現(xiàn)快速阻抗匹配的射頻電源系統(tǒng)的制作方法

      文檔序號(hào):8075701閱讀:704來(lái)源:國(guó)知局
      可實(shí)現(xiàn)快速阻抗匹配的射頻電源系統(tǒng)的制作方法
      【專利摘要】本發(fā)明公開了一種可實(shí)現(xiàn)快速阻抗匹配的射頻電源系統(tǒng),包括射頻功率發(fā)生器和阻抗匹配器,射頻功率發(fā)生器輸出的射頻功率信號(hào)的頻率根據(jù)阻抗匹配器獲取的檢測(cè)值來(lái)變化;阻抗匹配器包括檢測(cè)器、控制器和執(zhí)行機(jī)構(gòu);執(zhí)行機(jī)構(gòu)包括固定阻抗元件、可變阻抗元件和用于改變可變阻抗元件數(shù)值的驅(qū)動(dòng)裝置,可變阻抗元件僅有一個(gè);控制器接收來(lái)自檢測(cè)器的檢測(cè)值,經(jīng)處理計(jì)算后控制執(zhí)行機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)裝置工作以改變可變阻抗元件數(shù)值。采用該射頻電源系統(tǒng),能夠?qū)崿F(xiàn)在較大等離子體腔室內(nèi)的較細(xì)線寬工藝條件下的負(fù)載阻抗快速匹配,并且能夠降低阻抗匹配器內(nèi)的可變阻抗元件故障率,提高設(shè)備的使用可靠性。
      【專利說(shuō)明】可實(shí)現(xiàn)快速阻抗匹配的射頻電源系統(tǒng)
      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本發(fā)明涉及用于等離子體放電的射頻電源系統(tǒng),尤其是涉及一種可實(shí)現(xiàn)快速阻抗匹配的射頻電源系統(tǒng)。
      【背景技術(shù)】
      [0002]射頻電源系統(tǒng)是用于產(chǎn)生射頻功率信號(hào)的裝置,屬于半導(dǎo)體工藝設(shè)備的核心部件,所有產(chǎn)生等離子體進(jìn)行材料處理的設(shè)備都需要射頻電源系統(tǒng)提供能量。在集成電路、太陽(yáng)能電池和LED (Light Emitting Diode,發(fā)光二極管)的工藝制造設(shè)備,例如刻蝕機(jī)、PVD(Physical Vapor Deposition,物理氣相沉積)、PECVD (Plasma Enhanced Chemical VaporDeposition,等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)、ALD (Atomic Layer Deposition,原子層沉積)等設(shè)備,均裝備有不同功率規(guī)格的射頻電源系統(tǒng)。
      [0003]用于等離子體工藝的射頻電源系統(tǒng)一般包括有射頻功率發(fā)生器和阻抗匹配器。如圖1所示,射頻功率發(fā)生器用于產(chǎn)生具有一定功率等級(jí)和一定頻率的射頻信號(hào),而阻抗匹配器放置在等離子體反應(yīng)腔室和射頻功率發(fā)生器之間,用于將等離子體反應(yīng)腔室所體現(xiàn)的負(fù)載阻抗與射頻功率發(fā)生器的輸出阻抗相匹配,以便將射頻功率發(fā)生器所產(chǎn)生的功率良好地輸送至等離子體腔室,從而激發(fā)足量的等離子體以實(shí)現(xiàn)工藝要求。
      [0004]在產(chǎn)生等離子體進(jìn)行材料處理的工藝中,存在等離子體放電過(guò)程,而等離子體放電是一個(gè)非線性過(guò)程,因此導(dǎo)致由等離子體反應(yīng)腔室(包括感性線圈或天線)所體現(xiàn)的負(fù)載阻抗并不為常數(shù),基本上與腔室氣壓、射頻功率、腔室內(nèi)工藝氣體成分及比例有著密切關(guān)系。在上述這些參數(shù)發(fā)生變化時(shí),負(fù)載阻抗自然隨之變化;然而,在半導(dǎo)體工藝過(guò)程或材料改性過(guò)程中,這些參數(shù)經(jīng)常起伏波動(dòng),因此需要阻抗匹配器能夠快速地跟蹤這些變化,避免因阻抗不匹配而導(dǎo)致功率無(wú)法良好地輸送至腔室內(nèi),進(jìn)而使得工藝過(guò)程受阻。
      [0005]為解決這一問(wèn)題,現(xiàn)有技術(shù)射頻電源系統(tǒng)中的阻抗匹配器為由檢測(cè)器、控制器以及執(zhí)行機(jī)構(gòu)三部分組成的阻抗匹配器,如圖2所示。其中,執(zhí)行機(jī)構(gòu)包括構(gòu)建阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的固定阻抗元件、可變阻抗元件以及改變可變阻抗元件數(shù)值的驅(qū)動(dòng)裝置。如圖3所示,阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)通常由一個(gè)固定阻抗元件L、兩個(gè)可變阻抗元件Ct.、Cload和等離子體腔室所體現(xiàn)的負(fù)載阻抗Zdianto組成;檢測(cè)器獲取阻抗匹配器與射頻功率發(fā)生器之間的傳輸線上的電壓、電流、正向功率、反向功率以及阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的輸入阻抗等參數(shù),為控制器提供匹配算法所需的輸入量;控制器根據(jù)這些輸入量,借助于一定的匹配算法,計(jì)算出可變阻抗元件的調(diào)整量,并輸出至執(zhí)行機(jī)構(gòu)中的驅(qū)動(dòng)裝置,驅(qū)動(dòng)裝置根據(jù)接收的調(diào)整量來(lái)改變可變阻抗元件的阻抗。
      [0006]由于檢測(cè)過(guò)程存在誤差,所以匹配算法主要是二維尋優(yōu)過(guò)程,需要不斷地試探和比較,即“檢測(cè)一計(jì)算一比較一調(diào)節(jié)”的過(guò)程。由于現(xiàn)有技術(shù)中的可變阻抗元件一般為可變電容元件,其的變化是通過(guò)電機(jī)帶動(dòng)其的轉(zhuǎn)動(dòng)軸旋轉(zhuǎn)而實(shí)現(xiàn),因此在調(diào)節(jié)過(guò)程中,不僅因反復(fù)機(jī)械轉(zhuǎn)動(dòng)速度有限而使得匹配速度較慢,而且反復(fù)調(diào)節(jié)容易磨損機(jī)械聯(lián)接部件,造成相應(yīng)損壞,使得可變阻抗元件的性能變差,最終影響到匹配效果。[0007]然而,在對(duì)工藝要求高或工藝條件苛刻的環(huán)境下,例如更大的腔室(適用于450毫米晶圓的腔室)和/或更細(xì)的線寬(22納米以下工藝),工藝參數(shù)變化更加敏感,現(xiàn)有技術(shù)的阻抗匹配器已經(jīng)無(wú)法快速地跟蹤,阻抗匹配困難,而且這些條件下通常伴隨著高電壓或大電流的情況,此時(shí)反復(fù)機(jī)械調(diào)節(jié)兩個(gè)可變阻抗元件往往更加容易造成器件損壞。

      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0008]本發(fā)明需要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種可實(shí)現(xiàn)快速阻抗匹配的射頻電源系統(tǒng),采用該系統(tǒng),能夠?qū)崿F(xiàn)在較大等離子體腔室內(nèi)的較細(xì)線寬工藝條件下的負(fù)載阻抗快速匹配,并且能夠降低阻抗匹配器內(nèi)的可變阻抗元件故障率,提高設(shè)備的使用可靠性。
      [0009]為了解決上述技術(shù)問(wèn)題,本發(fā)明提供了一種可實(shí)現(xiàn)快速阻抗匹配的射頻電源系統(tǒng),包括射頻功率發(fā)生器和阻抗匹配器,所述射頻功率發(fā)生器輸出的射頻功率信號(hào)的頻率根據(jù)阻抗匹配器獲取的檢測(cè)值來(lái)變化;所述阻抗匹配器包括檢測(cè)器、控制器和執(zhí)行機(jī)構(gòu);所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)包括固定阻抗元件、可變阻抗元件和用于改變所述可變阻抗元件數(shù)值的驅(qū)動(dòng)裝置,所述可變阻抗元件僅有一個(gè);所述控制器接收來(lái)自所述檢測(cè)器的檢測(cè)值,經(jīng)處理計(jì)算后控制所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)的所述驅(qū)動(dòng)裝置工作以改變所述可變阻抗元件數(shù)值。
      [0010]進(jìn)一步地,本發(fā)明還具有如下特點(diǎn):所述射頻功率發(fā)生器輸出的射頻功率信號(hào)的頻率的中心值為2MHz、13.56MHz或40.68MHz。
      [0011]進(jìn)一步地,本發(fā)明還具有如下特點(diǎn):所述射頻功率發(fā)生器輸出的射頻功率信號(hào)的頻率的偏離中心值的變化范圍為一 5%到+5%。
      [0012]進(jìn)一步地,本發(fā)明還具有如下特點(diǎn):所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)的所述可變阻抗元件為可變電容元件。
      [0013]進(jìn)一步地,本發(fā)明還具有如下特點(diǎn):所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)的所述固定阻抗元件包括固定電感元件和固定電容元件,所述固定電感元件、所述固定電容元件和所述可變電容元件組成L形阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)。
      [0014]進(jìn)一步地,本發(fā)明還具有如下特點(diǎn):所述固定電感元件和所述可變電容元件相串聯(lián),所述固定電容元件的一端與所述可變電容元件的一端相連接,所述固定電容元件的另
      一端接地。
      [0015]進(jìn)一步地,本發(fā)明還具有如下特點(diǎn):所述固定電感元件的取值范圍為500nH?IOOOnH ;所述固定電容元件的取值范圍為200pF?1500pF ;所述可變電容元件的最大數(shù)值的取值范圍為150pF?600pF。
      [0016]進(jìn)一步地,本發(fā)明還具有如下特點(diǎn):所述固定電感元件和所述固定電容元件相串聯(lián),所述可變電容元件的一端與所述固定電容元件的一端相連接,所述可變電容元件的另
      一端接地。
      [0017]進(jìn)一步地,本發(fā)明還具有如下特點(diǎn):所述固定電感元件的取值范圍為500nH?IOOOnH ;所述固定電容元件的取值范圍為50pF?500pF ;所述可變電容元件的最大數(shù)值的取值范圍為500pF?1500pF。
      [0018]進(jìn)一步地,本發(fā)明還具有如下特點(diǎn):所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)的所述可變阻抗元件為可變電感元件。
      [0019]與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn):[0020]1、本發(fā)明采用頻率可變的射頻功率發(fā)生器與單個(gè)可變阻抗元件替代了現(xiàn)有技術(shù)所采用兩個(gè)可變阻抗元件來(lái)實(shí)現(xiàn)阻抗匹配,射頻功率發(fā)生器的頻率調(diào)節(jié)是通過(guò)電子調(diào)節(jié)的方式進(jìn)行,速度遠(yuǎn)遠(yuǎn)快于機(jī)械調(diào)節(jié)方式,因此可以提高阻抗匹配速度;而且,只采用單個(gè)可變阻抗元件,降低了在苛刻條件下使用的阻抗匹配器的故障率,提高整個(gè)射頻電源系統(tǒng)和使用可靠性;
      [0021]2、由于阻抗匹配器的主要成本在于可變阻抗元件,由兩個(gè)可變阻抗元件減少到一個(gè)可變阻抗元件,可以節(jié)約接近40%的成本,所以本發(fā)明還有利于成本控制。
      【專利附圖】

      【附圖說(shuō)明】
      [0022]圖1為現(xiàn)有射頻電源系統(tǒng)的應(yīng)用不意圖;
      [0023]圖2為現(xiàn)有射頻電源系統(tǒng)中的阻抗匹配器的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0024]圖3為現(xiàn)有射頻電源系統(tǒng)中的阻抗匹配器的執(zhí)行機(jī)構(gòu)的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0025]圖4為本發(fā)明射頻電源系統(tǒng)的組成示意圖;
      [0026]圖5為本發(fā)明射頻電源系統(tǒng)中的阻抗匹配器的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0027]圖6為本發(fā)明射頻電源系統(tǒng)中的阻抗匹配器的執(zhí)行機(jī)構(gòu)的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的第一種實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0028]圖7為本發(fā)明射頻電源系統(tǒng)中的自動(dòng)阻抗匹配器的執(zhí)行機(jī)構(gòu)的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的第二種實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。
      【具體實(shí)施方式】
      [0029]為了深入了解本發(fā)明,下面結(jié)合附圖及具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
      [0030]如圖4所述,本發(fā)明公開了一種射頻電源系統(tǒng),該射頻電源系統(tǒng)包括頻率可變的射頻功率發(fā)生器和阻抗匹配器,射頻功率發(fā)生器與阻抗匹配器相連接,阻抗匹配器與等離子體腔室保持良好的電氣連接。
      [0031]射頻功率發(fā)生器可為電子管式的射頻功率發(fā)生器或晶體管式的射頻功率發(fā)生器。射頻功率發(fā)生器輸出的射頻功率信號(hào)的頻率可根據(jù)阻抗匹配器獲取的檢測(cè)值來(lái)變化,例如阻抗匹配器向射頻功率發(fā)生器返回所獲取其輸入阻抗參數(shù),射頻功率發(fā)生器根據(jù)這個(gè)參數(shù)在一定的頻率范圍(即在偏離中心頻率的一定范圍)內(nèi)調(diào)節(jié)射頻信號(hào)頻率,最終使得其輸入阻抗參數(shù)達(dá)到預(yù)先設(shè)定的數(shù)值,例如特性阻抗50歐姆。射頻功率發(fā)生器可采用壓電晶體振蕩器或頻率合成技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)輸出頻率可變的射頻信號(hào),其輸出射頻功率信號(hào)頻率的中心值可為 2MHz、13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz 或 60MHz,其中優(yōu)選 2ΜΗζ、13.56MHz 或 40.68MHz。射頻功率信號(hào)頻率偏離中心值的變化范圍為一 10%到+10%,優(yōu)選為一 5%到+5%。
      [0032]如圖5所示,阻抗匹配器包括檢測(cè)器、控制器和執(zhí)行機(jī)構(gòu)。檢測(cè)器、控制器和執(zhí)行機(jī)構(gòu)的連接方式與現(xiàn)有技術(shù)相似,只是檢測(cè)器需要將所檢測(cè)的信號(hào)向射頻功率發(fā)生器返回,以便射頻功率發(fā)生器根據(jù)這一檢測(cè)信號(hào)來(lái)改變輸出的射頻功率信號(hào)的頻率。
      [0033]執(zhí)行機(jī)構(gòu)包括固定阻抗元件、可變阻抗元件和用于改變可變阻抗元件數(shù)值的驅(qū)動(dòng)裝置,可變阻抗元件僅有一個(gè);固定阻抗元件和一個(gè)可變阻抗元件以及等離子體腔室所體現(xiàn)的負(fù)載阻抗構(gòu)成一個(gè)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)。[0034]檢測(cè)器分別與控制器、執(zhí)行機(jī)構(gòu)相連接,檢測(cè)器獲取阻抗匹配器與射頻功率發(fā)生器之間的傳輸線上的電壓、電流、正向功率、反向功率以及阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的輸入阻抗等參數(shù),為控制器提供匹配算法所需的輸入量。檢測(cè)器的電壓、電流感應(yīng)器可采用電容分壓和電流互感器的方式,這些參數(shù)經(jīng)采樣后進(jìn)行矢量運(yùn)算,計(jì)算出正向功率、反向功率以及阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的輸入阻抗等其它參數(shù)。
      [0035]控制器根據(jù)這些輸入量,借助于一定的匹配算法,計(jì)算出可變阻抗元件的調(diào)整量,并輸出至執(zhí)行機(jī)構(gòu)中的驅(qū)動(dòng)裝置,驅(qū)動(dòng)裝置根據(jù)接收的調(diào)整量來(lái)改變可變阻抗元件的阻抗數(shù)值。
      [0036]阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)通常使用L形。一般來(lái)說(shuō),可變阻抗元件采用可變電容元件,該可變電容元件可以空氣為介質(zhì)的可變空氣電容器,或者以真空為介質(zhì)的可變真空電容器。固定阻抗元件一般包括一個(gè)固定電容元件和一個(gè)固定電感元件。少數(shù)情況下,可變阻抗元件也可采用可變電感元件。
      [0037]對(duì)于本發(fā)明,適用的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)實(shí)施方式一般有兩種,分別見圖6和圖7。
      [0038]如圖6所示,該阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)包括有一個(gè)固定電感元件L、一個(gè)固定電容元件Cltjad和一個(gè)可變電容元件Ctum。其中,固定電感元件L和可變電容元件Ct.相串聯(lián),固定電容元件ClMd的一端與可變電容元件Ctum的一端相連接,固定電容元件Cltjad的另一端接地,固定電感元件L與等離子體腔室所體現(xiàn)的負(fù)載阻抗Zdianto相連接。固定電感元件L的取值范圍為500nH?2000nH,優(yōu)選為800nH?1300nH。固定電容元件Cltjad的取值范圍為200pF?1500pF,優(yōu)選為500pF?1000pF??勺冸娙菰﨏tune的最大數(shù)值的取值范圍為150pF?600pF。這種結(jié)構(gòu)的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)適用于等離子體腔室所體現(xiàn)的負(fù)載阻抗的虛部變化較大但實(shí)部變化較小的情況。在這種情況下,阻抗匹配過(guò)程一般是先調(diào)節(jié)可變電容元件Ct.,然后再調(diào)節(jié)射頻功率發(fā)生器輸出的射頻功率信號(hào)的頻率。
      [0039]如圖7所示,該阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)包括有一個(gè)固定電感元件L、一個(gè)可變電容元件Cltjad和一個(gè)固定電容元件Ct.,固定電感元件L和固定電容元件Ctum相串聯(lián),可變電容元件Cltjad的一端與固定電容元件Ct.的一端相連接,可變電容元件ClMd的另一端接地,固定電感元件L與等離子體腔室所體現(xiàn)的負(fù)載阻抗Zdiamto相連接。固定電感元件L的取值范圍為500nH?2000nH,優(yōu)選為800nH?1300nH。固定電容元件Ctune的取值范圍為50pF?500pF,優(yōu)選為80pF?200pF ;可變電容元件Cltjad的最大數(shù)值的取值范圍為500pF?1500pF。這種結(jié)構(gòu)的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)適用于等離子體腔室所體現(xiàn)的負(fù)載阻抗的虛部變化較小但實(shí)部變化較大的情況。在這種情況下,阻抗匹配過(guò)程一般是先調(diào)節(jié)射頻功率發(fā)生器輸出的射頻功率信號(hào)的頻率,然后再調(diào)節(jié)可變電容元件ClMd。
      [0040]本發(fā)明采用頻率可變的射頻功率發(fā)生器與單個(gè)可變阻抗元件替代了現(xiàn)有技術(shù)所采用兩個(gè)可變阻抗元件來(lái)實(shí)現(xiàn)阻抗匹配,射頻功率發(fā)生器的頻率調(diào)節(jié)是通過(guò)電子調(diào)節(jié)的方式進(jìn)行,速度遠(yuǎn)遠(yuǎn)快于機(jī)械調(diào)節(jié)方式,因此可以提高阻抗匹配速度;而且,只采用單個(gè)可變阻抗元件,降低了在苛刻條件下使用的阻抗匹配器的故障率,提高整個(gè)射頻電源系統(tǒng)和使用可靠性。此外,還可以節(jié)省設(shè)備的成本。
      [0041]以上所述的【具體實(shí)施方式】,對(duì)本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明,所應(yīng)理解的是,以上所述僅為本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】而已,并不用于限制本發(fā)明,凡在本發(fā)明的本質(zhì)和基本原理之內(nèi),所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
      【權(quán)利要求】
      1.一種可實(shí)現(xiàn)快速阻抗匹配的射頻電源系統(tǒng),包括射頻功率發(fā)生器和阻抗匹配器,其特征在于:所述射頻功率發(fā)生器輸出的射頻功率信號(hào)的頻率根據(jù)阻抗匹配器獲取的檢測(cè)值來(lái)變化;所述阻抗匹配器包括檢測(cè)器、控制器和執(zhí)行機(jī)構(gòu);所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)包括固定阻抗元件、可變阻抗元件和用于改變所述可變阻抗元件數(shù)值的驅(qū)動(dòng)裝置,所述可變阻抗元件僅有一個(gè);所述控制器接收來(lái)自所述檢測(cè)器的檢測(cè)值,經(jīng)處理計(jì)算后控制所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)的所述驅(qū)動(dòng)裝置工作以改變所述可變阻抗元件數(shù)值。
      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻電源系統(tǒng),其特征在于:所述射頻功率發(fā)生器輸出的射頻功率信號(hào)的頻率的中心值為2MHz、13.56MHz或40.68MHz。
      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻電源系統(tǒng),其特征在于:所述射頻功率發(fā)生器輸出的射頻功率信號(hào)的頻率的偏離中心值的變化范圍為一 5%到+5%。
      4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻電源系統(tǒng),其特征在于:所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)的所述可變阻抗元件為可變電容元件。
      5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的射頻電源系統(tǒng),其特征在于:所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)的所述固定阻抗元件包括固定電感元件和固定電容元件,所述固定電感元件、所述固定電容元件和所述可變電容元件組成L形阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)。
      6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的射頻電源系統(tǒng),其特征在于:所述固定電感元件和所述可變電容元件相串聯(lián),所述固定電容元件的一端與所述可變電容元件的一端相連接,所述固定電容元件的另一端接地。
      7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的射頻電源系統(tǒng),其特征在于:所述固定電感元件的取值范圍為500nH?IOOOnH ;所述固定電容元件的取值范圍為200pF?1500pF ;所述可變電容元件的最大數(shù)值的取值范圍為150pF?600pF。
      8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的射頻電源系統(tǒng),其特征在于:所述固定電感元件和所述固定電容元件相串聯(lián),所述可變電容元件的一端與所述固定電容元件的一端相連接,所述可變電容元件的另一端接地。
      9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的射頻電源系統(tǒng),其特征在于:所述固定電感元件的取值范圍為500nH?IOOOnH ;所述固定電容元件的取值范圍為50pF?500pF ;所述可變電容元件的最大數(shù)值的取值范圍為500pF?1500pF。
      10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻電源系統(tǒng),其特征在于:所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)的所述可變阻抗元件為可變電感元件。
      【文檔編號(hào)】H05H1/46GK103619117SQ201310629233
      【公開日】2014年3月5日 申請(qǐng)日期:2013年11月29日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月29日
      【發(fā)明者】李勇滔, 孫小孟, 李英杰, 夏洋, 王文東 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院微電子研究所
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