升華純化設(shè)備和方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明涉及用于純化有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)材料的升華純化設(shè)備和方法。常規(guī)升華純化設(shè)備是間歇式的，其中通過(guò)加載一個(gè)源材料到處理室然后從處理室卸出純化材料來(lái)進(jìn)行一次升華純化處理。這些處理是手動(dòng)進(jìn)行的，因此不可能連續(xù)生產(chǎn)OLED用的純化材料。因此，很難提高產(chǎn)量和生產(chǎn)率。根據(jù)本發(fā)明，加載源材料和卸出純化材料的操作是自動(dòng)進(jìn)行的，因此能夠連續(xù)進(jìn)行純化OLED用的源材料的工藝。
【專(zhuān)利說(shuō)明】升華純化設(shè)備和方法發(fā)明領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及用于純化有機(jī)發(fā)光二極管(0LED)的材料的設(shè)備和方法，更具體涉及用于在真空條件下升華和重結(jié)晶有機(jī)材料的設(shè)備和方法。
_2] 發(fā)明背景
[0003]通常，用于有機(jī)發(fā)光二極管(0LED)的材料需要純化。0LED材料的純化技術(shù)希望從復(fù)合材料中僅僅提取電致發(fā)光所需的純材料，并將提取的組分用于薄膜沉積。隨著0LED材料純化技術(shù)的進(jìn)步，色純度和發(fā)光效率也得到提高，并延長(zhǎng)了 0LED的發(fā)光壽命。為了大規(guī)模制造0LED材料，很重要的是需要操作時(shí)間更短和純化效率更高的0LED材料純化技術(shù)。
[0004]有機(jī)材料的升華純化方法公開(kāi)在H.J.Wagner等人的文章中，《材料學(xué)報(bào)(Journalof Materials Science)》，17, 2781, (1982)。在這篇文章中，長(zhǎng)約1米的玻璃管插入用于導(dǎo)熱的銅管中，且待純化并用于生產(chǎn)0LED材料的源材料放置在玻璃管的一端區(qū)域中。加熱器圍繞內(nèi)含源材料的銅管，且玻璃管內(nèi)部維持真空狀態(tài)。加熱器加熱玻璃管中的源材料，從而使源材料升華。玻璃管具有溫度梯度，從而在玻璃管的另一端使得升華的材料冷卻并重結(jié)晶。因此，在所述玻璃管的另一端區(qū)域中形成重結(jié)晶的有機(jī)材料。
[0005]通常，純化裝置由于純化工藝的限制是間歇式的。源材料加載后就能使用，且純化材料在升華純化工藝后卸出。從而完成第一個(gè)過(guò)程。升華純化設(shè)備及使用該設(shè)備的升華純化方法公開(kāi)在韓國(guó)待審專(zhuān)利申請(qǐng)10-2010-0114342中。但是，在該文獻(xiàn)中公開(kāi)的常規(guī)升華純化設(shè)備和方法在生產(chǎn)率和產(chǎn)量上受到限制，因?yàn)樵摲椒ㄊ且来问謩?dòng)進(jìn)行的。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]摶術(shù)問(wèn)是頁(yè)
[0007]本發(fā)明涉及上述常規(guī)設(shè)備和方法中的問(wèn)題的解決，且希望提供一種升華純化設(shè)備和方法，其中源材料的加載和轉(zhuǎn)移以及純化材料的卸出自動(dòng)進(jìn)行，從而可以進(jìn)行連續(xù)工藝，且每個(gè)過(guò)程可同時(shí)平行進(jìn)行，從而提高用于有機(jī)發(fā)光二極管(0LED)的材料的純化工藝的生產(chǎn)率，實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)。
[0008]技術(shù)方案
[0009]本發(fā)明一方面提供了一種升華純化設(shè)備，其包括:
[0010]第一機(jī)器人，所述第一機(jī)器人具有用來(lái)將包含源材料的容器加載到處理室中的臂；
[0011]所述處理室用來(lái)進(jìn)行升華純化工藝以從源材料得到純化材料，所述包含源材料的容器和收集純化材料的收集器位于處理室中的預(yù)定位置；以及
[0012]第二機(jī)器人，所述第二機(jī)器人具有用來(lái)從所述處理室卸出包含純化材料的收集器的臂。
[0013]所述升華純化設(shè)備還可包括預(yù)熱室，所述預(yù)熱室用于對(duì)包含在所述容器中的源材料進(jìn)行預(yù)熱處理，其中預(yù)熱的源材料通過(guò)第一機(jī)器人加載到所述處理室中。
[0014]所述升華純化設(shè)備還可包括冷卻室，所述冷卻室用于對(duì)包含在所述收集器中的純化材料進(jìn)行冷卻處理，其中純化材料通過(guò)第二機(jī)器人加載到所述冷卻室中。
[0015]本發(fā)明另一方面提供了一種升華純化方法，其包括:
[0016]在預(yù)熱室中預(yù)熱包含在容器中的源材料；
[0017]使用第一機(jī)器人的臂將包含所述預(yù)熱的源材料的容器加載到處理室中，并將所述容器定位在預(yù)定位置；
[0018]進(jìn)行升華純化工藝以在所述處理室中從源材料得到純化材料，其中純化材料收集在位于預(yù)定位置的收集器中；
[0019]使用第二機(jī)器人的臂從所述處理室卸出包含純化材料的收集器；以及
[0020]在進(jìn)行所述升華純化工藝的同時(shí)開(kāi)始另一預(yù)熱處理。
[0021]所述升華純化方法還可包括通過(guò)所述第二機(jī)器人將包含純化材料的卸出的收集器加載到冷卻室，以進(jìn)行純化材料的冷卻處理，其中所述冷卻處理與處理室中的另一升華純化工藝同時(shí)進(jìn)行。
[0022]本發(fā)明的有益.效果
[0023]根據(jù)本發(fā)明的升華純化設(shè)備和方法，所述源材料的加載和純化材料的卸出自動(dòng)進(jìn)行以形成連續(xù)工藝，從而減少0LED材料純化工藝所需的時(shí)間。因此，提高生產(chǎn)率和降低生產(chǎn)成本。另外，可同時(shí)平行進(jìn)行多個(gè)工藝，從而顯著提高每個(gè)處理室的生產(chǎn)率。因此，提高0LED生產(chǎn)車(chē)間每單位面積的產(chǎn)量。另外，整體連續(xù)自動(dòng)工藝防止將雜質(zhì)加入到純化材料中，從而形成具有高純度的純化0LED材料。因此，可提高0LED的發(fā)光效率和壽命。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0024]圖la和lb顯示了本發(fā)明第一實(shí)施方式的升華純化設(shè)備。
[0025]圖2a和2b顯示了本發(fā)明第二實(shí)施方式的升華純化設(shè)備。
[0026]圖3a和3b顯示了本發(fā)明第三實(shí)施方式的升華純化設(shè)備。
[0027]圖3a和3b顯示了本發(fā)明第四實(shí)施方式的升華純化設(shè)備。
[0028]發(fā)明的

【具體實(shí)施方式】
[0029]根據(jù)圖la，顯示了本發(fā)明第一實(shí)施方式的升華純化設(shè)備100。本發(fā)明的升華純化設(shè)備100包括包含0LED升華純化工藝所用源材料的源材料容器120和包含在純化工藝中純化的0LED材料的純化材料收集器130。優(yōu)選地，源材料容器120是舟形的，且所述純化材料收集器130可以是管型的(即收集管)。
[0030]另外，本發(fā)明的升華純化設(shè)備100包括處理室110，其中進(jìn)行用于生產(chǎn)0LED材料的升華純化工藝。所述處理室110包含外部管111、加熱器112以及門(mén)113和114。所述升華純化工藝在所述外部管111中進(jìn)行。所述外部管111由透明材料例如石英或硼硅酸鹽玻璃形成，且基本上具有圓柱形形狀。加熱器112包圍所述外部管111。所述外部管111可分成多個(gè)區(qū)，且這些區(qū)可通過(guò)加熱器112調(diào)節(jié)到不同溫度。門(mén)113和114設(shè)置在所述外部管的兩端。包含源材料的源材料容器120通過(guò)門(mén)113轉(zhuǎn)移到外部管111中，且加載在所述外部管111中。當(dāng)完成純化工藝時(shí)，空的源材料容器120從所述外部管111卸出。類(lèi)似地，空的純化材料收集器130通過(guò)門(mén)114轉(zhuǎn)移到外部管111中，且加載在所述外部管111中。當(dāng)完成升華純化工藝時(shí)，包含純化材料的純化材料收集器130從所述外部管111卸出。處理室110的內(nèi)部通過(guò)真空泵(圖中未顯示)維持真空狀態(tài)?；蛘撸鎏幚硎?10還可包括捕獲器(trap)或閥門(mén)(圖中未顯示)。
[0031]所述處理室110中的升華純化工藝如下所示。所述源材料容器120通過(guò)位于處理室110 —端的門(mén)113轉(zhuǎn)移到外部管111中，并加載在外部管111中。當(dāng)通過(guò)加熱器112將源材料加熱到高于將要在純化工藝中得到的0LED材料的升華點(diǎn)時(shí)，源材料升華并分散在所述外部管111中。當(dāng)通過(guò)加熱器112將分散的源材料加熱到低于將要在純化工藝中得到的0LED材料的升華點(diǎn)時(shí)，0LED材料收集在所述純化材料收集器130中。當(dāng)完成升華純化工藝時(shí)，包含純化材料的純化材料收集器130通過(guò)門(mén)114從所述處理室110卸出到處理室外部。
[0032]再來(lái)看圖la，本發(fā)明的升華純化設(shè)備100還包括用于將源材料容器120加載到處理室110的轉(zhuǎn)移室140、源材料存儲(chǔ)裝置160和預(yù)熱室180。所述轉(zhuǎn)移室140具有在所述處理室110和預(yù)熱室180之間、在處理室140中自動(dòng)轉(zhuǎn)移源材料容器120的機(jī)器人141。所述機(jī)器人141用機(jī)器人141的臂舉起并轉(zhuǎn)移所述源材料容器120。或者，本發(fā)明的轉(zhuǎn)移室140還可包括連接到所述轉(zhuǎn)移室140的真空泵或閥(圖中未顯示)。
[0033]在本發(fā)明的第一實(shí)施方式中，所述轉(zhuǎn)移室140通過(guò)門(mén)113連接到所述處理室的一端。所述源材料存儲(chǔ)裝置160通過(guò)所述轉(zhuǎn)移室140的另一個(gè)門(mén)連接到所述轉(zhuǎn)移室140，且預(yù)熱室180通過(guò)所述轉(zhuǎn)移室140的其他門(mén)連接到所述轉(zhuǎn)移室140。所述處理室110、轉(zhuǎn)移室140、源材料存儲(chǔ)裝置160和預(yù)熱室180可在過(guò)程中根據(jù)需要相互隔開(kāi)。
[0034]所述源材料存儲(chǔ)裝置160可以是室，其中存儲(chǔ)包含源材料的一個(gè)或多個(gè)源材料容器120?；蛘?，所述源材料存儲(chǔ)裝置160還可包括連接到源材料存儲(chǔ)裝置160的真空泵或閥(圖中未顯示)。當(dāng)轉(zhuǎn)移室140和源材料存在裝置160之間的門(mén)打開(kāi)時(shí)，機(jī)器人141使用臂將多個(gè)源材料容器120中的一個(gè)從源材料存儲(chǔ)裝置160轉(zhuǎn)移到轉(zhuǎn)移室140。
[0035]當(dāng)轉(zhuǎn)移室140和預(yù)熱室180之間的門(mén)打開(kāi)時(shí)，機(jī)器人141通過(guò)機(jī)器人141的臂舉起所述源材料容器120并將其轉(zhuǎn)移到預(yù)熱室180。所述轉(zhuǎn)移室140和預(yù)熱室180之間的門(mén)關(guān)閉，且預(yù)熱室將源材料預(yù)熱到比源材料在處理室110中加熱的溫度要低的溫度。所述機(jī)器人141使用機(jī)器人141的臂舉起所述包含所述預(yù)熱的源材料的源材料容器120并將其從預(yù)熱室180轉(zhuǎn)移到轉(zhuǎn)移室140。當(dāng)處理室110的門(mén)113打開(kāi)時(shí)，所述機(jī)器人141將包含源材料的源材料容器120加載到所述處理室110。
[0036]為了進(jìn)行連續(xù)處理以及提高處理效率，在上述升華純化工藝正在進(jìn)行的過(guò)程中，機(jī)器人141將包含源材料的下一個(gè)源材料容器120從源材料存儲(chǔ)裝置160轉(zhuǎn)移到轉(zhuǎn)移室140，然后將所述源材料容器120加載到預(yù)熱室180中。下一次的預(yù)熱處理也如上所述以相同的方式在預(yù)熱室180中進(jìn)行。由于本發(fā)明在預(yù)熱室中獨(dú)立采用了預(yù)熱處理，縮短了處理室110中的加熱時(shí)間。通常，預(yù)熱處理和升華純化工藝都在處理室中進(jìn)行。但是，本發(fā)明的升華純化設(shè)備通過(guò)采用與處理室110獨(dú)立的預(yù)熱室180減少了處理室110中進(jìn)行預(yù)熱處理的時(shí)間，從而處理室110可進(jìn)行操作更多次，因?yàn)樘幚硎?10中的預(yù)熱時(shí)間減少了。因此，升華純化處理的總體生產(chǎn)率提高了。
[0037]同時(shí)，當(dāng)在處理室110中完成前一次純化處理時(shí)，機(jī)器人141用其臂舉起并轉(zhuǎn)移空的源材料容器120 (其在完成純化處理后離開(kāi))到轉(zhuǎn)移室140，然后轉(zhuǎn)移空的源材料容器120到源材料存儲(chǔ)裝置160，并在源材料存儲(chǔ)裝置160中堆疊空的源材料容器120。此時(shí)，在預(yù)熱室180中同時(shí)進(jìn)行預(yù)熱處理。
[0038]再來(lái)看圖la，本發(fā)明的升華純化設(shè)備110還包含轉(zhuǎn)移室150、純化材料存儲(chǔ)裝置170和冷卻室190，其用于將包含純化材料的純化材料收集器130從處理室110上卸出的自動(dòng)化工藝。所述轉(zhuǎn)移室150具有自動(dòng)轉(zhuǎn)移純化材料收集器130的機(jī)器人151。所述機(jī)器人151用其臂轉(zhuǎn)移純化材料收集器130。或者，本發(fā)明的轉(zhuǎn)移室150還可包括連接到所述轉(zhuǎn)移室150的真空泵或閥(圖中未顯示)。
[0039]在本發(fā)明的第一實(shí)施方式中，所述轉(zhuǎn)移室150通過(guò)位于處理室110的另一端的門(mén)114連接到處理室110。所述純化材料存儲(chǔ)裝置170通過(guò)所述轉(zhuǎn)移室150的另一個(gè)門(mén)連接到所述轉(zhuǎn)移室150，且冷卻室190通過(guò)所述轉(zhuǎn)移室150的其他門(mén)連接到所述轉(zhuǎn)移室150。所述處理室110、轉(zhuǎn)移室150、純化材料存儲(chǔ)裝置170和冷卻室190可在過(guò)程中根據(jù)需要相互隔開(kāi)。
[0040]所述純化材料存儲(chǔ)裝置170可以是室，其中存儲(chǔ)包含純化材料的一個(gè)或多個(gè)空的純化材料收集器130?；蛘?，所述純化材料存儲(chǔ)裝置170還可包括連接到純化材料存儲(chǔ)裝置170的真空泵或閥(圖中未顯示)。在處理室110中進(jìn)行純化處理之前，當(dāng)轉(zhuǎn)移室150和純化材料存儲(chǔ)裝置170之間的門(mén)打開(kāi)時(shí)，機(jī)器人151通過(guò)其臂舉起多個(gè)空的純化材料收集器130中的一個(gè)并將其從純化材料存儲(chǔ)裝置170轉(zhuǎn)移到轉(zhuǎn)移室150。當(dāng)處理室110的門(mén)114打開(kāi)時(shí)，機(jī)器人151用其臂將空的純化材料收集器130轉(zhuǎn)移到處理室110中。
[0041]當(dāng)在處理室110中完成純化處理時(shí)，處理室110的門(mén)114再次打開(kāi)，機(jī)器人151用其臂卸出包含純化材料的純化材料收集器130到轉(zhuǎn)移室150。當(dāng)轉(zhuǎn)移室150和冷卻室190之間的門(mén)打開(kāi)時(shí)，機(jī)器人151通過(guò)機(jī)器人151的臂將純化材料收集器130轉(zhuǎn)移到冷卻室190。冷卻室190的門(mén)關(guān)閉，且冷卻室190對(duì)包含在純化材料收集器130中的純化材料進(jìn)行冷卻。冷卻室190的溫度低于純化材料收集器130在處理室中加熱的溫度，且高于室溫。
[0042]另外，機(jī)器人151將用于下一次純化處理的空的純化材料收集器130從純化材料存儲(chǔ)裝置170轉(zhuǎn)移到轉(zhuǎn)移室150，且將純化材料收集器130轉(zhuǎn)移到處理室110，然后進(jìn)行升華純化處理。冷卻處理可在冷卻室190中與所述升華純化處理同時(shí)進(jìn)行。通常，升華純化工藝和冷卻處理都在處理室中進(jìn)行。但是，本發(fā)明的升華純化設(shè)備通過(guò)采用與處理室110獨(dú)立的冷卻室190減少了處理室110中進(jìn)行冷卻處理的時(shí)間，從而處理室110可進(jìn)行更多次操作，因?yàn)樘幚硎?10中的冷卻時(shí)間減少了。因此，升華純化處理的總體生產(chǎn)率提高了。
[0043]在常規(guī)升華純化設(shè)備中，預(yù)計(jì)在處理室中一般約需1小時(shí)30分鐘到2小時(shí)30分鐘來(lái)進(jìn)行預(yù)熱處理，約需6-7小時(shí)來(lái)進(jìn)行升華純化處理，以及約需1小時(shí)30分鐘到2小時(shí)30分鐘來(lái)進(jìn)行冷卻處理。也就是說(shuō)，在處理室中總共需要約9-12小時(shí)。但是，根據(jù)本發(fā)明的升華純化設(shè)備，所述處理在預(yù)熱室180、處理室110和冷卻室190中獨(dú)立進(jìn)行，因此總共需要約6-7個(gè)小時(shí)來(lái)在處理室110中進(jìn)行處理。因此，升華純化處理的總時(shí)間縮短了。
[0044]所述機(jī)器人151用其臂舉起包含冷卻的純化材料的純化材料收集器130，將純化材料收集器130從冷卻室190轉(zhuǎn)移到轉(zhuǎn)移室150，并將所述純化材料收集器130轉(zhuǎn)移到純化材料存儲(chǔ)裝置170中。上述升華純化處理連續(xù)重復(fù)進(jìn)行。因此，一個(gè)或多個(gè)包含冷卻的純化材料的純化材料收集器130存儲(chǔ)在所述純化材料存儲(chǔ)裝置170中。之后，純化材料存儲(chǔ)裝置170的內(nèi)部調(diào)整到大氣壓力，然后收集包含在每個(gè)純化材料收集器130中的純化材料。
[0045]圖lb顯示了升華純化設(shè)備100’，其部分改進(jìn)了圖la所示的第一實(shí)施方式的設(shè)備。圖lb的升華純化設(shè)備100’還包括獨(dú)立存儲(chǔ)裝置161，其中在純化處理之后存儲(chǔ)空的源材料容器120。在圖la中，純化處理之前包含源材料的源材料容器和純化處理之后空的源材料容器120都存儲(chǔ)在源材料存儲(chǔ)裝置160中。但是，在圖lb所示的升華純化設(shè)備100’中，包含源材料的源材料容器120 (其存儲(chǔ)在源材料存儲(chǔ)裝置160中)通過(guò)機(jī)器人141經(jīng)由轉(zhuǎn)移室140轉(zhuǎn)移到預(yù)熱室180中，進(jìn)行預(yù)熱處理，然后轉(zhuǎn)移到處理室110中，但是，純化處理之后空的源材料容器120通過(guò)機(jī)器人141從處理室110卸出，并經(jīng)由轉(zhuǎn)移室140轉(zhuǎn)移并存儲(chǔ)在存儲(chǔ)裝置161中，其中存儲(chǔ)裝置161中存儲(chǔ)有空的源材料容器120。
[0046]再次來(lái)看圖lb，本發(fā)明的升華純化設(shè)備100’還包括獨(dú)立存儲(chǔ)裝置171，其中存儲(chǔ)有用于純化處理的空的純化材料收集器130。在圖la中，純化處理之前空的純化材料收集器130和純化處理之后包含純化材料的純化材料收集器130都存儲(chǔ)在純化材料存儲(chǔ)裝置170中。但是，在圖lb中，包含純化材料的純化材料收集器130通過(guò)機(jī)器人151從處理室110卸出，并經(jīng)由轉(zhuǎn)移室150轉(zhuǎn)移到冷卻室190，進(jìn)行冷卻處理，并轉(zhuǎn)移到純化材料存儲(chǔ)裝置170且存儲(chǔ)在其中，但是，用于純化處理的空的純化材料收集器130存儲(chǔ)在與轉(zhuǎn)移室150連接的獨(dú)立存儲(chǔ)裝置171中，并通過(guò)機(jī)器人151經(jīng)由轉(zhuǎn)移室150從獨(dú)立存儲(chǔ)裝置171轉(zhuǎn)移到處理室110以進(jìn)行純化處理。
[0047]圖2a顯示了本發(fā)明第二實(shí)施方式的升華純化設(shè)備200。在本發(fā)明的第二實(shí)施方式中，轉(zhuǎn)移室140經(jīng)由門(mén)113連接到處理室110的一端，且預(yù)熱室280經(jīng)由轉(zhuǎn)移室140的其他門(mén)連接到轉(zhuǎn)移室140。源材料存儲(chǔ)裝置260經(jīng)由預(yù)熱室280的門(mén)連接到預(yù)熱室280。所述處理室110、轉(zhuǎn)移室140、源材料存儲(chǔ)裝置260和預(yù)熱室280可在過(guò)程中根據(jù)需要相互隔開(kāi)。
[0048]在源材料存儲(chǔ)裝置260中，堆疊一個(gè)或多個(gè)包含源材料的源材料容器120?；蛘撸鲈床牧洗鎯?chǔ)裝置260還可包括連接到源材料存儲(chǔ)裝置260的真空泵或閥(圖中未顯示)。當(dāng)源材料存儲(chǔ)裝置260和預(yù)熱室280之間的門(mén)打開(kāi)時(shí)，多個(gè)源材料容器120中的一個(gè)從源材料存儲(chǔ)裝置260轉(zhuǎn)移到預(yù)熱室280。在這種情況下，轉(zhuǎn)移室140的機(jī)器人141的臂可具有足夠的長(zhǎng)度，以穿過(guò)預(yù)熱室280的兩個(gè)門(mén)，且臂可將源材料容器120從源材料存儲(chǔ)裝置260轉(zhuǎn)移到預(yù)熱室280中。或者，可在源材料存儲(chǔ)裝置260和預(yù)熱室280之間進(jìn)一步提供與轉(zhuǎn)移室140和機(jī)器人141相同或相似的其他單元(圖中未顯示)，因此源材料容器120可通過(guò)所述單元轉(zhuǎn)移。接著，如所述第一實(shí)施方式所述，在預(yù)熱室280中進(jìn)行包含源材料的源材料容器120的預(yù)熱處理。
[0049]當(dāng)在處理室110中完成前一個(gè)純化處理時(shí)，移動(dòng)所述源材料存儲(chǔ)裝置260并將其連接到轉(zhuǎn)移室140，機(jī)器人141將純化處理之后空的源材料容器120轉(zhuǎn)移到轉(zhuǎn)移室140，然后轉(zhuǎn)移源材料存儲(chǔ)裝置260，并在源材料存儲(chǔ)裝置260中堆疊空的源材料容器120。此時(shí)，在預(yù)熱室280中同時(shí)進(jìn)行預(yù)熱處理。
[0050]當(dāng)完成預(yù)熱處理時(shí)，機(jī)器人141將包含預(yù)熱的源材料的源材料容器120從預(yù)熱室280轉(zhuǎn)移到轉(zhuǎn)移室140。當(dāng)處理室110的門(mén)打開(kāi)時(shí)，所述機(jī)器人141將包含源材料的源材料容器120再次加載到所述處理室110中，且在處理室110中進(jìn)行純化處理。
[0051 ] 再次來(lái)看圖2a，在本發(fā)明的第二實(shí)施方式中，轉(zhuǎn)移室150通過(guò)門(mén)114連接到處理室110的一端。冷卻室290經(jīng)由轉(zhuǎn)移室150的門(mén)連接到轉(zhuǎn)移室150，且純化材料存儲(chǔ)裝置270經(jīng)由冷卻室290的門(mén)連接到冷卻室290。所述處理室110、轉(zhuǎn)移室150、純化材料存儲(chǔ)裝置270和冷卻室290可在過(guò)程中根據(jù)需要相互隔開(kāi)。
[0052]包含純化材料的一個(gè)或多個(gè)空的純化材料收集器130堆疊在所述純化材料存儲(chǔ)裝置270中?；蛘?，所述純化材料存儲(chǔ)裝置270還可包括連接到純化材料存儲(chǔ)裝置270的真空泵或閥(圖中未顯示)。為了在處理室110的純化處理之前將空的純化材料收集器130轉(zhuǎn)移到處理室110，純化材料存儲(chǔ)裝置270 (其連接到冷卻室290)移動(dòng)到轉(zhuǎn)移室150。當(dāng)轉(zhuǎn)移室150和純化材料存儲(chǔ)裝置270之間的門(mén)打開(kāi)時(shí)，機(jī)器人151將多個(gè)空的純化材料收集器130中的一個(gè)從純化材料存儲(chǔ)裝置270轉(zhuǎn)移到轉(zhuǎn)移室150。當(dāng)處理室110的門(mén)打開(kāi)時(shí)，所述機(jī)器人151將包含純化材料的純化材料收集器130轉(zhuǎn)移到所述處理室110。
[0053]當(dāng)在處理室110中完成純化處理時(shí)，處理室110的門(mén)114再次打開(kāi)，機(jī)器人151卸出包含純化材料的純化材料收集器130到轉(zhuǎn)移室150中。當(dāng)連接轉(zhuǎn)移室150和冷卻室290的門(mén)打開(kāi)時(shí)，機(jī)器人151將純化材料收集器130轉(zhuǎn)移到冷卻室290。冷卻室290的門(mén)關(guān)閉，且冷卻室290冷卻包含在純化材料收集器130中的純化材料。
[0054]另外，機(jī)器人151將用于下一次純化處理的空的純化材料收集器130從純化材料存儲(chǔ)裝置270轉(zhuǎn)移到轉(zhuǎn)移室150，且將空的純化材料收集器130轉(zhuǎn)移到處理室110，然后進(jìn)行下一次升華純化處理。此時(shí)，在冷卻室290中同時(shí)進(jìn)行冷卻處理。
[0055]當(dāng)在冷卻室290中完成冷卻處理時(shí)，如圖2a所示，移動(dòng)純化材料存儲(chǔ)裝置270并連接到冷卻室290。當(dāng)冷卻室290和純化材料存儲(chǔ)裝置270之間的門(mén)打開(kāi)時(shí)，包含純化材料的純化材料收集器130從冷卻室290卸出到純化材料存儲(chǔ)裝置270。在這種情況下，轉(zhuǎn)移室150的機(jī)器人151的臂可具有足夠的長(zhǎng)度，以穿過(guò)冷卻室290的兩個(gè)門(mén)，且臂可將純化材料收集器130從冷卻室290轉(zhuǎn)移到純化材料存儲(chǔ)裝置270?；蛘撸稍诩兓牧洗鎯?chǔ)裝置270和冷卻室290之間進(jìn)一步提供與轉(zhuǎn)移室150和機(jī)器人151相同或相似的其他單元(圖中未顯示)，因此純化材料收集器130可通過(guò)所述單元轉(zhuǎn)移。
[0056]圖lb顯示了升華純化設(shè)備200 ’，其部分改進(jìn)了圖2a所示的第二實(shí)施方式的設(shè)備。圖2b的升華純化設(shè)備200’還包括獨(dú)立存儲(chǔ)裝置261，其中在純化處理之后存儲(chǔ)空的源材料容器120。在圖2a中，純化處理之前包含源材料的源材料容器120和純化處理之后空的源材料容器120都存儲(chǔ)在源材料存儲(chǔ)裝置260中，源材料存儲(chǔ)裝置260移動(dòng)到轉(zhuǎn)移室140的門(mén)或預(yù)熱室280的門(mén)，且根據(jù)相應(yīng)的處理選擇性連接到轉(zhuǎn)移室140和預(yù)熱室280。在圖2b所示的升華純化設(shè)備200’中，源材料存儲(chǔ)裝置260連接到預(yù)熱室280。包含源材料的源材料容器120從源材料存儲(chǔ)裝置260加載到預(yù)熱室280中，且純化處理之后空的源材料容器120存儲(chǔ)在與轉(zhuǎn)移室140連接的獨(dú)立存儲(chǔ)裝置261中。
[0057]再次來(lái)看圖2b，本發(fā)明的升華純化設(shè)備200’還包括獨(dú)立存儲(chǔ)裝置271，其中存儲(chǔ)有用于純化處理的空的純化材料收集器130。在圖2a的升華純化設(shè)備200中，用于純化處理的空的純化材料收集器130和純化處理之后包含純化材料的純化材料收集器130都存儲(chǔ)在純化材料存儲(chǔ)裝置270中，將純化材料存儲(chǔ)裝置270移動(dòng)到轉(zhuǎn)移室150的門(mén)或冷卻室290的門(mén)，且根據(jù)相應(yīng)的處理選擇性連接到轉(zhuǎn)移室150和冷卻室290。在圖2b所示的升華純化設(shè)備200’中，純化材料存儲(chǔ)裝置270連接到冷卻室290，且包含純化材料的冷卻的純化材料收集器130從冷卻室290卸出到純化材料存儲(chǔ)裝置270中，且存儲(chǔ)在純化材料存儲(chǔ)裝置270中。用于純化處理的空的純化材料收集器130存儲(chǔ)在與轉(zhuǎn)移室150連接的獨(dú)立存儲(chǔ)裝置271中，然后轉(zhuǎn)移到轉(zhuǎn)移室150以進(jìn)行純化處理。
[0058]圖3a顯示了本發(fā)明第三實(shí)施方式的升華純化設(shè)備300。在本發(fā)明的第三實(shí)施方式中，轉(zhuǎn)移室140經(jīng)由門(mén)113連接到處理室110的一端，且源材料存儲(chǔ)裝置360經(jīng)由轉(zhuǎn)移室140的其他門(mén)連接到轉(zhuǎn)移室140。預(yù)熱室380經(jīng)由源材料存儲(chǔ)裝置360的門(mén)連接到源材料存儲(chǔ)裝置360。所述處理室110、轉(zhuǎn)移室140、源材料存儲(chǔ)裝置360和預(yù)熱室380可在過(guò)程中根據(jù)需要相互隔開(kāi)。
[0059]純化處理之前包含源材料的源材料容器120和純化處理之后空的源材料容器120都存儲(chǔ)在源材料存儲(chǔ)裝置360中。或者，所述源材料存儲(chǔ)裝置360還可包括連接到源材料存儲(chǔ)裝置360的真空泵或閥(圖中未顯示)。
[0060]多個(gè)源材料容器120中的一個(gè)通過(guò)機(jī)器人141從源材料存儲(chǔ)裝置360轉(zhuǎn)移到預(yù)熱室380，且在預(yù)熱室380中進(jìn)行包含源材料的源材料容器120的預(yù)熱處理。當(dāng)完成預(yù)熱處理時(shí)，機(jī)器人141通過(guò)源材料存儲(chǔ)裝置360將包含預(yù)熱的源材料的源材料容器120從預(yù)熱室380轉(zhuǎn)移到轉(zhuǎn)移室140，然后將源材料容器120再次加載到處理室110中。在處理室110中進(jìn)行純化處理。
[0061]當(dāng)在處理室110中完成純化處理時(shí)，機(jī)器人141將純化處理之后空的源材料容器120轉(zhuǎn)移到轉(zhuǎn)移室140，然后將空的源材料容器120轉(zhuǎn)移到源材料存儲(chǔ)裝置360，并將空的源材料容器120堆疊在源材料存儲(chǔ)裝置360中。此時(shí)，在預(yù)熱室380中同時(shí)進(jìn)行下一個(gè)預(yù)熱處理。
[0062]這里，已經(jīng)提到源材料容器120在源材料存儲(chǔ)裝置360和預(yù)熱室380之間通過(guò)機(jī)器人141轉(zhuǎn)移?；蛘撸稍谠床牧洗鎯?chǔ)裝置360和預(yù)熱室380之間進(jìn)一步提供與轉(zhuǎn)移室140和機(jī)器人141相同或相似的其他單元(圖中未顯示)，因此源材料容器120可通過(guò)所述單元轉(zhuǎn)移。
[0063]再次來(lái)看圖3a，在本發(fā)明的第三實(shí)施方式中，轉(zhuǎn)移室150通過(guò)門(mén)114連接到處理室110的一端。純化材料存儲(chǔ)裝置370經(jīng)由轉(zhuǎn)移室150的其他門(mén)連接到轉(zhuǎn)移室150，且冷卻室390經(jīng)由純化材料存儲(chǔ)裝置370的門(mén)連接到純化材料存儲(chǔ)裝置370。所述處理室110、轉(zhuǎn)移室150、純化材料存儲(chǔ)裝置370和冷卻室390可在過(guò)程中根據(jù)需要相互隔開(kāi)。
[0064]用于純化處理的空的純化材料收集器130和純化處理之后包含純化材料的純化材料收集器130存儲(chǔ)在純化材料存儲(chǔ)裝置370中。或者，所述純化材料存儲(chǔ)裝置370還可包括連接到純化材料存儲(chǔ)裝置370的真空泵或閥(圖中未顯示)。
[0065]當(dāng)在處理室110中完成純化處理時(shí)，機(jī)器人151從處理室110卸出包含純化材料的純化材料收集器130到轉(zhuǎn)移室150中，然后通過(guò)純化材料存儲(chǔ)裝置370從轉(zhuǎn)移室150將純化材料收集器130轉(zhuǎn)移到冷卻室390中。冷卻室390冷卻包含在純化材料收集器130中的純化材料。當(dāng)在冷卻室390中完成冷卻處理時(shí)，機(jī)器人151將包含純化材料的冷卻的純化材料收集器130從冷卻室390加載到純化材料存儲(chǔ)裝置370，然后將純化材料收集器130存儲(chǔ)在純化材料存儲(chǔ)裝置370中。
[0066]另外，機(jī)器人151將用于下一次純化處理的空的純化材料收集器130從純化材料存儲(chǔ)裝置370轉(zhuǎn)移到轉(zhuǎn)移室150，且將純化材料收集器130轉(zhuǎn)移到處理室110，然后進(jìn)行下一次升華純化處理。此時(shí)，在冷卻室390中進(jìn)行冷卻處理。
[0067]這里，已經(jīng)提到純化材料收集器130在純化材料存儲(chǔ)裝置370和冷卻室390之間通過(guò)安裝在轉(zhuǎn)移室150中的機(jī)器人151轉(zhuǎn)移?；蛘?，可在純化材料存儲(chǔ)裝置370和冷卻室390之間進(jìn)一步提供與轉(zhuǎn)移室150和機(jī)器人151相同或相似的其他單元(圖中未顯示)。
[0068]圖3b顯示了升華純化設(shè)備300 ’，其部分改進(jìn)了圖3a所示的第三實(shí)施方式的設(shè)備。在圖3b的升華純化設(shè)備300’中，包含源材料的源材料容器120存儲(chǔ)在源材料存儲(chǔ)裝置360中，且純化處理之后空的源材料容器120存儲(chǔ)在獨(dú)立的存儲(chǔ)裝置361中。源材料存儲(chǔ)裝置360和獨(dú)立的存儲(chǔ)裝置361可左右、上下或其他各個(gè)方向移動(dòng)，以根據(jù)相應(yīng)的處理連接至轉(zhuǎn)移室140或預(yù)熱室180。
[0069]再次來(lái)看圖3b，在升華純化設(shè)備300’中，包含純化材料的純化材料收集器130存儲(chǔ)在純化材料存儲(chǔ)裝置370中，且用于純化處理的空的純化材料收集器130存儲(chǔ)在獨(dú)立的存儲(chǔ)裝置371中。純化材料存儲(chǔ)裝置370和獨(dú)立的存儲(chǔ)裝置371可左右、上下或其他各個(gè)方向移動(dòng)，以根據(jù)相應(yīng)的處理連接至轉(zhuǎn)移室150或冷卻室160。
[0070]圖4描述了本發(fā)明第四實(shí)施方式的升華純化設(shè)備，其部分改進(jìn)了圖la所示的設(shè)備100。圖1的轉(zhuǎn)移室140具有多個(gè)門(mén)。但是，在第四實(shí)施方式中，轉(zhuǎn)移室140具有一個(gè)門(mén)，且轉(zhuǎn)移室440發(fā)生旋轉(zhuǎn)和/或移動(dòng)，且連接到處理室110、源材料存儲(chǔ)裝置160或預(yù)熱室180。接著，進(jìn)行相應(yīng)的處理。同樣地，用于卸出工藝的轉(zhuǎn)移室450可具有一個(gè)門(mén)。轉(zhuǎn)移室450旋轉(zhuǎn)和/或移動(dòng)，且連接到處理室110、純化材料存儲(chǔ)裝置170或冷卻室190。接著，進(jìn)行相應(yīng)的處理。
[0071]如上所述，本發(fā)明的實(shí)施方式使用了機(jī)器人141和151作為轉(zhuǎn)移源材料容器120和純化材料收集器130的裝置?；蛘?，機(jī)器人141和151可以是由遠(yuǎn)程控制器控制的輸送帶或任何其他自動(dòng)傳輸裝置。
[0072]因此，本發(fā)明已經(jīng)參照上述示例性實(shí)施方式進(jìn)行描述。本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以理解這些實(shí)施方式可以改進(jìn)的形式進(jìn)行，且沒(méi)有偏離本發(fā)明的實(shí)質(zhì)性特點(diǎn)。因此，所述實(shí)施方式應(yīng)理解為解釋本發(fā)明，并沒(méi)有限制本發(fā)明的范圍。本發(fā)明的范圍由所附的權(quán)利要求書(shū)限定，而不是上述描述，與上述范圍等同的所有不同點(diǎn)都應(yīng)包括在本發(fā)明的范圍內(nèi)。
[0073]附圖標(biāo)記的描述
[0074]100:升華純化設(shè)備，110:處理室，120:源材料容器，130:純化材料收集器，141:機(jī)器人，151:機(jī)器人，160:源材料存儲(chǔ)裝置，170:純化材料存儲(chǔ)裝置，180:預(yù)熱室，190:冷卻室
【權(quán)利要求】
1.一種升華純化設(shè)備，所述升華純化設(shè)備包括: 第一機(jī)器人，所述第一機(jī)器人具有用來(lái)將包含源材料的容器加載到處理室中的臂；所述處理室用來(lái)進(jìn)行升華純化工藝以從源材料得到純化材料，所述包含源材料的容器和收集純化材料的收集器位于處理室中的預(yù)定位置；以及 第二機(jī)器人，所述第二機(jī)器人具有用于從所述處理室卸出包含純化材料的收集器的臂。
2.如權(quán)利要求1所述的升華純化設(shè)備，其特征在于，所述升華純化設(shè)備還包括預(yù)熱室，所述預(yù)熱室用于包括在所述容器中的源材料的預(yù)熱處理，其中預(yù)熱的源材料通過(guò)第一機(jī)器人加載到所述處理室中。
3.如權(quán)利要求1所述的升華純化設(shè)備，其特征在于，所述升華純化設(shè)備還包括冷卻室，所述冷卻室用于對(duì)包括在所述收集器中的純化材料進(jìn)行冷卻處理，其中純化材料通過(guò)第二機(jī)器人加載到所述冷卻室中。
4.一種升華純化方法，所述升華純化方法包括: 在預(yù)熱室中預(yù)熱包含在容器中的源材料； 使用第一機(jī)器人的臂將包含所述預(yù)熱的源材料的容器加載到處理室中，并將所述容器定位在預(yù)定位置； 進(jìn)行升華純化工藝以從所述處理室中的源材料得到純化材料，其中純化材料收集在位于預(yù)定位置的收集器中； 使用第二機(jī)器人的臂從所述處理室卸出包含純化材料的收集器；以及 在進(jìn)行所述升華純化工藝的同時(shí)，開(kāi)始另一預(yù)熱處理。
5.如權(quán)利要求4所述的升華純化方法，其特征在于，所述升華純化方法還包括通過(guò)第二機(jī)器人將卸出的包含純化材料的收集器加載到冷卻室，以冷卻處理所述純化材料， 所述冷卻處理與處理室中的另一升華純化處理同時(shí)進(jìn)行。
【文檔編號(hào)】H05B33/10GK104380495SQ201380026400
【公開(kāi)日】2015年2月25日 申請(qǐng)日期:2013年5月20日 優(yōu)先權(quán)日:2012年5月21日
【發(fā)明者】金大勛, 金時(shí)龍, 樸正桓, 樸范圭, 樸成浩, 鄭鐘元, 南英雄, 白晶守 申請(qǐng)人:羅門(mén)哈斯電子材料韓國(guó)有限公司