具有同心圓環(huán)的多周期主從嵌套圓環(huán)陣列電磁屏蔽光窗的制作方法
【專利摘要】具有同心圓環(huán)的多周期主從嵌套圓環(huán)陣列電磁屏蔽光窗屬于電磁屏蔽【技術(shù)領(lǐng)域】，由基本圓環(huán)、同心子圓環(huán)對(duì)、次級(jí)子圓環(huán)、填充圓環(huán)、同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)以及調(diào)制子圓環(huán)構(gòu)成具有同心圓環(huán)的多周期主從嵌套陣列的金屬網(wǎng)柵；其中，基本圓環(huán)與同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)均構(gòu)成二維正交陣列，同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)的外圓環(huán)與基本圓環(huán)外切連通，基本圓環(huán)內(nèi)有同心子圓環(huán)對(duì)和填充圓環(huán)，同心子圓環(huán)對(duì)內(nèi)有次級(jí)子圓環(huán)，同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)內(nèi)有調(diào)制子圓環(huán)。在圓環(huán)相切連通的連接處，通過線條交疊或覆蓋保證金屬環(huán)切點(diǎn)間可靠電聯(lián)接的金屬，確保所有圓環(huán)相互導(dǎo)電。本發(fā)明的金屬網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)可顯著降低網(wǎng)柵高級(jí)衍射光強(qiáng)分布的不均勻性，使衍射造成的雜散光分布更加均勻，對(duì)成像影響更小。
【專利說明】具有同心圓環(huán)的多周期主從嵌套圓環(huán)陣列電磁屏蔽光窗
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于光學(xué)透明件電磁屏蔽領(lǐng)域，特別涉及一種具有同心圓環(huán)的多周期主從嵌套圓環(huán)陣列電磁屏蔽光窗。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著電磁波應(yīng)用頻譜的展寬和強(qiáng)度的增加，對(duì)航天航空裝備、先進(jìn)光學(xué)儀器、通訊設(shè)備、醫(yī)療診斷儀器和保密設(shè)施等領(lǐng)域應(yīng)用的電磁屏蔽光窗的要求越來越高，主要是要求光窗具有超強(qiáng)的寬波段電磁屏蔽能力的同時(shí)，還具有極高的透光率，對(duì)光學(xué)成像、觀測(cè)、探測(cè)的影響越小越好。比如，航天航空裝備領(lǐng)域中飛行器的光窗，必須高品質(zhì)的實(shí)現(xiàn)艙內(nèi)外的電磁信號(hào)隔離，一方面屏蔽外部電磁干擾和有害電磁信號(hào)，以免造成艙內(nèi)電子設(shè)備失效，一方面防止艙內(nèi)電子設(shè)備工作時(shí)電磁信號(hào)透出光窗造成電磁泄漏，但光窗的透光性是其必備的功能，對(duì)光窗進(jìn)行電磁屏蔽應(yīng)盡可能的減小對(duì)其透明性的影響，特別是盡可能的不影響光學(xué)探測(cè)或光學(xué)成像功能；與此類似，先進(jìn)光學(xué)儀器的光窗也要有盡可能高的透光率和盡可能低的成像質(zhì)量影響，以實(shí)現(xiàn)高品質(zhì)的探測(cè)和測(cè)量，同時(shí)要防止電磁干擾對(duì)儀器內(nèi)部光電探測(cè)器件的影響；對(duì)于黨政機(jī)關(guān)、軍事指揮場(chǎng)所、重要科研單位的保密建筑設(shè)施，需要對(duì)其房屋的窗玻璃在保證采光性的同時(shí)，進(jìn)行電磁屏蔽設(shè)計(jì)，以防止室內(nèi)電腦等電子設(shè)備工作時(shí)重要信息以電磁輻射形式向窗外傳播造成泄密；醫(yī)療用電磁隔離室光窗要保證室內(nèi)的電磁波絕大部分被屏蔽而防止室外操作人員長(zhǎng)期被電磁波輻射而損害健康，等等。目前這類光窗的電磁屏蔽主要采用透明導(dǎo)電薄膜、金屬誘導(dǎo)透射型多層膜結(jié)構(gòu)、帶阻型頻率選擇表面和具有毫米亞毫米周期的金屬網(wǎng)柵等。
[0003]透明導(dǎo)電薄膜是一種以氧化銦錫為主要材料的透明金屬氧化物薄膜，常應(yīng)用于可見光波段透明的場(chǎng)合，但是不能兼顧較寬的透光波段，雖具有較寬的微波屏蔽波段但屏蔽能力不強(qiáng)。金屬誘導(dǎo)透射型多層膜結(jié)構(gòu)采用多層薄金屬膜與介質(zhì)膜復(fù)合結(jié)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)對(duì)電磁波的屏蔽，對(duì)低頻微波屏蔽能力較強(qiáng)，透光區(qū)域主要為可見光和紫外光，但透光率不高。頻率選擇表面采用周期性諧振單元結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)帶通或帶阻濾波器功能，由于其金屬覆蓋率較高，能夠很好地反射工作頻帶以外的干擾電磁波，但是光學(xué)透光率較低，降低了光學(xué)探測(cè)的成像質(zhì)量，給光學(xué)圖像處理、模式識(shí)別、目標(biāo)搜索和跟蹤帶來了困難。綜上所述，同時(shí)滿足光窗的寬波段高透光率和寬頻段電磁屏蔽兩個(gè)要求，上述各技術(shù)方案均存在明顯不足。相比而言，具有毫米亞毫米周期的金屬網(wǎng)柵，由于其周期比干擾電磁波長(zhǎng)小得多，可以實(shí)現(xiàn)較強(qiáng)的低頻寬波段電磁屏蔽；而金屬網(wǎng)柵周期又遠(yuǎn)大于光學(xué)波長(zhǎng)，可以保證光學(xué)波段的透光率。因此，毫米亞毫米周期的金屬網(wǎng)柵具有良好的透明導(dǎo)電性能，可滿足光窗對(duì)高透光率和寬頻段電磁屏蔽的要求，在光窗電磁屏蔽【技術(shù)領(lǐng)域】得到了廣泛的應(yīng)用:
[0004]1.專利03135313.5 “一種電磁屏蔽觀察窗”用單重或多重金屬絲網(wǎng)以及類半導(dǎo)體量子阱結(jié)構(gòu)組合成電磁屏蔽結(jié)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)IOGHz以內(nèi)超過50dB的屏蔽效率，該結(jié)構(gòu)在可見光高透射區(qū)域的透光率達(dá)到50%以上。
[0005]2.專利93242068.0 “電磁屏蔽玻璃”在兩層玻璃之間夾導(dǎo)電金屬網(wǎng)，在玻璃外側(cè)用導(dǎo)電透明膜使之粘合在金屬窗框上以構(gòu)成電磁屏蔽結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)有一定的采光性。
[0006]3.專利94231862.5 “無莫爾條紋電磁屏蔽觀察窗”采用由兩層數(shù)目不同的金屬網(wǎng)平行放置，且它們經(jīng)線或者緯線有一定的夾角，以達(dá)到克服莫爾條紋現(xiàn)象，實(shí)現(xiàn)更清晰的視野。
[0007]4.專利02157954.7 “高屏效防信息泄漏玻璃”在金屬絲網(wǎng)兩側(cè)各有一層聚碳酸脂膠片，膠片外側(cè)各貼附一層玻璃，最后熱壓而成電磁屏蔽結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)在透光率達(dá)到60 %的情況下，具有較強(qiáng)的屏蔽效率。
[0008]5.專利200610084149.8 “電磁波屏蔽薄膜及其制造方法”描述了一種由光刻工藝形成的具有金屬網(wǎng)狀圖案的高透明電磁屏蔽薄膜，該發(fā)明的主要目的在于減少金屬耗用量和克服在金屬層和薄膜基材之間使用固化膠造成的環(huán)境污染問題。
[0009]6.美國(guó)專利 US4871220“Short wavelength pass filter having a metal meshon a semiconducting substrate”描述了一種具有正方形結(jié)構(gòu)的金屬網(wǎng)柵,用于實(shí)現(xiàn)光窗的抗電磁干擾性能。
[0010]7.專利201010239355.8 “一種具有經(jīng)緯形網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)的電磁屏蔽共形光學(xué)窗”描述了一種通過金屬網(wǎng)柵技術(shù)和共形光學(xué)窗技術(shù)實(shí)現(xiàn)的一種具有經(jīng)緯形金屬網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)的共形電磁屏蔽光學(xué)窗，主要解決共形光學(xué)窗金屬網(wǎng)柵的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)問題，提高共形光學(xué)窗的電磁屏蔽性能。
[0011]8.專利200610010066.4 “具有圓環(huán)金屬網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)的電磁屏蔽光學(xué)窗”描述了一種具有圓環(huán)外形的金屬網(wǎng)柵單元，用于實(shí)現(xiàn)光學(xué)窗的電磁屏蔽功能；相比單層方格金屬網(wǎng)柵，透光率和屏蔽能力得到了提高，高級(jí)次衍射造成的雜散光也得到了一定的均化。
[0012]9.專利200810063988.0 “一種具有雙層方格金屬網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)的電磁屏蔽光學(xué)窗”描述了一種由結(jié)構(gòu)參數(shù)相同的方格金屬網(wǎng)柵或金屬絲網(wǎng)平行放置于光學(xué)窗或透明襯底兩側(cè)構(gòu)成的電磁屏蔽光學(xué)窗，在不降低透光率的同時(shí)，大幅度提高了電磁屏蔽效率。
[0013]10.專利200810063987.6 “一種具有雙層圓環(huán)金屬網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)的電磁屏蔽光學(xué)窗”描述了 一種由兩層圓環(huán)金屬網(wǎng)柵加載于光學(xué)窗兩側(cè)構(gòu)成的電磁屏蔽光學(xué)窗，解決高透光率和強(qiáng)電磁屏蔽效率不能同時(shí)兼顧的問題。
[0014]11.美國(guó)Battelle研究院Jennifer 1.Halman等人開發(fā)的基于圓環(huán)單元的轂-福條型結(jié)構(gòu)和多圓環(huán)交疊結(jié)構(gòu)的感性金屬網(wǎng)柵(Jennifer 1.Halman等,“Predicted andmeasured transmission and diffraction by a metallic mesh coating，，.Proc.SPIE,
2009,7302:73020Y-l-73020Y-8)，并認(rèn)為由于圓環(huán)的作用，該結(jié)構(gòu)可使得網(wǎng)柵高級(jí)次衍射分布均化，實(shí)現(xiàn)低旁瓣，對(duì)成像有利。
[0015]12.美國(guó) Exotic Electro-Optics 公司的 Ian B.Murray、美國(guó)亞利桑那大學(xué)的Victor Densmore和Vaibhav Bora等人共同報(bào)道了對(duì)轂-福條型結(jié)構(gòu)和多圓環(huán)交疊結(jié)構(gòu)的感性網(wǎng)柵引入了參數(shù)隨機(jī)分布設(shè)計(jì)后對(duì)衍射特性的影響(Ian B.Murray, VictorDensmore, Vaibhav Bora 等人，“Numerical comparision of grid pattern diffractioneffects through measurement and modeling with OptiScan software，，，Proc.SPIE,
2011,8016:80160U-1-80160U-15)，指出各圓環(huán)間距和直徑在一定范圍內(nèi)隨機(jī)取值，有利于提高高級(jí)次衍射分布的均勻性。
[0016]上述各方案由于采用金屬網(wǎng)柵(或金屬絲網(wǎng))作為屏蔽的核心器件，可以實(shí)現(xiàn)較好的電磁屏蔽效果和一定的透光率。但采用金屬網(wǎng)柵(或金屬絲網(wǎng))作為電磁屏蔽結(jié)構(gòu)，就不可避免的受到網(wǎng)柵在光學(xué)波段衍射的影響。由于金屬網(wǎng)柵的周期在毫米或者亞毫米量級(jí)，為實(shí)現(xiàn)較高的透光率，其金屬線條寬度一般在微米和亞微米量級(jí)，這樣的結(jié)構(gòu)參數(shù)在光學(xué)波段具有非常強(qiáng)的衍射效應(yīng)。入射光絕大部分能量被金屬網(wǎng)柵透射，透射部分包含零級(jí)衍射光和高級(jí)次衍射光，通常，零級(jí)次衍射光是用于成像和觀測(cè)的有用信息，高級(jí)次衍射光則構(gòu)成雜散光，對(duì)成像和探測(cè)產(chǎn)生干擾。因此，應(yīng)盡可能的提高零級(jí)次衍射光所占的比重，同時(shí)，在高級(jí)次衍射光不可避免出現(xiàn)的前提下，盡可能使高級(jí)次衍射光分布比較均勻，其形成的雜散光成為比較均勻的背景或者噪聲。
[0017]目前金屬網(wǎng)柵主要為傳統(tǒng)方格網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)，如上述專利1-6所主要采用的結(jié)構(gòu)(專利7的結(jié)構(gòu)由于加工在曲面之上，是一種類方格結(jié)構(gòu))，方格網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)透光能力與屏蔽能力存在固有的矛盾，難以同時(shí)兼顧高透光率和強(qiáng)電磁屏蔽效率，特別是方格網(wǎng)柵的高級(jí)次衍射能量主要集中在互相垂直的兩軸上，對(duì)成像質(zhì)量有一定的影響，甚至在高成像質(zhì)量要求的場(chǎng)合難以應(yīng)用。改變網(wǎng)柵衍射特性一般需要改變其結(jié)構(gòu)特征，上述專利200610010066.4 “具有圓環(huán)金屬網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)的電磁屏蔽光學(xué)窗”提出用金屬圓環(huán)構(gòu)建成圓環(huán)金屬網(wǎng)柵，改善了方格金屬網(wǎng)柵高級(jí)次衍射能量集中分布的缺點(diǎn)，并可以緩解其透光能力與屏蔽能力的矛盾。上述文獻(xiàn)11和12中，Jennifer 1.Halman等人和Ian B.Murray等人，也都提出了基于圓環(huán)單元的金屬網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)來提高高級(jí)次衍射分布的均勻性，但JenniferI.Halman等人的研究也是單周期圓環(huán)排列結(jié)構(gòu),且排列方向確定,其對(duì)調(diào)節(jié)高級(jí)次衍射的作用與專利200610010066.4提出的結(jié)構(gòu)相當(dāng)，而Ian B.Murray等人的研究雖然更進(jìn)一步，提出隨機(jī)交疊圓環(huán)結(jié)構(gòu)，令圓環(huán)直徑和間距在一定范圍內(nèi)隨機(jī)分布取值，實(shí)現(xiàn)進(jìn)一步提高高級(jí)次衍射分布均勻性，但圓環(huán)直徑和間距的隨機(jī)分布改變了網(wǎng)孔分布的均勻性，將損害電磁屏蔽效率。
[0018]隨著電磁環(huán)境的日益復(fù)雜，對(duì)電磁屏蔽光窗的透光能力和電磁屏蔽能力的要求在不斷提高，尤其是在航空航天裝備領(lǐng)域和先進(jìn)光學(xué)儀器領(lǐng)域，已經(jīng)要求光窗達(dá)到95%甚至更高的透光率的同時(shí)，還具有極低的成像質(zhì)量影響，在低于20GHz的微波頻率范圍實(shí)現(xiàn)30dB以上的屏蔽效率，這使得現(xiàn)有的技術(shù)難以實(shí)現(xiàn)。專利200810063988.0和專利200810063987.6均采用了雙層金屬網(wǎng)柵平行放置于光窗透明基片或襯底的兩側(cè)構(gòu)成，兩層金屬網(wǎng)柵具有相同的單元外形和結(jié)構(gòu)參數(shù)，通過優(yōu)化兩層網(wǎng)柵的間距，實(shí)現(xiàn)不降低透光率的同時(shí)，大幅度提高了電磁屏蔽效率。但這種雙層網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)高級(jí)次衍射雜散光分布仍然與透光率相同的單層網(wǎng)柵相當(dāng)，不完全滿足未來航空航天裝備和先進(jìn)光學(xué)儀器等領(lǐng)域?qū)Φ统上褓|(zhì)量影響的要求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0019]本發(fā)明的目的在于克服上述已有的光窗電磁屏蔽技術(shù)方案的不足，特別是針對(duì)現(xiàn)有單層方格金屬網(wǎng)柵、單層圓環(huán)網(wǎng)柵、雙層方格和圓環(huán)網(wǎng)柵存在高級(jí)次衍射造成的雜散光分布相對(duì)集中的問題，研發(fā)一種具有同心圓環(huán)的多周期主從嵌套圓環(huán)陣列電磁屏蔽光窗，達(dá)到實(shí)現(xiàn)高級(jí)次衍射的深度均化和極低的成像質(zhì)量影響的目的。
[0020]本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:具有同心圓環(huán)的多周期主從嵌套圓環(huán)陣列電磁屏蔽光窗，電磁屏蔽光窗中的金屬網(wǎng)柵由相同直徑的金屬圓環(huán)作為基本圓環(huán)按二維正交排列密接排布構(gòu)成二維網(wǎng)柵的基本結(jié)構(gòu)并加載于光窗透明基片表面，且相鄰基本圓環(huán)外切連通，每個(gè)基本圓環(huán)內(nèi)具有金屬的同心子圓環(huán)對(duì)，且同心子圓環(huán)對(duì)的外圓環(huán)作為子圓環(huán)與該基本圓環(huán)內(nèi)切連通，子圓環(huán)內(nèi)具有與該子圓環(huán)內(nèi)切連通的次級(jí)子圓環(huán)，該同心子圓環(huán)對(duì)與其內(nèi)切連通的次級(jí)子圓環(huán)共同組成子單元，相鄰子單元之間具有一個(gè)填充圓環(huán)與兩子單元中的子圓環(huán)外切連通，且同時(shí)與子單元所在的基本圓環(huán)內(nèi)切連通，基本圓環(huán)、基本圓環(huán)內(nèi)各子單元與填充圓環(huán)共同組成二維金屬網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)的基本單元；基本單元之間存在一個(gè)同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)，且該同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)的外圓環(huán)作為調(diào)制圓環(huán)與相鄰四個(gè)二維正交基本圓環(huán)均外切連通，每個(gè)調(diào)制圓環(huán)具有與該圓環(huán)內(nèi)切連通的調(diào)制子圓環(huán)，同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)與其內(nèi)各調(diào)制子圓環(huán)共同組成調(diào)制基本單元；所述的基本圓環(huán)、同心子圓環(huán)對(duì)、次級(jí)子圓環(huán)、填充圓環(huán)、同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)以及調(diào)制子圓環(huán)的直徑為毫米和亞毫米量級(jí)，所述的基本圓環(huán)、同心子圓環(huán)對(duì)、次級(jí)子圓環(huán)、填充圓環(huán)、同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)以及調(diào)制子圓環(huán)的金屬線條寬度為微米和亞微米量級(jí)；所述的外切連通包括:①兩圓環(huán)外切且外切切點(diǎn)處設(shè)置將兩圓環(huán)連通的連接金屬，
②兩圓環(huán)在連接處線條呈無縫交疊結(jié)構(gòu)，③兩圓環(huán)在連接處線條呈無縫交疊結(jié)構(gòu)的同時(shí)，在交疊處設(shè)置將兩圓環(huán)連通的連接金屬；所述的內(nèi)切連通包括:①兩圓環(huán)內(nèi)切且內(nèi)切切點(diǎn)處設(shè)置將兩圓環(huán)連通的連接金屬，②兩圓環(huán)在連接處線條呈無縫交疊結(jié)構(gòu)，③兩圓環(huán)在連接處線條呈無縫交疊結(jié)構(gòu)的同時(shí)，在交疊處設(shè)置將兩圓環(huán)連通的連接金屬。
[0021]上述的具有同心圓環(huán)的多周期主從嵌套圓環(huán)陣列電磁屏蔽光窗，所述的每個(gè)基本單元內(nèi)子圓環(huán)個(gè)數(shù)大于或等于2個(gè)，且直徑相同或不同，相鄰子圓環(huán)的圓心和所在基本圓環(huán)的圓心連線所組成的夾角為任意角度，不同基本單元中的子圓環(huán)為等直徑或非等直徑圓環(huán)，個(gè)數(shù)相同或不同；每個(gè)子單元內(nèi)次級(jí)子圓環(huán)個(gè)數(shù)大于或等于2個(gè)，且直徑相同或不同，相鄰次級(jí)子圓環(huán)的圓心和所在子圓環(huán)的圓心連線所組成的夾角為任意角度，不同子單元中的次級(jí)子圓環(huán)為等直徑或非等直徑圓環(huán)，個(gè)數(shù)相同或不同；每個(gè)調(diào)制基本單元內(nèi)調(diào)制子圓環(huán)個(gè)數(shù)大于或等于2個(gè)，且直徑相同或不同，相鄰調(diào)制子圓環(huán)的圓心和所在調(diào)制圓環(huán)的圓心連線所組成的夾角為任意角度，不同調(diào)制基本單元中的調(diào)制子圓環(huán)為等直徑或非等直徑圓環(huán)，個(gè)數(shù)相同或不同。
[0022]上述的具有同心圓環(huán)的多周期主從嵌套圓環(huán)陣列電磁屏蔽光窗，所述的同心子圓環(huán)對(duì)的內(nèi)外直徑比值在0.2-0.8范圍內(nèi)，同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)的內(nèi)外直徑比值在0.2-0.8范圍內(nèi)，不同子單元的同心子圓環(huán)對(duì)的內(nèi)外圓環(huán)直徑比相同或不同，不同調(diào)制基本單元的同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)的內(nèi)外圓環(huán)直徑比相同或不同；基本單元內(nèi)相鄰子圓環(huán)外切連通或相交，子單元內(nèi)的相鄰次級(jí)子圓環(huán)外切連通或相交，次級(jí)子圓環(huán)與所在子單元內(nèi)的同心圓環(huán)對(duì)的內(nèi)圓環(huán)相切連通或相交；調(diào)制基本單元內(nèi)相鄰調(diào)制子圓環(huán)外切連通或相交，調(diào)制子圓環(huán)與所在調(diào)制基本單元內(nèi)的同心圓環(huán)對(duì)的內(nèi)圓環(huán)相切連通或相交；所述的相切連通包括外切連通或內(nèi)切連通。
[0023]作為一種優(yōu)選的結(jié)構(gòu)方式，上述的具有同心圓環(huán)的多周期主從嵌套圓環(huán)陣列電磁屏蔽光窗，所述的基本單元中子圓環(huán)的直徑相同，相鄰子圓環(huán)的圓心和基本圓環(huán)圓心連線所組成的夾角相等；子單元中次級(jí)子圓環(huán)的直徑相同，相鄰次級(jí)子圓環(huán)的圓心和所在子圓環(huán)的圓心連線所組成的夾角相等；調(diào)制基本單元中調(diào)制子圓環(huán)的直徑相同，相鄰調(diào)制子圓環(huán)的圓心和所在調(diào)制圓環(huán)的圓心連線所組成的夾角相等。
[0024]作為一種優(yōu)選的結(jié)構(gòu)方式，上述的具有同心圓環(huán)的多周期主從嵌套圓環(huán)陣列電磁屏蔽光窗，所述的不同基本單元中的子圓環(huán)個(gè)數(shù)相同，直徑相等；不同子單元中的次級(jí)子圓環(huán)個(gè)數(shù)相同，直徑相等；不同調(diào)制基本單元中的調(diào)制子圓環(huán)的個(gè)數(shù)相同，直徑相等。
[0025]作為一種優(yōu)選的結(jié)構(gòu)方式，上述的具有同心圓環(huán)的多周期主從嵌套圓環(huán)陣列電磁屏蔽光窗，所述的不同子單元中的次級(jí)子圓環(huán)相對(duì)位置相同，并由一個(gè)子單元復(fù)制后排列在基本圓環(huán)內(nèi)；不同基本單元中的子單元相對(duì)位置相同，不同調(diào)制基本單元中的調(diào)制子圓環(huán)相對(duì)位置相同，并由一個(gè)基本單元和一個(gè)調(diào)制基本單元復(fù)制后分別按二維正交排列密接排布共同構(gòu)成二維金屬網(wǎng)柵。
[0026]作為一種優(yōu)選的結(jié)構(gòu)方式，上述的具有同心圓環(huán)的多周期主從嵌套圓環(huán)陣列電磁屏蔽光窗，所述的一個(gè)基本單元內(nèi)的不同子單元中的次級(jí)子圓環(huán)相對(duì)位置不同，并由一個(gè)子單元復(fù)制后排列在基本圓環(huán)內(nèi)，其中任意一個(gè)子單元相對(duì)于在同一基本圓環(huán)內(nèi)的其他子單元在二維平面內(nèi)繞自身子圓環(huán)圓心旋轉(zhuǎn)一定角度；同一行中，相鄰基本單元中的子單元相對(duì)位置不同，相鄰調(diào)制基本單元中的調(diào)制子圓環(huán)相對(duì)位置不同，并由一個(gè)基本單元和一個(gè)調(diào)制基本單元復(fù)制后按二維正交排列密接排布構(gòu)成二維金屬網(wǎng)柵，其中任意一個(gè)基本單元相對(duì)于其相鄰基本單元在二維平面內(nèi)繞自身基本圓環(huán)圓心旋轉(zhuǎn)一定角度，任意一個(gè)調(diào)制基本單元相對(duì)于其相鄰調(diào)制基本單元在二維平面內(nèi)繞自身調(diào)制圓環(huán)圓心旋轉(zhuǎn)一定角度。
[0027]作為一種優(yōu)選的結(jié)構(gòu)方式，上述的具有同心圓環(huán)的多周期主從嵌套圓環(huán)陣列電磁屏蔽光窗，所述的同一行中的任意基本單元相對(duì)相鄰基本單元旋轉(zhuǎn)的角度相同，同一行中的任意調(diào)制基本單元相對(duì)相鄰調(diào)制基本單元旋轉(zhuǎn)的角度相同。
[0028]上述的具有同心圓環(huán)的多周期主從嵌套圓環(huán)陣列電磁屏蔽光窗，所述的基本圓環(huán)、同心子圓環(huán)對(duì)、次級(jí)子圓環(huán)、填充圓環(huán)、同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)、調(diào)制子圓環(huán)以及連接金屬由導(dǎo)電性能良好的合金構(gòu)成，且合金厚度大于lOOnm。
[0029]上述的具有同心圓環(huán)的多周期主從嵌套圓環(huán)陣列電磁屏蔽光窗，所述的粘接層用鉻或者鈦材料構(gòu)成。
[0030]本發(fā)明的創(chuàng)新性和良好效果是:
[0031]電磁屏蔽光窗中的金屬網(wǎng)柵由相同直徑的金屬圓環(huán)作為基本圓環(huán)按二維正交排列密接排布構(gòu)成二維網(wǎng)柵的基本結(jié)構(gòu)并加載于光窗透明基片表面，且相鄰基本圓環(huán)外切連通，本發(fā)明的創(chuàng)新性在于:每個(gè)基本圓環(huán)內(nèi)具有金屬的同心子圓環(huán)對(duì)，且同心子圓環(huán)對(duì)的外圓環(huán)作為子圓環(huán)與該基本圓環(huán)內(nèi)切連通，子圓環(huán)內(nèi)具有與該子圓環(huán)內(nèi)切連通的次級(jí)子圓環(huán)，該同心子圓環(huán)對(duì)與其內(nèi)切連通的次級(jí)子圓環(huán)共同組成子單元，相鄰子單元之間具有一個(gè)填充圓環(huán)與兩子單元中的子圓環(huán)外切連通，且同時(shí)與子單元所在的基本圓環(huán)內(nèi)切連通，基本圓環(huán)、基本圓環(huán)內(nèi)各子單元與填充圓環(huán)共同組成二維金屬網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)的基本單元；基本單元之間存在一個(gè)同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)，且該同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)的外圓環(huán)作為調(diào)制圓環(huán)與相鄰四個(gè)二維正交基本圓環(huán)均外切連通，每個(gè)調(diào)制圓環(huán)具有與該圓環(huán)內(nèi)切連通的調(diào)制子圓環(huán)，同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)與其內(nèi)各調(diào)制子圓環(huán)共同組成調(diào)制基本單元；所述的基本圓環(huán)、同心子圓環(huán)對(duì)、次級(jí)子圓環(huán)、填充圓環(huán)、同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)以及調(diào)制子圓環(huán)的直徑為毫米和亞毫米量級(jí)，所述的基本圓環(huán)、同心子圓環(huán)對(duì)、次級(jí)子圓環(huán)、填充圓環(huán)、同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)以及調(diào)制子圓環(huán)的金屬線條寬度為微米和亞微米量級(jí)；所述的外切連通包括:①兩圓環(huán)外切且外切切點(diǎn)處設(shè)置將兩圓環(huán)連通的連接金屬，②兩圓環(huán)在連接處線條呈無縫交疊結(jié)構(gòu)，③兩圓環(huán)在連接處線條呈無縫交疊結(jié)構(gòu)的同時(shí)，在交疊處設(shè)置將兩圓環(huán)連通的連接金屬；所述的內(nèi)切連通包括:①兩圓環(huán)內(nèi)切且內(nèi)切切點(diǎn)處設(shè)置將兩圓環(huán)連通的連接金屬，②兩圓環(huán)在連接處線條呈無縫交疊結(jié)構(gòu)，③兩圓環(huán)在連接處線條呈無縫交疊結(jié)構(gòu)的同時(shí)，在交疊處設(shè)置將兩圓環(huán)連通的連接金屬。本發(fā)明的創(chuàng)新性產(chǎn)生的良好效果主要集中于均化金屬網(wǎng)柵的高級(jí)次衍射能量分布，具體如下:
[0032]金屬網(wǎng)柵中的基本圓環(huán)與同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)的外圓環(huán)與內(nèi)圓環(huán)均以二維正交分布為基本排列方式很好地克服傳統(tǒng)方格金屬網(wǎng)柵存在的高級(jí)次衍射能量集中分布的缺點(diǎn)，具有良好的均化高級(jí)次衍射能量分布的特性，而且以一組同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)與四個(gè)基本圓環(huán)外切連通的連接方式組成金屬圓環(huán)陣列，在保證透光率相同時(shí)，與僅有單一直徑圓環(huán)陣列的結(jié)構(gòu)相比，需要增加各圓環(huán)的直徑，各圓環(huán)陣列的高級(jí)次衍射能量均降低，達(dá)到均化高級(jí)次衍射能量分布的目的，這是本發(fā)明金屬網(wǎng)柵均化高級(jí)次衍射能量分布的原因之一；
[0033]在基本圓環(huán)中加入同心子圓環(huán)對(duì)組成基本單元，在同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)中加入調(diào)制子圓環(huán)組成調(diào)制基本單元，因?yàn)樵诿總€(gè)基本單元中的同心子圓環(huán)對(duì)和調(diào)制基本單元中的調(diào)制子圓環(huán)個(gè)數(shù)、直徑和位置關(guān)系的不同，使其結(jié)構(gòu)疏松，排布雜散，因此高級(jí)次衍射能量比較低，而且高級(jí)次衍射分布較均勻，避免出現(xiàn)像傳統(tǒng)方格金屬網(wǎng)柵存在的高級(jí)次衍射能量集中分布的情況；同時(shí)，在保證透光率相同時(shí)，需要進(jìn)一步增加基本圓環(huán)和調(diào)制圓環(huán)的直徑，從整體上降低了各陣列的高級(jí)次衍射能量；又因?yàn)橥淖訄A環(huán)陣列結(jié)構(gòu)、調(diào)制子圓環(huán)陣列結(jié)構(gòu)產(chǎn)生的高級(jí)次衍射與基本圓環(huán)陣列結(jié)構(gòu)和調(diào)制圓環(huán)陣列結(jié)構(gòu)的高級(jí)次衍射發(fā)生疊加的概率很低，優(yōu)化子圓環(huán)數(shù)量、直徑、和位置等參數(shù)后，它們能量較高的高級(jí)次衍射不發(fā)生疊加，從而均化了高級(jí)次衍射能量分布，這是本發(fā)明金屬網(wǎng)柵均化高級(jí)次衍射能量分布的原因之二。
[0034]對(duì)于同心子圓環(huán)對(duì)中的內(nèi)圓環(huán)陣列和同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)的內(nèi)圓環(huán)陣列，因?yàn)楦鲀?nèi)圓環(huán)的直徑相對(duì)較小且間隔比較大，本身高級(jí)次衍射能量比較低而且高級(jí)次衍射分布較均勻；同時(shí)，通過改變各同心圓環(huán)對(duì)的內(nèi)外圓環(huán)直徑比，可以有效對(duì)高級(jí)衍射級(jí)次的最大相對(duì)強(qiáng)度進(jìn)行優(yōu)化調(diào)節(jié)，從而均化金屬網(wǎng)柵陣列結(jié)構(gòu)整體的高級(jí)次衍射能量分布，這是本發(fā)明金屬網(wǎng)柵均化高級(jí)次衍射能量分布的原因之三。
[0035]在同心子圓環(huán)對(duì)中加入次級(jí)子圓環(huán)組成子單元，在子單元之間引入填充圓環(huán)，基本圓環(huán)、子單元以及填充圓環(huán)重新組成基本單元，在保證透光率相同時(shí)，與僅有基本圓環(huán)和同心子圓環(huán)對(duì)的結(jié)構(gòu)相比，需要進(jìn)一步增加基本單元中基本圓環(huán)和同心子圓環(huán)對(duì)的直徑，從整體上降低了各陣列的高級(jí)次衍射能量；又因?yàn)榇渭?jí)子圓環(huán)和其它圓環(huán)陣列結(jié)構(gòu)的高級(jí)次衍射發(fā)生疊加的概率很低，尤其是優(yōu)化結(jié)構(gòu)和參數(shù)后它們能量較高的高級(jí)次衍射不發(fā)生疊加，從而均化了高級(jí)次衍射能量分布，這是本發(fā)明金屬網(wǎng)柵均化高級(jí)次衍射能量分布的原因之四。
[0036]每個(gè)子單元都可以以其子圓環(huán)的圓心為中心旋轉(zhuǎn)一定角度，每個(gè)基本單元都可以以其基本圓環(huán)的圓心為中心旋轉(zhuǎn)一定角度，每個(gè)調(diào)制基本單元都可以以其調(diào)制圓環(huán)的圓心為中心旋轉(zhuǎn)一定角度，不改變金屬網(wǎng)柵的孔徑比進(jìn)而不影響透光率，但可對(duì)高級(jí)次衍射級(jí)能量分布進(jìn)一步進(jìn)行調(diào)制，能夠更好地均化高級(jí)次衍射能量分布，這是本發(fā)明金屬網(wǎng)柵均化高級(jí)次衍射能量分布的原因之五。
[0037]綜上，本發(fā)明的金屬網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)網(wǎng)柵高級(jí)次衍射能量分布的深度均化，這是本發(fā)明的最突出效果。另外，在基本圓環(huán)結(jié)構(gòu)中加入同心子圓環(huán)對(duì)，在同心子圓環(huán)對(duì)中加入次級(jí)子圓環(huán)，在子圓環(huán)之間引入填充圓環(huán)，在同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)中加入調(diào)制子圓環(huán)，均有效地改善了金屬圓環(huán)網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)的均勻性，且子單元以其子圓環(huán)的圓心為中心旋轉(zhuǎn)一定角度，基本單元以其基本圓環(huán)的圓心為中心旋轉(zhuǎn)一定角度時(shí)，調(diào)制基本單元以其調(diào)制圓環(huán)的圓心為中心旋轉(zhuǎn)一定角度時(shí)，也不會(huì)改變金屬網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)的均勻性，在對(duì)高級(jí)次衍射級(jí)能量分布進(jìn)行有效調(diào)制的同時(shí)，基本不影響電磁屏蔽效果，甚至在某些優(yōu)選方案中可以提高電磁屏蔽效果。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0038]圖1是具有同心圓環(huán)的多周期主從嵌套圓環(huán)陣列電磁屏蔽光窗的一種優(yōu)選結(jié)構(gòu)剖面示意圖。
[0039]圖2是具有同心圓環(huán)的多周期主從嵌套圓環(huán)陣列電磁屏蔽光窗的基本圓環(huán)與同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)分布示意圖。
[0040]圖3是具有同心圓環(huán)的多周期主從嵌套圓環(huán)陣列電磁屏蔽光窗的典型子單元示意圖。
[0041]圖4是具有同心圓環(huán)的多周期主從嵌套圓環(huán)陣列電磁屏蔽光窗的典型基本單元示意圖。
[0042]圖5是兩圓環(huán)外切連通方式示意圖。
[0043]圖6是兩圓環(huán)內(nèi)切連通方式示意圖。
[0044]圖7是本發(fā)明的子單元相對(duì)所在基本圓環(huán)內(nèi)的其他子單元一種旋轉(zhuǎn)方式示意圖。
[0045]圖8是本發(fā)明的基本單元相對(duì)相鄰基本單元一種旋轉(zhuǎn)方式示意圖。
[0046]圖9是已有方格網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)示意圖。
[0047]圖10是已有方格網(wǎng)柵高級(jí)次衍射及其相對(duì)強(qiáng)度分布示意圖。
[0048]圖11是已有圓環(huán)網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)示意圖。
[0049]圖12是已有圓環(huán)網(wǎng)柵高級(jí)次衍射及其相對(duì)強(qiáng)度分布示意圖。
[0050]圖13是本發(fā)明中優(yōu)選方案A的金屬網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)示意圖。
[0051]圖14是本發(fā)明中優(yōu)選方案A的金屬網(wǎng)柵高級(jí)次衍射及其相對(duì)強(qiáng)度分布示意圖。
[0052]圖15是三種網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)高級(jí)次衍射最大相對(duì)強(qiáng)度對(duì)比圖。
[0053]圖中件號(hào)說明:1.粘接層2.保護(hù)層3.增透膜4.透明基片5.金屬網(wǎng)柵6.基本圓環(huán)7.子圓環(huán)8.次級(jí)子圓環(huán)9.填充圓環(huán)10.調(diào)制圓環(huán)11.調(diào)制子圓環(huán)12.連接金屬
【具體實(shí)施方式】
[0054]下面參照附圖和優(yōu)選實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步的描述:
[0055]具有同心圓環(huán)的多周期主從嵌套圓環(huán)陣列電磁屏蔽光窗，電磁屏蔽光窗中的金屬網(wǎng)柵5由相同直徑的金屬圓環(huán)作為基本圓環(huán)6按二維正交排列密接排布構(gòu)成二維網(wǎng)柵的基本結(jié)構(gòu)并加載于光窗透明基片表面，且相鄰基本圓環(huán)6外切連通，每個(gè)基本圓環(huán)6內(nèi)具有金屬的同心子圓環(huán)對(duì)，且同心子圓環(huán)對(duì)的外圓環(huán)作為子圓環(huán)7與該基本圓環(huán)6內(nèi)切連通，子圓環(huán)7內(nèi)具有與該子圓環(huán)7內(nèi)切連通的次級(jí)子圓環(huán)8，該同心子圓環(huán)對(duì)與其內(nèi)切連通的次級(jí)子圓環(huán)8共同組成子單元，相鄰子單元之間具有一個(gè)填充圓環(huán)9與兩子單元中的子圓環(huán)7外切連通，且同時(shí)與子單元所在的基本圓環(huán)6內(nèi)切連通，基本圓環(huán)6、基本圓環(huán)6內(nèi)各子單元與填充圓環(huán)9共同組成二維金屬網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)的基本單元；基本單元之間存在一個(gè)同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)，且該同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)的外圓環(huán)作為調(diào)制圓環(huán)10與相鄰四個(gè)二維正交基本圓環(huán)6均外切連通，每個(gè)調(diào)制圓環(huán)10具有與該圓環(huán)內(nèi)切連通的調(diào)制子圓環(huán)11，同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)與其內(nèi)各調(diào)制子圓環(huán)11共同組成調(diào)制基本單元；所述的基本圓環(huán)6、同心子圓環(huán)對(duì)、次級(jí)子圓環(huán)8、填充圓環(huán)9、同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)以及調(diào)制子圓環(huán)11的直徑為毫米和亞毫米量級(jí)，所述的基本圓環(huán)6、同心子圓環(huán)對(duì)、次級(jí)子圓環(huán)8、填充圓環(huán)9、同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)以及調(diào)制子圓環(huán)11的金屬線條寬度為微米和亞微米量級(jí)；所述的外切連通包括:①兩圓環(huán)外切且外切切點(diǎn)處設(shè)置將兩圓環(huán)連通的連接金屬12，②兩圓環(huán)在連接處線條呈無縫交疊結(jié)構(gòu)，③兩圓環(huán)在連接處線條呈無縫交疊結(jié)構(gòu)的同時(shí)，在交疊處設(shè)置將兩圓環(huán)連通的連接金屬12 ;所述的內(nèi)切連通包括:①兩圓環(huán)內(nèi)切且內(nèi)切切點(diǎn)處設(shè)置將兩圓環(huán)連通的連接金屬12，②兩圓環(huán)在連接處線條呈無縫交疊結(jié)構(gòu)，③兩圓環(huán)在連接處線條呈無縫交疊結(jié)構(gòu)的同時(shí)，在交疊處設(shè)置將兩圓環(huán)連通的連接金屬12。
[0056]本發(fā)明的具有同心圓環(huán)的多周期主從嵌套圓環(huán)陣列電磁屏蔽光窗，由相同直徑的金屬圓環(huán)作為基本圓環(huán)6按二維正交分布排列密接排布構(gòu)成網(wǎng)柵的基本結(jié)構(gòu)并加載于光窗透明基片表面，且相鄰基本圓環(huán)6外切連通，基本單元之間存在一個(gè)同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)，且該同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)的外圓環(huán)作為調(diào)制圓環(huán)10與相鄰四個(gè)二維正交基本圓環(huán)6均外切連通，基本圓環(huán)6與同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)的分布如圖2所示，圖2中點(diǎn)A，B, C，D四個(gè)相鄰二維正交基本圓環(huán)6的圓心，點(diǎn)E，F(xiàn)，G，H為四個(gè)與同一基本圓環(huán)6外切連通的調(diào)制圓環(huán)10的圓心，四邊形ABCD與四邊形EFGH均為正方形，這樣的排布方式確保所有的基本圓環(huán)6與同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)是按照二維正交分布密接排布構(gòu)成金屬網(wǎng)柵5。
[0057]本發(fā)明的具有同心圓環(huán)的多周期主從嵌套圓環(huán)陣列電磁屏蔽光窗，所述的基本圓環(huán)6、同心子圓環(huán)對(duì)、次級(jí)子圓環(huán)8、填充圓環(huán)9、同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)以及調(diào)制子圓環(huán)11的直徑為毫米和亞毫米量級(jí)，所述的基本圓環(huán)6、同心子圓環(huán)對(duì)、次級(jí)子圓環(huán)8、填充圓環(huán)9、同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)以及調(diào)制子圓環(huán)11的金屬線條寬度為微米和亞微米量級(jí)，以保證高透光率和良好的電磁屏蔽效果。此外，各圓環(huán)部分和連接金屬由導(dǎo)電性能良好的金屬構(gòu)成，如金、銀、銅、招等純金屬及金屬合金，且金屬厚度大于lOOnm。
[0058]本發(fā)明的具有同心圓環(huán)的多周期主從嵌套圓環(huán)陣列電磁屏蔽光窗，每個(gè)基本單元內(nèi)子圓環(huán)7個(gè)數(shù)大于或等于2個(gè)，且直徑相同或不同，相鄰子圓環(huán)7的圓心和所在基本圓環(huán)6的圓心連線所組成的夾角為任意角度，不同基本單元中的子圓環(huán)7為等直徑或非等直徑圓環(huán)，個(gè)數(shù)相同或不同；每個(gè)子單元內(nèi)次級(jí)子圓環(huán)8個(gè)數(shù)大于或等于2個(gè)，且直徑相同或不同，相鄰次級(jí)子圓環(huán)8的圓心和所在子圓環(huán)7的圓心連線所組成的夾角為任意角度，不同子單元中的次級(jí)子圓環(huán)8為等直徑或非等直徑圓環(huán)，個(gè)數(shù)相同或不同；每個(gè)調(diào)制基本單元內(nèi)調(diào)制子圓環(huán)11個(gè)數(shù)大于或等于2個(gè)，且直徑相同或不同，相鄰調(diào)制子圓環(huán)11的圓心和所在調(diào)制圓環(huán)10的圓心連線所組成的夾角為任意角度，不同調(diào)制基本單元中的調(diào)制子圓環(huán)11為等直徑或非等直徑圓環(huán)，個(gè)數(shù)相同或不同；基本單元內(nèi)相鄰子圓環(huán)7外切連通或相交，子單元內(nèi)的相鄰次級(jí)子圓環(huán)8外切連通或相交，次級(jí)子圓環(huán)8與所在子單元內(nèi)的同心圓環(huán)對(duì)的內(nèi)圓環(huán)相切連通或相交，調(diào)制基本單元內(nèi)相鄰調(diào)制子圓環(huán)11外切連通或相交，調(diào)制子圓環(huán)11與所在調(diào)制基本單元內(nèi)的同心圓環(huán)對(duì)的內(nèi)圓環(huán)相切連通或相交，所述的相切連通包括外切連通或內(nèi)切連通。圖3表示由子圓環(huán)7與次級(jí)子圓環(huán)8組成的子單元優(yōu)選結(jié)構(gòu)示意圖，圖3中，子單元中次級(jí)子圓環(huán)8的直徑相同，相鄰次級(jí)子圓環(huán)8的圓心和所在子圓環(huán)7的圓心連線所組成的夾角相等。圖3(a) (b)為子單元中相同直徑的次級(jí)子圓環(huán)8外切連通，且同時(shí)與同心子圓環(huán)對(duì)的內(nèi)圓環(huán)相交；圖3(c) (d)為子單兀中相同直徑的次級(jí)子圓環(huán)8相交連接，且同時(shí)與同心子圓環(huán)對(duì)的內(nèi)圓環(huán)相交。調(diào)制基本單元與子單元的結(jié)構(gòu)相似，也可以使用圖3中的結(jié)構(gòu)表示調(diào)制圓環(huán)10與調(diào)制子圓環(huán)11的關(guān)系。
[0059]具有同心圓環(huán)的多周期主從嵌套圓環(huán)陣列電磁屏蔽光窗，電磁屏蔽光窗中的金屬網(wǎng)柵5由相同直徑的金屬圓環(huán)作為基本圓環(huán)6按二維正交排列密接排布構(gòu)成二維網(wǎng)柵的基本結(jié)構(gòu)，且相鄰基本圓環(huán)6外切連通，每個(gè)基本圓環(huán)6內(nèi)具有金屬的同心子圓環(huán)對(duì)，且同心子圓環(huán)對(duì)的外圓環(huán)作為子圓環(huán)7與該基本圓環(huán)6內(nèi)切連通，子圓環(huán)7內(nèi)具有與該子圓環(huán)7內(nèi)切連通的次級(jí)子圓環(huán)8，該同心子圓環(huán)對(duì)與其內(nèi)切連通的次級(jí)子圓環(huán)8共同組成子單元，相鄰子單元之間具有一個(gè)填充圓環(huán)9與兩子單元中的子圓環(huán)7外切連通，且同時(shí)與子單元所在的基本圓環(huán)6內(nèi)切連通，基本圓環(huán)6、基本圓環(huán)6內(nèi)各子單元與填充圓環(huán)9共同組成具有同心圓環(huán)的多周期主從嵌套圓環(huán)結(jié)構(gòu)，構(gòu)成二維網(wǎng)柵陣列結(jié)構(gòu)的基本單元，基本單元的幾種典型結(jié)構(gòu)如圖4，基本單元中各子圓環(huán)7均為外切連通，其中圖4(a) (b)為子圓環(huán)7的個(gè)數(shù)為4，且子單元中相同直徑的次級(jí)子圓環(huán)8外切連通，且同時(shí)與同心子圓環(huán)對(duì)的內(nèi)圓環(huán)相交；圖4(c) (d)為子圓環(huán)個(gè)數(shù)為5，且子單元中相同直徑的次級(jí)子圓環(huán)8相交連接，且同時(shí)與同心子圓環(huán)對(duì)的內(nèi)圓環(huán)相交。
[0060]圖5，圖6分別表示兩圓環(huán)外切連通或內(nèi)切連通，通過線條交疊或設(shè)置(如覆蓋)保證金屬環(huán)切點(diǎn)間可靠電聯(lián)接的金屬，以確保相切的金屬圓環(huán)之間密接連通導(dǎo)電。其中，圖5(a) (b) (C)分別表示在外切連通時(shí)兩圓環(huán)呈無縫交疊結(jié)構(gòu)示意圖:圖5(a)為兩圓環(huán)無縫交疊的一般情況，即兩圓環(huán)的圓心距小于兩圓環(huán)外切時(shí)的圓心距，且大于兩圓環(huán)外切時(shí)的圓心距與兩圓環(huán)線條寬度之和的差值，圖5(b)為無縫交疊的一種特殊情況，兩圓環(huán)線條的內(nèi)外輪廓相互外切，圖5(c)為無縫交疊的另一種特殊情況，兩圓環(huán)的圓心距等于兩圓環(huán)外切時(shí)的圓心距與兩圓環(huán)線條寬度之和的差值，即兩圓環(huán)線條的內(nèi)輪廓外切，而圖5(d)中由于兩圓環(huán)外切，因此需要在切點(diǎn)處設(shè)置保證金屬環(huán)切點(diǎn)間可靠電聯(lián)接的金屬。圖6(a)(b)分別表示在內(nèi)切連通時(shí)兩圓環(huán)呈無縫交疊結(jié)構(gòu)示意圖:圖6(a)表示在內(nèi)切連通時(shí)兩圓環(huán)無縫交疊的一般情況，即兩圓環(huán)的圓心距大于兩圓環(huán)內(nèi)切時(shí)的圓心距，且小于兩圓環(huán)內(nèi)切時(shí)的圓心距與直徑較大圓環(huán)線條寬度的和，圖6(b)表示在內(nèi)切連通時(shí)兩圓環(huán)無縫交疊的一種特殊情況，兩圓環(huán)的圓心距等于兩圓環(huán)內(nèi)切時(shí)的圓心距與直徑較大圓環(huán)線條寬度的和，即兩圓環(huán)線條的外輪廓內(nèi)切，而圖6(c)表示直徑較小圓環(huán)線條的外輪廓與直徑較大圓環(huán)線條的內(nèi)輪廓內(nèi)切，此時(shí)需要在切點(diǎn)處設(shè)置保證金屬環(huán)切點(diǎn)間可靠電聯(lián)接的金屬。此外，如果兩圓環(huán)無縫交疊時(shí)兩金屬圓環(huán)的交疊面積較小，不足以確保兩金屬圓環(huán)之間有可靠的電聯(lián)接，也需要在切點(diǎn)處設(shè)置保證金屬圓環(huán)切點(diǎn)間可靠電聯(lián)接的金屬，以確保實(shí)現(xiàn)金屬環(huán)的外切連通或內(nèi)切連通。而圖5(d)和圖6(c)所示是一種優(yōu)選的切點(diǎn)處金屬連接方式，切點(diǎn)處覆蓋的連接金屬12為矩形，矩形的邊長(zhǎng)大于金屬環(huán)線條寬度，矩形覆蓋切點(diǎn)連接處時(shí)要使矩形的一條邊完全落在一個(gè)金屬環(huán)線條內(nèi)，而其對(duì)邊要完全落在相切的另一個(gè)金屬環(huán)線條內(nèi)。依據(jù)不同的加工方法和工藝水平，圓環(huán)切點(diǎn)處也可以采用其它形式的連接金屬，只要能夠使相切的兩金屬環(huán)具有可靠的電聯(lián)接即可。
[0061]本發(fā)明中，為達(dá)到均化高級(jí)次衍射造成的雜散光的目的，一種典型的方案是，基本單元中子圓環(huán)7的直徑相同，相鄰子圓環(huán)7的圓心和基本圓環(huán)6圓心連線所組成的夾角相等；子單元中次級(jí)子圓環(huán)8的直徑相同,相鄰次級(jí)子圓環(huán)8的圓心和所在子圓環(huán)7的圓心連線所組成的夾角相等；調(diào)制基本單元中調(diào)制子圓環(huán)11的直徑相同，相鄰調(diào)制子圓環(huán)11的圓心和所在調(diào)制圓環(huán)10的圓心連線所組成的夾角相等。在上述方案基礎(chǔ)上，作為一種優(yōu)選方案，不同基本單元中的子圓環(huán)7個(gè)數(shù)相同，直徑相等；不同子單元中的次級(jí)子圓環(huán)8個(gè)數(shù)相同，直徑相等；不同調(diào)制基本單元中的調(diào)制子圓環(huán)11的個(gè)數(shù)相同，直徑相等。作為這種優(yōu)選方案的一個(gè)特例，不同子單元中的次級(jí)子圓環(huán)8相對(duì)位置相同，并由一個(gè)子單元復(fù)制后排列在基本圓環(huán)6內(nèi)；不同基本單元中的子單元相對(duì)位置相同，不同調(diào)制基本單元中的調(diào)制子圓環(huán)11相對(duì)位置相同，并由一個(gè)基本單元和一個(gè)調(diào)制基本單元復(fù)制后分別按正交排列密接排布共同構(gòu)成二維金屬網(wǎng)柵。為了實(shí)現(xiàn)良好的均化高級(jí)次衍射造成的雜散光效果，作為這種優(yōu)選方案的另一個(gè)特例，本發(fā)明中金屬網(wǎng)柵陣列的一個(gè)基本單元內(nèi)的不同子單元中的次級(jí)子圓環(huán)8相對(duì)位置不同，并由一個(gè)子單元復(fù)制后排列在基本圓環(huán)6內(nèi)，其中任意一個(gè)子單元相對(duì)于在同一基本圓環(huán)6內(nèi)的其他子單元在二維平面內(nèi)繞自身子圓環(huán)7圓心旋轉(zhuǎn)一定角度；同一行中，相鄰基本單元中的子單元相對(duì)位置不同，相鄰調(diào)制基本單元中的調(diào)制子圓環(huán)11相對(duì)位置不同，并由一個(gè)基本單元和一個(gè)調(diào)制基本單元復(fù)制后按二維正交排列密接排布構(gòu)成二維網(wǎng)柵陣列，其中任意一個(gè)基本單元相對(duì)于其相鄰基本單元在二維平面內(nèi)繞自身基本圓環(huán)6圓心旋轉(zhuǎn)一定角度，任意一個(gè)調(diào)制基本單元相對(duì)于其相鄰調(diào)制基本單元在二維平面內(nèi)繞自身調(diào)制圓環(huán)10圓心旋轉(zhuǎn)一定角度，同一行中的任意基本單元相對(duì)相鄰基本單元旋轉(zhuǎn)的角度相同，同一行中的任意調(diào)制基本單元相對(duì)相鄰調(diào)制基本單元旋轉(zhuǎn)的角度相同。例如，圖7表示子單元相對(duì)同一基本圓環(huán)內(nèi)的其他子單元一種旋轉(zhuǎn)方式示意圖，圖8表示基本單元相對(duì)相鄰基本單元一種旋轉(zhuǎn)方式示意圖，其中金屬網(wǎng)柵的基本單元選用圖4(b)的結(jié)構(gòu)，子單元的旋轉(zhuǎn)角度為18°，同一行中每個(gè)基本單元相對(duì)相鄰基本單元依次旋轉(zhuǎn)了 22.5° 角。
[0062]圖9和圖10分別為美國(guó)專利US4871220已有的方格網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)示意圖和其高級(jí)次衍射及其相對(duì)強(qiáng)度分布示意圖，圖11和圖12分別為專利200610010066.4已有的圓環(huán)網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)示意圖和其高級(jí)次衍射及其相對(duì)強(qiáng)度分布示意圖；圖13和圖14分別為本發(fā)明中優(yōu)選方案A的金屬網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)示意圖和其高級(jí)次衍射及其相對(duì)強(qiáng)度分布示意圖，優(yōu)選方案A中的金屬網(wǎng)柵選用圖4 (b)的結(jié)構(gòu)作為基本單元，選用圖3 (a)作為調(diào)制基本單元，并且采用圖7、圖8所示的旋轉(zhuǎn)方式進(jìn)行旋轉(zhuǎn),子單元之間的旋轉(zhuǎn)角度為18° ,同一行中每個(gè)基本單元相對(duì)相鄰基本單元依次旋轉(zhuǎn)了 22.5°角，同一行中每個(gè)調(diào)制基本單元相對(duì)相鄰調(diào)制基本單元依次旋轉(zhuǎn)了 22.5°角。
[0063]為了說明本發(fā)明在均化高級(jí)次衍射能量分布作用中的優(yōu)越性，基于標(biāo)量衍射理論，對(duì)上述三種結(jié)構(gòu)的高級(jí)次衍射能量分布情況以及高級(jí)次衍射最大相對(duì)強(qiáng)度進(jìn)行理論計(jì)算，計(jì)算時(shí)使各結(jié)構(gòu)的透光率相同(均為95.4% )，其零級(jí)相對(duì)強(qiáng)度均為91%，即成像有用信息比例相同。優(yōu)選方案A中的金屬網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)與方格、圓環(huán)網(wǎng)柵相比，最高級(jí)次衍射相對(duì)強(qiáng)度明顯降低，且在相同考察區(qū)間內(nèi)高級(jí)次衍射斑的個(gè)數(shù)明顯增加，因而避免了高級(jí)次衍射能量集中在少數(shù)衍射級(jí)次上的問題，使高級(jí)次衍射能量分布更加均勻；圖15是上述三種結(jié)構(gòu)的高級(jí)次衍射最大相對(duì)強(qiáng)度的具體數(shù)值，可見，方格金屬網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)的高級(jí)次衍射最大相對(duì)強(qiáng)度相對(duì)于其他結(jié)構(gòu)明顯偏高，本發(fā)明的優(yōu)選方案A所對(duì)應(yīng)的金屬網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)的高級(jí)次衍射最大相對(duì)強(qiáng)度已經(jīng)明顯降低，從0.0259% (已有的圓環(huán)結(jié)構(gòu)的高級(jí)次衍射最大相對(duì)強(qiáng)度)下降到0.0036%，降低了 86%，高級(jí)次衍射的均化效果明顯。綜上所述，本發(fā)明的金屬網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)對(duì)均化高級(jí)次衍射能量分布的效果十分顯著，不僅優(yōu)于美國(guó)專利US4871220已有的方格金屬網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)，也優(yōu)于專利200610010066.4已有的圓環(huán)金屬網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)。
[0064]本發(fā)明的組成方式，使得網(wǎng)孔相對(duì)比較平均，尤其是優(yōu)選方案中給出的金屬網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)，在深度均化高級(jí)次衍射能量分布的同時(shí)，仍具有較好的透光性和屏蔽性能，當(dāng)用于構(gòu)造雙層金屬網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)時(shí)，可改善透光率和屏蔽效率的矛盾問題，與此同時(shí)，由于本發(fā)明單層結(jié)構(gòu)深度均化高級(jí)次衍射能量分布，又可以解決已有雙層金屬網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)中由于單層網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)的限制而不能進(jìn)一步均化高級(jí)次衍射能量分布的問題。
[0065]本發(fā)明的具有同心圓環(huán)的多周期主從嵌套圓環(huán)陣列電磁屏蔽光窗中的金屬網(wǎng)柵可以采用如下的加工方法加工制作:由電子束直寫等方式制作掩模，光窗透明基片進(jìn)行清洗后鍍鉻或者鈦?zhàn)鳛檎辰訉?，其上鍍金屬薄膜，然后涂覆光刻膠，利用已加工好的掩模進(jìn)行光刻，最后進(jìn)行干法或者濕法刻蝕，去膠后得到網(wǎng)柵圖案。也可以省去掩模制作環(huán)節(jié)，而直接采用激光直寫的辦法來制作具有同心圓環(huán)的多周期主從嵌套圓環(huán)陣列的金屬網(wǎng)柵圖案。其它的微電子加工工藝流程或二元光學(xué)元件制作流程等也可以用來制作本發(fā)明的金屬網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)。
[0066]本發(fā)明所涉及的透明基片4由實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)合決定，可以是普通玻璃、石英玻璃、紅外材料、透明樹脂材料等，本發(fā)明的各圓環(huán)金屬結(jié)構(gòu)要根據(jù)透明基片4采取合適的加工工藝流程使之完全覆蓋于透明基片4之上，并且能夠和窗框等實(shí)現(xiàn)可靠的電聯(lián)接或密封以保證優(yōu)良的電磁屏蔽功能。實(shí)際應(yīng)用中，附有本發(fā)明網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)的透明基片4表面可以鍍?cè)鐾改碓黾油腹饽芰?，也可以在網(wǎng)柵層表面鍍保護(hù)層以防止金屬結(jié)構(gòu)長(zhǎng)期放置于空氣中遭到腐蝕或氧化而降低屏蔽能力，也防止網(wǎng)柵層遭到劃傷、磨損或其它破壞。
【權(quán)利要求】
1.具有同心圓環(huán)的多周期主從嵌套圓環(huán)陣列電磁屏蔽光窗，電磁屏蔽光窗中的金屬網(wǎng)柵(5)由相同直徑的金屬圓環(huán)作為基本圓環(huán)(6)按二維正交排列密接排布構(gòu)成二維網(wǎng)柵的基本結(jié)構(gòu)并加載于光窗透明基片表面，且相鄰基本圓環(huán)(6)外切連通，其特征在于:每個(gè)基本圓環(huán)(6)內(nèi)具有金屬的同心子圓環(huán)對(duì)，且同心子圓環(huán)對(duì)的外圓環(huán)作為子圓環(huán)(7)與該基本圓環(huán)(6)內(nèi)切連通，子圓環(huán)(7)內(nèi)具有與該子圓環(huán)(7)內(nèi)切連通的次級(jí)子圓環(huán)(8)，該同心子圓環(huán)對(duì)與其內(nèi)切連通的次級(jí)子圓環(huán)(8)共同組成子單元，相鄰子單元之間具有一個(gè)填充圓環(huán)(9)與兩子單元中的子圓環(huán)(7)外切連通，且同時(shí)與子單元所在的基本圓環(huán)(6)內(nèi)切連通，基本圓環(huán)(6)、基本圓環(huán)(6)內(nèi)各子單元與填充圓環(huán)(9)共同組成二維金屬網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)的基本單元；基本單元之間存在一個(gè)同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)，且該同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)的外圓環(huán)作為調(diào)制圓環(huán)(10)與相鄰四個(gè)二維正交基本圓環(huán)(6)均外切連通，每個(gè)調(diào)制圓環(huán)(10)具有與該圓環(huán)內(nèi)切連通的調(diào)制子圓環(huán)(11)，同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)與其內(nèi)各調(diào)制子圓環(huán)(11)共同組成調(diào)制基本單元；所述的基本圓環(huán)(6)、同心子圓環(huán)對(duì)、次級(jí)子圓環(huán)(8)、填充圓環(huán)(9)、同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)以及調(diào)制子圓環(huán)(11)的直徑為毫米和亞毫米量級(jí)，所述的基本圓環(huán)(6)、同心子圓環(huán)對(duì)、次級(jí)子圓環(huán)(8)、填充圓環(huán)(9)、同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)以及調(diào)制子圓環(huán)(11)的金屬線條寬度為微米和亞微米量級(jí)；所述的外切連通包括:①兩圓環(huán)外切且外切切點(diǎn)處設(shè)置將兩圓環(huán)連通的連接金屬(12)，②兩圓環(huán)在連接處線條呈無縫交疊結(jié)構(gòu)，③兩圓環(huán)在連接處線條呈無縫交疊結(jié)構(gòu)的同時(shí)，在交疊處設(shè)置將兩圓環(huán)連通的連接金屬(12);所述的內(nèi)切連通包括:①兩圓環(huán)內(nèi)切且內(nèi)切切點(diǎn)處設(shè)置將兩圓環(huán)連通的連接金屬(12)，②兩圓環(huán)在連接處線條呈無縫交疊結(jié)構(gòu)，③兩圓環(huán)在連接處線條呈無縫交疊結(jié)構(gòu)的同時(shí)，在交疊處設(shè)置將兩圓環(huán)連通的連接金屬(12)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有同心圓環(huán)的多周期主從嵌套圓環(huán)陣列電磁屏蔽光窗，其特征在于:每個(gè)基本單元內(nèi)子圓環(huán)(7)個(gè)數(shù)大于或等于2個(gè)，且直徑相同或不同，相鄰子圓環(huán)(7)的圓心和所在基本圓環(huán)(6)的圓心連線所組成的夾角為任意角度，不同基本單元中的子圓環(huán)(7)為等直徑或非等直徑圓環(huán)，個(gè)數(shù)相同或不同；每個(gè)子單元內(nèi)次級(jí)子圓環(huán)(8)個(gè)數(shù)大于或等于2個(gè)，且直徑相同或不同，相鄰次級(jí)子圓環(huán)(8)的圓心和所在子圓環(huán)(7)的圓心連線所組成的夾角為任意角度，不同子單元中的次級(jí)子圓環(huán)(8)為等直徑或非等直徑圓環(huán)，個(gè)數(shù)相同或不同；每個(gè)調(diào)制基本單元內(nèi)調(diào)制子圓環(huán)(11)個(gè)數(shù)大于或等于2個(gè)，且直徑相同或不同，相鄰調(diào)制子圓環(huán)(11)的圓心和所在調(diào)制圓環(huán)(10)的圓心連線所組成的夾角為任意角度，不同調(diào)制基本單元中的調(diào)制子圓環(huán)(11)為等直徑或非等直徑圓環(huán)，個(gè)數(shù)相同或不同。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的具有同心圓環(huán)的多周期主從嵌套圓環(huán)陣列電磁屏蔽光窗，其特征在于:同心子圓環(huán)對(duì)的內(nèi)外直徑比值在0.2-0.8范圍內(nèi)，同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)的內(nèi)外直徑比值在0.2-0.8范圍內(nèi)，不同子單元的同心子圓環(huán)對(duì)的內(nèi)外圓環(huán)直徑比相同或不同，不同調(diào)制基本單元的同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)的內(nèi)外圓環(huán)直徑比相同或不同；基本單元內(nèi)相鄰子圓環(huán)(7)外切連通或相交，子單元內(nèi)的相鄰次級(jí)子圓環(huán)(8)外切連通或相交，次級(jí)子圓環(huán)(8)與所在子單元內(nèi)的同心圓環(huán)對(duì)的內(nèi)圓環(huán)相切連通或相交；調(diào)制基本單元內(nèi)相鄰調(diào)制子圓環(huán)(11)外切連通或相交，調(diào)制子圓環(huán)(11)與所在調(diào)制基本單元內(nèi)的同心圓環(huán)對(duì)的內(nèi)圓環(huán)相切連通或相交；所述的相切連通包括外切連通或內(nèi)切連通。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的具有同心圓環(huán)的多周期主從嵌套圓環(huán)陣列電磁屏蔽光窗，其特征在于:基本單元中子圓環(huán)(7)的直徑相同，相鄰子圓環(huán)(7)的圓心和基本圓環(huán)(6)圓心連線所組成的夾角相等；子單元中次級(jí)子圓環(huán)(8)的直徑相同，相鄰次級(jí)子圓環(huán)(8)的圓心和所在子圓環(huán)(7)的圓心連線所組成的夾角相等；調(diào)制基本單元中調(diào)制子圓環(huán)(11)的直徑相同，相鄰調(diào)制子圓環(huán)(11)的圓心和所在調(diào)制圓環(huán)(10)的圓心連線所組成的夾角相等。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的具有同心圓環(huán)的多周期主從嵌套圓環(huán)陣列電磁屏蔽光窗，其特征在于:不同基本單元中的子圓環(huán)(7)個(gè)數(shù)相同，直徑相等；不同子單元中的次級(jí)子圓環(huán)(8)個(gè)數(shù)相同，直徑相等；不同調(diào)制基本單元中的調(diào)制子圓環(huán)(11)的個(gè)數(shù)相同，直徑相等。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的具有同心圓環(huán)的多周期主從嵌套圓環(huán)陣列電磁屏蔽光窗，其特征在于:不同子單元中的次級(jí)子圓環(huán)(8)相對(duì)位置相同，并由一個(gè)子單元復(fù)制后排列在基本圓環(huán)(6)內(nèi)；不同基本單元中的子單元相對(duì)位置相同，不同調(diào)制基本單元中的調(diào)制子圓環(huán)(11)相對(duì)位置相同，并由一個(gè)基本單元和一個(gè)調(diào)制基本單元復(fù)制后分別按二維正交排列密接排布共同構(gòu)成二維金屬網(wǎng)柵。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的具有同心圓環(huán)的多周期主從嵌套圓環(huán)陣列電磁屏蔽光窗，其特征在于:一個(gè)基本單元內(nèi)的不同子單元中的次級(jí)子圓環(huán)(8)相對(duì)位置不同，并由一個(gè)子單兀復(fù)制后排列在基本圓環(huán)(6)內(nèi)，其中任意一個(gè)子單兀相對(duì)于在同一基本圓環(huán)(6)內(nèi)的其他子單元在二維平面內(nèi)繞自身子圓環(huán)(7)圓心旋轉(zhuǎn)一定角度；同一行中，相鄰基本單元中的子單元相對(duì)位置不同，相鄰調(diào)制基本單元中的調(diào)制子圓環(huán)(11)相對(duì)位置不同，并由一個(gè)基本單元和一個(gè)調(diào)制基本單元復(fù)制后按二維正交排列密接排布構(gòu)成二維金屬網(wǎng)柵，其中任意一個(gè)基本單元相對(duì)于其相鄰基本單元在二維平面內(nèi)繞自身基本圓環(huán)(6)圓心旋轉(zhuǎn)一定角度，任意一個(gè)調(diào)制基本單元相對(duì)于其相鄰調(diào)制基本單元在二維平面內(nèi)繞自身調(diào)制圓環(huán)(10)圓心旋轉(zhuǎn)一定角度。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的具有同心圓環(huán)的多周期主從嵌套圓環(huán)陣列電磁屏蔽光窗，其特征在于:同一行中的任意基本單元相對(duì)相鄰基本單元旋轉(zhuǎn)的角度相同，同一行中的任意調(diào)制基本單元相對(duì)相鄰調(diào)制基本單元旋轉(zhuǎn)的角度相同。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有同心圓環(huán)的多周期主從嵌套圓環(huán)陣列電磁屏蔽光窗，其特征在于:所述的基本 圓環(huán)(6)、同心子圓環(huán)對(duì)、次級(jí)子圓環(huán)(8)、填充圓環(huán)(9)、同心調(diào)制圓環(huán)對(duì)、調(diào)制子圓環(huán)(11)以及連接金屬(12)由導(dǎo)電性能良好的合金構(gòu)成，且合金厚度大于IOOnm0
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有同心圓環(huán)的多周期主從嵌套圓環(huán)陣列電磁屏蔽光窗，其特征在于:粘接層(I)用鉻或者鈦材料構(gòu)成。
【文檔編號(hào)】H05K9/00GK103763897SQ201410051497
【公開日】2014年4月30日 申請(qǐng)日期:2014年2月14日 優(yōu)先權(quán)日:2014年2月14日
【發(fā)明者】譚久彬, 陸振剛 申請(qǐng)人:哈爾濱工業(yè)大學(xué)