安裝裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種安裝裝置，能夠進(jìn)一步提高所保持的元件的位置偏差的檢測精度。元件安裝機(jī)(11)對(duì)被吸附于安裝頭(24)的元件、第一基準(zhǔn)標(biāo)記(51)以及至少光學(xué)特性與第一基準(zhǔn)標(biāo)記(51)不同的第二基準(zhǔn)標(biāo)記(52)進(jìn)行拍攝。例如，有時(shí)會(huì)根據(jù)元件不同而變更其照明條件等來進(jìn)行拍攝，在此，由于具備光學(xué)特性不同的多個(gè)基準(zhǔn)標(biāo)記，因此能夠使用更適合于元件的基準(zhǔn)標(biāo)記來拍攝元件。另外，使用該拍攝圖像而能夠更準(zhǔn)確地檢測被吸附于安裝頭(24)的元件與基準(zhǔn)標(biāo)記的相對(duì)位置。在該元件安裝機(jī)(11)中，具備能夠安裝和拆卸第一基準(zhǔn)標(biāo)記(51)和第二基準(zhǔn)標(biāo)記(52)的第一安裝部(54)和第二安裝部(56)，并能夠更換這些基準(zhǔn)標(biāo)記。
【專利說明】安裝裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及一種安裝裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]以往，作為安裝裝置，提出有如下的裝置:在與由吸嘴吸附的元件同時(shí)被拍攝的位置上具備被檢測部，預(yù)先對(duì)吸嘴的旋轉(zhuǎn)中心與被檢測部的相對(duì)位置關(guān)系進(jìn)行檢測，對(duì)被吸附的元件和被檢測部同時(shí)進(jìn)行拍攝，基于之前的相對(duì)位置關(guān)系來取得元件的中心的位置偏差(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。在該裝置中，能夠提高元件相對(duì)于吸嘴的旋轉(zhuǎn)中心的位置偏差的檢測精度。
[0003]專利文獻(xiàn)1:日本特開2002-185198號(hào)公報(bào)
[0004]可是，由于所安裝的元件存在多種多樣，因此當(dāng)想要獲得更適當(dāng)?shù)脑呐臄z圖像時(shí)，有時(shí)因被檢測部的拍攝結(jié)果根據(jù)元件的種類而變得過暗、或者過亮等，難以準(zhǔn)確地檢測被檢測部的位置。例如，在專利文獻(xiàn)I所記載的安裝裝置中，雖然使用被檢測部而提高了元件的位置偏差的檢測精度，可是仍然不充分，要求進(jìn)一步提高元件的位置偏差的檢測精度。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明是鑒于這樣的課題而作出的，其主要目的在于提供一種能夠進(jìn)一步提高被保持的元件的位置偏差的檢測精度的安裝裝置。
[0006]本發(fā)明為了實(shí)現(xiàn)上述的主要目的而采取了以下的手段。
[0007]即，本發(fā)明的安裝裝置將一個(gè)以上元件安裝到基板上，其中，
[0008]該安裝裝置具備安裝處理部，該安裝處理部具備:安裝頭，保持上述元件并使上述元件向上述基板上移動(dòng)；及拍攝部，對(duì)保持于上述安裝頭的元件和上述安裝頭所具有的預(yù)定基準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行拍攝，
[0009]上述安裝處理部具備第一基準(zhǔn)標(biāo)記和第二基準(zhǔn)標(biāo)記作為上述預(yù)定基準(zhǔn)標(biāo)記，上述第二基準(zhǔn)標(biāo)記至少光學(xué)特性與上述第一基準(zhǔn)標(biāo)記不同。
[0010]在該安裝裝置中，在對(duì)被保持于安裝頭的元件和安裝頭所具有的預(yù)定基準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行拍攝時(shí)，具備第一基準(zhǔn)標(biāo)記和至少光學(xué)特性與第一基準(zhǔn)標(biāo)記不同的第二基準(zhǔn)標(biāo)記作為預(yù)定基準(zhǔn)標(biāo)記，對(duì)該第一基準(zhǔn)標(biāo)記或第二基準(zhǔn)標(biāo)記與被保持于安裝頭的元件一起進(jìn)行拍攝。例如，有時(shí)會(huì)根據(jù)元件不同而變更其照明條件等來進(jìn)行拍攝，在此，由于具備光學(xué)特性不同的多個(gè)基準(zhǔn)標(biāo)記，因此能夠使用更適合于元件的基準(zhǔn)標(biāo)記來拍攝元件。另外，使用該拍攝圖像而能夠更準(zhǔn)確地檢測被保持于安裝頭的元件與基準(zhǔn)標(biāo)記之間的相對(duì)位置。因而，能夠進(jìn)一步提高被保持的元件的位置偏差的檢測精度。在此，“光學(xué)特性”例如是與拍攝時(shí)的光對(duì)應(yīng)的特性，也可以說是在拍攝圖像中顯現(xiàn)出其影響的特性。另外，具備第一基準(zhǔn)標(biāo)記和第二基準(zhǔn)標(biāo)記，但若具有多個(gè)基準(zhǔn)標(biāo)記，則例如也可以還具備光學(xué)特性不同的第三基準(zhǔn)標(biāo)記、第四基準(zhǔn)標(biāo)記等。
[0011]在本發(fā)明的安裝裝置中，也可以是，上述安裝處理部具備:作為上述光學(xué)特性的反射率、亮度、顏色以及被拍攝的拍攝面的角度中的一個(gè)以上不同的上述第二基準(zhǔn)標(biāo)記。即，也可以是，上述安裝處理部具備上述第一基準(zhǔn)標(biāo)記和與上述第一基準(zhǔn)標(biāo)記相比反射率高的上述第二基準(zhǔn)標(biāo)記。另外，也可以是，上述安裝處理部具備上述第一基準(zhǔn)標(biāo)記和與上述第一基準(zhǔn)標(biāo)記相比亮度高的第二基準(zhǔn)標(biāo)記。另外，也可以是，上述安裝處理部具備上述第一基準(zhǔn)標(biāo)記和形成有角度與上述第一基準(zhǔn)標(biāo)記的拍攝面的角度不同的拍攝面的第二基準(zhǔn)標(biāo)記。此夕卜，例如也可以是，這些光學(xué)特性是將亮度和拍攝面的角度等兩個(gè)以上組合而成的。
[0012]在本發(fā)明的安裝裝置中，也可以是，上述安裝頭具備能夠安裝和拆卸上述第一基準(zhǔn)標(biāo)記和上述第二基準(zhǔn)標(biāo)記的安裝部。這樣一來，通過更換第一基準(zhǔn)標(biāo)記和第二基準(zhǔn)標(biāo)記，能夠比較容易地進(jìn)一步提高被保持的元件的位置偏差的檢測精度。
[0013]在本發(fā)明的安裝裝置中，也可以是，上述安裝頭具備能夠安裝和拆卸用于吸附元件的兩個(gè)以上吸嘴并能夠安裝和拆卸上述第一基準(zhǔn)標(biāo)記和上述第二基準(zhǔn)標(biāo)記的安裝部。這樣一來，能夠代替吸嘴而安裝基準(zhǔn)標(biāo)記，因此，能夠比較通用地進(jìn)一步提高元件的位置偏差的檢測精度。
[0014]也可以是，具備安裝部的本發(fā)明的安裝裝置具備安裝控制部，上述安裝控制部使上述第一基準(zhǔn)標(biāo)記和上述第二基準(zhǔn)標(biāo)記中的一個(gè)以上基準(zhǔn)標(biāo)記安裝于上述安裝頭的上述安裝部。這樣一來，能夠利用安裝控制部來更換第一基準(zhǔn)標(biāo)記和第二基準(zhǔn)標(biāo)記，能夠通過自動(dòng)的處理來進(jìn)一步提高元件的位置偏差的檢測精度。此時(shí)，也可以是，上述安裝控制部根據(jù)保持于上述安裝頭的元件而將上述第一基準(zhǔn)標(biāo)記和上述第二基準(zhǔn)標(biāo)記中的任一基準(zhǔn)標(biāo)記安裝于上述安裝頭。這樣一來，能夠進(jìn)一步防止安裝元件的處理的效率降低并進(jìn)一步提高元件的位置偏差的檢測精度。
[0015]或者，在本發(fā)明的安裝裝置中，也可以是，上述第一基準(zhǔn)標(biāo)記和上述第二基準(zhǔn)標(biāo)記固定于上述安裝頭。這樣一來，不存在基準(zhǔn)標(biāo)記距離固定位置的偏差，因此，能夠進(jìn)一步提高被保持的元件的位置偏差的檢測精度。
[0016]在本發(fā)明的安裝裝置中，也可以是，上述安裝頭在上述拍攝部的拍攝范圍的一端側(cè)配置上述第一基準(zhǔn)標(biāo)記，在上述拍攝部的拍攝范圍的另一端側(cè)配置上述第二基準(zhǔn)標(biāo)記。這樣一來，由于多個(gè)基準(zhǔn)標(biāo)記配置于拍攝范圍的端部，因此能夠在防止妨礙安裝處理的同時(shí)進(jìn)一步提高元件的位置偏差的檢測精度。此外，也可以是，“配置”除了包含以能夠拆卸的方式安裝的情況之外，還包含固定的情況。
[0017]在本發(fā)明的安裝裝置中，也可以是，上述拍攝部具有:照明部，能夠?qū)Ρ３钟谏鲜霭惭b頭的元件以多個(gè)照明狀態(tài)照射光；及照明控制部，將上述照明部控制為與保持于上述安裝頭的元件對(duì)應(yīng)的照明狀態(tài)。這樣一來，通過使用與照明狀態(tài)對(duì)應(yīng)的基準(zhǔn)標(biāo)記，能夠進(jìn)一步提高元件的位置偏差的檢測精度。在此，也可以是，“照明狀態(tài)”包含例如亮度、光的波長以及光的照射位置等。
[0018]也可以是，本發(fā)明的安裝裝置具備檢測單元，上述檢測單元基于上述拍攝部的拍攝圖像中所包含的元件的圖像以及上述第一基準(zhǔn)標(biāo)記和上述第二基準(zhǔn)標(biāo)記中至少一方的圖像的位置來檢測保持于上述安裝頭的元件的保持狀態(tài)。在此，作為“元件的保持狀態(tài)”，可以包含元件的位置偏差(平面上和高度方向)、元件的旋轉(zhuǎn)角度等。另外，“元件的保持狀態(tài)的檢測”除了包含對(duì)保持狀態(tài)是否良好進(jìn)行檢測之外，還包含對(duì)元件的位置偏差量進(jìn)行檢測。
[0019]或者，本發(fā)明的安裝裝置將一個(gè)以上元件安裝到基板上，其中，上述安裝裝置具備安裝處理部，上述安裝處理部具備:安裝頭，具備能夠安裝和拆卸用于吸附元件的兩個(gè)以上吸嘴的安裝部，吸附上述元件并使上述元件向上述基板上移動(dòng)；及拍攝部，對(duì)吸附于上述安裝頭的元件和上述安裝頭所具有的預(yù)定基準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行拍攝，上述安裝處理部具備能夠安裝于上述安裝部和從上述安裝部拆卸的上述預(yù)定基準(zhǔn)標(biāo)記。
[0020]在該安裝裝置中，在能夠?qū)蓚€(gè)以上吸嘴安裝于安裝部的安裝頭中，能夠?qū)⒒鶞?zhǔn)標(biāo)記安裝于安裝部。因此，特別是即使在不具備基準(zhǔn)標(biāo)記的安裝裝置中，也能夠使用該基準(zhǔn)標(biāo)記來檢測吸附于安裝頭的元件的偏差。在該安裝裝置中，也可以是，上述安裝處理部僅具備一個(gè)能夠安裝于上述安裝部和從上述安裝部拆卸的上述預(yù)定基準(zhǔn)標(biāo)記。
[0021]在這種形式的安裝裝置中，也可以具備使上述基準(zhǔn)標(biāo)記安裝于上述安裝頭的上述安裝部的安裝控制部。這樣一來，能夠利用安裝控制部來更換基準(zhǔn)標(biāo)記，能夠通過自動(dòng)的處理來進(jìn)一步提高元件的位置偏差的檢測精度。此時(shí)，也可以是，上述安裝控制部根據(jù)保持于上述安裝頭的元件而將上述基準(zhǔn)標(biāo)記安裝于上述安裝頭。另外，在本發(fā)明的安裝裝置中，也可以是，上述拍攝部具有:照明部，能夠?qū)Ρ３钟谏鲜霭惭b頭的元件以多個(gè)照明狀態(tài)照射光；以及照明控制部，將上述照明部控制為與保持于上述安裝頭的元件對(duì)應(yīng)的照明狀態(tài)。這樣一來，能夠根據(jù)照明狀態(tài)來進(jìn)一步提高元件的位置偏差的檢測精度。另外，也可以是，本發(fā)明的安裝裝置具備檢測單元，上述檢測單元基于上述拍攝部的拍攝圖像中所包含的元件的圖像以及上述基準(zhǔn)標(biāo)記中至少一方的圖像的位置來檢測保持于上述安裝頭的元件的保持狀態(tài)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0022]圖1是元件安裝系統(tǒng)10的概略說明圖。
[0023]圖2是表示元件安裝機(jī)11的電連接關(guān)系的框圖。
[0024]圖3是安裝頭24和相機(jī)單元60的說明圖。
[0025]圖4是表示安裝處理例程的一例的流程圖。
[0026]圖5是安裝頭24、第一基準(zhǔn)標(biāo)記51以及第二基準(zhǔn)標(biāo)記52的說明圖。
[0027]圖6是反射率高的元件Pl的偏差檢測的說明圖。
[0028]圖7是反射率低的元件P3的偏差檢測的說明圖。
[0029]圖8是其他元件安裝機(jī)IIB的概略說明圖。
[0030]圖9是表示其他安裝處理例程的一例的流程圖。
[0031]圖10是第一基準(zhǔn)標(biāo)記5IB和第二基準(zhǔn)標(biāo)記52B的切換的說明圖。
[0032]圖11是反射率高的元件Pl和反射率低的元件P3的偏差量檢測的說明圖。
[0033]圖12是其他基準(zhǔn)標(biāo)記51C、基準(zhǔn)標(biāo)記51D的說明圖。
[0034]附圖標(biāo)記說明
[0035]10元件安裝系統(tǒng)
[0036]IlUlB元件安裝機(jī)
[0037]12U2B安裝處理部
[0038]13基座
[0039]14安裝機(jī)主體
[0040]16基板
[0041]18基板輸送裝置
[0042]20支撐板
[0043]22輸送帶
[0044]23支撐銷
[0045]24安裝頭
[0046]26X軸滑動(dòng)件
[0047]28導(dǎo)軌
[0048]30Y軸滑動(dòng)件
[0049]32導(dǎo)軌
[0050]34Z軸馬達(dá)
[0051]36滾珠絲杠
[0052]38帶盤單元
[0053]40、40a ?40d 吸嘴
[0054]42吸嘴保持體
[0055]44吸嘴儲(chǔ)存器
[0056]46電磁閥
[0057]47真空泵
[0058]48空氣配管
[0059]51、51B第一基準(zhǔn)標(biāo)記
[0060]51a標(biāo)記部件
[0061]51b拍攝面
[0062]51C、5ID 基準(zhǔn)標(biāo)記
[0063]51c、51d 錐面
[0064]52、52B第二基準(zhǔn)標(biāo)記
[0065]52a標(biāo)記部件
[0066]52b拍攝面
[0067]54第一安裝部
[0068]54B安裝部
[0069]56第二安裝部
[0070]60、60B 相機(jī)單元
[0071]61照明部
[0072]62照明控制部
[0073]63拍攝元件
[0074]64圖像處理部
[0075]65主鏡頭
[0076]66副鏡頭
[0077]70控制裝置
[0078]71CPU
[0079]72ROM
[0080]73HDD
[0081]74RAM
[0082]75輸入輸出接口
[0083]76總線
[0084]77安裝控制部
[0085]78檢測部
[0086]79判定部
[0087]80管理計(jì)算機(jī)
[0088]82輸入設(shè)備
[0089]84顯示器
[0090]P、P1 ?P4 元件

【具體實(shí)施方式】
[0091](第一實(shí)施方式)
[0092]以下，參照【專利附圖】

【附圖說明】本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施方式。圖1是元件安裝系統(tǒng)10的概略說明圖，圖2是表示元件安裝機(jī)11的電連接關(guān)系的框圖，圖3是安裝頭24和相機(jī)單元60的說明圖。此外，在本實(shí)施方式中，左右方向(X軸)、前后方向(Y軸)以及上下方向(Z軸)如圖1所示。在該第一實(shí)施方式中，說明在安裝頭24本身配置有多個(gè)基準(zhǔn)標(biāo)記(第一基準(zhǔn)標(biāo)記51和第二基準(zhǔn)標(biāo)記52)的方式。
[0093]元件安裝系統(tǒng)10具備元件安裝機(jī)11和管理計(jì)算機(jī)80。元件安裝系統(tǒng)10從上游向下游配置有分別實(shí)施將電子元件(以下稱為“元件P”)安裝到基板16上的安裝處理的多個(gè)元件安裝機(jī)11。在圖1中，為了便于說明，僅示出了一臺(tái)元件安裝機(jī)U。此外，安裝處理包含將元件配置、安裝、插入、接合以及粘接到基板上的處理等。如圖1所示，元件安裝機(jī)11具備:基座13 ;設(shè)置于基座13上的安裝機(jī)主體14 ;以及安裝于安裝機(jī)主體14的帶盤單元38?；?3是形成為長方體的重物，在背面的四角安裝有未圖示的腳輪。
[0094]安裝機(jī)主體14能夠更換地設(shè)置于基座13。該安裝機(jī)主體14具備:基板輸送裝置18，輸送基板16 ;安裝頭24，能夠在XY平面上移動(dòng)；吸嘴40，安裝于安裝頭24并能夠向Z軸移動(dòng)；相機(jī)單元60，拍攝被吸附于吸嘴40的元件；吸嘴儲(chǔ)存器44，儲(chǔ)存能夠安裝于安裝頭24的多個(gè)種類的吸嘴；以及控制裝置70(參照?qǐng)D2)，執(zhí)行各種控制。由配置于該安裝機(jī)主體14的基板輸送裝置18、X軸滑動(dòng)件26、Y軸滑動(dòng)件30、安裝頭24以及相機(jī)單元60等構(gòu)成安裝處理部12。
[0095]基板輸送裝置18具備:支撐板20、20，沿著圖1的前后隔開間隔而設(shè)置，并沿著左右方向延伸；以及輸送帶22、22 (在圖1中僅圖示其中一方)，設(shè)于兩支撐板20、20的彼此相向的面上。輸送帶22、22呈環(huán)狀地架設(shè)于在支撐板20、20的左右設(shè)置的驅(qū)動(dòng)輪和從動(dòng)輪?；?6被承載于一對(duì)輸送帶22、22的上表面并被從左向右輸送。該基板16由豎立設(shè)置在背面?zhèn)鹊亩鄠€(gè)支撐銷23支撐。
[0096]安裝頭24安裝于X軸滑動(dòng)件26的前表面，保持(吸附)元件P并使該元件P向基板16上移動(dòng)。X軸滑動(dòng)件26以能夠沿著左右方向滑動(dòng)的方式安裝于能夠沿著前后方向滑動(dòng)的Y軸滑動(dòng)件30的前表面。Y軸滑動(dòng)件30能夠滑動(dòng)地安裝于沿著前后方向延伸的左右一對(duì)導(dǎo)軌32、32。此外，導(dǎo)軌32、32固定于元件安裝機(jī)11的內(nèi)部。在Y軸滑動(dòng)件30的前表面設(shè)有沿著左右方向延伸的上下一對(duì)導(dǎo)軌28、28，X軸滑動(dòng)件26以能夠沿著左右方向滑動(dòng)的方式安裝于該導(dǎo)軌28、28。隨著X軸滑動(dòng)件26沿著左右方向的移動(dòng)，安裝頭24沿著左右方向移動(dòng)，隨著Y軸滑動(dòng)件30沿著前后方向的移動(dòng)，安裝頭24沿著前后方向移動(dòng)。此夕卜，各滑動(dòng)件26、30分別由驅(qū)動(dòng)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)。另外，安裝頭24內(nèi)置Z軸馬達(dá)34，并利用Z軸馬達(dá)34調(diào)整吸嘴40的高度，該吸嘴40與安裝于沿著Z軸延伸的滾珠絲杠36的吸嘴保持體42 一體化。
[0097]如圖3所示，安裝頭24具備:吸嘴保持體42，安裝多個(gè)吸嘴40 ;第一基準(zhǔn)標(biāo)記51，作為被吸附的元件P的位置的基準(zhǔn)；以及第二基準(zhǔn)標(biāo)記52，作為被吸附的元件P的位置的基準(zhǔn)。另外，安裝頭24具備:第一安裝部54，能夠安裝和拆卸第一基準(zhǔn)標(biāo)記51 ;以及第二安裝部56，能夠安裝和拆卸第二基準(zhǔn)標(biāo)記52。第一安裝部54配置于安裝頭24的不會(huì)妨礙更換吸嘴保持體42的角部、即相機(jī)單元60的拍攝范圍的一端側(cè)(參照后述圖5)。另外，第二安裝部56配置于安裝頭24的不會(huì)妨礙更換吸嘴保持體42的、與第一安裝部54呈對(duì)角的角部、即相機(jī)單元60的拍攝范圍的另一端側(cè)。在第一基準(zhǔn)標(biāo)記51上，在圓周上排列地配置有四個(gè)圓盤狀的標(biāo)記部件51a。另外，在第二基準(zhǔn)標(biāo)記52上，在圓周上排列地配置有四個(gè)圓盤狀的標(biāo)記部件52a。該標(biāo)記部件52a的光學(xué)特性與標(biāo)記部件51a的光學(xué)特性不同。SP，安裝處理部12具備第一基準(zhǔn)標(biāo)記51和第二基準(zhǔn)標(biāo)記，該第二基準(zhǔn)標(biāo)記至少光學(xué)特性與第一基準(zhǔn)標(biāo)記51不同。在此，標(biāo)記部件52a的作為光學(xué)特性的反射率和顏色與標(biāo)記部件51a不同。例如，標(biāo)記元件51a的包含被相機(jī)單元60拍攝的拍攝面51b在內(nèi)的反射率比較高，是白色。另一方面，標(biāo)記部件52a的包含被相機(jī)單元60拍攝的拍攝面52b在內(nèi)的反射率比較低，是無彩色(灰色)。該拍攝面51b、52b配置在比吸嘴40高的位置，防止與被吸附于吸嘴40的元件P及已經(jīng)安裝到基板16上的元件發(fā)生干擾。第一基準(zhǔn)標(biāo)記51、第二基準(zhǔn)標(biāo)記52通過作業(yè)者的手動(dòng)作業(yè)而被安裝于第一安裝部54、第二安裝部56，或者被從第一安裝部54、第二安裝部56拆卸。這樣一來，通過在安裝處理部12中具備第一基準(zhǔn)標(biāo)記51和第二基準(zhǔn)標(biāo)記52，能夠在拍攝被吸附于吸嘴40的元件P時(shí)照明的亮度發(fā)生了變化的情況下，區(qū)分使用第一基準(zhǔn)標(biāo)記51和第二基準(zhǔn)標(biāo)記52。
[0098]吸嘴40利用壓力而將元件吸附在吸嘴前端、或者使吸附在吸嘴前端的元件分離。如圖2所示，該吸嘴40經(jīng)由電磁閥46而與真空泵47及空氣配管48中的任一方連接。在將元件吸附于吸嘴40時(shí)，以使真空泵47與吸嘴40連通的方式定位電磁閥46。由此，吸嘴40的內(nèi)部成為負(fù)壓，元件被吸附于吸嘴40的前端。另一方面，在將元件從吸嘴40取下時(shí)，以使空氣配管48和吸嘴40連通的方式定位電磁閥46。由此，吸嘴40的內(nèi)部成為正壓，被吸附于吸嘴40的前端的元件脫落。吸嘴40通過以未圖示的馬達(dá)為驅(qū)動(dòng)源的旋轉(zhuǎn)裝置旋轉(zhuǎn)(自轉(zhuǎn))，能夠調(diào)整由吸嘴40吸附的元件的角度。
[0099]帶盤單元38具備多個(gè)帶盤，能夠裝卸地安裝于安裝機(jī)主體14的前側(cè)。在各帶盤上纏繞有料帶，在料帶的表面沿著長度方向保持有元件。這些元件由覆蓋料帶的表面的膜保護(hù)。這樣的料帶被從帶盤朝向后方放卷，在供料部中以帶膜被剝下而使元件露出的狀態(tài)被送出到由安裝頭24吸附的取出位置。
[0100]吸嘴儲(chǔ)存器44是儲(chǔ)存多個(gè)種類的吸嘴40的箱。吸嘴40能夠拆卸地安裝于安裝頭24的吸嘴保持體42，更換為與安裝元件的基板16的種類、元件的種類適合的吸嘴。
[0101]相機(jī)單元60是對(duì)被吸附于安裝頭24的元件P和安裝頭24所具有的第一基準(zhǔn)標(biāo)記51以及第二基準(zhǔn)標(biāo)記52進(jìn)行拍攝的單元，配置在基板輸送裝置18的前側(cè)的支撐板20的前方。該相機(jī)單元60的拍攝范圍是相機(jī)單元60的上方。相機(jī)單元60具備:照明部61，能夠向上方照射光并對(duì)被保持于安裝頭24的元件P以多個(gè)照明狀態(tài)照射光；以及照明控制部62，控制照明部61。相機(jī)單元60具備:拍攝元件63，通過感光而產(chǎn)生電荷并輸出所產(chǎn)生的電荷；以及圖像處理部64，基于被輸入的電荷來生成圖像數(shù)據(jù)。另外，相機(jī)單元60具備:主鏡頭65，配置在照明部61與拍攝元件63之間；以及副鏡頭66，用于拍攝第一基準(zhǔn)標(biāo)記51和第二基準(zhǔn)標(biāo)記52。照明部61例如是如下的光源:具有配置成上層、中層、下層的燈以及未圖示的落射燈，并能夠調(diào)整向被吸附于吸嘴40的元件P照射的光的亮度(光量)、光的波長以及光的照射位置等。照明部61中，當(dāng)使上層的燈亮燈時(shí)，從側(cè)方照射光，當(dāng)使下層的燈亮燈時(shí)，從側(cè)方且下方照射光，當(dāng)使落射燈亮燈時(shí)，從下方照射光。照明控制部62是以成為與被吸附于安裝頭24的吸嘴40的元件P對(duì)應(yīng)的照明狀態(tài)的方式控制照明部61的控制器。拍攝元件63可以設(shè)為(XD，也可以設(shè)為CMOS。主鏡頭65以焦點(diǎn)位置對(duì)準(zhǔn)被吸附的元件P的方式設(shè)定焦距，也可以設(shè)為凸透鏡和凹透鏡的組合。副鏡頭66以焦點(diǎn)位置對(duì)準(zhǔn)拍攝面51b、52b的方式設(shè)定焦距，是吸收拍攝面51b、52b與吸附元件之間的焦距之差的鏡頭。在吸附有元件P的吸嘴40通過相機(jī)單元60的上方時(shí)，相機(jī)單元60對(duì)被吸附于吸嘴40的元件P、第一基準(zhǔn)標(biāo)記51以及第二基準(zhǔn)標(biāo)記52進(jìn)行拍攝，并將拍攝結(jié)果向控制裝置70輸出。
[0102]如圖2所示，控制裝置70構(gòu)成為以CPU71為中心的微處理器，具備對(duì)處理程序進(jìn)行存儲(chǔ)的R0M72、存儲(chǔ)各種數(shù)據(jù)的HDD73、用作作業(yè)區(qū)域的RAM74以及用于與外部裝置進(jìn)行電信號(hào)的交換的輸入輸出接口 75等，它們經(jīng)由總線76而連接。該控制裝置70向基板輸送裝置18、X軸滑動(dòng)件26及Y軸滑動(dòng)件30的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)、安裝頭24的Z軸馬達(dá)34以及電磁閥46輸出驅(qū)動(dòng)信號(hào)，并輸入來自相機(jī)單元60的圖像信號(hào)。另外，控制裝置70與帶盤單元38、管理計(jì)算機(jī)80以能夠進(jìn)行雙向通信的方式連接。此外，在各滑動(dòng)件26、30上配備有未圖示的位置傳感器，控制裝置70輸入來自這些位置傳感器的位置信息并控制各滑動(dòng)件26、30的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)。
[0103]該控制裝置70具備作為功能塊的安裝控制部77、檢測部78以及判定部79。安裝控制部77執(zhí)行基于包含各元件的尺寸、配置位置等條件的安裝條件信息來安裝元件的處理。安裝條件信息例如除了包含元件的形狀、尺寸以及在基板16上的配置位置之外，還包含元件P的光的反射率、顏色等信息，由管理計(jì)算機(jī)80管理。另外，安裝控制部77執(zhí)行吸嘴40、吸嘴保持體42等的安裝和拆卸。檢測部78執(zhí)行如下處理:將不安裝元件時(shí)的安裝頭24的圖像作為參照，根據(jù)元件P的中心位置與吸嘴40的中心位置之差，對(duì)被吸附于吸嘴40的元件P的偏差量、吸附角度進(jìn)行檢測。另外，檢測部78基于拍攝圖像來對(duì)元件P在安裝頭24上的吸附狀態(tài)是否良好進(jìn)行檢測。判定部79執(zhí)行如下處理:基于所檢測到的偏差量是否大于預(yù)先按照經(jīng)驗(yàn)所確定的閾值，或者，基于元件的形狀是否與基準(zhǔn)值不同，對(duì)是否將該所吸附的元件用于安裝處理進(jìn)行判定。
[0104]管理計(jì)算機(jī)80是管理多個(gè)元件安裝機(jī)11的信息的計(jì)算機(jī)，由CPU、ROM以及RAM等構(gòu)成，具備:對(duì)裝置整體進(jìn)行控制的控制器；與元件安裝機(jī)11等外部設(shè)備進(jìn)行通信的通信部；以及存儲(chǔ)各種應(yīng)用程序、各種數(shù)據(jù)文件的存儲(chǔ)部。另外，管理計(jì)算機(jī)80具備:作業(yè)者輸入各種指令的鍵盤和鼠標(biāo)等輸入設(shè)備82 ;以及顯示各種信息的顯示器77。管理計(jì)算機(jī)80在存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)有安裝條件信息，并根據(jù)來自元件安裝機(jī)11的請(qǐng)求等而向元件安裝機(jī)11發(fā)送安裝條件信息。
[0105]接著，說明如此構(gòu)成的本實(shí)施方式的元件安裝機(jī)11的動(dòng)作、例如對(duì)被吸附于吸嘴40的元件P進(jìn)行拍攝并將該元件P配置到基板16上的安裝處理。圖7是表示由控制裝置70的CPU71執(zhí)行的安裝處理例程的一例的流程圖。該例程被存儲(chǔ)于控制裝置70的HDD73，并根據(jù)由作業(yè)者發(fā)出的開始指示而執(zhí)行。該例程例如利用控制裝置70的各功能塊即安裝控制部77、檢測部78以及判定部79的功能、各單元，并由CPU71執(zhí)行。此外，在該例程中，為了便于說明，主要說明被吸附于吸嘴40的元件P的偏差量的檢測。當(dāng)開始該例程時(shí)，控制裝置70的CPU71首先從管理計(jì)算機(jī)80取得安裝條件信息，并存儲(chǔ)于HDD73 (步驟S100)。
[0106]接著，CPU71將吸嘴保持體42安裝于安裝頭24，并且將吸嘴40安裝于吸嘴保持體42，利用相機(jī)單元60拍攝未吸附元件P的安裝頭24，取得該拍攝圖像作為參照?qǐng)D像(步驟S110)。圖5是安裝頭24、第一基準(zhǔn)標(biāo)記51以及第二基準(zhǔn)標(biāo)記52的說明圖。此外，圖5?7是從相機(jī)單元60側(cè)觀察安裝頭24時(shí)的說明圖。如圖5所示，以安裝吸嘴40a?40d這四個(gè)吸嘴的結(jié)構(gòu)來說明吸嘴保持體42。此外，吸嘴保持體42只要能夠安裝一個(gè)以上吸嘴40即可。在步驟SllO中，CPU71以照明部61的適合于拍攝參照?qǐng)D像的照明狀態(tài)進(jìn)行拍攝。拍攝到的參照?qǐng)D像與圖5所示的圖相同，能夠根據(jù)該圖像來掌握第一基準(zhǔn)標(biāo)記51、第二基準(zhǔn)標(biāo)記52、吸嘴40a?40d的中心位置及其距離(位置關(guān)系)。
[0107]接著，CPU71執(zhí)行基板16的輸送和固定處理(步驟S120)，基于安裝條件信息的內(nèi)容來設(shè)定安裝到基板16上的元件P，并取得元件P的信息(步驟S130)。對(duì)于元件P的安裝次序，在安裝條件信息中存儲(chǔ)有預(yù)先確定的安裝次序。另外，在此，取得元件P的反射率等顏色的信息。接著，CPU71進(jìn)行所設(shè)定的元件P的吸附和移動(dòng)處理(步驟S140)。在吸附處理中，CPU71進(jìn)行如下處理:將安裝頭24移動(dòng)至收納有對(duì)應(yīng)的元件的帶盤單元38的取出位置，使吸嘴40下降并使元件P吸附于吸嘴40。在該吸附處理中，也可以是，將一個(gè)以上元件吸附于吸嘴40a?40d。另外，在移動(dòng)處理中，CPU71進(jìn)行如下處理:使吸附有元件P的安裝頭24通過相機(jī)單元60的上方，并移動(dòng)至基板16的安裝位置。此外，在該移動(dòng)處理中，CPU71也可以根據(jù)元件P的反射率等拍攝的難易度而使安裝頭24在相機(jī)單元60的上方暫時(shí)停止。
[0108]接著，CPU71判定元件P的反射率處于第一基準(zhǔn)范圍還是處于低于第一基準(zhǔn)范圍的第二基準(zhǔn)范圍(步驟S150)。該元件安裝機(jī)11按照經(jīng)驗(yàn)設(shè)定為:根據(jù)元件P的拍攝面的反射率，若是亮的元件(第一基準(zhǔn)范圍內(nèi))，則使用第一基準(zhǔn)標(biāo)記51，若是暗的元件(第二基準(zhǔn)范圍內(nèi))，則使用第二基準(zhǔn)標(biāo)記52，來檢測元件P的偏差量等。此外，也可以預(yù)先對(duì)各個(gè)元件與適合于各個(gè)元件的基準(zhǔn)標(biāo)記建立對(duì)應(yīng)，并讀取該對(duì)應(yīng)，從而代替該步驟S150的處理。在判定為元件P的反射率處于第一基準(zhǔn)范圍時(shí)，CPU71以與此對(duì)應(yīng)的照明狀態(tài)拍攝元件和第一基準(zhǔn)標(biāo)記51 (步驟S160)，并利用第一基準(zhǔn)標(biāo)記51來檢測吸附元件的偏差量(步驟S170)。圖6是反射率高的元件Pl的偏差檢測的說明圖。此外，在圖6、7中，反射率高的(亮的)吸附元件PU P2被吸附于吸嘴40a、40b，反射率低的(暗的)吸附元件P3、P4被吸附于吸嘴40c、40d。例如，若是反射率高的元件P1，則CPU71以比較暗的照明狀態(tài)進(jìn)行拍攝，此時(shí)，利用第一基準(zhǔn)標(biāo)記51與吸嘴40的關(guān)系來檢測吸附元件Pl的偏差量。偏差量的檢測能夠如下進(jìn)行。例如，CPU71根據(jù)拍攝圖像來檢測第一基準(zhǔn)標(biāo)記51和吸附元件Pl的中心位置。接著，將參照?qǐng)D像的第一基準(zhǔn)標(biāo)記51的中心位置與拍攝圖像的第一基準(zhǔn)標(biāo)記51的中心位置對(duì)準(zhǔn)，求算此時(shí)的吸嘴40a的中心位置與拍攝圖像的吸附元件Pl的中心位置的偏差作為X軸、Y軸的坐標(biāo)值之差，將該差作為偏差量。這樣一來，能夠求算吸附元件Pl距吸嘴中心的偏差量。
[0109]另一方面，在步驟S150中判定為元件P的反射率處于第二基準(zhǔn)范圍時(shí)，CPU71以與此對(duì)應(yīng)的照明狀態(tài)拍攝元件和第二基準(zhǔn)標(biāo)記52 (步驟S180)，并利用第二基準(zhǔn)標(biāo)記52來檢測吸附元件的偏差量(步驟S190)。圖7是反射率低的元件P3的偏差量檢測的說明圖。例如，若是反射率低的元件P3，則CPU71以比較亮的照明狀態(tài)進(jìn)行拍攝，此時(shí)，利用第二基準(zhǔn)標(biāo)記52與吸嘴40的關(guān)系來檢測吸附元件P3的偏差量。利用第二基準(zhǔn)標(biāo)記52與吸嘴40的關(guān)系來檢測吸附元件的偏差量的處理能夠通過與上述的步驟S170同樣的處理來進(jìn)行。在此，說明步驟S160?S190的處理。例如，當(dāng)相機(jī)單元60以亮的照明狀態(tài)拍攝吸附元件時(shí)，若是反射率高的第一基準(zhǔn)標(biāo)記51，則變得過亮，從而有時(shí)不能識(shí)別標(biāo)記部件，或者即使能夠識(shí)別，標(biāo)記位置也不準(zhǔn)確(參照?qǐng)D7)。另外，當(dāng)相機(jī)單元60以暗的照明狀態(tài)拍攝吸附元件時(shí)，若是反射率低的第二基準(zhǔn)標(biāo)記52，則變得過暗，從而有時(shí)不能識(shí)別標(biāo)記部件，或者即使能夠識(shí)別，標(biāo)記位置也不準(zhǔn)確。在該元件安裝機(jī)11中，與拍攝被吸附的元件的照明狀態(tài)對(duì)應(yīng)地區(qū)分使用反射率不同的基準(zhǔn)標(biāo)記，從而能夠獲得高精度的基準(zhǔn)位置。
[0110]在步驟S190之后，或者，在步驟S170之后，CPU71判定是否已全部拍攝被吸附的元件、即是否已檢測了所有吸附元件的偏差量(步驟S200)。在未全部拍攝吸附元件時(shí)，CPU71重復(fù)執(zhí)行步驟S150以后的處理，在已全部拍攝吸附元件時(shí)，執(zhí)行將元件P安裝(配置)到校正了所檢測到的偏差量后的位置的處理(步驟S210)。接著，CPU71判定由元件安裝機(jī)11對(duì)當(dāng)前基板進(jìn)行的安裝處理是否已完成(步驟S220)，在當(dāng)前基板的安裝處理未完成時(shí)，執(zhí)行步驟S130以后的處理。即，CPU71進(jìn)行如下處理:設(shè)定接下來安裝的元件，并使該元件吸附于吸嘴40，以與元件的反射率對(duì)應(yīng)的照明狀態(tài)拍攝吸附元件，利用第一基準(zhǔn)標(biāo)記51或第二基準(zhǔn)標(biāo)記52來檢測吸附元件的偏差量，校正該偏差量，將元件安裝到基板16上。另一方面，在當(dāng)前基板的安裝處理已完成時(shí)，CPU71進(jìn)行安裝完成后的基板16的排出處理(步驟S230)，基于是否對(duì)所有的基板16已進(jìn)行了安裝處理來判定是否已完成生產(chǎn)(步驟S240)。在未對(duì)所有的基板16進(jìn)行安裝處理時(shí)，CPU71重復(fù)執(zhí)行步驟S120以后的處理，在已對(duì)所有的基板16進(jìn)行了安裝處理時(shí)，直接結(jié)束該例程。
[0111]根據(jù)以上說明的第一實(shí)施方式的元件安裝機(jī)11，對(duì)被吸附于安裝頭24的元件、第一基準(zhǔn)標(biāo)記51以及至少光學(xué)特性與第一基準(zhǔn)標(biāo)記51不同的第二基準(zhǔn)標(biāo)記52進(jìn)行拍攝。例如，有時(shí)根據(jù)元件變更其照明條件等來進(jìn)行拍攝，但是，在此，由于具備光學(xué)特性不同的多個(gè)基準(zhǔn)標(biāo)記，因此能夠使用更適合于元件的基準(zhǔn)標(biāo)記來拍攝元件。另外，使用該拍攝圖像而能夠更準(zhǔn)確地檢測被吸附于安裝頭24的元件與基準(zhǔn)標(biāo)記的相對(duì)位置。因而，能夠進(jìn)一步提高被吸附的元件的位置偏差的檢測精度。
[0112]另外，相對(duì)于第一基準(zhǔn)標(biāo)記51，第二基準(zhǔn)標(biāo)記52的作為光學(xué)特性的反射率及顏色不同，因此，能夠根據(jù)元件的反射率等而選擇更適合的基準(zhǔn)標(biāo)記。而且，安裝頭24具備能夠安裝和拆卸第一基準(zhǔn)標(biāo)記51和第二基準(zhǔn)標(biāo)記52的第一安裝部54和第二安裝部56，因此，通過更換基準(zhǔn)標(biāo)記，能夠比較容易地進(jìn)一步提高被保持的元件的位置偏差的檢測精度。而且，安裝頭24在相機(jī)單元60的拍攝范圍的一端側(cè)配置第一基準(zhǔn)標(biāo)記51，并在拍攝范圍的另一端側(cè)(安裝頭24的對(duì)角側(cè))配置第二基準(zhǔn)標(biāo)記52，因此，能夠防止妨礙安裝處理并進(jìn)一步提高元件的位置偏差的檢測精度。而且，具有能夠?qū)ξ皆远鄠€(gè)照明狀態(tài)照射光的照明部61和控制照明部61的照明控制部62，因此，通過使用與照明狀態(tài)對(duì)應(yīng)的基準(zhǔn)標(biāo)記，能夠進(jìn)一步提高元件的位置偏差的檢測精度。而且，基于拍攝圖像中所包含的元件的圖像以及第一基準(zhǔn)標(biāo)記和第二基準(zhǔn)標(biāo)記中的至少一方的圖像的位置，檢測被吸附于安裝頭24的元件的位置偏差量，因此，能夠執(zhí)行更切實(shí)的安裝處理。
[0113](第二實(shí)施方式)
[0114]接著，說明代替吸嘴而將基準(zhǔn)標(biāo)記安裝于吸嘴保持體42的方式。圖8是具備安裝處理部12B和相機(jī)單元60B的其他元件安裝機(jī)IlB的概略說明圖。圖9是表示元件安裝機(jī)IlB所執(zhí)行的其他安裝處理例程的一例的流程圖。圖10是第一基準(zhǔn)標(biāo)記51B和第二基準(zhǔn)標(biāo)記52B的切換的說明圖，圖10(a)是安裝有第一基準(zhǔn)標(biāo)記51B的圖，圖10(b)是安裝有第二基準(zhǔn)標(biāo)記52B的圖。圖11是反射率高的元件Pl和反射率低的元件P3的偏差量檢測的說明圖，圖11(a)是反射率高的元件Pl的偏差量檢測的圖，圖11(b)是反射率低的元件P3的偏差量檢測的圖。此外，對(duì)于與上述的第一實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)和處理步驟，標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記和相同的步驟序號(hào)，省略其說明。
[0115]如圖8所示，元件安裝機(jī)IlB的安裝處理部12B在安裝頭24上安裝有具備安裝部54B的吸嘴保持體42，該安裝部54B能夠安裝和拆卸用于吸附元件的兩個(gè)以上吸嘴40并能夠安裝和拆卸第一基準(zhǔn)標(biāo)記5IB和第二基準(zhǔn)標(biāo)記52B (參照?qǐng)D10)。第一基準(zhǔn)標(biāo)記5IB和第二基準(zhǔn)標(biāo)記52B除了安裝端為吸嘴保持體42這一點(diǎn)以外與上述的第一基準(zhǔn)標(biāo)記51及第二基準(zhǔn)標(biāo)記52相同，因此，省略其說明。此外，第一基準(zhǔn)標(biāo)記51B及第二基準(zhǔn)標(biāo)記52B的拍攝面為與被吸附于吸嘴40的元件的拍攝面大致相同的高度。另外，第一基準(zhǔn)標(biāo)記51B和第二基準(zhǔn)標(biāo)記52B在不使用時(shí)被儲(chǔ)存于吸嘴儲(chǔ)存器44 (參照?qǐng)D1)。相機(jī)單元60B除了不具備副鏡頭66以外與相機(jī)單兀60相同。
[0116]接著，說明如此構(gòu)成的元件安裝機(jī)IlB的動(dòng)作、例如對(duì)被吸附于吸嘴40的元件P進(jìn)行拍攝并將該元件P配置到基板16上的安裝處理。圖9的安裝處理例程被存儲(chǔ)于控制裝置70的HDD73，并通過由作業(yè)者做出的開始指示而執(zhí)行。該例程例如利用控制裝置70的各功能塊、各單元，并由CPU71執(zhí)行。當(dāng)開始該例程時(shí)，CPU71在步驟SlOO中從管理計(jì)算機(jī)80取得安裝條件信息，并取得參照?qǐng)D像(步驟S300)。參照?qǐng)D像的取得例如也可以如下進(jìn)行:如圖10所示，將第一基準(zhǔn)標(biāo)記51B和第二基準(zhǔn)標(biāo)記52B切換地安裝于相同的安裝部54B，并分別拍攝圖像。這樣一來，能夠防止吸附元件P的吸嘴40的安裝個(gè)數(shù)減少。此外，各基準(zhǔn)標(biāo)記在被安裝于吸嘴保持體42時(shí)，有時(shí)繞軸旋轉(zhuǎn)而使其角度偏移，但是，例如，也可以通過在各基準(zhǔn)標(biāo)記和安裝部上形成旋轉(zhuǎn)限制面來防止該角度偏差?；蛘撸部梢酝ㄟ^利用安裝部54B的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使基準(zhǔn)標(biāo)記繞軸旋轉(zhuǎn)來校正該角度偏差。
[0117]接著，CPU71在步驟S120中進(jìn)行基板16的輸送和固定處理，在步驟S130中設(shè)定吸附元件并且取得其信息。接著，CPU71進(jìn)行步驟S150的判定，在判定為元件P的反射率處于第一基準(zhǔn)范圍時(shí)，執(zhí)行將第一基準(zhǔn)標(biāo)記51B安裝于安裝頭24的安裝部54B的處理(步驟S310)。該處理由安裝控制部77執(zhí)行。接著，在步驟S140中進(jìn)行元件P的吸附和移動(dòng)處理，在步驟S160中，以與元件P對(duì)應(yīng)的照明狀態(tài)拍攝元件及第一基準(zhǔn)標(biāo)記51B，并利用第一基準(zhǔn)標(biāo)記51B來檢測吸附元件的偏差量(步驟S320)。圖11(a)是反射率高的元件Pl的偏差檢測的說明圖。此外，在圖11中，反射率高的(亮的)吸附元件P1、P2被吸附于吸嘴40a、40b，反射率低的(暗的)吸附元件P3被吸附于吸嘴40c，基準(zhǔn)標(biāo)記被安裝于安裝部54B。例如，若是反射率高的元件P1，則CPU71以比較暗的照明狀態(tài)進(jìn)行拍攝，此時(shí)，利用第一基準(zhǔn)標(biāo)記51B與吸嘴40的關(guān)系來檢測吸附元件Pl的偏差量。偏差量的檢測能夠利用與上述的第一實(shí)施方式同樣的方法來進(jìn)行。
[0118]另一方面，在步驟S150中判定為元件P的反射率處于第二基準(zhǔn)范圍時(shí)，CPU71執(zhí)行將第二基準(zhǔn)標(biāo)記52B安裝于安裝頭24的安裝部54B的處理(步驟S330)。接著，在步驟S340中進(jìn)行與步驟S140同樣的元件P的吸附和移動(dòng)處理，在步驟S180中，以與元件P對(duì)應(yīng)的照明狀態(tài)拍攝元件及第二基準(zhǔn)標(biāo)記52B，并利用第二基準(zhǔn)標(biāo)記52B來檢測吸附元件的偏差量(步驟S350)。圖11(b)是反射率低的元件P3的偏差量檢測的說明圖。例如，若是反射率低的元件P3，則以比較亮的照明狀態(tài)進(jìn)行拍攝，此時(shí)，利用第二基準(zhǔn)標(biāo)記52B與吸嘴40的關(guān)系來檢測吸附元件P3的偏差量。而且，在步驟S350之后，或者，在步驟S320之后，CPU71執(zhí)行步驟S200?S240的處理，結(jié)束該例程。
[0119]根據(jù)以上說明的第二實(shí)施方式的元件安裝機(jī)11B，對(duì)被吸附于安裝頭24的元件、第一基準(zhǔn)標(biāo)記51B、或者至少光學(xué)特性與第一基準(zhǔn)標(biāo)記51B不同的第二基準(zhǔn)標(biāo)記52B進(jìn)行拍攝。因此，與上述的第一實(shí)施方式同樣地，通過使用光學(xué)特性不同的多個(gè)基準(zhǔn)標(biāo)記，能夠更準(zhǔn)確地檢測被吸附于安裝頭24的元件與基準(zhǔn)標(biāo)記的相對(duì)位置。因而，能夠進(jìn)一步提高被吸附的元件的位置偏差的檢測精度。另外，能夠代替吸嘴40而安裝第一基準(zhǔn)標(biāo)記51B和第二基準(zhǔn)標(biāo)記52B中的一個(gè)以上基準(zhǔn)標(biāo)記，因此，能夠利用比較通用的結(jié)構(gòu)來進(jìn)一步提高元件的位置偏差的檢測精度。而且，控制裝置70使第一基準(zhǔn)標(biāo)記51B和第二基準(zhǔn)標(biāo)記52B中的一個(gè)以上基準(zhǔn)標(biāo)記安裝于安裝頭24的安裝部54B，因此，能夠通過自動(dòng)的處理來進(jìn)一步提高元件的位置偏差的檢測精度。而且，根據(jù)吸附于安裝頭24的元件而將第一基準(zhǔn)標(biāo)記51B和第二基準(zhǔn)標(biāo)記52B中的任一基準(zhǔn)標(biāo)記安裝于安裝頭24，因此，能夠進(jìn)一步防止安裝元件的處理的效率降低并進(jìn)一步提高元件的位置偏差的檢測精度。而且，各基準(zhǔn)標(biāo)記被安裝于安裝吸嘴40的安裝部，因此，能夠使被吸附的元件的拍攝面與基準(zhǔn)標(biāo)記的拍攝面為大致相同的高度。因此，能夠省略副鏡頭66等結(jié)構(gòu)。
[0120]在此，明確本實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)要素與本發(fā)明的結(jié)構(gòu)要素的對(duì)應(yīng)關(guān)系。本實(shí)施方式的安裝頭24相當(dāng)于本發(fā)明的安裝頭，安裝處理部12、12B相當(dāng)于安裝處理部，相機(jī)單元60相當(dāng)于拍攝部，第一安裝部54、第二安裝部56以及安裝部54B相當(dāng)于安裝部，安裝控制部77相當(dāng)于安裝控制部。另外，第一基準(zhǔn)標(biāo)記51、5IB相當(dāng)于第一基準(zhǔn)標(biāo)記，第二基準(zhǔn)標(biāo)記52、52B相當(dāng)于第二基準(zhǔn)標(biāo)記。另外，照明部61相當(dāng)于照明部，照明控制部62相當(dāng)于照明控制部，檢測部78相當(dāng)于檢測單元。
[0121]此外，本發(fā)明并沒有限定于上述的實(shí)施方式，只要屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍，則能夠以各種方式進(jìn)行實(shí)施，這是不言而喻的。
[0122]例如，在上述的實(shí)施方式中，使用光學(xué)特性不同的兩個(gè)基準(zhǔn)標(biāo)記，但是，并不特別限定于此，例如，也可以是，根據(jù)元件P的拍攝條件來使用三個(gè)以上基準(zhǔn)標(biāo)記。例如，也可以是，元件安裝機(jī)具備光學(xué)特性不同的第三基準(zhǔn)標(biāo)記、第四基準(zhǔn)標(biāo)記等。即使這樣，也能夠更準(zhǔn)確地檢測被吸附于安裝頭24的元件與基準(zhǔn)標(biāo)記的相對(duì)位置，能夠進(jìn)一步提高被吸附的元件的位置偏差的檢測精度。
[0123]在上述的實(shí)施方式中，第一基準(zhǔn)標(biāo)記51和第二基準(zhǔn)標(biāo)記52的反射率及顏色不同，但只要光學(xué)特性不同即可，并不特別限定于此，例如，也可以是，作為光學(xué)特性的反射率、亮度、顏色以及被拍攝的拍攝面的角度中的一個(gè)以上不同。而且，元件安裝機(jī)也可以使用將這些中的兩個(gè)以上組合而成的光學(xué)特性不同的基準(zhǔn)標(biāo)記。圖12是其他基準(zhǔn)標(biāo)記(標(biāo)記部件)的說明圖，圖12(a)是基準(zhǔn)標(biāo)記51C的說明圖，圖12(b)是基準(zhǔn)標(biāo)記51D的說明圖。例如，如圖12所示，在基準(zhǔn)標(biāo)記51C中，具有形成于外周的錐面51c作為拍攝面。在該基準(zhǔn)標(biāo)記51C中，相對(duì)于來自側(cè)方的照明，配置于下方的拍攝元件63進(jìn)行拍攝時(shí)，能夠獲得呈環(huán)狀地亮的圖像?；蛘撸诨鶞?zhǔn)標(biāo)記51D中，具有向內(nèi)周側(cè)凹陷而形成的錐面51d作為拍攝面。在該基準(zhǔn)標(biāo)記51D中，相對(duì)于來自側(cè)方且來自下方的照明，配置于下方的拍攝元件63進(jìn)行拍攝時(shí)，能夠獲得環(huán)狀的圖像。這樣一來，基準(zhǔn)標(biāo)記51C、51D等變更了拍攝面的角度的基準(zhǔn)標(biāo)記能夠在根據(jù)元件而改變照明的角度時(shí)等適合于元件的拍攝條件。
[0124]在上述的實(shí)施方式中，使元件P吸附于安裝頭24，但是，只要將元件P保持于安裝頭24即可，并不限定于吸附。例如，安裝頭24也可以將元件P鉤掛于把持部而保持元件P。
[0125]在上述的第一實(shí)施方式中，利用第一安裝部54和第二安裝部56而將第一基準(zhǔn)標(biāo)記51和第二基準(zhǔn)標(biāo)記52配置成能夠安裝、拆卸，但是，并不特別限定于此，第一基準(zhǔn)標(biāo)記和第二基準(zhǔn)標(biāo)記也可以固定于安裝頭24。這樣一來，不存在基準(zhǔn)標(biāo)記距離固定位置的偏差，因此，能夠進(jìn)一步提高被吸附的元件的位置偏差的檢測精度。
[0126]在上述的第一實(shí)施方式中，通過作業(yè)者的手動(dòng)作業(yè)來更換第一基準(zhǔn)標(biāo)記51和第二基準(zhǔn)標(biāo)記52，但是，并不特別限定于此。例如，也可以是，預(yù)先將一個(gè)以上基準(zhǔn)標(biāo)記儲(chǔ)存于儲(chǔ)存器，與將吸嘴40向吸嘴保持體42安裝同樣地，移動(dòng)安裝頭24而自動(dòng)地將基準(zhǔn)標(biāo)記向安裝部進(jìn)行安裝、拆卸。另外，在上述的第一實(shí)施方式中，具備兩個(gè)安裝部，并配置兩個(gè)基準(zhǔn)標(biāo)記，但是，例如，也可以是，僅具有一個(gè)安裝部，并對(duì)一個(gè)以上基準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行安裝、拆卸。此時(shí)，如上所述，也可以自動(dòng)地更換基準(zhǔn)標(biāo)記。
[0127]在上述的第一實(shí)施方式中，第一安裝部54和第二安裝部56配置于對(duì)角上，在拍攝范圍的一端側(cè)和另一端側(cè)配置基準(zhǔn)標(biāo)記，但是，并不特別限定于此，也可以是，不是配置于對(duì)角上，而是配置于拍攝范圍的一邊的一端側(cè)和另一端側(cè)?；蛘?，也可以是，基準(zhǔn)標(biāo)記的配置位置是任意的，例如，配置于吸嘴保持體42的中央。此外，優(yōu)選基準(zhǔn)標(biāo)記配置于不會(huì)妨礙安裝處理的區(qū)域。
[0128]在上述的第二實(shí)施方式中，將多個(gè)基準(zhǔn)標(biāo)記切換地安裝于一處安裝部54B，但是，并不特別限定于此，也可以是，分別將第一基準(zhǔn)標(biāo)記51B、第二基準(zhǔn)標(biāo)記52B安裝于多個(gè)安裝部。即使這樣，雖然元件的吸附個(gè)數(shù)減少，但是，基準(zhǔn)標(biāo)記的切換處理的頻率降低，因此，也能夠抑制處理效率的降低并進(jìn)一步提高元件的位置偏差的檢測精度。
[0129]在上述的第二實(shí)施方式中，具備多個(gè)基準(zhǔn)標(biāo)記，但是，并不特別限定于此，例如，也可以是，僅具備一個(gè)基準(zhǔn)標(biāo)記。即，也可以是，具備安裝處理部，該安裝處理部具備:安裝頭，在吸嘴保持體上具備能夠安裝和拆卸用于吸附元件的兩個(gè)以上吸嘴的安裝部，吸附元件并使元件向基板上移動(dòng)；以及相機(jī)單元，對(duì)吸附于安裝頭的元件和安裝頭所具有的基準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行拍攝，安裝處理部具備能夠安裝于安裝部和從安裝部拆卸的基準(zhǔn)標(biāo)記。這樣一來，能夠?qū)⒒鶞?zhǔn)標(biāo)記安裝于安裝頭的安裝部(吸嘴保持體)，因此，即使在沒有特別地具備基準(zhǔn)標(biāo)記的安裝裝置中，也能夠使用該基準(zhǔn)標(biāo)記來檢測被吸附于安裝頭的元件的偏差。也可以是，在該安裝裝置中，具備使基準(zhǔn)標(biāo)記安裝于安裝頭的安裝部的安裝控制部。這樣一來，能夠利用安裝控制部來更換基準(zhǔn)標(biāo)記，能夠通過自動(dòng)的處理來進(jìn)一步提高元件的位置偏差的檢測精度。此時(shí)，也可以是，安裝控制部根據(jù)被保持于安裝頭的元件來將基準(zhǔn)標(biāo)記安裝于安裝頭。或者，也可以是，作業(yè)者將基準(zhǔn)標(biāo)記安裝于被配置于安裝頭的吸嘴保持體42的安裝部。另夕卜，在這樣的安裝裝置中，也可以是，相機(jī)單元具有:照明部，能夠?qū)Ρ槐３钟诎惭b頭的元件以多個(gè)照明狀態(tài)照射光；以及照明控制部，將照明部控制為與被保持于安裝頭的元件對(duì)應(yīng)的照明狀態(tài)。這樣一來，能夠根據(jù)照明狀態(tài)來進(jìn)一步提高元件的位置偏差的檢測精度。另夕卜，在這樣的安裝裝置中，也可以是，具備檢測單元，該檢測單元基于相機(jī)單元的拍攝圖像中所包含的元件和基準(zhǔn)標(biāo)記中的至少一方的圖像來檢測被保持于安裝頭的元件的保持狀態(tài)。
【權(quán)利要求】
1.一種安裝裝置，將一個(gè)以上元件安裝到基板上，其中， 所述安裝裝置具備安裝處理部，所述安裝處理部具備:安裝頭，保持所述元件并使所述元件向所述基板上移動(dòng)；及拍攝部，對(duì)保持于所述安裝頭的元件和所述安裝頭所具有的預(yù)定基準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行拍攝， 所述安裝處理部具備第一基準(zhǔn)標(biāo)記和第二基準(zhǔn)標(biāo)記作為所述預(yù)定基準(zhǔn)標(biāo)記，所述第二基準(zhǔn)標(biāo)記至少光學(xué)特性與所述第一基準(zhǔn)標(biāo)記不同。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的安裝裝置，其中， 所述安裝處理部具備:作為所述光學(xué)特性的反射率、亮度、顏色以及被拍攝的拍攝面的角度中的一個(gè)以上不同的所述第二基準(zhǔn)標(biāo)記。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的安裝裝置，其中， 所述安裝頭具備能夠安裝和拆卸所述第一基準(zhǔn)標(biāo)記和所述第二基準(zhǔn)標(biāo)記的安裝部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1?3中任一項(xiàng)所述的安裝裝置，其中， 所述安裝頭具備能夠安裝和拆卸用于吸附元件的兩個(gè)以上吸嘴并能夠安裝和拆卸所述第一基準(zhǔn)標(biāo)記和所述第二基準(zhǔn)標(biāo)記的安裝部。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的安裝裝置，其中， 所述安裝裝置具備安裝控制部，所述安裝控制部使所述第一基準(zhǔn)標(biāo)記和所述第二基準(zhǔn)標(biāo)記中的一個(gè)以上基準(zhǔn)標(biāo)記安裝于所述安裝頭的所述安裝部。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的安裝裝置，其中， 所述安裝控制部根據(jù)保持于所述安裝頭的元件而將所述第一基準(zhǔn)標(biāo)記和所述第二基準(zhǔn)標(biāo)記中的任一基準(zhǔn)標(biāo)記安裝于所述安裝頭。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的安裝裝置，其中， 所述第一基準(zhǔn)標(biāo)記和所述第二基準(zhǔn)標(biāo)記固定于所述安裝頭。
8.根據(jù)權(quán)利要求1?3及7中任一項(xiàng)所述的安裝裝置，其中， 所述安裝頭在所述拍攝部的拍攝范圍的一端側(cè)配置所述第一基準(zhǔn)標(biāo)記，在所述拍攝部的拍攝范圍的另一端側(cè)配置所述第二基準(zhǔn)標(biāo)記。
9.根據(jù)權(quán)利要求1?8中任一項(xiàng)所述的安裝裝置，其中， 所述拍攝部具有:照明部，能夠?qū)Ρ３钟谒霭惭b頭的元件以多個(gè)照明狀態(tài)照射光；及照明控制部，將所述照明部控制為與保持于所述安裝頭的元件對(duì)應(yīng)的照明狀態(tài)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1?9中任一項(xiàng)所述的安裝裝置，其中， 所述安裝裝置具備檢測單元，所述檢測單元基于所述拍攝部的拍攝圖像中所包含的元件的圖像以及所述第一基準(zhǔn)標(biāo)記和所述第二基準(zhǔn)標(biāo)記中至少一方的圖像的位置來檢測保持于所述安裝頭的元件的保持狀態(tài)。
11.一種安裝裝置，將一個(gè)以上元件安裝到基板上，其中， 所述安裝裝置具備安裝處理部，所述安裝處理部具備:安裝頭，具備能夠安裝和拆卸用于吸附元件的兩個(gè)以上吸嘴的安裝部，吸附所述元件并使所述元件向所述基板上移動(dòng)；及拍攝部，對(duì)吸附于所述安裝頭的元件和所述安裝頭所具有的預(yù)定基準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行拍攝， 所述安裝處理部具備能夠安裝于所述安裝部和從所述安裝部拆卸的所述預(yù)定基準(zhǔn)標(biāo)記。
【文檔編號(hào)】H05K13/04GK104284575SQ201410317791
【公開日】2015年1月14日 申請(qǐng)日期:2014年7月4日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月4日
【發(fā)明者】山陰勇介, 天野雅史 申請(qǐng)人:富士機(jī)械制造株式會(huì)社