一種鍍膜儀樣品架的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本發(fā)明涉及礦物測(cè)試領(lǐng)域，特別涉及一種鍍膜儀樣品架。
【背景技術(shù)】
[0002]進(jìn)行電子探針測(cè)試的樣品大都是不導(dǎo)電的巖石和礦物樣品，一般事先制作成表面拋光的電子探針薄片(長<50mm，一般48mm左右，寬25mm左右)。上機(jī)測(cè)試之前需要在薄片的表面鍍一層導(dǎo)電薄膜，通常是在真空鍍膜儀上給電子探針薄片鍍一層導(dǎo)電的碳膜。
[0003]以日本電子株式會(huì)社生產(chǎn)的JEE-420型真空鍍膜儀為例，擺放樣品的底盤是一個(gè)半徑為I OOmm的圓盤。碳膜噴射點(diǎn)(即碳弧)位于圓盤中心上方高約I OOmm的地方。噴碳時(shí)，碳蒸汽以碳弧為中心點(diǎn)以球狀發(fā)射的方式向四周噴射。因此，在一次鍍碳過程中，距離碳弧越近的地方鍍上的碳膜越厚，離碳弧越遠(yuǎn)的地方則越薄。由于鍍上的碳膜會(huì)吸收入射電子束的能量以及從樣品激發(fā)出來的特征X射線，導(dǎo)致元素的特征X射線激發(fā)量變少，特征X射線的強(qiáng)度和碳膜的厚度成反比。但是，如果碳膜過薄，容易引起樣品放電，致使圖像不清晰。因此，要得到較理想的鍍膜效果，就是做到不同樣品的碳膜厚度盡量相差較小。一般認(rèn)為最適宜的碳膜厚度為15nm?20nm，即不同地方碳膜厚度相差在5nm的范圍內(nèi)。為了得到這個(gè)碳膜厚度的范圍，通過理論計(jì)算得出真空鍍膜儀底盤上鍍碳有效區(qū)域是以噴射點(diǎn)正下方為中心，半徑約為55mm的圓。在此情況下，在一次噴碳過程中真空鍍膜儀底盤一般只放置6塊探針薄片，擺放過多會(huì)導(dǎo)致位于底盤邊緣部位的薄片鍍膜效果不好或者位于圓盤中間部位的薄片鍍膜太厚，影響測(cè)試結(jié)果。
[0004]由于電子探針測(cè)試對(duì)鍍膜效果的要求比較高，在每次鍍膜的過程中，JEE-420真空鍍膜儀的抽真空時(shí)間較長，一般一個(gè)完整的鍍膜流程需要6h左右，且磨制碳棒制作碳弧也是一個(gè)費(fèi)時(shí)費(fèi)力的過程，一次又只能對(duì)6個(gè)電子探針薄片進(jìn)行鍍膜，因此導(dǎo)致了電子探針薄片鍍膜效率低下。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的在于提供一種鍍膜儀樣品架，在保證鍍膜效果的前提下，解決了現(xiàn)有電子探針薄片鍍膜效率低下的技術(shù)問題。
[0006]本發(fā)明實(shí)施例提供的一種鍍膜儀樣品架，為N個(gè)相同尺寸的棱側(cè)板圍繞固定在一起而成的正棱柱架，其中，每個(gè)所述棱側(cè)板在朝內(nèi)板面上設(shè)置多個(gè)放置探針薄片的區(qū)域，N為5?13的正整數(shù)。
[0007]優(yōu)選的，所述正棱柱架具體為:由八個(gè)相同尺寸的所述棱側(cè)板圍繞固定在一起而成的中空正八棱柱。
[0008]優(yōu)選的，所述正棱柱架中有一個(gè)或相鄰多個(gè)所述棱側(cè)板為金屬板，其余所述棱側(cè)板均為金屬桿連接而成金屬矩形架。
[0009]優(yōu)選的，所述正棱柱架包括:五個(gè)相鄰所述金屬板順次固定連接而成的第一整體部分，三個(gè)相鄰所述金屬矩形架順次固定連接而成的第二整體部分，所述第二整體部分搭載在所述第一整體部分上；
[0010]其中，與居中的所述金屬板相鄰的每個(gè)所述金屬板上均固定有兩個(gè)第一限位件，一個(gè)所述第一限位件固定在所述金屬板的第一板端，另一個(gè)所述第一限位件固定在距離所述第一板端為第一距離的朝內(nèi)板面位置上。
[0011]優(yōu)選的，與居中的所述金屬板相隔的每個(gè)所述金屬板上均固定有兩個(gè)第二限位件，其中，一個(gè)所述第二限位件固定在所述金屬板的第二板端，另一個(gè)所述第二限位件固定在距離所述第二板端為第二距離的朝內(nèi)板面位置上。
[0012]優(yōu)選的，每個(gè)所述第二限位件由兩個(gè)金屬片相互垂直焊接而成。
[0013]優(yōu)選的，每個(gè)所述金屬矩形架為面中空。
[0014]優(yōu)選的，每個(gè)所述金屬矩形架的第一金屬桿上固定有第一L形槽，所述第一金屬桿為平行于所述正棱柱架的軸線的所述金屬桿；
[0015]在每個(gè)所述金屬矩形架上橫跨有第二L形槽和T形槽，其中，所述第二L形槽的兩端分別可拆卸式固定在兩個(gè)與所述第一金屬桿相鄰的所述金屬桿上，所述T形槽的兩端分別可拆卸式固定在兩個(gè)與所述第一金屬桿相鄰的所述金屬桿上，所述第二 L形槽平行于所述T形槽。
[0016]優(yōu)選的，碳膜噴射點(diǎn)位于所述正棱柱架的中心。
[0017]本發(fā)明實(shí)施例中提供的一個(gè)或多個(gè)技術(shù)方案，至少具有如下技術(shù)效果或優(yōu)點(diǎn):
[0018]通過N個(gè)相同尺寸的棱側(cè)板圍繞固定在一起而成正棱柱架作為鍍膜儀樣品架，每個(gè)棱側(cè)板在朝內(nèi)板面上設(shè)置多個(gè)放置探針薄片的區(qū)域，正棱柱架在應(yīng)用時(shí)讓碳棒穿過正棱柱架的軸線，則碳膜噴射點(diǎn)能夠在正棱柱架的中心，每個(gè)棱側(cè)板的板面中心距離碳弧的位置就會(huì)相同，因此每個(gè)棱側(cè)板都能達(dá)到相同的鍍膜效果，使一次鍍膜過程可擺放的探針薄片增多，解決了現(xiàn)有電子探針薄片鍍膜效率低下的技術(shù)問題，實(shí)現(xiàn)鍍膜效率成倍提高。比如，每個(gè)棱側(cè)板在朝內(nèi)板面為6個(gè)放置區(qū)域，則鍍膜效率至少為原來的8倍，極大地提高了探針薄片鍍膜的效率。
【附圖說明】
[0019]為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。
[0020]圖1為本發(fā)明實(shí)施例中鍍膜儀樣品架的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021 ]圖2為本發(fā)明實(shí)施例中鍍膜儀樣品架的側(cè)視圖；
[0022]圖3為本發(fā)明實(shí)施例中金屬矩形架的俯視圖；
[0023]圖4為本發(fā)明實(shí)施例中棱側(cè)板上放置探針薄片的位置示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0024]為使本發(fā)明實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0025]參考圖1?圖4所示，本發(fā)明實(shí)施例提供的一種鍍膜儀樣品架，為N個(gè)相同尺寸的棱側(cè)板圍繞固定在一起而成的正棱柱架，其中，每個(gè)棱側(cè)板在朝內(nèi)板面上設(shè)置多個(gè)放置探針薄片18的區(qū)域，N為5?13的正整數(shù)。
[0026]具體的，正棱柱架具體為由八個(gè)相同尺寸的棱側(cè)板圍繞固定在一起而成的中空正八棱柱。在具體實(shí)施過程，正棱柱架并不限定為正八棱柱，還可以為正六棱柱，正十個(gè)棱柱等等。每個(gè)棱側(cè)板的朝內(nèi)板面上均都可以放置樣品，讓待測(cè)試樣品在碳膜噴射點(diǎn)13的周圍呈環(huán)狀分布。參考圖1所示，正棱柱架中有一個(gè)或相鄰多個(gè)棱側(cè)板為金屬板1、2、3、4、5，其余棱側(cè)板均為金屬桿連接而成金屬矩形架6、7、8。
[0027]下面參考圖1?圖4所示，以正棱柱架為正八棱柱為例對(duì)鍍膜儀樣品架的結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)描述:
[0028]正棱柱架具體有第一整體部分和第二整體部分，第一整體部分由五個(gè)相鄰金屬板
1、2、3、4、5順次固定連接而成，第二整體部分由三個(gè)相鄰金屬矩形架6、7、8順次固定連接而成的。在具體實(shí)施過程中，每個(gè)金屬板1、2、3、4、5均為鐵片、鋼片或合金片等制作而成，金屬矩形架6、7、8均為面中空。
[0029]具體的，參考圖1和圖2所示，與位于居中的金屬板I相鄰的為金屬板2、3，金屬板I與金屬板2之間夾角為135°，金屬板I與金屬板3之間夾角為135°。金屬板2、金屬板3上均固定有第一限位件9、10。具體的，金屬板2的第一板端和金屬板3的第一板端分別固定一個(gè)第一限位件9，距離每個(gè)第一板端為第一距離的位置上分別固定有一個(gè)第一限位件10。具體來講，金屬板2的第一板端、金屬板3的第一板端都為與金屬板I固定的一端。在具體實(shí)施過程中，第一限位件9、10的結(jié)構(gòu)相同，第一限位件9、10可以均為金屬片，比如鐵片，鋼片，合金片等等。通過第一限位件9、10固定每個(gè)探針薄片18在金屬板2、3上。
[0030]具體的，參考圖1和圖2所示，與位于居中的金屬板I相隔的為金屬板4、5。金屬板4與金屬板2相鄰并且之間夾角為135°，金屬板5與金屬板3相鄰并且之間夾角為135°。金屬板
4、5上均固定有第二限位件11、12。