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      儲(chǔ)料裝置的制造方法

      文檔序號(hào):10381936閱讀:519來源:國知局
      儲(chǔ)料裝置的制造方法
      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001 ]本實(shí)用新型涉及儲(chǔ)料設(shè)備領(lǐng)域,特別涉及一種儲(chǔ)料裝置。
      【背景技術(shù)】
      [0002]光刻膠是由感光樹脂、增感劑和溶劑三種主要成分組成的對(duì)光敏感的混合液體。光刻膠(負(fù)性光刻膠)經(jīng)曝光后,在曝光區(qū)能很快地發(fā)生光固化反應(yīng),使得位于曝光區(qū)的光刻膠的物理性能,特別是溶解性、親合性等發(fā)生明顯變化。光刻膠通常保存在儲(chǔ)料裝置中。
      [0003]相關(guān)技術(shù)中,有一種儲(chǔ)料裝置,該儲(chǔ)料裝置的開口在儲(chǔ)料裝置的上方,開口設(shè)置有密封蓋,供料針穿過密封蓋且端口位于儲(chǔ)料裝置底部,氣壓孔穿過密封蓋且端口位于儲(chǔ)料裝置底部,在儲(chǔ)料裝置中存儲(chǔ)有光刻膠時(shí),由氣壓孔向儲(chǔ)料裝置中加壓,儲(chǔ)料裝置中的光刻膠就會(huì)被推入儲(chǔ)料裝置底部的供料針的端口,并從供料針中流出儲(chǔ)料裝置。
      [0004]在實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的過程中,發(fā)明人發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)至少存在以下問題:上述儲(chǔ)料裝置由于供料針的端口與儲(chǔ)料裝置底部存在間隙(該間隙用于使光刻膠能夠被推入供料針的端口),導(dǎo)致儲(chǔ)料裝置中的光刻膠無法完全從儲(chǔ)料裝置中流出,造成了光刻膠的浪費(fèi)。
      【實(shí)用新型內(nèi)容】
      [0005]為了解決相關(guān)技術(shù)中由于供料針的端口與儲(chǔ)料裝置底部存在間隙,導(dǎo)致儲(chǔ)料裝置中的光刻膠無法完全從儲(chǔ)料裝置中流出,造成了光刻膠的浪費(fèi)的問題,本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種儲(chǔ)料裝置。所述技術(shù)方案如下:
      [0006]根據(jù)本實(shí)用新型的第一方面,提供了一種儲(chǔ)料裝置,所述儲(chǔ)料裝置包括:
      [0007]桶體;
      [0008]所述桶體的兩端分別設(shè)置有供料針和氣壓孔,所述供料針和所述氣壓孔均與所述桶體的內(nèi)部連通;
      [0009]其中,在將所述儲(chǔ)料裝置中的液體排出時(shí),所述供料針位于所述氣壓孔的下方。
      [0010]可選地,所述儲(chǔ)料裝置還包括:旋轉(zhuǎn)支架,所述旋轉(zhuǎn)支架包含有轉(zhuǎn)軸,
      [0011 ]所述桶體設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)支架上,所述桶體能夠以所述轉(zhuǎn)軸的軸線為軸旋轉(zhuǎn)。
      [0012]可選地,所述旋轉(zhuǎn)支架還包括:支撐組件和旋轉(zhuǎn)組件,所述支撐組件和所述旋轉(zhuǎn)組件通過所述轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)連接,
      [0013]所述桶體設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)組件上。
      [0014]可選地,所述旋轉(zhuǎn)組件包括:第一固定件和第二固定件,所述第一固定件和所述第二固定件可拆連接,所述第二固定件與所述支撐組件通過所述轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)連接,
      [0015]所述桶體設(shè)置有所述供料針的一端與所述第一固定件可拆連接;
      [0016]所述桶體設(shè)置有所述氣壓孔的一端與所述第二固定件可拆連接。
      [0017]可選地,所述桶體設(shè)置有所述供料針的一端設(shè)置有第一邊框,所述第一固定件上設(shè)置有能夠與所述第一邊框卡接的第一卡接件;
      [0018]所述桶體設(shè)置有所述氣壓孔的一端設(shè)置有第二邊框,所述第二固定件上設(shè)置有能夠與所述第二邊框卡接的第二卡接件。
      [0019]可選地,所述旋轉(zhuǎn)支架還包括:一根固定桿,
      [0020]所述支撐組件上設(shè)置有第一固定孔,所述旋轉(zhuǎn)組件上設(shè)置有第二固定孔,在所述固定桿穿過所述第一固定孔和所述第二固定孔時(shí),所述支撐組件和所述旋轉(zhuǎn)組件固定。
      [0021]可選地,所述供料針為漏斗狀,漏斗狀的所述供料針較大的開口與所述桶體的內(nèi)部連通。
      [0022]可選地,所述桶體設(shè)置有所述供料針的一端的端面為向所述桶體外突出的球面,所述供料針設(shè)置在所述球面的頂端。
      [0023]可選地,所述轉(zhuǎn)軸有兩個(gè),兩個(gè)所述轉(zhuǎn)軸的軸線重合且設(shè)置在所述桶體的兩側(cè)。
      [0024]可選地,所述轉(zhuǎn)軸上設(shè)置有把手。
      [0025]本實(shí)用新型實(shí)施例提供的技術(shù)方案帶來的有益效果是:
      [0026]通過將供料針設(shè)置在儲(chǔ)料裝置的桶體的下端,氣壓孔設(shè)置在儲(chǔ)料裝置的桶體的上端,在通過氣壓孔向桶體內(nèi)加壓后,桶體內(nèi)的液體就能夠從桶體下端的供料針流出,桶體內(nèi)不會(huì)殘留液體,解決了相關(guān)技術(shù)中由于供料針的端口與儲(chǔ)料裝置底部存在間隙,導(dǎo)致儲(chǔ)料裝置中的光刻膠無法完全從儲(chǔ)料裝置中流出,造成了光刻膠的浪費(fèi)的問題。達(dá)到了不浪費(fèi)桶體內(nèi)存儲(chǔ)的液體的效果。
      【附圖說明】
      [0027]為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案,下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例,對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
      [0028]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例示出的一種儲(chǔ)料裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0029]圖2-1是本實(shí)用新型實(shí)施例示出的另一種儲(chǔ)料裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0030]圖2-2是圖2-1所示實(shí)施例提供的儲(chǔ)料裝置旋轉(zhuǎn)后的結(jié)構(gòu)示意圖。
      [0031]通過上述附圖,已示出本實(shí)用新型明確的實(shí)施例,后文中將有更詳細(xì)的描述。這些附圖和文字描述并不是為了通過任何方式限制本實(shí)用新型構(gòu)思的范圍,而是通過參考特定實(shí)施例為本領(lǐng)域技術(shù)人員說明本實(shí)用新型的概念。
      【具體實(shí)施方式】
      [0032]為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚,下面將結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施方式作進(jìn)一步地詳細(xì)描述。
      [0033]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例示出的一種儲(chǔ)料裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。該儲(chǔ)料裝置可以包括:
      [0034]桶體11;桶體11的兩端分別設(shè)置有供料針12和氣壓孔13,供料針12和氣壓孔13均與桶體11的內(nèi)部連通。
      [0035]其中,在將儲(chǔ)料裝置中的液體排出時(shí),供料針12位于氣壓孔13的下方。
      [0036]綜上所述,本實(shí)用新型實(shí)施例提供的儲(chǔ)料裝置,通過將供料針設(shè)置在儲(chǔ)料裝置的桶體的下端,氣壓孔設(shè)置在儲(chǔ)料裝置的桶體的上端,在通過氣壓孔向桶體內(nèi)加壓后,桶體內(nèi)的液體就能夠從桶體下端的供料針流出,桶體內(nèi)不會(huì)殘留液體,解決了相關(guān)技術(shù)中由于供料針的端口與儲(chǔ)料裝置底部存在間隙,導(dǎo)致儲(chǔ)料裝置中的光刻膠無法完全從儲(chǔ)料裝置中流出,造成了光刻膠的浪費(fèi)的問題。達(dá)到了不浪費(fèi)桶體內(nèi)存儲(chǔ)的液體的效果。
      [0037]進(jìn)一步的,請(qǐng)參考圖2-1,其示出了本實(shí)用新型實(shí)施例提供的另一種儲(chǔ)料裝置的結(jié)構(gòu)示意圖,該儲(chǔ)料裝置在圖1所示的儲(chǔ)料裝置的基礎(chǔ)上增加了更優(yōu)選的部件,從而使得本實(shí)用新型實(shí)施例提供的儲(chǔ)料裝置具有更好的性能。
      [0038]儲(chǔ)料裝置還包括:旋轉(zhuǎn)支架14,旋轉(zhuǎn)支架14包含有轉(zhuǎn)軸141,桶體11設(shè)置在旋轉(zhuǎn)支架14上,桶體11能夠以轉(zhuǎn)軸141的軸線y為軸旋轉(zhuǎn)。桶體11可以用于存儲(chǔ)光刻膠。
      [0039]可選地,旋轉(zhuǎn)支架14還包括:支撐組件142和旋轉(zhuǎn)組件143,支撐組件142和旋轉(zhuǎn)組件143通過轉(zhuǎn)軸141旋轉(zhuǎn)連接,桶體11設(shè)置在旋轉(zhuǎn)組件143上。
      [0040]可選地,旋轉(zhuǎn)組件143包括:第一固定件1431和第二固定件1432,第一固定件1431和第二固定件1432可拆連接,第二固定件1432與支撐組件142通過轉(zhuǎn)軸141旋轉(zhuǎn)連接,桶體11設(shè)置有供料針12的一端與第一固定件1431可拆連接??蛇x的,第一固定件1431在與第二固定件1432連接時(shí),能夠在第二固定件1432上滑動(dòng)并與第二固定件1432—起將桶體11固定。
      [0041]桶體11設(shè)置有氣壓孔13的一端與第二固定件1432可拆連接。第二固定件1432上可以設(shè)置有方便氣壓孔13與外部的氣壓裝置連接的開口 k。
      [0042]可選地,桶體11設(shè)置有供料針12的一端設(shè)置有第一邊框111,第一固定件1431上設(shè)置有能夠與第一邊框111卡接的第一卡接件1431a。第一邊框111可以是連續(xù)的一個(gè)圓形框,也可以是分布在桶體11設(shè)置有供料針12的一端多個(gè)邊框,本實(shí)用新型實(shí)施例不作出限制。第一卡接件1431a能夠配合第一邊框111,使桶體11設(shè)置有供料針12的一端與第一固定件1431可拆連接。
      [0043]桶體11設(shè)置有氣壓孔13的一端設(shè)置有第二邊框112,第二固定件1432上設(shè)置有能夠與第二邊框112卡接的第二卡接件1432a。第二邊框112的結(jié)構(gòu)可以參考第一邊框111,第二固定件1432的結(jié)構(gòu)可以參考第一固定結(jié)構(gòu)1431,在此不再贅述。此外,桶體11與第一固定件1431、第二固定件1432還可以有其它的連接方式,本實(shí)施例不作出限制。
      [0044]還需
      當(dāng)前第1頁1 2 
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