技術(shù)編號：10098334
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。超聲霧化熱解噴涂(USP)是一種常見的薄膜材料制備工藝，在科研和生產(chǎn)中有廣泛的用途，這種方法擅長氧化物、硫化物、氯化物等化合物薄膜的制備。合理的工藝參數(shù)下，USP薄膜的質(zhì)量可以與濺射法、CVD方法制備的薄膜材料相當(dāng)，但成本卻大幅度降低。摻雜薄膜和多層薄膜是薄膜材料研究和生產(chǎn)中非常常見的情況，傳統(tǒng)的usp方法在摻雜和多層膜制備中存在一定的問題，主要問題在于熱解噴涂的反應(yīng)室只有一個霧化源，該霧化源工作時根據(jù)膜的成本需要向反應(yīng)室噴射不同成分的液滴。傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)只有一...
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