超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室的獨(dú)立式多源機(jī)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于超聲霧化熱解噴涂領(lǐng)域，具體地說，尤其涉及一種超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室的獨(dú)立式多源機(jī)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]超聲霧化熱解噴涂(USP)是一種常見的薄膜材料制備工藝，在科研和生產(chǎn)中有廣泛的用途，這種方法擅長氧化物、硫化物、氯化物等化合物薄膜的制備。合理的工藝參數(shù)下，USP薄膜的質(zhì)量可以與濺射法、CVD方法制備的薄膜材料相當(dāng)，但成本卻大幅度降低。
[0003]摻雜薄膜和多層薄膜是薄膜材料研究和生產(chǎn)中非常常見的情況，傳統(tǒng)的usp方法在摻雜和多層膜制備中存在一定的問題，主要問題在于熱解噴涂的反應(yīng)室只有一個霧化源，該霧化源工作時根據(jù)膜的成本需要向反應(yīng)室噴射不同成分的液滴。傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)只有一個霧化源，這樣就會導(dǎo)致工藝參數(shù)的可控性和可重復(fù)性差，薄膜質(zhì)量不穩(wěn)定，甚至出現(xiàn)交叉污染等缺陷，進(jìn)而導(dǎo)致得不到所需成分的薄膜。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]本實用新型所要解決的技術(shù)問題在于提供一種超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室的獨(dú)立式多源機(jī)構(gòu)，欲克服傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)因共用一個霧化源而導(dǎo)致交叉污染的問題。
[0005]本實用新型的技術(shù)方案如下:一種超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室的獨(dú)立式多源機(jī)構(gòu)，包括反應(yīng)室(1)，其特征在于:所述反應(yīng)室(1)下方沿周向設(shè)有至少兩個相互獨(dú)立的霧化源(2)，每個霧化源(2)上部的噴霧口分別連接有一根噴霧管(3)，這些噴霧管的上部均朝向所述反應(yīng)室(1)的軸心線，并與該反應(yīng)室的軸心線形成一個數(shù)值相同的噴霧角α，且15° < α <45° ;所有所述噴霧管(3)上部的噴霧口處分別設(shè)有一塊擋板(4)，該擋板與對應(yīng)的驅(qū)動組件相連，并在驅(qū)動組件的驅(qū)動下有選擇地遮擋或敞開噴霧管(3)上部的噴霧
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[0006]在上述技術(shù)方案中，本實用新型摒棄了傳統(tǒng)技術(shù)共用一個霧化源的結(jié)構(gòu)，取而代之的是設(shè)置多個相互獨(dú)立的霧化源(2)，這些霧化源(2)沿反應(yīng)室(1)的周向布置，并在每個霧化源(2)上部的噴霧口分別連接有一根噴霧管(3)，且噴霧管(3)上部的噴霧口可由擋板⑷開閉，從而可以在每個霧化源⑵中形成一種成分的霧滴，并可以通過擋板⑷的開閉來控制霧滴的噴出與否，從而得到想要成分的復(fù)合膜，從而很好地克服了傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)導(dǎo)致交叉污染的缺陷，且本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，易于實施，具有很好的技術(shù)及經(jīng)濟(jì)價值。
[0007]在本案中，所述驅(qū)動組件由驅(qū)動桿(5)和驅(qū)動電機(jī)(6)構(gòu)成，其中驅(qū)動桿(5)上端與所述擋板(4)下板面垂直固定，且驅(qū)動桿(5)下端穿過所述反應(yīng)室(1)上的過孔后，與所述驅(qū)動電機(jī)出)的輸出軸上端同軸固定，該驅(qū)動電機(jī)安裝在反應(yīng)室(1)的外壁上。
[0008]采用以上結(jié)構(gòu)，不僅能可靠地驅(qū)動擋板(4)遮擋或者敞開噴霧管(3)上部的噴霧口，而且結(jié)構(gòu)簡單，可靠，易于控制。并且，所有的驅(qū)動組件可以聯(lián)動或者差動。
[0009]作為優(yōu)選，所述噴霧角α的數(shù)值為30°。
[0010]有益效果:本實用新型摒棄了傳統(tǒng)技術(shù)共用一個霧化源的結(jié)構(gòu)，取而代之的是設(shè)置多個相互獨(dú)立的霧化源，這些霧化源沿反應(yīng)室的周向布置，并在每個霧化源上部的噴霧口分別連接有一根噴霧管，且噴霧管上部的噴霧口可由擋板開閉，從而可以在每個霧化源中形成一種成分的霧滴，并可以通過擋板的開閉來控制霧滴的噴出與否，從而得到想要成分的復(fù)合膜，從而很好地克服了傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)導(dǎo)致交叉污染的缺陷，且本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，易于實施，具有很好的技術(shù)及經(jīng)濟(jì)價值。
【附圖說明】
[0011]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0012]下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型作進(jìn)一步說明:
[0013]如圖1所示，一種超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室的獨(dú)立式多源機(jī)構(gòu)，主要由反應(yīng)室1、霧化源2、噴霧管3、擋板4和驅(qū)動組件構(gòu)成。其中，反應(yīng)室1為現(xiàn)有技術(shù)，在反應(yīng)室1的下方沿周向設(shè)有至少兩個相互獨(dú)立的霧化源2，該霧化源2的具體數(shù)目可以為2、3、4、5、
6........，其具體數(shù)目根據(jù)實際情況做相應(yīng)調(diào)整。并且，霧化源2可以采用常規(guī)設(shè)計的，也可以采用全新設(shè)計的，它的具體結(jié)構(gòu)不是本案的保護(hù)重點。每個霧化源2上部的噴霧口分別連接有一根噴霧管3，這些噴霧管3的上部均朝向反應(yīng)室1的軸心線，并與該反應(yīng)室的軸心線形成一個噴霧角α，且所有噴霧角α的數(shù)值相同。在本案中，15° < α <45°，并可進(jìn)一步優(yōu)選為20°、25°、30°、35°或者40°。
[0014]所有噴霧管3上部的噴霧口處分別設(shè)有一塊擋板4，該擋板4與對應(yīng)的驅(qū)動組件相連，并在驅(qū)動組件的驅(qū)動下有選擇地遮擋或敞開噴霧管3上部的噴霧口。在本案中，驅(qū)動組件由驅(qū)動桿5和驅(qū)動電機(jī)6構(gòu)成，其中驅(qū)動桿5上端與擋板4的下板面垂直固定，且驅(qū)動桿5下端穿過反應(yīng)室1上的過孔后，與驅(qū)動電機(jī)6的輸出軸上端同軸固定，該驅(qū)動電機(jī)6安裝在反應(yīng)室1的外壁上。
[0015]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不以本實用新型為限制，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室的獨(dú)立式多源機(jī)構(gòu)，包括反應(yīng)室(1)，其特征在于:所述反應(yīng)室(1)下方沿周向設(shè)有至少兩個相互獨(dú)立的霧化源(2)，每個霧化源(2)上部的噴霧口分別連接有一根噴霧管(3)，這些噴霧管的上部均朝向所述反應(yīng)室(1)的軸心線，并與該反應(yīng)室的軸心線形成一個數(shù)值相同的噴霧角α，且15° < α <45° ;所有所述噴霧管(3)上部的噴霧口處分別設(shè)有一塊擋板(4)，該擋板與對應(yīng)的驅(qū)動組件相連，并在驅(qū)動組件的驅(qū)動下有選擇地遮擋或敞開噴霧管(3)上部的噴霧口。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室的獨(dú)立式多源機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述驅(qū)動組件由驅(qū)動桿(5)和驅(qū)動電機(jī)(6)構(gòu)成，其中驅(qū)動桿(5)上端與所述擋板⑷下板面垂直固定，且驅(qū)動桿(5)下端穿過所述反應(yīng)室(1)上的過孔后，與所述驅(qū)動電機(jī)(6)的輸出軸上端同軸固定，該驅(qū)動電機(jī)安裝在反應(yīng)室(1)的外壁上。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室的獨(dú)立式多源機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述噴霧角α的數(shù)值為30°。
【專利摘要】本實用新型公開一種超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室的獨(dú)立式多源機(jī)構(gòu)，反應(yīng)室下方沿周向設(shè)有至少兩個相互獨(dú)立的霧化源，每個霧化源上部的噴霧口分別連接有一根噴霧管，這些噴霧管的上部與反應(yīng)室的軸心線形成噴霧角α；所有噴霧管上部的噴霧口處分別設(shè)有一塊擋板，擋板與對應(yīng)的驅(qū)動組件相連，并在驅(qū)動組件的驅(qū)動下遮擋或敞開噴霧管上部的噴霧口。本實用新型摒棄了傳統(tǒng)技術(shù)共用一個霧化源的結(jié)構(gòu)，取而代之的是設(shè)置多個相互獨(dú)立的霧化源，在每個霧化源上部的噴霧口分別連接有一根噴霧管，且噴霧管上部的噴霧口可由擋板開閉，從而可以在每個霧化源中形成一種成分的霧滴，并可以通過擋板的開閉來控制霧滴的噴出與否，從而得到想要成分的復(fù)合膜。
【IPC分類】B05B17/06
【公開號】CN205008170
【申請?zhí)枴緾N201520614136
【發(fā)明人】龔恒翔, 劉攀
【申請人】重慶理工大學(xué)
【公開日】2016年2月3日
【申請日】2015年8月14日