技術(shù)編號：10490382
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。半導體電路中的電阻形式繁多，包括金屬電阻，多晶硅電阻，N型電阻，P型電阻等等，其中金屬電阻具有工作溫度范圍大，阻值穩(wěn)定等特點，被廣泛應用。金屬電阻的制備形式多種多樣，包括鋁電阻，銅電阻，氮化鉭電阻等等。在制備較大阻值的金屬薄層電阻時，往往需要將金屬厚度做小來提高集成度，金屬厚度很薄，目前大阻值的氮化鉭電阻的厚度在100-300納米之間，通過濺射工藝制備所需濺射時間1-2秒，時間過短厚度不易控制，通常情況下厚度偏差10%，導致電阻阻值的精度+/_10%，隨著...
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