技術(shù)編號(hào)：11038378
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及水處理設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種全自動(dòng)超純水制備預(yù)處理系統(tǒng)。背景技術(shù)超純水，既將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水，電阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm極限值(25℃)。常用于集成電路工業(yè)中用于半導(dǎo)體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等，此外，其他固態(tài)電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路和真空管等的制作也都要使用超純水。而超純水預(yù)處理系統(tǒng)原水箱里的原水通過(guò)原水泵依次經(jīng)機(jī)械過(guò)濾器、活性炭過(guò)濾器和軟...
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