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      切斷裝置、基板的切斷方法及切斷裝置的基板載置部用構件與制造工藝技術資料下載

      技術編號:11120189

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      本發(fā)明涉及一種用于基板的分割的切斷裝置,特別涉及切斷時對基板進行載置的載置部的結構。背景技術平面顯示面板或太陽電池面板等的制造過程通常包含對玻璃基板、陶瓷基板、半導體基板等由脆性材料構成的基板(母基板)進行分割的工序。在這樣的分割中,廣泛使用如下方法,即,使用金剛石刻刀、刀輪等刻劃工具在基板表面形成刻劃線(劃線),使裂隙(垂直裂隙)從該刻劃線沿著基板厚度方向伸展。在形成了刻劃線的情況下,會有垂直裂隙沿著厚度方向完全伸展而使基板被分割的情況,但是也會有垂直裂隙沿著厚度方向只有部分伸展的情況。在后者...
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