技術(shù)編號：11840662
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及室溫下紫外光輔助濺射制備AZO薄膜的方法，屬于電子薄膜材料制備技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)透明導(dǎo)電氧化物薄膜（TCO）是一種既具有導(dǎo)電性又具有高透明性的功能薄膜材料，它具有較大的禁帶寬度，在可見光區(qū)透明，且具有較低的電阻率。TCO薄膜優(yōu)良的光電特性使其在太陽能電池、平板顯示器、氣敏元件等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用，是信息產(chǎn)業(yè)中不可或缺的材料。在TCO薄膜中，目前應(yīng)用較多的是錫摻雜氧化銦(ITO)透明導(dǎo)電薄膜，其具有高的可見光透光率、低的電阻率和良好的機(jī)械強(qiáng)度。然而由于金屬銦屬于稀有金屬，全球存量非常稀...
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