技術(shù)編號(hào)：11952579
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種硅片清洗系統(tǒng)。背景技術(shù)現(xiàn)有技術(shù)的硅片清洗槽包括清洗槽和儲(chǔ)水罐，儲(chǔ)水罐用于收集清洗槽的廢水，并將廢水用于其他洗滌程序，提高了水的利用率，但是這種硅片清洗槽需要人工職守，儲(chǔ)水罐水量滿了就要及時(shí)排放，反而降低了工人的工作效率。實(shí)用新型內(nèi)容(一)要解決的技術(shù)問題本實(shí)用新型的目的就是要克服上述缺點(diǎn)，旨在提供一種硅片清洗系統(tǒng)。(二)技術(shù)方案為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的硅片清洗系統(tǒng)，包括清洗槽和儲(chǔ)水罐；所述清洗槽和儲(chǔ)水罐通過管路連接；所述儲(chǔ)水罐設(shè)有第一水位傳感器和第二水位傳感器；所述第一水位...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。