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      硅片清洗系統(tǒng)的制作方法

      文檔序號:11952579閱讀:183來源:國知局

      本實(shí)用新型涉及一種硅片清洗系統(tǒng)。



      背景技術(shù):

      現(xiàn)有技術(shù)的硅片清洗槽包括清洗槽和儲水罐,儲水罐用于收集清洗槽的廢水,并將廢水用于其他洗滌程序,提高了水的利用率,但是這種硅片清洗槽需要人工職守,儲水罐水量滿了就要及時(shí)排放,反而降低了工人的工作效率。



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      (一)要解決的技術(shù)問題

      本實(shí)用新型的目的就是要克服上述缺點(diǎn),旨在提供一種硅片清洗系統(tǒng)。

      (二)技術(shù)方案

      為達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型的硅片清洗系統(tǒng),包括清洗槽和儲水罐;所述清洗槽和儲水罐通過管路連接;所述儲水罐設(shè)有第一水位傳感器和第二水位傳感器;所述第一水位傳感器在儲水罐上端,所述第二水位傳感器在儲水罐下端;所述儲水罐一側(cè)還設(shè)有出水口;所述管路設(shè)有第一水泵;所述出水口設(shè)有第二水泵;所述第一水位傳感器、第二水位傳感器、第一水泵和第二水泵與控制器電氣連接。

      進(jìn)一步,所述第一水位傳感器用于檢測儲水罐內(nèi)水量上限,當(dāng)儲水罐內(nèi)水量觸發(fā)第一水位傳感器時(shí),控制器啟動第二水泵,將儲水罐內(nèi)的水排出。

      進(jìn)一步,所述第二水位傳感器用于檢測儲水罐內(nèi)水量下限,當(dāng)儲水罐內(nèi)水量觸發(fā)第二水位傳感器時(shí),控制器關(guān)閉第二水泵,儲水罐停止排水。

      進(jìn)一步,所述第一水泵用于將清洗槽內(nèi)的水輸送至儲水罐。

      進(jìn)一步,所述清洗槽內(nèi)還設(shè)有過濾網(wǎng)。

      (三)有益效果

      與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn):本實(shí)用新型的硅片清洗系統(tǒng)具備自動控制儲水罐內(nèi)廢水的水位,無需人工職守,大大提高了工作效率。

      附圖說明

      圖1為本實(shí)用新型的硅片清洗系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。

      具體實(shí)施方式

      下面結(jié)合附圖和實(shí)施例,對本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說明本實(shí)用新型,但不用來限制本實(shí)用新型的范圍。

      如圖1所示,本實(shí)用新型的硅片清洗系統(tǒng),包括清洗槽1和儲水罐2;所述清洗槽1和儲水罐2通過管路10連接;所述儲水罐2設(shè)有第一水位傳感器3和第二水位傳感器4;所述第一水位傳感器3在儲水罐2上端,所述第二水位傳感器4在儲水罐2下端;所述儲水罐2一側(cè)還設(shè)有出水口5;所述管路10設(shè)有第一水泵6;所述出水口5設(shè)有第二水泵7;所述第一水位傳感器3、第二水位傳感器4、第一水泵6和第二水泵7與控制器8電氣連接。

      所述第一水位傳感器3用于檢測儲水罐2內(nèi)水量上限,當(dāng)儲水罐2內(nèi)水量觸發(fā)第一水位傳感器3時(shí),第一水位傳感器3發(fā)送開啟信號至控制器8,控制器8啟動第二水泵7,將儲水罐2內(nèi)的水排出。

      所述第二水位傳感器4用于檢測儲水罐2內(nèi)水量下限,當(dāng)儲水罐2內(nèi)水量觸發(fā)第二水位傳感器4時(shí),第二水位傳感器4發(fā)送關(guān)閉信號給控制器8,控制器8關(guān)閉第二水泵7,儲水罐2停止排水。

      所述第一水泵6用于將清洗槽1內(nèi)的水輸送至儲水罐2。

      所述清洗槽1內(nèi)還設(shè)有過濾網(wǎng)9,起到過濾大顆粒垃圾的作用。

      本實(shí)用新型的硅片清洗系統(tǒng)具備自動控制儲水罐內(nèi)廢水的水位,無需人工職守,大大提高了工作效率。

      綜上所述,上述實(shí)施方式并非是本實(shí)用新型的限制性實(shí)施方式,凡本領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)內(nèi)容的基礎(chǔ)上所進(jìn)行的修飾或者等效變形,均在本實(shí)用新型的技術(shù)范疇。

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