技術(shù)編號：12039027
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及金屬膜剝離清洗設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種金屬膜剝離清洗設(shè)備的自動補(bǔ)液系統(tǒng)。背景技術(shù)在半導(dǎo)體生產(chǎn)工序中，制造聲表面波（SAW）器件、GaAs微波、毫米波器件、MEMS器件、OLED器件和先進(jìn)封裝等微細(xì)圖形，需要金屬膜剝離、沖洗和甩干工藝（見圖1），剝離線寬能做到CD=0.50um以上，是以上器件前制程工藝中的關(guān)鍵工序。目前國內(nèi)大多廠商采用手工剝離方法，即將晶圓片長時間放入NMP化學(xué)液中浸泡，浸泡完畢后,拿出放到快排沖洗槽（QDR）中沖洗剝離，若剝離不干凈，則再一片片放入裝有丙酮的特制量杯...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。