本發(fā)明涉及金屬膜剝離清洗設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種金屬膜剝離清洗設(shè)備的自動(dòng)補(bǔ)液系統(tǒng)。

背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體生產(chǎn)工序中，制造聲表面波（SAW）器件、GaAs微波、毫米波器件、MEMS器件、OLED器件和先進(jìn)封裝等微細(xì)圖形，需要金屬膜剝離、沖洗和甩干工藝（見(jiàn)圖1），剝離線寬能做到CD=0.50um以上，是以上器件前制程工藝中的關(guān)鍵工序。目前國(guó)內(nèi)大多廠商采用手工剝離方法，即將晶圓片長(zhǎng)時(shí)間放入NMP化學(xué)液中浸泡，浸泡完畢后,拿出放到快排沖洗槽（QDR）中沖洗剝離，若剝離不干凈，則再一片片放入裝有丙酮的特制量杯內(nèi),用鑷子夾取棉花手動(dòng)擦拭剝離,然后進(jìn)行清洗、吹干、手工剝離線條質(zhì)量不好，效率低下，對(duì)操作工有危害，更不適合細(xì)線條微細(xì)圖形工藝。一部分廠商采用半自動(dòng)剝離清洗設(shè)備進(jìn)行金屬膜剝離，但當(dāng)罐內(nèi)液位不足時(shí)，多采用手動(dòng)加液方式，由于NMP化學(xué)液是具有腐蝕性、刺激性氣味的有機(jī)溶劑，要求儲(chǔ)液罐密封，同時(shí)由于液體使用較快，所以會(huì)頻繁進(jìn)行手動(dòng)加液，影響生產(chǎn)工藝，降低生產(chǎn)效率，增加不安全因素。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明的目的在于克服上述技術(shù)的不足而提供一種高效、可靠、安全的金屬膜剝離清洗設(shè)備的自動(dòng)補(bǔ)液系統(tǒng)，以解決目前人工手動(dòng)補(bǔ)液方式或半自動(dòng)補(bǔ)液方式在補(bǔ)液過(guò)程中需要設(shè)備停機(jī)以及會(huì)造成有害氣體揮發(fā)的技術(shù)問(wèn)題。本發(fā)明為實(shí)現(xiàn)上述目的，所采用的技術(shù)方案如下：一種金屬膜剝離清洗設(shè)備的自動(dòng)補(bǔ)液系統(tǒng)，包括NMP浸泡槽以及分別與真空負(fù)壓異補(bǔ)液裝置、氮?dú)庹龎汗┮貉b置相連接的異丙醇供液壓力罐、丙酮供液壓力罐、向所述NMP浸泡槽提供NMP液的NMP供液壓力罐；所述異丙醇供液壓力罐、丙酮供液壓力罐與NMP供液壓力罐的補(bǔ)液口分別通過(guò)對(duì)應(yīng)的補(bǔ)液管對(duì)應(yīng)連接異丙醇儲(chǔ)液桶、丙酮儲(chǔ)液桶與NMP儲(chǔ)液桶；所述異丙醇供液壓力罐、丙酮供液壓力罐、NMP供液壓力罐以及所述NMP浸泡槽內(nèi)分別設(shè)有液位檢測(cè)開(kāi)關(guān)。設(shè)在所述異丙醇供液壓力罐、丙酮供液壓力罐、NMP供液壓力罐內(nèi)的液位檢測(cè)開(kāi)關(guān)包括高液位檢測(cè)開(kāi)關(guān)、低液位檢測(cè)開(kāi)關(guān)，設(shè)在所述NMP浸泡槽內(nèi)檢液位測(cè)開(kāi)關(guān)包括高液位檢測(cè)開(kāi)關(guān)、工作液位檢測(cè)開(kāi)關(guān)與低液位檢測(cè)開(kāi)關(guān)。所述金屬膜剝離清洗設(shè)備的自動(dòng)補(bǔ)液系統(tǒng)包括NMP回收再利用裝置，用于過(guò)濾回收剝離晶圓片的NMP液再利用。所述NMP回收再利用裝置包括NMP回收槽以及再利用NMP供液壓力罐；所述NMP回收槽與再利用NMP供液壓力罐內(nèi)分別設(shè)有高液位檢測(cè)開(kāi)關(guān)、低液位檢測(cè)開(kāi)關(guān)，所述NMP回收槽設(shè)有回液口，所述再利用NMP供液壓力罐的補(bǔ)液口通過(guò)再利用NMP補(bǔ)液管連接所述NMP回收槽的出液口。所述再利用NMP供液壓力罐連接所述真空負(fù)壓異補(bǔ)液裝置及氮?dú)庹龎汗┮貉b置。所述再利用NMP補(bǔ)液管通過(guò)所述NMP供液壓力罐的補(bǔ)液管并連接至所述NMP儲(chǔ)液桶。所述再利用NMP供液壓力罐的出液口通過(guò)出液管連接所述NMP浸泡槽。所述真空負(fù)壓異補(bǔ)液裝置包括真空發(fā)生器，所述真空發(fā)生器的抽真空管道上設(shè)有補(bǔ)液溢流檢測(cè)開(kāi)關(guān)。所述補(bǔ)液管上設(shè)有流體開(kāi)關(guān)。所述補(bǔ)液管上設(shè)有氣控閥。本發(fā)明在設(shè)備運(yùn)行中液體不足時(shí)，自動(dòng)補(bǔ)液，無(wú)須人工操作，補(bǔ)液完成后設(shè)備自動(dòng)運(yùn)行，顯著提高設(shè)備運(yùn)行效率；管路系統(tǒng)設(shè)計(jì)合理，安全、潔凈、可靠、高效，檢測(cè)、保護(hù)功能齊全，有無(wú)液體和補(bǔ)液狀態(tài)顯示，能夠有效監(jiān)測(cè)浸泡槽及供液罐的液位情況，當(dāng)工作液位低于低液位時(shí)，會(huì)自動(dòng)開(kāi)啟補(bǔ)液功能補(bǔ)充液體到指定液位，并能根據(jù)補(bǔ)液情況進(jìn)行自動(dòng)提示處理，使設(shè)備能夠無(wú)人值守自動(dòng)運(yùn)行，顯著提高設(shè)備運(yùn)行效率，提高產(chǎn)品質(zhì)量，確保器件規(guī)格、性能指標(biāo)、可靠性和安全性等不因剝離工藝影響而下降。附圖說(shuō)明圖1是現(xiàn)有技術(shù)下微細(xì)圖形金屬膜剝離工藝的流程圖；圖2是本發(fā)明實(shí)施例提供的金屬膜剝離清洗設(shè)備的自動(dòng)補(bǔ)液系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)原理圖；圖3是本發(fā)明實(shí)施例提供的金屬膜剝離清洗設(shè)備的自動(dòng)補(bǔ)液系統(tǒng)的補(bǔ)液流程圖；圖4是本發(fā)明實(shí)施例提供的金屬膜剝離清洗設(shè)備的NMP浸泡槽的補(bǔ)液原理圖；圖5是本發(fā)明實(shí)施例提供的金屬膜剝離清洗設(shè)備的再利用NMP供液壓力罐的補(bǔ)液原理圖；圖6是本發(fā)明實(shí)施例提供的金屬膜剝離清洗設(shè)備的NMP供液壓力罐的補(bǔ)液原理圖。具體實(shí)施方式為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。參見(jiàn)圖2，該圖示出了本發(fā)明提供的一種金屬膜剝離清洗設(shè)備的自動(dòng)補(bǔ)液系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)。為了便于說(shuō)明，僅示出了本發(fā)明有關(guān)的部分。一種金屬膜剝離清洗設(shè)備的自動(dòng)補(bǔ)液系統(tǒng)，包括NMP浸泡槽5以及分別與真空負(fù)壓異補(bǔ)液裝置、氮?dú)庹龎汗┮貉b置相連接的異丙醇供液壓力罐1、丙酮供液壓力罐2、向所述NMP浸泡槽5提供NMP液的NMP供液壓力罐3；所述異丙醇供液壓力罐1、丙酮供液壓力罐2與NMP供液壓力罐3的補(bǔ)液口分別通過(guò)對(duì)應(yīng)的補(bǔ)液管對(duì)應(yīng)連接異丙醇儲(chǔ)液桶9、丙酮儲(chǔ)液桶8與NMP儲(chǔ)液桶7；所述異丙醇供液壓力罐1、丙酮供液壓力罐2、NMP供液壓力罐3以及所述NMP浸泡槽5內(nèi)分別設(shè)有液位檢測(cè)開(kāi)關(guān)。所述異丙醇供液壓力罐1的補(bǔ)液口11通過(guò)補(bǔ)液管連接所述異丙醇儲(chǔ)液桶9，所述異丙醇供液壓力罐1設(shè)有出液口12。所述丙酮供液壓力罐2、NMP供液壓力罐3的補(bǔ)液口與出液口設(shè)置如所述異丙醇供液壓力罐1。其中，所述異丙醇供液壓力罐1、丙酮供液壓力罐2、NMP供液壓力罐3通過(guò)所述真空負(fù)壓異補(bǔ)液裝置進(jìn)行補(bǔ)液，所述NMP浸泡槽通過(guò)所述氮?dú)庹龎汗┮貉b置進(jìn)行補(bǔ)液。本發(fā)明實(shí)施例中，所述異丙醇供液壓力罐、丙酮供液壓力罐、NMP供液壓力罐的容積均為20L，所述NMP浸泡槽為設(shè)備工藝槽，氮?dú)饷芊?，容積為40L；所述異丙醇儲(chǔ)液桶、丙酮儲(chǔ)液桶與NMP儲(chǔ)液桶容積分別為20L。所述NMP浸泡槽與所述NMP供液壓力罐內(nèi)液體為新鮮NMP液。其中，設(shè)在所述異丙醇供液壓力罐、丙酮供液壓力罐、NMP供液壓力罐內(nèi)的液位檢測(cè)開(kāi)關(guān)包括高液位檢測(cè)開(kāi)關(guān)、低液位檢測(cè)開(kāi)關(guān)，設(shè)在所述NMP浸泡槽內(nèi)檢液位測(cè)開(kāi)關(guān)包括高液位檢測(cè)開(kāi)關(guān)、工作液位檢測(cè)開(kāi)關(guān)與低液位檢測(cè)開(kāi)關(guān)。進(jìn)一步的，所述金屬膜剝離清洗設(shè)備的自動(dòng)補(bǔ)液系統(tǒng)包括NMP回收再利用裝置，用于過(guò)濾回收剝離晶圓片的NMP液再利用。本發(fā)明實(shí)施例中，所述NMP回收再利用裝置包括NMP回收槽6以及再利用NMP供液壓力罐4；所述NMP回收槽6與再利用NMP供液壓力罐4內(nèi)分別設(shè)有高液位檢測(cè)開(kāi)關(guān)、低液位檢測(cè)開(kāi)關(guān)，所述NMP回收槽6設(shè)有回液口，所述再利用NMP供液壓力罐的補(bǔ)液口通過(guò)再利用NMP補(bǔ)液管連接所述NMP回收槽的出液口。通過(guò)設(shè)有所述的NMP回收槽可以將剝離晶圓片時(shí)的NMP通過(guò)過(guò)濾流回到該槽中，起到循環(huán)再利用作用。所述再利用NMP供液壓力罐連接所述真空負(fù)壓異補(bǔ)液裝置及氮?dú)庹龎汗┮貉b置。所述再利用NMP補(bǔ)液管通過(guò)所述NMP供液壓力罐的補(bǔ)液管并連接至所述NMP儲(chǔ)液桶。因此，所述再利用NMP供液壓力罐的NMP包括新鮮的NMP與回收槽中的再利用NMP。進(jìn)一步的，所述再利用NMP供液壓力罐通過(guò)管路連接所述NMP浸泡槽。所述真空負(fù)壓異補(bǔ)液裝置包括真空發(fā)生器10，所述真空發(fā)生器10的抽真空管道上設(shè)有補(bǔ)液溢流檢測(cè)開(kāi)關(guān)。通過(guò)設(shè)有所述補(bǔ)液溢流檢測(cè)開(kāi)關(guān)，可以防止所述各個(gè)壓力罐內(nèi)的高液位檢測(cè)開(kāi)關(guān)發(fā)生故障時(shí)，通過(guò)所述補(bǔ)液溢流檢測(cè)開(kāi)關(guān)有信號(hào)，則說(shuō)明壓力罐內(nèi)的液體已補(bǔ)滿(mǎn)而即將溢出，立即停止補(bǔ)液。所述補(bǔ)液管采用PFA管，所述補(bǔ)液管上設(shè)有流體開(kāi)關(guān)14。通過(guò)在所述補(bǔ)液管上設(shè)有液體開(kāi)關(guān)（有液無(wú)液檢測(cè)開(kāi)關(guān)），可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)檢測(cè)補(bǔ)液過(guò)程中所述的三個(gè)儲(chǔ)液桶有無(wú)液體或者是補(bǔ)液管未插入儲(chǔ)液桶，并進(jìn)行報(bào)警提示。所述補(bǔ)液管上設(shè)有氣控閥13。本發(fā)明實(shí)施例中，連接所述各個(gè)供液壓力罐、NMP回收槽及NMP浸泡槽的管路系統(tǒng)上還設(shè)有相應(yīng)的吸酸閥、電磁閥、泄壓閥15以及壓力表16、壓力開(kāi)關(guān)17。本發(fā)明實(shí)施例中，所述NMP浸泡槽、NMP回收槽以及所述異丙醇供液壓力罐、丙酮供液壓力罐、NMP供液壓力罐以及所述的再利用NMP供液壓力罐均采用316L不銹鋼制造，防止腐蝕。下面，結(jié)合附圖3~6對(duì)本發(fā)明實(shí)施例所述自動(dòng)補(bǔ)液系統(tǒng)的自動(dòng)補(bǔ)流過(guò)程進(jìn)行說(shuō)明。為了附圖說(shuō)明的簡(jiǎn)潔，在附圖中采用1#罐代表NMP供液壓力罐，2#罐代表再利用NMP供液壓力罐，3#罐代表丙酮供液壓力罐，4#罐代表異丙醇供液壓力罐，并將所述NMP浸泡槽簡(jiǎn)稱(chēng)為浸泡槽，所述NMP回收槽稱(chēng)為為回收槽。1）NMP浸泡槽補(bǔ)液：NMP浸泡槽中裝有高液位檢測(cè)開(kāi)關(guān)、工作液位檢測(cè)開(kāi)關(guān)、低液位檢測(cè)開(kāi)關(guān)，液體為NMP化學(xué)液（剝離液），工作過(guò)程中會(huì)有消耗，當(dāng)檢測(cè)到NMP浸泡槽中液體處于低液位時(shí)，設(shè)備完成當(dāng)前工藝片后，暫停運(yùn)行，從NMP供液壓力罐通過(guò)氮?dú)庹龎汗苈飞舷嚓P(guān)閥體開(kāi)閉，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)補(bǔ)液到工作液位；由于浸泡槽容積大于NMP供液壓力罐，補(bǔ)液過(guò)程中，檢測(cè)到NMP供液壓力罐低液位時(shí)，則關(guān)閉NMP浸泡槽補(bǔ)液，等待NMP供液壓力罐補(bǔ)液完畢后，NMP浸泡槽再繼續(xù)補(bǔ)液，當(dāng)檢測(cè)到NMP浸泡槽液位到達(dá)工作液位后NMP浸泡槽補(bǔ)液關(guān)閉，設(shè)備開(kāi)啟運(yùn)行。如果工作液位檢測(cè)開(kāi)關(guān)失效，則液位到達(dá)高液位時(shí)補(bǔ)液也將關(guān)閉，并報(bào)警提示，起到上限保護(hù)作用。2）異丙醇供液壓力罐、丙酮供液壓力罐、NMP供液壓力罐補(bǔ)液：NMP供液壓力罐、丙酮供液壓力罐、異丙醇供液壓力罐的液體分別是新鮮NMP、丙酮、異丙醇，如果異丙醇供液壓力罐、丙酮供液壓力罐、NMP供液壓力罐補(bǔ)液當(dāng)前未處于補(bǔ)液中并且該異丙醇供液壓力罐、丙酮供液壓力罐、NMP供液壓力罐補(bǔ)液處于低液位，則設(shè)備暫停，自動(dòng)開(kāi)啟補(bǔ)液，分別從外接儲(chǔ)液桶補(bǔ)充新鮮NMP、異丙醇、丙酮，補(bǔ)液過(guò)程中，如果NMP供液壓力罐、丙酮供液壓力罐、異丙醇供液壓力罐的液位達(dá)到高液位或補(bǔ)液溢流檢測(cè)信號(hào)有信號(hào)，則停止補(bǔ)液，如果外接儲(chǔ)液桶有液檢測(cè)無(wú)液體，則報(bào)警提示。3）再利用NMP供液壓力罐補(bǔ)液：再利用NMP供液壓力罐內(nèi)為再利用NMP化學(xué)液，即從NMP回收槽補(bǔ)過(guò)濾回收后的NMP化學(xué)液。工藝過(guò)程中，如果再利用NMP供液壓力罐低液位，則從NMP回收槽補(bǔ)液到高液位，如果NMP回收槽低液位，則從NMP儲(chǔ)液桶補(bǔ)液新鮮NMP，補(bǔ)液時(shí)如果補(bǔ)液有液檢測(cè)無(wú)信號(hào)則報(bào)警提示。具體工作過(guò)程為，再利用NMP供液壓力罐低液位時(shí)，設(shè)備暫停，準(zhǔn)備進(jìn)行補(bǔ)液，此時(shí)首先判斷NMP回收槽液位狀態(tài)，如果NMP回收槽非低液位，則從NMP回收槽中補(bǔ)充循環(huán)再利用NMP化學(xué)液，當(dāng)NMP回收槽中處于低液位時(shí)，則從儲(chǔ)液桶中補(bǔ)充新鮮NMP到再利用NMP供液壓儲(chǔ)液罐，當(dāng)再利用NMP供液壓罐液位到達(dá)高液位時(shí)，關(guān)閉補(bǔ)液。再利用NMP供液壓罐補(bǔ)液時(shí)，如果補(bǔ)液管道上的流體開(kāi)關(guān)（有液檢測(cè)開(kāi)關(guān)）無(wú)信號(hào)或真空管道上的溢流檢測(cè)開(kāi)關(guān)有信號(hào)時(shí)，設(shè)備報(bào)警提示用戶(hù)。需要說(shuō)明的是，附圖3~6中所述“1#罐補(bǔ)液標(biāo)志”和“2#罐補(bǔ)液標(biāo)志”是用于“浸泡槽補(bǔ)液”、“再利用NMP供液壓力罐補(bǔ)液”以及“NMP供液壓力罐補(bǔ)液”三個(gè)補(bǔ)液過(guò)程相互之間互鎖的標(biāo)志，三個(gè)補(bǔ)液過(guò)程具有優(yōu)先級(jí)順序，某一特定時(shí)刻只能進(jìn)行一個(gè)補(bǔ)液過(guò)程；“1#罐補(bǔ)液標(biāo)志置1”，則聲明進(jìn)行“NMP供液罐補(bǔ)液”，該補(bǔ)液過(guò)程開(kāi)，則禁止另外兩個(gè)補(bǔ)液過(guò)程；“1#罐補(bǔ)液標(biāo)志取反”，則聲明沒(méi)有進(jìn)行“NMP供液罐補(bǔ)液”，該補(bǔ)液過(guò)程關(guān)，可以進(jìn)行另外兩個(gè)補(bǔ)液過(guò)程；“浸泡槽補(bǔ)液標(biāo)志取反”，則聲明沒(méi)有進(jìn)行“浸泡槽補(bǔ)液”，浸泡槽補(bǔ)液關(guān)，可以進(jìn)行另外兩個(gè)補(bǔ)液過(guò)程；“2#罐補(bǔ)液標(biāo)志取反”，則聲明沒(méi)有進(jìn)行“再利用NMP供液罐補(bǔ)液”，該補(bǔ)液過(guò)程關(guān)，可以進(jìn)行另外兩個(gè)補(bǔ)液過(guò)程。設(shè)備運(yùn)行中，本發(fā)明實(shí)施例所述補(bǔ)液系統(tǒng)自動(dòng)適時(shí)進(jìn)行，如果有晶圓片正在工藝處理過(guò)程中，檢測(cè)到各個(gè)供液壓力罐處于低液位，則當(dāng)前晶圓片工藝處理完成后，進(jìn)行自動(dòng)補(bǔ)液，并有相關(guān)安全檢測(cè)和保護(hù)裝置。本發(fā)明實(shí)施例所述自動(dòng)補(bǔ)液系統(tǒng)，可采用PLC控制器進(jìn)行精密控制以實(shí)現(xiàn)上述各功能及自動(dòng)補(bǔ)液。本發(fā)明管路與槽體密封可靠，有壓力、流量和高低液位等在線監(jiān)測(cè)和保護(hù)裝置，并能根據(jù)補(bǔ)液情況進(jìn)行自動(dòng)報(bào)警提示，使設(shè)備能夠無(wú)人值守自動(dòng)運(yùn)行，顯著提高設(shè)備運(yùn)行效率，并可以應(yīng)用到其他全自動(dòng)單片濕法處理設(shè)備中，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)補(bǔ)液，提高設(shè)備自動(dòng)化功能。以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。