技術(shù)編號:12456200
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域,尤其涉及一種晶圓測試系統(tǒng)。背景技術(shù)集成電路在晶圓測試時,工作站、測試機和探針臺是一個整體,工作站、測試機和探針臺之間需要接收對方發(fā)來的指令并且還需發(fā)送指令給對方,它們之間需要通過各自的連線達到通訊的目的,工作站和測試機之間需要通過PCI接口相互連接,工作站和探針臺之間需要通過GPIO接口相互連接,它們都是通過實體的線在兩者之間連接,實體線必然會受到線本身長度的影響,太短可能無法接上相應(yīng)的接口,太長又容易被外力影響導(dǎo)致松動等問題,并且需要考慮生產(chǎn)車間的實際布局需求?,F(xiàn)有技術(shù)一...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。