本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域,尤其涉及一種晶圓測(cè)試系統(tǒng)。
背景技術(shù):
集成電路在晶圓測(cè)試時(shí),工作站、測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)是一個(gè)整體,工作站、測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)之間需要接收對(duì)方發(fā)來的指令并且還需發(fā)送指令給對(duì)方,它們之間需要通過各自的連線達(dá)到通訊的目的,工作站和測(cè)試機(jī)之間需要通過PCI接口相互連接,工作站和探針臺(tái)之間需要通過GPIO接口相互連接,它們都是通過實(shí)體的線在兩者之間連接,實(shí)體線必然會(huì)受到線本身長(zhǎng)度的影響,太短可能無法接上相應(yīng)的接口,太長(zhǎng)又容易被外力影響導(dǎo)致松動(dòng)等問題,并且需要考慮生產(chǎn)車間的實(shí)際布局需求。
現(xiàn)有技術(shù)一:工作站和測(cè)試機(jī)通過PCI接口連接
參考圖1,工作站全程控制測(cè)試程序的運(yùn)作,測(cè)試機(jī)進(jìn)行測(cè)試并且返還給工作站檢測(cè)的結(jié)果,所以它們之間需要通訊。測(cè)試機(jī)上都有一塊專門的硬件板是負(fù)責(zé)通訊的,上面有PCI接口,通過實(shí)體線連接到工作站上,達(dá)到兩者之間的通訊。一旦在測(cè)試工程中這個(gè)線脫落了或損壞了,操作人員很難發(fā)現(xiàn)問題,造成測(cè)試時(shí)間的浪費(fèi),并且線的長(zhǎng)度決定了兩者的空間布局。
現(xiàn)有技術(shù)二:工作站和探針臺(tái)通過GPIO接口連接
繼續(xù)參考圖1,工作站需要控制探針臺(tái)的移動(dòng),并且探針臺(tái)也需要告訴工作站測(cè)試的芯片坐標(biāo),來完成數(shù)據(jù),所以它們之間需要通過GPIB線來達(dá)到通訊的目的。GPIB線不宜過長(zhǎng),不宜彎曲,否則會(huì)導(dǎo)致通訊不上的問題,一旦損壞,更換比較麻煩,因?yàn)樘结樑_(tái)的GPIB接口是比較隱蔽的。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明提供了一種晶圓測(cè)試系統(tǒng),節(jié)省空間和降低了布線難度。
一種晶圓測(cè)試系統(tǒng),包括:探針臺(tái),用于得到當(dāng)前位置坐標(biāo),并將測(cè)試結(jié)果進(jìn)行顯示;工作站,用于將所述當(dāng)前位置坐標(biāo)和開始測(cè)試指令發(fā)送給測(cè)試機(jī),并接收測(cè)試機(jī)的測(cè)試結(jié)果;測(cè)試機(jī),用于根據(jù)當(dāng)前位置坐標(biāo)開始測(cè)試;探針臺(tái)接收器,用于接收測(cè)試結(jié)果;探針臺(tái)發(fā)送器,用于向工作站發(fā)送位置坐標(biāo);工作站接收器,用于接收探針臺(tái)的位置坐標(biāo)和測(cè)試機(jī)的測(cè)試結(jié)果;工作站發(fā)送器,用于向測(cè)試機(jī)發(fā)送位置坐標(biāo),向測(cè)試機(jī)發(fā)送測(cè)試開始指令以及向探針臺(tái)發(fā)送測(cè)試結(jié)果;測(cè)試機(jī)發(fā)送器,用于向工作站發(fā)送測(cè)試結(jié)果;測(cè)試機(jī)接收器,用于接收位置坐標(biāo)和測(cè)試開始指令。
本發(fā)明的與現(xiàn)有技術(shù)相比,優(yōu)點(diǎn)在于:
本發(fā)明通過在工作站、測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)上各安裝一個(gè)無線接收器和無線發(fā)送器來達(dá)到無線通訊的目的,就可以避免實(shí)體線所帶來的不便,并且方便生產(chǎn)車間的布局,達(dá)到節(jié)省空間和降低布線難度的目的。
附圖說明
本發(fā)明的下列附圖在此作為本發(fā)明的一部分用于理解本發(fā)明。附圖中示出了本發(fā)明的實(shí)施例及其描述,用來解釋本發(fā)明的原理。
圖1為現(xiàn)有技術(shù)的工作站、測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)的連接方式;
圖2為本發(fā)明的晶圓測(cè)試系統(tǒng)通過用無線接收器和無線發(fā)送器替換實(shí)體線的示意圖;
圖3為本發(fā)明的晶圓測(cè)試系統(tǒng)各設(shè)備之間的交互關(guān)系。
具體實(shí)施方式
在下文的描述中,給出了大量具體的細(xì)節(jié)以便提供對(duì)本發(fā)明更為徹底的理解。然而,對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言顯而易見的是,本發(fā)明可以無需一個(gè)或多個(gè)這些細(xì)節(jié)而得以實(shí)施。在其他的例子中,為了避免與本發(fā)明發(fā)生混淆,對(duì)于本領(lǐng)域公知的一些技術(shù)特征未進(jìn)行描述。
應(yīng)當(dāng)理解的是,本發(fā)明能夠以不同形式實(shí)施,而不應(yīng)當(dāng)解釋為局限于這里提出的實(shí)施例。相反地,提供這些實(shí)施例將使公開徹底和完全,并且將本發(fā)明的范圍完全地傳遞給本領(lǐng)域技術(shù)人員。在附圖中,為了清楚,層和區(qū)的尺寸以及相對(duì)尺寸可能被夸大。自始至終相同附圖標(biāo)記表示相同的元件。
集成電路在晶圓測(cè)試時(shí),工作站、測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)是一個(gè)整體,工作站、測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)之間需要接收對(duì)方發(fā)來的指令并且還需發(fā)送指令給對(duì)方,它們之間需要通過各自的連線達(dá)到通訊的目的,工作站和測(cè)試機(jī)之間需要通過PCI接口相互連接,工作站和探針臺(tái)之間需要通過GPIO接口相互連接,它們都是通過實(shí)體的線在兩者之間連接,實(shí)體線必然會(huì)受到線本身長(zhǎng)度的影響,太短可能無法接上相應(yīng)的接口,太長(zhǎng)又容易被外力影響導(dǎo)致松動(dòng)等問題,并且需要考慮生產(chǎn)車間的實(shí)際布局需求。
本發(fā)明是為了解決集成電路在晶圓測(cè)試時(shí)工作站、測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)之間使用實(shí)體線通訊所造成各種不便的問題,因此提供了一種晶圓測(cè)試系統(tǒng),包括探針臺(tái),用于得到當(dāng)前位置坐標(biāo),并將測(cè)試結(jié)果進(jìn)行顯示;工作站,用于將所述當(dāng)前位置坐標(biāo)和開始測(cè)試指令發(fā)送給測(cè)試機(jī),并接收測(cè)試機(jī)的測(cè)試結(jié)果;測(cè)試機(jī),用于根據(jù)當(dāng)前位置坐標(biāo)開始測(cè)試;探針臺(tái)接收器,用于接收測(cè)試結(jié)果;探針臺(tái)發(fā)送器,用于向工作站發(fā)送位置坐標(biāo);工作站接收器,用于接收探針臺(tái)的位置坐標(biāo)和測(cè)試機(jī)的測(cè)試結(jié)果;工作站發(fā)送器,用于向測(cè)試機(jī)發(fā)送位置坐標(biāo),向測(cè)試機(jī)發(fā)送測(cè)試開始指令以及向探針臺(tái)發(fā)送測(cè)試結(jié)果;探針臺(tái)接收器,接收測(cè)試結(jié)果。
在工作站、測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)各安裝一個(gè)無線接收器和無線發(fā)送器,它們之間通過無線傳送的方式進(jìn)行通訊,每個(gè)無線接收器只接受與自己綁定的無線發(fā)送器發(fā)送的指令,互不干擾。在沒有了實(shí)體線的約束后,車間里的設(shè)備布局可以更靈活,例如可以將工作站排成一排,方便技術(shù)人員查看數(shù)據(jù),也不必?fù)?dān)心人員的走動(dòng)會(huì)將某一根線給扯掉或松動(dòng),一旦量產(chǎn)起來線的連接性不好會(huì)造成測(cè)試上的問題,也不易被發(fā)現(xiàn),而無線接收器和無線發(fā)送器本身有對(duì)信號(hào)的檢測(cè)功能,一旦出現(xiàn)問題能比較快的發(fā)現(xiàn),從而節(jié)省了很多排查故障的時(shí)間,提高了測(cè)試效率。
圖1為現(xiàn)有技術(shù)的工作站、測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)的連接方式,工作站通過PCI接口連線到測(cè)試機(jī)達(dá)到通訊目的,同時(shí)工作站通過GPIB接口連線到探針臺(tái)達(dá)到通訊目的,兩者都為實(shí)體線連接。
圖2為本發(fā)明通過用無線接收器和無線發(fā)送器替換實(shí)體線的示意圖,在工作站、測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)上各安裝一個(gè)無線接收器和無線發(fā)送器,通過無線通訊達(dá)到交互效果。
圖3為本發(fā)明各設(shè)備之間的交互關(guān)系,工作站的無線接收器1用來接收測(cè)試機(jī)的無線發(fā)送器2和探針臺(tái)的無線發(fā)送器3發(fā)送的指令,測(cè)試機(jī)的無線接收器2和探針臺(tái)的無線接收器3用來接收工作站的無線發(fā)送器1發(fā)送的指令。
下面結(jié)合附圖進(jìn)行詳細(xì)說明。
如圖2所示,本發(fā)明提供一種晶圓測(cè)試系統(tǒng),包括探針臺(tái)101,用于得到當(dāng)前位置坐標(biāo),并將測(cè)試結(jié)果進(jìn)行顯示;工作站100,用于將所述當(dāng)前位置坐標(biāo)和開始測(cè)試指令發(fā)送給測(cè)試機(jī)102,并接收測(cè)試機(jī)102的測(cè)試結(jié)果;測(cè)試機(jī)102,用于根據(jù)當(dāng)前位置坐標(biāo)開始測(cè)試;探針臺(tái)發(fā)送器101a,用于向工作站發(fā)送位置坐標(biāo);探針臺(tái)接收器101b,用于接收探針臺(tái)的位置坐標(biāo)和測(cè)試機(jī)的測(cè)試結(jié)果;工作站發(fā)送器100a,用于向測(cè)試機(jī)102發(fā)送位置坐標(biāo),向測(cè)試機(jī)發(fā)送測(cè)試開始指令以及向探針臺(tái)發(fā)送測(cè)試結(jié)果;工作站接收器100b,用于接收探針臺(tái)的位置坐標(biāo)和測(cè)試機(jī)的測(cè)試結(jié)果;測(cè)試機(jī)發(fā)送器102a,用于向工作站發(fā)送測(cè)試結(jié)果;測(cè)試機(jī)接收器102b,用于接收所述工作站發(fā)出的所述位置坐標(biāo)。
具體的,晶圓測(cè)試以及最后測(cè)試通常是利用探針臺(tái)101和測(cè)試機(jī)102進(jìn)行測(cè)試,所述探針臺(tái)可以為現(xiàn)有技術(shù)中的探針臺(tái),例如,利用一個(gè)具有若干探針的探針卡,將探針與固定在承載臺(tái)上的晶圓的集成電路進(jìn)行接觸,向所述集成電路施加測(cè)試信號(hào),以判斷其電學(xué)性能是否良好。
探針臺(tái)101可以為現(xiàn)有技術(shù)中的探針臺(tái),探針臺(tái)包括承載臺(tái)(chuck)與探針卡,探針卡上設(shè)置有若干個(gè)探針,測(cè)試過程中將探針卡固定在一水平平臺(tái)上,保持探針卡不動(dòng);承載臺(tái)上放置晶圓(wafer),承載臺(tái)可以沿X、Y、Z方向移動(dòng),使得晶圓與探針卡下方的探針相接觸。
所述測(cè)試機(jī)102可以為現(xiàn)有技術(shù)中的測(cè)試機(jī),用于控制探針臺(tái)101對(duì)晶圓進(jìn)行測(cè)試。
并且,所述探針臺(tái)101還包括顯示器,用于顯示測(cè)試結(jié)果。
所述探針臺(tái)發(fā)送器101a,為射頻發(fā)送器,用于發(fā)送位置坐標(biāo)給工作站。
所述探針臺(tái)接收器101b,為射頻接收器,用于接收測(cè)試結(jié)果。
所述工作站接收器100b,用于接收探針臺(tái)發(fā)送的位置坐標(biāo),以及接收測(cè)試機(jī)返回的測(cè)試結(jié)果。
工作站100,用于根據(jù)位置坐標(biāo)向測(cè)試機(jī)102發(fā)出測(cè)試開始指令,例如工作站100可以為處理器。
工作站發(fā)送器100a,用于向測(cè)試機(jī)102發(fā)出測(cè)試開始指令,并向探針臺(tái)101發(fā)出工作指令。
測(cè)試機(jī)接收器102b,用于接收測(cè)試開始指令以及測(cè)試指令,從而和探針臺(tái)101配合開始測(cè)試。
測(cè)試機(jī)102,用于根據(jù)工作站100的測(cè)試指令開始控制探針臺(tái)101開始測(cè)試。
測(cè)試機(jī)發(fā)送器102a,用于將測(cè)試結(jié)果發(fā)送給工作站100。
工作站、測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)是一個(gè)整體,它們之間需要不斷相互通訊來完成整個(gè)測(cè)試,所以需要無線接收器和無線發(fā)送器這兩個(gè)設(shè)備來完成。
在本實(shí)施例中,每個(gè)設(shè)備都有自己的MAC地址,可以預(yù)先在無線接收器里設(shè)備需要接收的無線發(fā)送器的MAC地址,保證只接受指定的設(shè)備指令,工作站需要接收測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)的指令,所以綁定兩個(gè)MAC地址,而測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)只接收工作站的指令,因此只需各綁定一個(gè)MAC地址即可,這樣在工作站、測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)兩兩之間達(dá)到了絕對(duì)的一對(duì)一通訊。
參考圖3,首先探針臺(tái)通過探針臺(tái)發(fā)送器101a發(fā)送給工作站接收器100b指令告訴工作站當(dāng)前的坐標(biāo),工作站收到指令后通過工作站發(fā)送器100a發(fā)送指令給測(cè)試機(jī)接收器102b開始測(cè)試,測(cè)試完成后測(cè)試機(jī)通過測(cè)試機(jī)發(fā)送器102a發(fā)送指令給工作站接收器100b,告訴測(cè)試結(jié)果,然后工作站再通過工作站發(fā)送器100a發(fā)給探針臺(tái)接收器101b測(cè)試結(jié)果,探針臺(tái)收到指令后在自己的顯示屏上顯示出結(jié)果,供人工查看,并開始移到下一個(gè)晶圓位置上,重復(fù)之前的動(dòng)作。
顯然,本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣,倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi),則本發(fā)明也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。