技術(shù)編號(hào)：12532935
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及清洗裝置技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種硅片用清洗裝置。背景技術(shù)太陽能光伏行業(yè)晶體硅電池的制作過程中會(huì)產(chǎn)生含有較高磷濃度的硅氧化層，被稱為磷硅玻璃，簡(jiǎn)稱PSG，在硅電池生產(chǎn)時(shí)，要進(jìn)行酸洗將該硅氧化層去除，簡(jiǎn)稱去PSG。目前，傳統(tǒng)的清洗設(shè)備在清洗時(shí)，每個(gè)清洗槽內(nèi)都需要使用純水，對(duì)硅片進(jìn)行清洗，因此累計(jì)使用純水的量較大，水浪費(fèi)嚴(yán)重，也提高了生產(chǎn)成本。根據(jù)中國專利申請(qǐng)?zhí)枮?01320306796.4公布的一種硅片清洗槽，包括清洗槽本體和水泵，所述清洗槽本體的側(cè)壁內(nèi)部成型有腔體，所述腔體內(nèi)設(shè)有垂直隔...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。