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      一種硅片用清洗裝置的制作方法

      文檔序號:12532935閱讀:423來源:國知局

      本實用新型涉及清洗裝置技術領域,尤其涉及一種硅片用清洗裝置。



      背景技術:

      太陽能光伏行業(yè)晶體硅電池的制作過程中會產生含有較高磷濃度的硅氧化層,被稱為磷硅玻璃,簡稱PSG,在硅電池生產時,要進行酸洗將該硅氧化層去除,簡稱去PSG。目前,傳統的清洗設備在清洗時,每個清洗槽內都需要使用純水,對硅片進行清洗,因此累計使用純水的量較大,水浪費嚴重,也提高了生產成本。

      根據中國專利申請?zhí)枮?01320306796.4公布的一種硅片清洗槽,包括清洗槽本體和水泵,所述清洗槽本體的側壁內部成型有腔體,所述腔體內設有垂直隔板,所述垂直隔板將所述腔體隔成內腔和外腔,所述垂直隔板的頂部設有缺口,所述內腔和外腔通過所述缺口連通,所述外腔的底部開設有出水口,所述水泵安裝在所述出水口上,所述清洗槽本體的內壁開設有篩孔,所述清洗槽本體的底部開設有排污口,所述排污口上設有閥。這種結構的硅片清洗槽結構相對復雜,制作成本較高。



      技術實現要素:

      本實用新型為了克服現有技術中的不足,提供了一種硅片用清洗裝置。

      本實用新型是通過以下技術方案實現:

      一種硅片用清洗裝置,包括底座,在所述底座的上表面上加工有若干個用于放置硅片的清洗槽,并在所述底座的上表面上設置有一個用于握持的圓柱桿,在所述底座的下表面設置有多個支撐短柱。

      作為本實用新型優(yōu)選的技術方案,所述底座為圓柱形底座,每個清洗槽的深度相同,其深度為底座厚度的二分之一。

      作為本實用新型優(yōu)選的技術方案,支撐短柱的數量為三個,且均勻分布在所述底座的下表面上,每個支撐短柱均采用彈性材料制成。

      作為本實用新型優(yōu)選的技術方案,每個清洗槽之間相互平行。

      作為本實用新型優(yōu)選的技術方案,所述底座和支撐短柱均采用不銹鋼材料制成。

      與現有的技術相比,本實用新型的有益效果是:本實用新型在對硅片進行清洗時,將硅片放置在底座上的清洗槽中,排列放好,然后手持圓柱桿將整個底座放置在水箱中進行清洗,通過設置有支撐短柱,便于放置在水箱中,且結構簡單,減少了生產成本。

      附圖說明

      圖1為本實用新型的結構示意圖。

      具體實施方式

      為了使本實用新型的目的、技術方案及優(yōu)點更加清楚明白,以下結合附圖及實施例,對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解,此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型,并不用于限定本實用新型。

      請參閱圖1,圖1為本實用新型的結構示意圖。

      所述一種硅片用清洗裝置,包括底座1,在所述底座1的上表面11上加工有若干個用于放置硅片的清洗槽2,所述底座1為圓柱形底座,每個清洗槽2的深度相同,其深度為底座1厚度的二分之一,且每個清洗槽2之間相互平行。

      在所述底座1的上表面11上設置有一個用于握持的圓柱桿3,所述底座1和圓柱桿3均采用不銹鋼材料制成。

      在所述底座1的下表面12設置有三個支撐短柱4,且均勻分布在所述底座1的下表面12上,每個支撐短柱4均采用彈性材料制成。

      在對硅片進行清洗時,將硅片放置在底座1上的清洗槽2中,排列放好,然后手持圓柱桿3將整個底座1放置在水箱中進行清洗,通過設置有支撐短柱4,便于放置在水箱中,且結構簡單,減少了生產成本。

      上述僅為本實用新型的較佳實施例而已,并不用以限制本實用新型,凡在本實用新型的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等,均應包含在本實用新型的保護范圍之內。

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