技術(shù)編號：12593940
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及硅片生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種硅片蝕刻裝置。背景技術(shù)現(xiàn)有帶水膜裝置的后清洗，在硅片覆蓋完水膜后進入的刻蝕槽內(nèi)的滾輪都是帶O型圈式的滾輪，通過調(diào)整各道滾輪之間的水平，來保證片子上水膜的完善，來達到去刻蝕線的目的，如圖1所示，現(xiàn)有蝕刻槽內(nèi)滾輪上的凸環(huán)與硅片接觸輸送，由于凸環(huán)都是一直線設(shè)置的，硅片與凸環(huán)接觸的地方無法進行清洗，嚴重時需要進行返工，降低了工作效率，增加了生產(chǎn)成本。實用新型內(nèi)容本實用新型要解決的技術(shù)問題是：為了解決蝕刻槽內(nèi)滾輪上的凸環(huán)與硅片接觸輸送，由于凸環(huán)都是一直線設(shè)...
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