技術編號：12781642
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及半導體集成電路制造領域，且特別涉及一種應用于光刻機系統(tǒng)中的兼容可替代型磁帶機。背景技術光刻機系統(tǒng)中的磁帶機主要用于機臺重要數(shù)據(jù)的大量復制和備份，對設備的安裝、調試、使用和維護管理起著重要作用，而且操作使用簡便易行。但一旦光刻機使用年久，磁帶機常會故障和損壞，而備件經(jīng)常停產(chǎn)和缺貨，維修的零件也稀缺，價高且供貨周期很長。因此使用現(xiàn)有兼容替代備件就是一個必須課題。實用新型內(nèi)容本實用新型提出一種應用于光刻機系統(tǒng)中的兼容可替代型磁帶機，使得特種光刻機系統(tǒng)或其他DEC小型機中所需的磁帶機可以兼...
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