本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體集成電路制造領(lǐng)域，且特別涉及一種應(yīng)用于光刻機(jī)系統(tǒng)中的兼容可替代型磁帶機(jī)。

背景技術(shù)：

光刻機(jī)系統(tǒng)中的磁帶機(jī)主要用于機(jī)臺(tái)重要數(shù)據(jù)的大量復(fù)制和備份，對(duì)設(shè)備的安裝、調(diào)試、使用和維護(hù)管理起著重要作用，而且操作使用簡(jiǎn)便易行。但一旦光刻機(jī)使用年久，磁帶機(jī)常會(huì)故障和損壞，而備件經(jīng)常停產(chǎn)和缺貨，維修的零件也稀缺，價(jià)高且供貨周期很長(zhǎng)。因此使用現(xiàn)有兼容替代備件就是一個(gè)必須課題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型提出一種應(yīng)用于光刻機(jī)系統(tǒng)中的兼容可替代型磁帶機(jī)，使得特種光刻機(jī)系統(tǒng)或其他DEC小型機(jī)中所需的磁帶機(jī)可以兼容使用。

為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提出一種應(yīng)用于光刻機(jī)系統(tǒng)中的兼容可替代型磁帶機(jī)，包括：

外置磁帶機(jī)；

SCSI接口、68針轉(zhuǎn)50針接頭和50針SCSI數(shù)據(jù)線，連接于所述外置磁帶機(jī)；

開關(guān)模塊，設(shè)置于所述外置磁帶機(jī)上。

進(jìn)一步的，所述外置磁帶機(jī)兼容DDS2，DDS3和DDS4磁帶。

進(jìn)一步的，所述外置磁帶機(jī)為兼容型DDS4外置磁帶機(jī)。

進(jìn)一步的，所述50針SCSI數(shù)據(jù)線連接于光刻機(jī)主電腦。

進(jìn)一步的，所述開關(guān)模塊具有多個(gè)開關(guān)，所述多個(gè)開關(guān)通過設(shè)置兼容多型號(hào)光刻機(jī)主電腦。

本實(shí)用新型提出的應(yīng)用于光刻機(jī)系統(tǒng)中的兼容可替代型磁帶機(jī)，采用外置磁帶機(jī)并通過轉(zhuǎn)接頭連接于光刻機(jī)主電腦，可兼容DDS2，DDS3和DDS4磁帶，同時(shí)在外置磁帶機(jī)上設(shè)置開關(guān)模塊，通過不同的開關(guān)設(shè)置兼容多型號(hào)光刻機(jī)主電腦，使得特種光刻機(jī)系統(tǒng)或其他DEC小型機(jī)中所需的磁帶機(jī)可以兼容使用。

附圖說明

圖1所示為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的兼容可替代型磁帶機(jī)結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖給出本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式，但本實(shí)用新型不限于以下的實(shí)施方式。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用于方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。

請(qǐng)參考圖1，圖1所示為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的兼容可替代型磁帶機(jī)結(jié)構(gòu)示意圖。本實(shí)用新型提出一種應(yīng)用于光刻機(jī)系統(tǒng)中的兼容可替代型磁帶機(jī)，包括：外置磁帶機(jī)100；SCSI接口210、68針轉(zhuǎn)50針接頭220和50針SCSI數(shù)據(jù)線230，連接于所述外置磁帶機(jī)100；開關(guān)模塊300，設(shè)置于所述外置磁帶機(jī)100上。

根據(jù)本實(shí)用新型較佳實(shí)施例，所述外置磁帶機(jī)100兼容DDS2，DDS3和DDS4磁帶。所述外置磁帶機(jī)100為兼容型DDS4外置磁帶機(jī)。選用HP SureStore DAT 40e C5687C外置磁帶機(jī)更換原機(jī)Compaq DEC TLZ09-VA內(nèi)置磁帶機(jī)。所述50針SCSI數(shù)據(jù)線230連接于光刻機(jī)主電腦。

所述開關(guān)模塊300具有多個(gè)開關(guān)，所述多個(gè)開關(guān)通過設(shè)置兼容多型號(hào)光刻機(jī)主電腦，采用新的開關(guān)設(shè)置還可以提升磁帶機(jī)存儲(chǔ)性能。

綜上所述，本實(shí)用新型提出的應(yīng)用于光刻機(jī)系統(tǒng)中的兼容可替代型磁帶機(jī)，采用外置磁帶機(jī)并通過轉(zhuǎn)接頭連接于光刻機(jī)主電腦，可兼容DDS2，DDS3和DDS4磁帶，同時(shí)在外置磁帶機(jī)上設(shè)置開關(guān)模塊，通過不同的開關(guān)設(shè)置兼容多型號(hào)光刻機(jī)主電腦，使得特種光刻機(jī)系統(tǒng)或其他DEC小型機(jī)中所需的磁帶機(jī)可以兼容使用。

雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本實(shí)用新型。本實(shí)用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各種的更動(dòng)與潤(rùn)飾。因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求書所界定者為準(zhǔn)。