技術編號:1412376
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及機械設備,具體涉及一種在晶片加工完成后,對晶片進 行清洗的搖擺清洗裝置。背景技術晶片的清洗是晶片經(jīng)過浸蝕后的關鍵環(huán)節(jié),其在清洗晶片過程中,對晶片清洗的 質(zhì)量好壞將直接影響成品晶片的質(zhì)量。現(xiàn)有的許多晶片加工工廠里,對晶片的清洗方法是 采用人工操作清洗的方式,即在晶片經(jīng)過浸蝕工序后,將晶片放置在具有熱水的清洗槽內(nèi), 采用人工操作使晶片在熱水中搖晃,達到清洗晶片的目的,在此過程中由于受水溫、水質(zhì)、 操作人員的力度以及清洗時間的影響,采用人工操作清洗...
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